用于卫星遥测的激光干涉仪测试台演示器的数字控制

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雷尼绍XL-80激光校准仪说明书

雷尼绍XL-80激光校准仪说明书

3
更轻巧的激光测量及校准
XL-80系统组件
XC-80补偿器和传感器
XC-80补偿器是XL系统测量精度的一个关键因素。
传感器电缆长5 m,可拧下,更换方便。在较长器上测量时,可用螺旋接头将多条电缆接在一起而加长。
可非常准确地测量空气温度、空气压力和相对湿度。
±6% 相对湿度
4
XL系统组件
三脚架和云台
除非您使用的是专用的测量台,否则您可能需要 一个三脚架和云台用于调节激光相对于待测轴的位置。 新型通用三脚架已经过广泛的测试,具有稳定的可调基 座,而且结构小巧、轻便。
XL三脚架云台在设计上考虑到了XL-80的精确角度 旋转及平移,可以一直固定在激光头上,易于存放和快 速架设。
雷尼绍的精度指标是根据公认的测量不确定度计算程 序 (EA - 4/02) 得出的激光稳频精度、传感器输出以及所 有影响最终测量结果的关键参数和计算值。可提供基于公 布指标的误差预算摘要。
目前,全球的安装使用数量已达数千套,我们的记录 显示雷尼绍的激光系统在不断满足各种条件下的使用要 求。这种性能水准已无数次得到第三方测试(包括国家 实验室)的验证。
由于设计周密,XL-80激光系统和光学镜组还可直 接放置在花岗岩工作台上(无需三脚架云台)进行坐标测 量机 (CMM) 的校准。
三脚架和三脚架便携箱合在一起仅重6.2 kg,与激 光系统其他组件的便携性很相配。
“快速安装/释放”机构可确保云台快速安全地固定 到三脚架上。对于那些不方便安装三脚架的应用,例如 直接固定在机床工作台上,则云台和激光系统也可用M8 螺纹的转接头固定在标准磁性座上。
其他同行厂家
雷尼绍XL-80
ºC 系统线性测量精度与环境温度
其他同行厂家

