MEMS电容加速度计
dadasd
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为了给我们的客户们提供一个理想的支持，我们的标准产品 SF1500S.A 和 SF1500SN.A 产品是可以查到的。
通过世界各地广泛的销售商或代理商，也可直接和 Colibrys 联系。不要犹豫， 进入我们的网页， 并直接联系 Colibrys 在欧洲或美国的公司。
电气连接 P1 P2 P3 P4, P8 P5 P6 P7 P9 P10 * : see SiFlex 频率响应和噪声
TM
-Vout +Vout ATST * RTN * OFFSET * XTI * RTN -PWR +PWR
反向输出信号 输出信号 传感器自检输入 返回信号（共同） 用于消除直流偏移 振荡器的输入。 返回 负电源 正电源
QINPEX SARL (SWITZERLAND) - WEB : GARE 16 - 2074 MARIN (NE) - SWITZERLAND TEL/FAX +41(0)32 753 13 60 - MOBILE +41(0)79 397 46 00 - pang.qin@
MEMS 电容式加速度传感器
数据表 SF1500S.A / SF1500SN.A
特征 良好的的噪音水平：300 ngrms /√Hz 宽广的动态范围 120 分贝 频率响应：从直流至 1500 赫兹范围内 ± 3G 全部测量范围 模拟服务加速度传感器 自我测试输入 说明 Colibrys 公司设计和开发 SiFlexTM 加速度计是用于地震等“剧 烈运动”状态的遥感应用。这种电容式的 MENMS 产品是最优秀的 “数字检波器”， 被广泛地用于需要超低噪声测量情况下的地震和 振动传感。具有：宽广的动态范围，优异的带宽，低失真，高抗冲 击性，热稳定性好等特性。非常适合“剧烈运动”状态的遥感应用， 如地震测量，国土和边界安全或结构监测。作为倾角传感器，它还 为精密测量提供了高清晰的分辨率。 应用 地震遥感 地震检测 地球物理 国土和边境安全 强震 铁路技术 结构监测
基于MEMS技术的加速度传感器设计与制造
基于MEMS技术的加速度传感器设计与制造加速度传感器是一种能够测量物体加速度的微型传感器。
它被广泛应用于各种领域，如汽车安全系统、虚拟现实设备、运动跟踪设备等。
基于微机电系统（MEMS）技术的加速度传感器具有体积小、能耗低、成本低以及集成度高等优势。
本文将重点讨论基于MEMS技术的加速度传感器的设计与制造。
一、设计阶段在设计基于MEMS技术的加速度传感器之前，需要明确传感器的工作原理和性能指标。
加速度传感器通过测量微小质量在加速度作用下产生的惯性力来测量加速度。
在设计之初，需要明确量程、精度、频率响应等性能指标，以满足特定应用的需求。
1. 惯性力测量原理基于MEMS技术的加速度传感器利用微型质量与惯性力的相互作用关系进行测量。
一般来说，传感器中的微型质量会受到加速度作用下的惯性力，导致压电材料产生压电效应，通过对压电材料的检测，可以得到加速度的测量结果。
2. 量程和精度量程表示传感器能够测量的最大加速度范围。
在选择量程时，需要考虑传感器受力范围。
过大的量程可能导致传感器饱和，而过小的量程则无法满足需求。
精度表示传感器的测量误差，是评估传感器性能的重要指标。
在设计过程中，需要选择合适的压电材料、结构和电路，以提高传感器的精度。
3. 频率响应频率响应是指传感器对于输入信号频率的响应程度。
频率响应决定了传感器在不同频率下的工作性能。
在设计中，需要对传感器的机械结构和电路进行优化，以提高其频率响应。
二、制造阶段在设计完成后，就需要进行基于MEMS技术的加速度传感器的制造。
制造过程中需要关注材料选择、加工工艺和封装方式等因素。
1. 材料选择制造加速度传感器所需的材料应具备良好的力学性能和电学性能。
常用的材料包括硅、玻璃、金属等。
硅是MEMS制造中最常用的材料，具有良好的耐温性能和加工性能。
2. 加工工艺加速度传感器的制造通常采用微电子加工工艺，包括光刻、薄膜沉积、离子刻蚀等步骤。
通过光刻技术，在硅片上制作出加速度传感器的微结构。
MEMS加速度计传感器专用ASIC简介及设计
MEMS加速度计传感器专用ASIC简介及设计王浩（无锡华润上华科技有限公司设计服务中心，上海，200072）摘要：MEMS做为本世纪前沿技术，有着非常广阔的前景，越来越受到业界专注。
