微系统设计
微系统设计流程
微系统设计流程Microsystem design is a crucial process that involves creating intricate systems that perform specific functions within a larger system. 微系统设计是一个关键的过程，涉及创建在更大系统内执行特定功能的复杂系统。
This process requires attention to detail, precision, and innovative thinking to ensure the successful integration of various components. 这个过程需要关注细节、精度和创新思维，以确保各种组件的成功整合。
From conceptualization to implementation, every step plays a significant role in shaping the final product. 从概念化到实施，每一步在塑造最终产品中都起着重要作用。
Developing a robust design flow is essential to streamline the entire process and maximize efficiency. 开发一个强大的设计流程对于优化整个过程和提高效率至关重要。
The first step in microsystem design is defining the requirements and specifications of the system. 微系统设计的第一步是定义系统的需求和规格。
This involves understanding the functionality, performance expectations, size constraints, and other key parameters of the system. 这涉及理解系统的功能、性能期望、尺寸约束和其他关键参数。
多功能集成数字微系统设计
多功能集成数字微系统设计多功能集成数字微系统设计随着科技的发展和社会的进步，人们对于各种电子设备的需求也越来越多样化和多功能化。
为了满足人们的需求，研究者们不断致力于设计全新的多功能集成数字微系统。
该系统集成了多种功能，能够提供更加便捷和高效的服务，具有广泛的应用前景。
多功能集成数字微系统的设计首先要考虑各种电子设备的市场需求和用户的实际使用情况。
例如，智能手机是现代人们生活中不可或缺的一部分，因此，多功能集成数字微系统设计要考虑到智能手机的通信、拍照、游戏等各种功能。
此外，随着人们对健康关注的增加，多功能集成数字微系统的设计还可以加入心率检测、血压监测等健康功能，以满足人们对健康监测的需求。
在多功能集成数字微系统的设计中，硬件和软件的结合非常重要。
硬件部分包括各种芯片、传感器、显示屏等，而软件部分则包括操作系统、各种应用程序等。
在设计时，需要考虑硬件和软件之间的协调配合，以确保系统的稳定性和功能的完整性。
同时，还需要考虑系统的功耗和体积等问题，以便实现更好的用户体验。
多功能集成数字微系统的设计还需要考虑到系统的可扩展性和灵活性。
随着科技的不断进步，新的功能和应用不断涌现，因此，设计师需要充分考虑到系统的扩展性，以便在将来能够方便地升级和增加新的功能。
同时，灵活性也非常重要，用户可以根据自己的需要自定义功能和界面，以实现更好的个性化体验。
多功能集成数字微系统设计的挑战也是很大的。
首先，设计师需要具备丰富的专业知识和技术能力，熟悉各种硬件和软件的开发和集成。
其次，设计师需要了解市场需求和用户需求，以便设计出满足实际需求的系统。
此外，设计师还需要考虑到系统的成本和制造工艺等问题，以确保系统的商业可行性。
总之，多功能集成数字微系统的设计是一项很有挑战性的任务，同时也是一项具有很大潜力的领域。
通过不断的创新和努力，多功能集成数字微系统将为人们的生活带来更多的便利和乐趣，促进社会的进步和发展综上所述，多功能集成数字微系统的设计需要考虑硬件和软件之间的协调配合，系统的稳定性和功能的完整性，以及功耗和体积等问题。
微系统与中规模器件的封装技术设计
试验 。最后 列举 了微 系统封装 中的主要 问题 ， 包括封 装设 计标 准和方 法、封 装组 装和 试验 以及微 ／
中元 件 的接 口等 。