干涉仪的使用教程详解

干涉仪的使用教程详解

干涉仪的使用教程详解干涉仪是一种重要的科学研究工具,它能够根据光的干涉现象来进行精密测量。

干涉仪广泛应用于光学、物理、天文等领域,具有优良的测量精度和灵敏度。

本文将详细介绍干涉仪的使用方法和注意事项。

一、基本原理干涉仪的基本原理是利用光的干涉现象进行测量。

光的干涉是指光波的相遇和叠加,分为相长干涉和相消干涉两种情况。

相长干涉时,光波叠加后得到的干涉条纹亮度增强;相消干涉时,叠加后的干涉条纹则呈现暗纹。

通过观察和分析干涉条纹的形态和变化,可以得到待测物体的特性参数。

二、使用步骤1. 设置实验装置:首先将干涉仪放置在稳定的台架上,并垂直于水平方向。

保证光源稳定,并对其进行准直处理,以获得单色、平行光。

2. 调整反射镜:根据干涉仪的类型不同,调整反射镜的位置和角度,确保光线能够正确地通过干涉仪的光程差调节装置。

3. 干涉条纹的观察:将待测物体放置在干涉仪的光程差调节装置上,通过调整该装置的位置或者改变待测物体的位置,观察和记录干涉条纹的形态和变化。

4. 数据处理与分析:根据记录的干涉条纹数据,利用干涉仪的相关公式进行计算和分析,得出待测物体的参数。

三、注意事项1. 实验环境的稳定:干涉仪对实验环境的稳定性要求较高,应确保光源的稳定性、噪声的减小以及实验装置的固定。

2. 防止光源污染:在进行干涉仪实验时,要注意保持光源的洁净,避免灰尘或其他污染物对光的质量和干涉条纹的观察造成干扰。

3. 干涉仪仪器的校准:定期对干涉仪的仪器进行校准,以确保其测量结果的准确性和可靠性。

4. 干涉条纹的观察技巧:观察和记录干涉条纹时,应利用光学仪器和图像处理软件等工具,以提高观察和分析的精度。

四、应用领域1. 光学研究:干涉仪被广泛应用于光学相关的实验研究中,如光学材料的折射率测量、光学组件的表面形貌检测等。

2. 物理实验:干涉仪可用于测量物体的形变、位移等参数,如材料的热膨胀系数、振动的频率和幅度等。

3. 天文观测:干涉仪在天文观测中有着重要的地位,例如进行星际介质的研究、天体形貌的探测等。

GNSS及相关测量设备考试试题及答案

GNSS及相关测量设备考试试题及答案

全球导航卫星系统(GNSS)接收机(测地型和导航型)JJG 1200、GNSS 动态面积测量仪校准规范JJF 2072水准标尺检定规程JJG 8手持式激光测距仪JJG 966汽车行驶记录仪检定装置校准规范JJF(京) 58GNSS行驶记录仪校准规范JJF 1921北斗卫星导航系统测量型接收机通用规范GB∕T 39399地面激光扫描仪JJF 1406GNSS及相关测量设备综合试卷姓名:一、单选题(每题2分,共20分)1. 在GNSS系统中,测地型接收机主要用于以下哪种目的?()A. 导航和定位B. 高精度测量和科研C. 娱乐和户外探险D. 航空和航天2. 以下哪项是GNSS动态面积测量仪的主要功能?()A. 静态面积测量B. 动态面积测量C. 长度测量D. 体积测量3. 根据JJG 8规程,水准标尺的检定周期一般为多久?()A. 3个月B. 6个月C. 12个月D. 24个月4. 全站型电子速测仪的测距原理主要基于哪种技术?()A. 激光测距B. 微波测距C. 红外测距D. 超声波测距5. 光电测距仪的检定规程JJG 703规定,其共检定多少项?()A. 10项B. 13项C. 15项D. 18项6. 手持式激光测距仪JJG 966标准中,主要关注哪些性能指标?()A. 准确度B. 亮度C. 色彩D. 耗电量7. 汽车行驶记录仪检定装置校准规范JJF(京) 58中,规定了哪些方面的校准内容?()A. 速度准确性B. 油耗计算C. 娱乐系统D. 空调性能8. GNSS行驶记录仪校准规范JJF 1921中,主要关注哪些方面的校准?()A. 行驶轨迹准确性B. 座椅舒适度C. 音响效果D. 导航系统更新速度9. 北斗卫星导航系统测量型接收机通用规范GB∕T 39399中,规定了哪些方面的性能指标?()A. 接收灵敏度B. 外观颜色C. 电池容量D. 按键舒适度10. 地面激光扫描仪JJF 1406标准中,主要关注哪些方面的性能?()A. 扫描速度B. 显示器分辨率C. 重量D. 抗震能力二、多选题(每题4分,共40分)1、GNSS系统的主要应用领域包括()A. 导航与定位B. 气象观测C. 大地测量D. 航空航天E. 社交媒体2、测地型GNSS接收机相较于导航型接收机,在以下哪些方面通常具有更高性能?()A.定位精度B. 数据处理能力C. 电池续航能力D. 抗干扰能力E. 外观设计3、GNSS动态面积测量仪在进行面积测量时,需要考虑的因素有()A.卫星信号质量B. 地形起伏C. 测量速度D. 基准点选择E. 环境温度4、水准标尺的检定过程中,可能涉及的检查项目包括()A.标尺长度B. 刻度间距C. 材质耐久性D. 温度影响E. 颜色均匀性5、全站型电子速测仪的主要功能包括()A.电子测距B. 角度测量C.数据存储与传输D. 地图绘制E. 自动目标识别6、光电测距仪的优势在于()A.高测距精度B. 长测距范围C. 抗干扰能力强D. 便携性高E. 无需外部电源7、手持式激光测距仪广泛应用于以下哪些领域?()A.建筑测量B. 林业调查C. 工业自动化D. 体育训练E. 医学诊断8、汽车行驶记录仪的数据记录功能通常包括()A.行驶轨迹B. 行驶速度C. 车辆状态(如刹车、转向)D. 驾驶员行为E. 车内温度9、在对GNSS行驶记录仪进行校准时,需要关注哪些方面的性能?()A.定位精度B. 数据完整性C. 时间同步准确性D. 防篡改能力E. 外观美观度10、地面激光扫描仪在三维建模中的应用优势包括()A.高精度点云数据B. 快速数据采集C. 全天候工作能力D. 自动化处理流程E. 低成本解决方案三、填空题(每题2分,共20分)1、GNSS(全球导航卫星系统)主要由美国的GPS、俄罗斯的GLONASS、中国的______和欧洲的Galileo四大系统组成。