本文介绍了华润上华设计中心研发的3轴加速度计的原理及ASIC电路设计，该电路由前置放大器、增益失调调节电路、模数转换器、温度感应器及数字信号处理电路等组成。
本电路结构简单,精度高,功耗低，能很好地满足系统中惯性及加速度的测量。
关键词：微电机系统；加速度计；模数转换器；前置放大器；温度传感器；增益失调校准MEMS Accelerometer ASIC Introduction and DesignWANG Hao（Design service center,CSMC technologies Corporation,Shanghai200072,China）Abstract:As advanced technology of this century,MEMS has a very broad prospect and is increasingly focused by the industry.This paper introduces the principle and ASIC circuit design of the3-axis accelerometer developed by CSMC Design Center.The circuit consists of preamplifier,gain offset adjustment circuit,analog-to-digital converter, temperature sensor and digital signal processing circuit.The circuit has the advantages of simple structure,high pre-cision and low power consumption,and can well satisfy the measurement of inertia and acceleration in the system. Key words:MEMS;Accelerometer;ADC;PA;TS;GOC1概述传感器是工业4.0时代的重要角色，随着物联网在工业领域的应用推广，越来越多的设备需要采用传感器采集数据，进一步去挖掘数据的价值，通过数据分析提升设备效率，预测一些可能发生的事情，减少停机损失，让工厂更贴近市场需求。
met常见检测方法
met常见检测方法【实用版3篇】《met常见检测方法》篇1MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是一种基于微电子技术的新型传感器技术。
MEMS 加速度计是一种常用的MEMS 传感器，它可以测量物体在三个轴向上的加速度。
以下是几种常见的MEMS 加速度计检测方法：1. 激光束扫描法：利用激光束扫描MEMS 加速度计的表面，通过检测激光束反射回来的时间来计算加速度计的位移。
这种方法具有非接触、高分辨率和快速响应的优点。
2. 电容式测量法：MEMS 加速度计通常采用电容式传感器结构，通过测量电容值的变化来感应加速度。
这种方法具有结构简单、灵敏度高和响应速度快等优点。
3. 压电式测量法：压电材料在电场作用下会发生形变，从而产生电荷。
利用这一原理，可以测量MEMS 加速度计的变形量，从而计算加速度。
4. 磁阻式测量法：利用磁阻效应，通过测量磁阻值的变化来感应加速度。
这种方法具有灵敏度高、结构简单和响应速度快等优点。
5. 光纤光栅法：利用光纤光栅的特性，通过测量光栅的变形量来计算加速度。
这种方法具有非接触、高分辨率和快速响应的优点。
6. 谐振式测量法：利用MEMS 谐振器的振动频率与加速度之间的关系，通过测量谐振器的振动频率变化来计算加速度。
这种方法具有灵敏度高、结构简单和响应速度快等优点。
《met常见检测方法》篇2"MET" 可以指代多种不同的事物，因此需要更具体的上下文才能回答这个问题。
以下是一些可能与"MET" 相关的常见检测方法:1. MET 基因扩增检测:MET 基因扩增是一种常见的致癌机制，特别是在肺癌中。
MET 基因扩增的检测方法包括荧光定量PCR、数字PCR 和NGS 等。
2. MET 蛋白表达检测:MET 蛋白表达通常通过免疫组化(IHC)或免疫印迹(Western blot) 等方法进行检测。
3. MET 突变检测:MET 基因突变也是一种常见的致癌机制。
“三明治”MEMS加速度计的设计与分析