关键 词 ： 电机封 装 ；ＭＥ Ｓ Ｍ ；微 系统 ；封 装 问题 ；封 装等 级
中图分类号 ：Ｔ ０ ． Ｎ３ ５９ ４
文献标 识码 ： Ａ
ｂ ｎ ｉ ｅ ｉ ｕｓｄｉ ｄｖｃ ｖ ｌ ａｋｇｎ ． ｒｏ ｅ， ｅ ｊｒｓｕｓ ｕ ｈａ ｐｃａ ｉｇ ｅｉ ａ — ｏ ｄ ｇａ ｓ ｓｅ ｅ ｉ ｌ ｅ ｐｃ ａｉｇ Ｍｏｅｖ ｒｔ ｏ ｓｅ ｓｃ ａｋ ｇ ｓ ｎｓ ｎ ｎ ｒｄｃ ｎ ｅｅ ｈ ｍａ ｉ ｓ ｎ ｄ ｇ ｔ
第 ¨ 卷 ５期 第
ＶＯ１ １１ Ｎ Ｏ ５
电
子
与
封
装
ＥＬＥＣＴＲ０Ｎ Ｉ ＣＳ ＆ Ｐ ＡＣＫＡ ＧＩ ＮＧ
总 第９ ７期 ２１ ０ １年 ５月
封 装 、 组 装 与 涮 、 试
微 系统 与 中规 模 器 件 的封装 技术 设 计
杨 生 建
ｌｍ ｓａ ｄｐ ｃ ａ ｉ ｇｌｖ ｌ ａｎｙ ｉ ｃｕ ｅｄ ｅｌｖ ｌ ａ ｋ ｇ ｎ ｎ ｅ ｉｅｌｖ ｌ ａ ｋａ ｉ ｇ Ｄｉ ａ ｓｖ ｔｏ ， ｉ ｅ ｎ ａ ｋ ｇ ｎ ｅ ｅｓｍ ｉｌ ｎ ｌ ｄ ｉ ｅ ｃ ａ ｉ ｇａ ｄ ｄ ｖｃ ｅ ｃ ｇ ｎ ． ｅｐ ｓ ｉａｉ ｎ ｄｅ ｅ ｐ ｅ ｐ
文章编号 ：１８ 一０ ０（ ０ １ ５０ ０ ．５ ６ ｌ１７ ２ １ ）０．０ ５０
Ｐａ ｋａ ｉ ｇ Ｄｅ ｉ ｎ ｏ ｉ ｒ ｓ ｓ ｅ ｓａ ｄ Ｍ ｅ ｏ ｓ ａ ｅＤｅ ｉ ｅ ｃ ｇ ｎ ｓｇ ｆＭ ｃ ｏ ｙ ｔ ｍ ｎ ｓ － ｃ ｌ ｖ ｃ ｓ
微型机系统与接口技术课程设计
微型机系统与接口技术课程设计一、题目理解微型机系统与接口技术课程设计是一门计算机科学课程，主要研究关于微型机系统与接口技术的开发和应用。
这门课程为电子信息工程专业的高级课程，旨在让学生了解微型机系统与接口技术，并能够独立开发和设计相关系统。
二、课程目标微型机系统与接口技术课程设计主要目标如下：1.让学生了解微型机系统与接口技术的相关知识和理论基础；2.增强学生的技术实践能力，让他们可以独立设计和开发相关系统；3.提高学生的团队协作能力，让他们能够有效沟通和合作；4.培养学生的创新意识和解决问题的能力，让他们具备创新思维和综合运用知识的能力。
三、课程内容微型机系统与接口技术课程设计的内容包括以下几个部分:1. 微控制器原理学生首先需要掌握微控制器的基本原理，包括器件和接口特性、指令系统、存储器体系结构等。
这些基础知识对于学生后续的学习和设计非常重要。
2. 编程语言学生需要学习至少一种微型机编程语言，如C语言、汇编语言等。
这些编程语言在微型机系统的开发中得到广泛应用，掌握这些语言对于学生的就业和职业发展也非常有帮助。
3. 系统设计在微型机系统设计中，学生需要学习和掌握多种设计方法和技能，包括电路设计、硬件设计、软件设计等。
通过真实项目的设计，学生可以锻炼自己的设计思维和能力。
4. 项目实践微型机系统与接口技术课程设计中的项目实践是非常重要的一部分。
学生需要在指导教师的协助下，完成一个实际的微型机系统设计项目，此过程需要学生实际操作和调试，并最终呈现完整的系统设计方案。
四、学习方法在学习微型机系统与接口技术课程设计的过程中，学生需要采用一些有效的学习方法，如下所示：1. 自主学习学生需要主动学习，积极阅读相关的教材、论文和文献，了解最新的技术发展和应用。
学生需要保持敏锐的思维和学习意识，自我激励，并在自学的基础上，积极和指导教师交流。
2. 合作学习在项目实践中，学生们需要分组合作，并根据自己的特长和能力分工合作，共同完成任务。
微系统工艺技术
微系统工艺技术微系统工艺技术（Microsystem technology）是一种综合应用物理学、材料学、计算机技术、电子技术、光学技术、机械工艺等多学科知识的前沿技术，主要用于设计、制造和应用微小尺寸的部件、器件和系统。
它的核心思想是将传感器、执行器、微处理器和通信模块等功能集成在一起，形成一种体积小、功耗低、功能强大的微型系统。
微系统工艺技术最早应用于军事和航天领域，随着科学技术的进步和工业发展的需求，越来越多的行业开始采用微系统工艺技术。
目前，微系统技术在通信、医疗、交通、环保、能源等领域都有广泛应用。
微系统工艺技术的最大特点是多学科融合，不仅需要对物理学、材料学、机械工艺等基础科学有深入的理解，还需要能够进行系统设计和工艺加工的能力。
首先，微系统工艺技术需要充分理解材料的性能和特性，在设计和制造过程中选择合适的材料。