双频激光干涉仪

双频激光干涉仪

光刻机定位双频激光干涉仪发布日期:2005年10月20日访问次数:1503光刻机定位双频激光干涉仪1.项目概述双频激光干涉仪以其特有的同时具有大测量范围、高分辨率、高测量精度和高速度等优点,在精密和超精密测量领域获得了广泛的应用。

双频激光干涉仪采用外差干涉测量原理,克服了普通单频干涉仪测量信号直流漂移的问题,具有信号噪声小、抗环境干扰能力强、允许光源多通道复用等诸多优点,使得干涉测长技术能真正用于实际生产。

例如,精密坐标机床的标定、高精度传感器的标定、半导体工业中的高精度模板的制造和定位、以及构成多坐标精密定位多轴运动系统等。

中科院上海光机所在上海市科委光科技专项二期项目支持下,完成了“光刻机定位双频激光干涉仪”样机。

以100nm线宽步进扫描投影光刻机工件台定位需求为研制目标,对双频激光干涉仪系统的关键技术进行了攻关,已经成功研制出一台高精度、高速度、大范围的双频激光干涉仪实验室样机,如图1所示。

该仪器核心技术是分辨率的提高和改进,取得6项专利,拥有自主知识产权。

2.国内外技术、应用现状及应用领域1)国内外技术双频激光干涉仪首先由美国HP公司研制成功并获得专列权。

第一批定型产品为5500A,于1970年投放市场,它的量程达到61m,测量精度为5×10-7,测量速度达330mm/s。

其后HP公司又研制了其他派生产品,如5526A除了能测长度以外,还能测速度、角度、平面度、直线度和垂直度,还可以用来测震及进行X-Y微动台的定位,用途极为广泛。

其他国家在这方面做了不少工作,投入市场的还有英国的Renishaw、美国的ZYGO、法国SORO和日本横河等公司。

我国从七十年代,清华大学、北京计量院、机械部成都工具研究所等科研部门就已开始研制双频激光干涉仪样机,至今已经有二、三十年历史。

成都工具研究所有商品化仪器出售,但分辨率比较差。

尽管国外双频激光干涉仪水平比较高,但价格高,特别是高档次的产品对我国禁运,而国内产品不能满足高精度先进制造技术方面的需求。

激光干涉仪测量原理

激光干涉仪测量原理

激光干涉仪测量原理激光干涉仪是一种基于干涉原理的测量仪器,主要用于测量长度、角度和平面度等。

它通过利用激光的干涉现象,实现高精度测量。

激光干涉仪有多种类型,包括腔长度干涉仪、双光束干涉仪和多光束干涉仪等。

激光干涉仪的原理基于干涉现象,即光的波动性质,当两束光线相遇时,在空间中形成干涉图案。

这个干涉图案的形状和光线的相位差有关,而相位差又与参考光线和测量光线的路径差有关。

在激光干涉仪中,激光器产生的强度稳定且单色的激光通过分束器被分成两束光线,一束作为参考光线,另一束被引导到待测物体上,形成测量光线。

当测量光线经过待测物体反射或透射后再次与参考光线相遇时,两束光线会发生干涉现象。

干涉现象会产生干涉条纹,这些条纹反映了两束光线间的相位差,从而反映了待测物体上的形状、位移或折射率等信息。

为了更好地观察干涉条纹,激光干涉仪通常使用干涉仪,例如迈克尔逊干涉仪或菲涅尔干涉仪。