的谐振频率 、 抗冲击性、 线性度等因素人手进行仿 真分析与理论计算 ， 确定 了加速度计的结构参数
以及 体硅 工艺 流程 。
传感器 的特别突出的优点在于 ， 灵敏度及分辨率 可以做到很高 ， 可以测量极小 的加速度 和位移 Ｊ
电容式加速度传感器种类繁 多 ， 但原理基 本 相 同， 都是通过测量 电容 的变化来检测加速度信
号。电容式加速传感器有诸 多优点 ： 压阻式或 热
对流 式 容 易 因 外 界 温 度 变 化 而 产 生 零 位 漂 移 儿 引， 而电容式的电容值一般与电极材料无关 ， 因此可选择温度系数低 的材料 ； 加上本身发热极
景 。
极板 间距 与极 板 间的重 叠 面积来决定 。为 了减小
寄生 电容 的干扰 ， 并提高传感器 的灵敏度 ， 电容式 加速度传感器通常采用差分 电容结构 ， 即质量块 部分作为公共极板 ， 两个电容串联相接。 对于差分电容式加速度计 ， 较为成熟的结构
有“ 梳齿” 结构 的 电容 式 加速 度 计 【 和 “ Ｊ 三 明治 ” 结 构 的 电容 式加 速度 计 ， “ 梳齿” 型 结构 的 电容式 加 速度 计 ， 由 于难 以实 现较 大 的敏感质 量块 ， 且敏
２ ３ ３ ０ ４ ２ ）
（ 北方 通用 电子集 团有 限公 司微 电子 部 蚌 埠 摘 要
基 于体 硅微 机械 加 工技 术 ， 设计 分析 了一 种抗 冲 击“ 三 明治 ” 电容式 ＭＥ Ｍ Ｓ加 速 度计 。利
用敏 感质 量块 与 固定 电极构 成 电容 差分 结构 ， 在 有效提 高加 速度 计灵敏 度 的 同时 ， 减 小 了寄生 电容 的干 扰， 提 高 了加速 度计 的 测量精 度 ， 并 对 悬臂 梁的抗 冲 击性 能做 了仿 真分 析 ， 保证 了加 速度 计 工作 的可 靠 性 。经仿 真与理 论计 算 分析表 明 ， 该加 速 度计 在 Ｚ轴 向 的灵敏 度 为 ０ ． １ ２ ５ ｐ Ｆ ／ ｇ ， 谐振频率为 ４ ． ９ ｋ Ｈｚ ， 量
MEMS压电式加速度计
MEMS压电式加速度计MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）压电式加速度计是一种利用压电效应测量加速度的传感器。
它基于微纳技术制造而成，具有小型化、低功耗、高性能等优势，在汽车、航空航天、智能手机等领域广泛应用。
MEMS压电式加速度计的主要原理是利用压电材料的特性。
压电材料是一种在受到力或压力作用下会产生电荷的材料。
当压电材料受到加速度作用时，会产生应变，从而产生电荷。
通过测量这个电荷的大小，就可以确定加速度的大小。
MEMS压电式加速度计由压电传感器和信号处理电路组成。
压电传感器通常采用层状压电片结构，其中包含了压电材料和电极层。
当压电材料受到加速度作用时，会产生电荷，在电极间形成电压。
信号处理电路会将这个电压转换为数字信号，并进行处理和分析。
MEMS压电式加速度计具有以下优势。
首先，它是一种小型化的传感器，体积小、重量轻，可以方便地集成到其他设备中。
其次，它具有低功耗的特性，适合于电池供电的应用。
此外，它的响应速度快，可以检测频率较高的加速度变化。
最后，它的测量精度高，可以达到微米级的精度要求。
MEMS压电式加速度计在汽车行业中得到广泛应用。
例如，在车辆的安全系统中，可以通过加速度计来检测车辆的碰撞、翻滚等情况，从而触发安全气囊的打开。
此外，它还可以被用于车辆的悬挂系统、刹车系统等方面的控制和监测。
在航空航天领域，MEMS压电式加速度计可以用于火箭、导弹等飞行器的姿态控制和导航系统中。
通过测量加速度，可以确定飞行器的姿态和位置，从而实现精确的导航和控制。
在智能手机等消费类电子产品中，MEMS压电式加速度计可以用于屏幕旋转、手势识别等功能。
通过感知手机的倾斜、旋转等动作，可以实现屏幕的自动旋转、游戏的控制等功能。
总之，MEMS压电式加速度计是一种应用广泛的传感器，具有小型化、低功耗、高性能等优势。
它在汽车、航空航天、智能手机等领域发挥着重要的作用，为这些领域的发展和进步做出了贡献。
硅微加速度计调研报告
I. 近十年硅微电容式加速度计发展综述I.1. 概述MEMS加速度计具有非常广泛的应用，由于其批量制造低成本的特性，在过去的若干年广泛应用于消费电子市场，取得了巨大的成功。
然而MEMS加速度计的发展并不止步于此，新的研究成果不断出现，使人们相信MEMS加速度计不仅能在其擅长的小型化低成本低功耗方向更进一步，而且还具有冲击中高性能应用的潜力。