其次，微系统工艺技术需要掌握精确的加工工艺，以保证微尺度的部件和器件的制造精度。
最后，微系统工艺技术还需要合理的封装和组装技术，以确保微系统的可靠性和稳定性。
微系统工艺技术的应用非常广泛。
在通信领域，微系统工艺技术可以用于制造小型的天线、滤波器和射频开关等部件，提高通信设备的性能和功能。
在医疗领域，微系统工艺技术可以用于制造微型的生物传感器和医疗设备，实现无创医疗和远程监护。
在交通领域，微系统工艺技术可以用于制造车载传感器和控制系统，提高交通运输的安全性和效率。
在环保领域，微系统工艺技术可以用于制造微型的传感器和控制系统，实现对环境的监测和控制。
在能源领域，微系统工艺技术可以用于制造微型的发电设备和储能装置，提高能源利用效率。
微系统工艺技术的发展前景非常广阔。
随着科学技术的进步和工业需求的增加，微系统工艺技术将继续发展。
未来，我们可以预见微系统工艺技术将在更多的领域得到应用，其应用范围将进一步扩大，并带来更多的创新和发展机会。
总之，微系统工艺技术是一种综合应用物理学、材料学、计算机技术、电子技术、光学技术、机械工艺等多学科知识的前沿技术，能够制造小型、功能强大的微型系统。
《微系统设计》PPT课件
Lab on a Chip
安捷仑公司的Bioanalyzer 样品处理、分离、检测、分析集成于一体
Major Barriers in MEMS Development：
Lack of MEMS “foundry facilities” that allow industries to design and fabricate their products to fully take advantages of MEMS. Material processing technology—forming extremely small scale sturctures by using nano-materials and functional materials. MEMS material properties characterization—Mechanical properties, reliability, bio-compatiblities. Integration—MEMS packaging that differ from IT industry.
• 光刻 • 薄膜加工 • 结构成型
4. 力学设计
• 力学设计的目的主要是确定微系统在正常操作和系统 过载的情况下受到特定载荷的结构完整性和可靠性。 • 常见的负载
▫ 集中力、分布力、动态或者惯性力、热应力、摩擦力
• MEMS中常见的力
▫ 范德华力 ▫ 静电力 ▫ 压电导致的表面力 （机械变形－>力）
• 成本
▫ 材料和加工方法的选择
• 材料的基本性能（力学、热学、化学、光学、电 2.2 材料选择 学等） • 材料的功能特性、价格 • 材料的可加工性（加工方法、加工范围、加工能 力等）
基于微型光谱仪的多参数水质检测微系统设计与实验
１空 ；－ 一 ２蒸馏水； － ３ 水样： － Ｓ ４ Ａ 标准溶液； － 甲蓝溶液； － ５亚 ６六价铬标准溶 液： ．一 ７ 苯碳酰 肼溶液：一 发酚标准溶液： － ８挥 ９氨基氨替 比林溶液； ０过硫 １． 酸钾溶液： ｐ 缓冲液： ２铅标准溶液： ３双流腙氯仿溶液； ４柠檬酸铵． ｌ －Ｈ １ １． １． １一 氨水溶液： ． １ 氨氮标准溶液； ６水杨酸钠溶液； ０硫酸亚铁溶液； １ ５ １． ２一 ２一 烈氧 水溶液； ２总磷标准溶液：３ 铜酸铵溶液； ４ 抗坏血酸溶 液 ２． ２一 ２一
＊通 讯 联 系人 ｅｍａｌ ｗｚ ＠ｃｕ ｅｕ ｃ ￣ ｉ ： ｙ ｑ ．ｄ ． ｎ
ｅ ａ ： ｅｕ ｎ ｅ ６ ．ｏ － ｉ ｚｙ ａ ｗ ｉ ３ ｃｒ ｍ ｌ ＠１ ｎ
２ １ ００
１２ 检 测 系 统 ．
光谱学与光谱分析
第 ３ ２卷
浴恒温原理 ， 设计了一个 集光谱检 测 、自动恒温 、搅拌 与清 洗等功能于一体 的多功能微小 型样 品反应 检测室 。使得整个 系统在 多功 能集 成方 面具有一定 的技术优 势 ， 品反应检测 样 室的具体设 计原 理与结构 如图 ４所示 。
参数的准确检测 ， 满足水质多参数在线监测 的应用技术要求 ，同时具有很大 的功能扩展性 。 关键词 水质检测 ； 微系统 ；多参数 ；微型光谱仪