在迈克尔逊干涉仪中,参考光线和测量光线分别通过反射镜和半透镜被反射或透射,然后再次相遇形成干涉条纹。

在菲涅尔干涉仪中,参考光线和测量光线分别通过透镜和透明棱镜后再次相遇。

为了测量待测物体的形状、位移或折射率等信息,需要通过改变参考光线和测量光线的光程差来修改干涉图样。

常见的方法是通过改变光程差来改变干涉环的位置或数量。

光程差可以通过调整反射镜或透镜的位置来实现。

通过测量干涉条纹的位置和数量的变化,可以获得待测物体的形状或位移的信息。

激光干涉仪具有高精度、高分辨率和快速响应的特点,因此被广泛应用于各种测量领域。

例如,激光干涉仪可用于测量长度、角度和平面度等机械工件的精度。

它还可以用于光学元件的制造和表面形貌的测量。

此外,激光干涉仪还可以应用于光学实验、光学校准和科学研究等领域。

总之,激光干涉仪是一种基于干涉原理的精密测量仪器。

它通过利用激光的干涉现象来实现高精度测量,并广泛应用于各种测量领域。

激光干涉仪在工业界和科学研究领域具有重要的应用价值。

双频激光干涉仪的原理与应用

双频激光干涉仪的原理与应用

双频激光干涉仪的应用研究
1、物理学领域中的应用
在物理学领域中,双频激光干涉仪被广泛应用于长度测量、光学腔衰荡、光 学陷阱等方面。例如,通过测量两个反射镜之间的距离,可以得出光学腔的长度, 进而研究光学腔的衰荡现象。另外,双频激光干涉仪还可以用于测量微小的距离 变化,如光学陷阱中的原子或分子位置的变化。
一、双频激光干涉仪的原理
双频激光干涉仪利用激光干涉和衍射现象来测量长度和角度。它包含两个振 荡频率不同的激光束,经过叠加后产生干涉图案。干涉图案的周期和相位差与被 测长度和角度有关。通过测量干涉图案的变化,可以推导出被测长度和角度的值。
双频激光干涉仪的原理框图如图1所示。激光器发出两束频率不同的激光, 经过分束器后分别形成参考光束和测量光束。这两束光在干涉仪内部进行叠加, 产生干涉现象。干涉仪的高精度光学系统能够将干涉图案聚焦成清晰的图像,并 由探测器进行接收。
4、土木工程领域中的应用
在土木工程领域中,双频激光干涉仪被广泛应用于测量建筑物、桥梁和隧道 等结构的变形和振动。通过测量建筑物或桥梁的振动频率和振幅,可以得出结构 的固有频率和阻尼比等重要参数。此外,双频激光干涉仪还可以用于测量地壳的 微震和地震等自然灾害的参数。
双频激光干涉仪的实验研究
1、双频激光干涉仪的基本原理
实验结果表明,双频激光干涉仪具有高精度、高稳定性和快速响应等特点。 通过改变双频激光束的频率差,可以扩大干涉仪的测量范围。另外,通过将双频 激光干涉仪与其他仪器结合使用,可以扩展其应用范围,例如将双频激光干涉仪 与扫描显微镜结合使用,可以得出微观结构的高精度三维形貌。
结论尽管双频激光干涉仪已经得到了广泛的应用,但是其仍有需要进一步研 究和改进的地方。例如,如何提高双频激光束的相干性、如何降低外界因素对实 验结果的影响以及如何实现实时在线测量等问题需要后续进行深入探讨。总的来 说,双频激光干涉仪在科学和技术上的应用前景非常广阔,未来研究将会有更多 的成果涌现,为人类认识世界和解决问题提供更多的工具和方法。