MEMS电容式加速度计主要有两种实现形式，一种是面内检测(In-plane)，另外一种是面外检测(Out-of-plane)，也就是z轴敏感的加速度计。
而两者对比见下表所示：同时在04年以前的工作中，硅微加速度计的精度在不断提高，同时面内和面外敏感的加速度计由于其各有特点，应用目标也不尽相同，因此都取得了很大的进步。
下图为04年前电容式加速度计的发展趋势，可以看出面外传感的加速度计在性能上相对面内传感的结构有优势。
同时加速度计的性能也在按照类似摩尔定律的规律提升。
从05年到15年，硅微电容式加速度计又经历了一段发展时期，展现出了两条相对独立的发展路线，逐渐诞生了一些产品可以适用于高端应用领域。
同时也在低成本方面有了进一步的突破。
I.2. 主要团队成果介绍A. Colibrys结构简介：其目标定位实现一系列高性能MEMS加速度计，可能用于飞行器航姿稳定系统以及更严格的空间应用。
因此采用了面外敏感（z轴敏感）的原理来实现高精度加速度计。
该公司代表性产品RS9000系列采用了一种三层硅的结构，如下图所示：每层硅片采用DRIE（深反应离子刻蚀）技术实现了非常厚的检测质量，从而降低了结构的布朗噪声。
提高了分辨率。
该三层结构中，顶层和底层为固定电极。
中间层为检测质量和支撑系统，同时三层硅通过一种Silicon Fusion Bonding（SFB）的键合技术连接在一起，保证了不同硅片之间的平衡性，同时也可以实现一个密封的腔体，从而能够控制结构所处环境的气体阻尼。
最新动态：在这个基础上，colibrys 2012年发表的文章介绍了一款导航级Sigma-Delta MEMS加速度计。
Colibrys 加速度计 MS1000 说明书
Colibrys加速度计惯性传感器MS1000 –初步数据表单轴模拟加速度计MS1000是专为惯性应用而设计的最好的同类电容式体硅MEMS加速度计。
其优异的长期零偏和比例因子重复性，低运行偏差，优异的振动行为（VRE）和低噪声，可用于非常精确和具有成本效益的战术级测量。
内部电子电路集成了一个具有差分模拟±2.7V输出的信号调理器，一个内置自检和一个温度补偿传感器。
功能原理框图主要特性 (±10g)•运行中偏置稳定性: 15 µg•非线性: ±0.3% FS•优异的长期零偏重复性: 1.2mg•恶劣环境中的可靠性•低噪声: 34 µg/√Hz•LCC20, 密封包装重要参数, 典型值MS1002 MS1005* MS1010 MS1030* MS1100* Unit加速度全量程± 2 ± 5 ± 10 ± 30 ± 100 g剩余偏置建模误差0.14 0.35 0.7 2.1 7.0 mg长期零偏重复性0.24 0.6 1.2 3.6 12.0 mg运行中偏置稳定性 3 7.5 15 45 150 µg剩余比例因子建模误差120 120 120 120 120 ppm比例因子敏感性1350 540 270 90 27 mV/g轴不对准10 10 10 10 10 mrad分辨率(1Hz) 7 17 34 102 339 µg rms非线性 (IEEE norm) 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 % FS工作温度-40 to +125 -40 to +125 -40 to +125 -40 to +125 -40 to +125 °C运行功耗10 10 10 10 10 mW尺寸9 x 9 9 x 9 9 x 9 9 x 9 9 x 9 mm2特色应用（未全列入）：航空航天 & 国防: 海军 &陆地:惯性测量单元 (IMUs) 寻北、天线、声纳定位航空电子设备（固定翼和旋翼）：FCS，自动驾驶仪，姿态系统（AHRS，待机） ,武器发射系统 - 平台稳定性GPS辅助引导&导航无人机系统ROV制导，武器发射系统，船舶导航和控制移动测绘列车定位（GPS航位推算）短程制导，机器人MWD–随钻导向MS1002 参数除非另有说明，所有数值都是在环境温度(20°C)和 3.3 V 供电 VDD 下测得。
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加速度计的半壁江山 ——电容式加速度计