文 献 标识 码 ： Ａ Ｄ ：ｉ ． ９４ ｊｉ ｎ １ ０—５ ３ ２ １ ）７２ ０—６ ＯＩ ０ ３ ６ ／． ｓ ．０ ００ ９ （０ ２ ０ —０ ９０ ｓ
灯
抽送到样品室 ， 品与试 剂在 检测室 反应 后 ，经光 谱 分析 ， 样 可 以获取该水质参数 的浓 度信 息。系统采用高性 能步进 电机
驱动的高精度（ 进样体积 ０ ２ 进样误差 ±１ ） 低 成 ． ～３ ， ｍＩ 、
MEMS技术
MEMS技术
三、MEMS微传感器的研究现状与发展方向
MEMS未来的发展趋势为微细化、集成化、多元化与产业化四方面。
1．微机械压力传感器
分类：压阻式和电容式两类。 结构：圆形、方形、矩形、E形等多种结构。
发展方向:
1）智能化
2）低量程
3）拓宽温度范围
4）开发谐振式微机械压力传感器
2．微加速度传感器
分类：压阻式、电容式、力平衡式和谐振式。
第二轮商业化出现在20世纪90年代，主要围绕着PC和信息技术的 兴起。
第三轮商业化可以说出现于世纪之交，微光学器件通过全光开关及 相关机器而成为光纤通信的补充。
目前MEMS产业呈现的新趋势是产品应用的扩展，其开始向工业、 医疗、测试仪器等新领域扩张。推动第四轮商业化的其他应用包括一 些面向射频无源元件、在硅片上制作的音频、生物和神经元探针，以 及所谓的“片上实验室”，生化药品开发系统和微型药品输送系统的 静态和移动器件。
图4-14 微气敏传感器
MEMS技术
6．微机械温度传感器
微机械传感器与传统的传感器相比，具有体积小、重量轻的特 点，其固有热容量仅为10-8～10-15J/K，使其在温度测量方面具 有传统温度传感器不可比拟的优势。
物联网
MEMS技术
图4-13 质量流量传感器
MEMS技术
5．微气敏传感器
气敏传感器的工作原理是声表面波器件的波速和频率会随外界环 境的变化而发生漂移。气敏传感器就是利用这种性能在压电晶体表 面涂覆一层选择性吸附某气体的气敏薄膜，当该气敏薄膜与待测气 体相互作用（化学作用、生物作用或物理吸附），使得气敏薄膜的 膜层质量和导电率发生变化，引起 压电晶体的声表面波频发生 漂移；气体浓度不同，膜层 质量和导电率变化程度亦 不同，即引起声表面 波频率的变化也不 同。通过测量声表 面波频率的变化就 可以准确地反映气 体浓度的变化。
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微系统设计•Introduction•General Design Methodology •Fabrication Processes Design •Model design and Analysis •FEM Analysis •Computer Aided Design •MEMS Design Sample1. Introduction MEMS Markets惯性元件微流体元件:微喷——喷墨打印头微喷——喷墨打印头热气泡驱动，频率达30 kHz，分辨率达600 dpi微光学元件DLPLab on a Chip安捷仑公司的Bioanalyzer样品处理、分离、检测、分析集成于一体Major Barriers in MEMS Development：Lack of MEMS “foundry facilities”that allow industries to design and fabricate their products to fully take advantages of MEMS.Material processing technology—forming extremely small scale sturctures by using nano-materials and functional materials.MEMS material properties characterization—Mechanical properties, reliability, bio-compatiblities.Integration—MEMS packaging that differ from IT industry.The Design of MEMS•系统设计不是单个部分设计的简单组合•器件工作原理•器件设计•器件制造方法•产品的结构完整性和可靠性•微系统设计和通常机械工程设计的不同•需要针对现有的微细加工工艺进行设计整合•微系统设计的主要任务•工艺流程设计•机电和结构设计•器件封装和测试等设计验证2. General Design Methodology产品定义初始设计材料选择设计约束制造工艺信号转换机电系统封装测试概念设计设计分析设计确认投片、测试产品设计的主要内容：•设计约束•材料选择•制造工艺•信号变换转换•机电设计•器件封装2.1 设计约束•客户需求•进入市场时间•与同功能的产品相比，需要考虑到性能/价格比•更短的研发周期，意味着更多的利润•环境条件•力学、热学、化学、电磁环境等•需要考虑器件的热应力、应变、材料变性、信号衰退等•物理尺寸和重量限制•性能/体积质量比？