雷尼绍激光干涉仪测试原理

雷尼绍激光干涉仪测试原理雷尼绍激光干涉仪是一种非常重要的测试仪器,它可以被用于测试各种物理和化学现象。

其原理是基于光的干涉现象,利用激光干涉仪的原理来进行非常精确的测试。

本文将详细介绍雷尼绍激光干涉仪的测试原理。

仪器结构雷尼绍激光干涉仪主要由光源、分束器、反射镜和探测器等组成。

具体地,激光器的光源是一束脉冲或者连续的激光光束,该光源通过束分裂镜被分为两道平行的光束。

其中一束在反射后再次经过束分裂镜与另一道光束合并,而通过干涉产生干涉条纹。

干涉条纹最终在探测器上显示出来。

测试原理当两束光线经过干涉后,它们的相长相消将会产生干涉条纹,这样就可以计算出样品的各种性质。

因为干涉条纹在探测器上展示的形式,需要对干涉条纹进行数字化处理和分析,才能得到所需的测试结果。

由于干涉条纹的相位角位置对于相邻条纹的间隔、测量的样品和激光光束的波长都产生了影响,所以为了得到更加准确的结果,必须以小步长旋转反射镜,从而逐渐改变干涉条纹的相位角位置。

雷尼绍激光干涉仪的测试原理主要分为两种模式,即相位差模式和中间模式。

相位差模式是指,在两个光源之间出现一个相位差,即当两束光线的相位差为零时,它们的干涉谱中会产生暗条纹,此时激光光束的波长和厚度等可以通过测试来确定。

而中间模式是指,将测试样品置于干涉条纹的中间位置,这种测试方法可以得到测试样品的形状和厚度等信息。

应用场景雷尼绍激光干涉仪在实际应用中,有很多的应用场景。

例如,它可以被用于材料力学、表面形貌、波前检测、热塑性等科研领域中,能够迅速测量样品的各种物理和化学性质特征。

此外,雷尼绍激光干涉仪还可以被用于工业界的质量检测,例如在电子、汽车、航空航天和机器等领域是否可以快速检测物品的形状和部件的适配性等等。

总结雷尼绍激光干涉仪由于其高精度、快速测量和大范围覆盖等特点,使得它成为了物理、化学和工业领域中的重要仪器,可以为科研和生产提供有力的支持。

对于有需求的领域,选择适合的仪器并深入掌握其使用原理,才有可能达到更好的效果。

实验七迈克尔逊干涉仪的调节与使用(预习报告)

实验七:迈克尔逊干涉仪的调节与使用[实验目的]1.了解迈克尔逊干涉仪的结构、原理及调节和使用方法。

2.测量单色光He-Ne 激光的波长。

[实验仪器]迈克尔逊干涉仪 H e-Ne激光器 [实验原理]光程差为θδcos 2d =第k 级条纹对应的入射角应满足条件⎪⎩⎪⎨⎧+±=暗纹亮纹 2)12( cos 2λλθk k d k (k = 0,1,2,…)[实验内容]1.迈克尔逊干涉仪的调整(1)先调底脚螺钉使导轨水平,再调M 1使处于主尺30mm-35mm 处,使M 1与M 2到G 1的距离大致相等。

(2)点亮He-Ne 激光器,调节其高度及位置,使光束通过G 1经M 1、M 2反射后落到光屏E 上,呈现两组分立的光斑。

调节M 1和M 2镜的螺钉,改变M 1、M 2的方位,使屏上两组光斑对立重合(主要是最亮两点重合)。

这样M 1′与M 2就大致平行,在视场中就可见到干涉条纹。

2.测定He-Ne 激光波长(1)按前步骤,将扩束后激光束按图2的方向照射到分束板G 1上 ,这时可看到干涉条纹。

(2)仔细调节水平和垂直的拉簧螺钉,使干涉条纹呈圆环状。

(3)调节粗调手轮与微调手轮刻度相匹配,沿同一方向转动微调手轮,当有圆形条纹冒出或湮没时,将微调手轮沿原方向调至零,再调粗调手轮。

(4)测量时选择能见度较好、中心为亮斑或暗斑的干涉花样,记下M 1镜的初始位置读数d 0,继续沿原方向转动微调手轮,每隔50个条纹记一次读数d ,连续450个条纹,测得10组数据,取环纹改变量ΔN=250条,根据式(1)的关系,用逐差法处理数据求得λ。