• 电容式微加速度计因具有高精度、低温度敏感系数、低功耗、 宽动态范围和微机械结构等优点而成为当前国内外的研究热 点。其有很好的直流响应，较好的信噪比，负载阻抗高，受 磁场的干扰小，容易实现自检，高灵敏度，低漂移和低温度 灵敏度等，在低频响应方面可以响应静态的或直流加速度， 因此得到了广泛的应用。在当前的科学研究以及市场份额中 都是以电容式加速度计为主，占据了mems加速度计的半壁江 山。
微加速度计的最新产品
Bosch在2012推出了最新的三轴MEMS加 速度计 BMA280/BMA255 分辨率： 14位， 封装及尺寸： 2*2mm LGA(触点阵列), 制作工艺 ：200mm晶圆， 可检测最小加速度数值：0.25milli-g 集成了FIFO缓冲区和先进的中断机制 噪音仅为：120 micro-g/vHz和150 microg/vHz 以最大速率传输数据时电流只有130mA 省点模式时功耗甚至可低于10mA 接口：SPI(3-or-4wire)和IIC 工作温度：-40~+85度 特点：目前市场上还没其它2*2mm的加速 度计能够保持如此低噪音和高灵敏度
如图3-1，在电容器板间通过厚为d，相对介电常数为
εr介质，电容为
C
0 A
a d d r
,若通过的介质相对介电
常数增加△εr，列如湿度增加，成分变化时，电容增
加为：
a
d
图（3-1）
C
C
a
d
0A [d (r
r
)]
C C
r r
N2
1
1 N 3 ( r
电容式微加速度计的种类
• 压阻式电容加速度计； • 压电式电容加速度计； • 电容式电容加速度计； • 谐振式电容加速度计； • 隧穿式电容加速度计； • 热对流式电容加速度计；
MEMS电容式加速度计的结构设计原则
• MEMS电容式加速度计结构的设计要综合考虑各项性能以 达到最佳的整体性能。考虑硅材料的固有材料特性和 MEMS加速度计的实际功能，在硅微结构的设计过程中， 除了应满足具有较好的强度、易于加工和线性原则外，还 应考虑一下一些原则：
制作：WMQ、L S
概要
• 主要分四部分： • 1 MEMS微加速度计简述 • 2 MEMS电容式加速度计介绍 • 3 电容式加速度计分类及原理 • 4微加速度计的技术现状和发展趋势 • 5现阶段的技术难题和发展趋势与展望 • 6总结
加速度计简述
• 加速度计是用来测量加速度的仪器，在航天、制导、航海、以及汽车 等领域具有重要的应用价值。传感器、软件、控制和执行器、构成了 现代化汽车的重要部分，性能好、价格低的MEMS传感器和执行器正 是现代化汽车系统所需要的。微机械加速度计已经成功地应用于汽车 电子领域,包括汽车安全气囊、振动补偿、防滑系统等方面,用于提高 汽车的可操纵性、安全性和舒适性MEMS惯性传感器的发展必将促进 现代化汽车的发展。
d
d0
100 0 0
16
d0
变面积式的电容式MEMS器件原理
如图（2-1）表示通过动板极移动，引起
两极板有效覆盖面积S改变，使电容变化。 b
C0
lb
d
C
C0
C
(l
l)b d
lb
lb
d
C0
lb
d
l 图2-1
电容相对变化：
C l Cl
灵敏度为：Sn
电容式MEMS器件的工作原理及结构形式
当忽略边缘效应时，平板电容器的电容为：
S
C S 0 r S
d
d
d
0 ---真空的介电常数=8.85×1012
r
0
对真空他的值为1。
单位：cm2 ,若S取 d cm，C的单位为PF，则C r S
公式中右边三个参数任意改变那一个都可作成 d
△c1
△c2
△d1 △d2
图1-2
14
c
c0
c
0A
d0 d
0A
d0 (1 d
d0)
c0
1 1 d
d0
c / c0
d d0
1 1 d
d d0
(1
d )1 d0
d0
∵ △d/d0远小于1，展开得：
c
/
c0
d d0
[1
d d0
(
d d0
)2
现阶段微加速度计发展难题
• 1、微结构的振动质量块比较小,产生的输出信号非常微弱,基本上与机 械噪声以及电噪声同数量级,因此弱电量检测以及噪声抑制成为提高加 速度计性能的难题。
• 随着航天技术的飞速发展，小型化、多功能、机动性能强的航天武器 产品令人瞩目，并成为当今航天武器发展的一个主要趋势与此同时， 人们对航天惯性传感器在体积、重量和性能方面也提出了更高的要求， 性能优良的传感器，可以提供准确的数据；为航天武器、微小卫星的 数据提供正确依据，保证航天武器、微小卫星的安全可靠；同时也使 得航天武器，微小卫星的性能不断提高，从而促进航天事业的发展。
N4 (d
d )2
...]