[实验数据处理]表1 迈克尔逊干涉仪测量数据 测量结果:λ=ni∑λ= nmλ标=632.81nm E r =|λ-λ标|/λ标×100%=[思考题]1.怎样调节等倾干涉条纹并使大小合适、环心在视场的中央?2.实验测量结果中误差主要来源那些方面,其影响有多大?3、调节迈克尔逊干涉仪时看到的亮点为什么是两排而不是两个?两排亮点是怎样形成的?条纹移动数 0 50 100 150 200 反射镜位置d 1/mm 条纹移动数 250 300 350 400 450 反射镜位置d 2/mmΔN250 250 250 250 250 12d d d -=∆/mmN d ∆∆=/2λ。

激光干涉仪工作原理

激光干涉仪工作原理激光干涉仪是一种利用激光干涉原理测量物体表面形貌、位移、振动等参数的精密光学仪器。

它主要由激光器、分束器、反射镜、光电探测器和信号处理系统等组成。

激光干涉仪的工作原理是基于激光的干涉现象,通过测量光波的相位差来实现对被测物理量的测量。

首先,激光器产生一束高度相干的激光光束,经过分束器分成两束光线,分别照射到被测物体表面并被反射回来。

这两束光线再次汇聚在分束器处,形成干涉条纹。

当被测物体发生微小位移或形貌变化时,其表面反射的光程差也会发生变化,导致干涉条纹位置发生移动。

通过测量干涉条纹的位移,可以计算出被测物体的位移量。

激光干涉仪的工作原理基于干涉现象,利用光波的相位差来测量被测物理量。

在干涉条纹的形成过程中,两束光线的相位差决定了干涉条纹的位置。

当两束光线的相位差为整数倍的波长时,它们将加强干涉,形成亮条纹;当相位差为半波长的奇数倍时,它们将相互抵消,形成暗条纹。

因此,通过测量干涉条纹的移动,就可以得到被测物体的微小位移量。

激光干涉仪在工业、科研和医疗等领域有着广泛的应用。

在工业领域,它可以用于测量零件的尺寸、形貌和表面质量,实现精密加工和质量控制;在科研领域,它可以用于研究微小振动、形变和位移等参数,提供实验数据支持;在医疗领域,它可以用于眼底血管的形态学和血流动力学参数的测量,为临床诊断提供重要参考。

总之,激光干涉仪是一种基于激光干涉原理的精密光学测量仪器,通过测量干涉条纹的位移来实现对被测物理量的测量。

它在工业、科研和医疗领域有着广泛的应用前景,为实现精密测量和科学研究提供了重要的技术手段。

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用于卫星遥测的激光干涉仪测试台演示器的数字控制
来源:互联网
为欧氏空间遥测的同相位系统实验室演示器建立数字控制系统,用于将遥测臂之间的光
学路径差维持在10nm之内,这是确保有效卫星操作的必要条件。欧氏空间望远镜是为高
分辨率光学检测而优化的干涉仪仪器,利用对成孔径技术对地理静态轨道进行检测。

为了获得需要的同相位、所需的分辨率,就要使用复杂的计量和控制系统,以便确保光
学配置具有必要的稳定性。集成了一个演示器(称为 MIT,Michelson 干涉仪测试台)用
于对欧氏空间望远镜的两个关键系统进行验证,以便达到同相位条件,以及在Michelson
干涉仪仪器中达到的稳定边缘图案样式。

本文包含了对欧氏空间望远镜的概述、MIT性能的简单描述以及完成的目标。
欧氏空间望远镜
例如欧氏空间望远镜等多孔径望远镜配置为达到大型孔径光学系统提出了一种独特的
可行方法。开发多个独立望远镜孔径的动机是为了提供从空间进行高分辨率的观测,避免在
大型孔径(大重量)情况下以及使用自适应波前控制导致的局限性。多个望远镜光学镜片可
以比单筒大型镜片直径缩小许多,这是在重量以及外形上的重要改进。

带有Fizeau 类型组合光学配置的Michelson 干涉仪被选用实现合成孔径技术。望远
镜配置包含了八个子望远镜阵列和光束组合望远镜位于阵列的中央,用来采集来自子望远镜
的光线,并且可以在聚焦平面上产生干涉图像。光学延迟线可以均衡来自每个子望远镜不同
波前进入路径的差别,最后到达覆盖在上面的聚焦平面。干涉边缘图案样式在聚焦平面上形
成,并且具有良好的可见度,在干涉仪臂之间的光学路径差(OPD)被保持在比相干长度
小的范围之内。随着 OPD 的增加,边缘图案变得越来越黯淡,即其可见度越来越低。这
是因为干涉仪并非工作在单一的波长上,而是工作在有限的频带上。

图1.Michelson 干涉仪的计量线
为了让边缘图案具有更好的可见度,光束经过Michelson干涉仪八个臂的光学路径长
度(OPL)必须进行均衡,其误差需要在工作频带相干长度的范围之内。对于一定的
Michelson 干涉仪任务而言,经过八个臂的光束的OPL必须将误差均衡在100 nm之内。
如果达到了这个条件,就可以称为干涉仪达到了“同相位”。在达到同相位条件之后,就可以
使用望远镜进行观测。在聚焦平面的图像集成时间之内,干涉仪的八个臂之间的OPD 必须
控制在观测波长范围之内(即OPDij < 10 nm),以便避免边界“跳跃”或是边界模式相位
出现较大变化,造成得到的图形出现对比度损失。如果这种情况在观测过程中出现,得到的
干涉仪图像就会完全模糊,为了重建目标原始图像所需的必要信息也将丢失。

干涉仪带有激光计量系统,以便测量干涉仪臂之间的光学路径差(绝对差和相对差),
从而使用电动延迟线控制光学路径差。控制系统可以对激光干涉仪进行测量,将指令发送到
延迟线上。

激光干涉法是至今为止用于测量长距离变化的最佳方法。可以使用多种干涉方法,但是
所有方法都是基于干涉原理的:由同一个光源发出的两束或多束光线通过不同长度的路径最
终交汇(汇聚)在用于测量光强的探测器上。探测器上的光强是干涉光线(波)的相对相位
的函数,他们可以相互增强,也可以相互减弱。在对干涉信号的分析中,可以得出关于不同
光束路径差的信息。为了测量光学干涉仪两个臂之间的长度差,最终的方法就是使用
Michelson类型的激光干涉仪。激光干涉仪包括两种类型的激光计量:

● 绝对计量系统(由位于葡萄牙里斯本的INETI机构开发),提供了两个干涉仪臂之
间光学路径差的实际数值,分辨率较低。
● 相对计量系统(由位于意大利都灵的Alcatel Alenia Space Italia开发),提供了
干涉仪臂之间光学路径差的变化(相对于给定初始值的变化),分辨率较高。

两种计量系统都利用光学干涉仪原型进行光学干涉,利用控制系统对延迟线发出指令进
行电子学层面的交互。

绝对计量用来支持达到Michelson干涉仪的同相位条件,它是由干涉仪多个臂之间的
光学路径达到相干距离范围之内而构成的,因此较高可见度的边缘模式在仪器的聚焦平面上
形成。

相对计量提供了对OPL变化的测量,从一个给定的初始值开始(这个数值是在达到同
相位操作之后的数值),这个数值被控制系统利通过电动延迟线的精调级用于固定边界图案
(OPD 10 nm)。相对计量是基于Michelson 干涉仪计量的,具有纳米级别的分辨率。
OPD 干扰需要在对象观测过程中进行补偿,它来自于热学负载或是发生在卫星内部的振动
(例如方向控制系统)等造成的卫星结构变化,通过仪器结构,传递至干涉仪镜面。

同相位系统实验室演示器
同相位系统是望远镜设计最为关键的部分。为了测试并且演示同相位系统的概念,即将
干涉仪臂之间的OPL 通过一个自由度的延迟线进行均衡,实现了一个实验室演示器。MIT
演示器由一个简化的实验室尺寸的光学干涉仪原型组成,实现了与高分辨率卫星望远镜相同
的光学配置拓扑。