（3-3）
N4既是灵敏度因子，又是非线性因子
微加速度计的技术现状和发展趋势
MEMS加速度计行业前景
美国iSuppli发布的MEMS市场调查结果，2013年加速度传感器将成 为MEMS市场上最热门的产品，加速度传感器市场2008～2013年将以年 均10％的增长率增长，2013年的销售额将达到17亿美元。从价格上看 ，占据全球50%加速度计市场ST公司的最近推出的高端LIS3DSH传感器 于2012年第一季度开始量产，1000件的单位定价1.2美元 。它是全球 首款推出±2g、 ±4g、 ±8g、 ±16g全量程覆盖三轴线性加速度计 ，预计出货量将达到16亿颗，而在智能终端这种对性能指标要求不是 非常高的领域，价格在早在2008年底就已经跌到1美元以下，并且已 经成为智能终端的标准配置。
C l
b
d
注意：极板移动时，一定要保持d不变。
见图（ 2-2） 其中a为齿宽，b为y方向的宽度
注意：△x＜a时成立，无限远的运动会形成周期性变化。
y
Cx
nb(a
d
x)
n(C0
b
d
x)
x
a
Cx
Cx
nC0
nbx
d
图2-2
Sn
Cx x
nb
d
变介电常数的电容式MEMS器件原理
灵敏度S是d0的函数，d0 越小，灵敏度越高，但d0减少，非
线性增大。
⑶、非线性误差分析：
在
c
/
c0
d d0
[1
d d0
(
d d0
)2
(
d d0
)3
...]1
d d0
(
d d0
)2
d d0
中只取2次项
则相对非线性误差为：
(d d0 )2 d
100 0 0
r
)
（3-1）
N2
1 [ r
1 (a
d
)
d
为灵敏度因子；N3
]
1[d
1 r (a
d)]
为非线性因子；
将（3-1）式展开为：
C C
r r
N 2 [1
N
3
(
r
r
)
N
3
(
r
r
)2
N3
(
r
r
)3
...]
N2、N3都与d/（a-d）有关，此值愈大灵敏度愈高，非线性愈小
• (2) 梳齿式电容加速度计
• 梳齿式硅微机械加速度计(Fingershaped Micromachined Silicon Accelerometer，简写为FMSA)因活动 电极形似梳齿而得名，又称叉指式电 容加速度计，是微加速度计的一种典 型结构。梳齿式微加速度计是梳齿式 微加速度计具有灵敏度高、温度稳定 性好、结构相对简单、功耗比较低、 直流特性好等特点，但是容易受到电 磁干扰。该类型的加速度计可以通过 把若干极板面积较小的电容并连起来 形成相对较大的电容以提高分辨率， 而且可以制作反馈结构实现闭环控制， 利于精度的提高。
为一种传感器:
12
d
a
b
c
a、b为变间距式
d
e
c、d、e为变间距式
1
f
g
f、g为变介质式
变间隙的电容式MEMS器件原理
空气介质的变间隙电容式传感器： d r
⑴、原理：
由公式知：C0
0 r A
d0
图1-1
空气介质常数=1.将一端固定，
另一端可动，这样电容值随被 测物的移动而改变。当d0减少 △d时则电容增加△c。
MEMS电容式加速度计的三种常见结构
• (1) 跷跷板摆式电容加速度计
• 跷跷板摆式电容加速度计又称扭摆式硅微 加速度计（Pendulous Micromachined Silicon Accelerometer，PMSA），因敏感质 量绕着弹性梁扭转形似跷跷板而得名。其 典型代表是美国Draper实验室于1990年研 制的微机械加速度计，其敏感质量与下面 的玻璃基片之间形成差动检测电容。由于 质量片分别位于承扭梁两边的质量和惯性 矩不相等，所以当存在垂直于质量片的加 速度输入时，质量片将绕着支撑梁旋转， 从而使相应的一对差动电容一个增大一个 减小，测量差动电容值既可得到沿敏感轴 输入的加速度。