由于同相位系统概念是要控制望远镜臂之间的OPD变化,同相位系统的实验室演示器
带有一条控制延迟线(CDL)能够在(主要)臂上工作,它跟踪另一条(从属)臂的OPL 变
化,还带有一条扰动延迟线(DDL)作用在(从属)臂上,和预测的体现在卫星望远镜上
的扰动PSD 相似,引入具有相同功率谱密度(PSD)的OPL扰动。实验室演示器需要达
到的性能必须与卫星望远镜要求的性能一致。
控制延迟线由两个执行器组成:一个粗调台式电动平移器和一个精调台式压电变换器。
扰动线仅由压电变换器组成。粗调器用来从比较大的OPD(例如1 mm)开始达到同相位
条件。精调器用来在达到同相位状态之后,控制并保持两个干涉仪臂之间的OPD。

同相位控制系统仅仅使用了相对计量测量,在闭环状态下驱动精调器的控制延迟线。粗调器
的延迟线直接由操作员在开环下进行驱动,操作员观察在绝对计量监视器上,达到同相位条
件所需要的位移。粗调器的执行器使用RS232 与便携式计算机进行连接。软件接口在NI
LabVIEW 中实现,用于设置所有必要的参数,对执行器进行编程,并设置位移指令。执行
器的绝对位置一直标识在图表中。控制粗调器执行器直至达到同相位状态。在下图中,显示
了达到同相位状态的实验干涉图。

同相位控制系统硬件式基于便携式计算机的(带有2 GB RAM的Pentium 4 2.66
GHz),它通过IEEE 1394接口连接到便携式NI DAQPad-6052E端口上。即便这个类
型的数据采集板卡并非实时设备,还是可以通过数字控制闭环,以1 ms 的控制步长进行
控制(可见这并非硬实时性能)。干扰延迟线执行器使用相同的DAQPad-6052E 进行驱
动。干扰发生算法与控制算法一起,并行运行在相同的便携式计算机上。

图2.达到同相位状态的实验干涉图
使用了两个ADC 通道和两个DAC 通道。这两个ADC 通道采集来自相对计量电子的
两个信号,它们用于重建OPD 变化。一个DAC用于驱动精调器控制延迟线的压电驱动器,
另一个DAC 驱动扰动延迟线的压电驱动器。

控制算法设计根据相同的模型观测器进行执行,它基于离散时间状态方程,直接用C 语
言算法实现。控制算法程序被编译为动态连接库(DLL),通过调用库函数节点使用NI
LabVIEW 与NI DAQ 板卡进行数据交换(来自ADC 的测量和发送至DAC 的指令)。
这种解决方案可以测试控制算法(使用C 语言编写,十分接近最终实际使用的版本),从
而可以非常方便地与实验室NI DAQ 硬件进行连接,而无需使用实际使用的硬件,这样就
节省大量的时间和金钱。同样,扰动发生算法实现为离散状态空间方程,并且使用C++ 进
行编写,编译为DLL 文件。图5 显示了控制系统的方块图。

图3.粗调器延迟线软件界面
图4.NI DAQPad-6052E 数据采集设备
由于我们的系统并非实时系统,我们设计了一个十分简单的软件界面,其中不含有图形
和图形图标,避免载入控制算法的执行。软件界面包含了一系列按钮,可以用来启动或停止
相对计量、扰动发生算法、控制系统算法,一组发光二极管用来指示控制系统的状态。所有
重要的控制变量(测量、指令、状态变量等等)都存储在计算机的内存中,并在控制对话结
束的时候以二进制格式存储在硬盘上。

图5.控制系统方块图
测试结果十分理想,残余OPD 为σ =9.5 nm,满足了要求。图6给出了没有控制系
统下的OPD 扰动(左图)以及控制系统作用下的OPD 残余量(右图)。

图6.控制系统测试结果
图7.Michelson 干涉仪测试台
为了提高同相位控制系统的性能,未来需要对控制系统硬件进行升级。

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