•特别是在一些特殊应用场合•应用•制造设备•保证器件加工质量•减少加工周期和成本•设备的可用性•成本•材料和加工方法的选择2.2 材料选择•材料的基本性能（力学、热学、化学、光学、电学等）•材料的功能特性、价格•材料的可加工性（加工方法、加工范围、加工能力等）•基底材料•硅Si、砷化镓GaAs、石英、聚合物（有机玻璃PMMA、聚碳酸酯PC、聚苯乙烯PS、聚酰亚胺PI ）•功能材料•压电特性•其他传感特性•多孔反应特性•封装材料•陶瓷（氧化铝、碳化硅）、玻璃（耐热玻璃如Pyrex派勒斯、石英）、粘结剂、引线、端板和外壳、芯片保护装置2.3 制造工艺选择•表面微加工•体硅微加工•LIGA、S-LIGA微加工•其他微加工2.4 信号转换选择•化学、光、热、机械能以及MEMS 器件的其他物理行为和电能之间的相互转换变换器电信号信号处理传感器信号：机械、热、光、声、化学等变换器电信号能量供给致动器：机械、热、光、声、化学等运动图1 传感器的信号转换图1 致动器的信号转换压电、压敏电阻、电容、谐振器等压电、静电、电磁、电阻加热等2.5 机电系统2.6 封装3. Fabrication Processes Design•光刻•薄膜加工•结构成型4. 力学设计•力学设计的目的主要是确定微系统在正常操作和系统过载的情况下受到特定载荷的结构完整性和可靠性。
•常见的负载•集中力、分布力、动态或者惯性力、热应力、摩擦力•MEMS中常见的力•范德华力•静电力•压电导致的表面力（机械变形－>力）•MEMS中力分析的特点•和微加工工艺密切相关，例如各种薄膜的制备、压铸塑铸结构件、微电铸应力•受到微尺度效应影响，材料的本构定律以及本构方程可能会发生变化5. 有限元方法•FEA分析的一般步骤•确定所分析问题的基本模型和基本方程•建模•网格划分•材料属性和边界条件指定•求解条件指定•求解•后处理•FEA分析结果的检验6. MEMS Design Sample Lab on Chip•毛细管电泳网络系统电渗在外加电场作用下体相溶液朝着一个方向运动的现象电泳是在电场作用下带电粒子的定向移动ep ep V E μ=电泳eo eo V Eμ=⨯ep eoV V V =+毛细管电泳的基本原理ep ep V E μ=不同的样品，其电泳速度不同，因此在分离管道中，发生分离过程毛细管电泳芯片：在常规CE 原理与技术的基础上，利用现代微细加工技术在数平方厘米面积的芯片上制作出微管道和其他的功能单元，通过不同的毛细管电泳微管道、反应器、检测单元等的设计和布局，实现检测物的进样、反应、分离和检测的微型实验装置。
毛细管电泳芯片用于样品分离检测的原理毛细管电泳芯片和常规电泳仪的比较•液体驱动方式•电渗驱动VS 压力驱动•管道长度•～10cm VS ～70cm•驱动电压（场强）•200V/cm VS 30kV•检测方式•方法多样VS 光学•体积•体积小、便携性好VS 体积庞大•检测效率（并行）•数分钟、可并行VS 几十分钟•样品需求量•需求量小VS 需求量大•价格•低成本VS•产品成熟度Yining Shi等研制出了96根分离泳道的毛细管阵列电泳芯片,在两分钟内同时分离96个pBR322样品芯片示意图荧光检测电泳图谱基因测序2001年2月12日，中、美、日、德、法、英等6国科学家和美国塞莱拉公司通过ABI3700毛细管测序仪，在短短九个月内便测序完成人类基因组图谱（共一百四十八亿个碱基对）阵列电泳芯片96根电泳管道阵列芯片检测装置环境分析电化学检测的毛细管电泳芯片Life on Mars?---Detecting amino acids on the red planet•外太空有生命吗？•生命存在的必要条件•liquid water（水是生命之源）•organic molecules capable of forming combinatorial polymers•a redox energy source•火星上可能存在水•通过穆斯堡尔谱探测发现到有黄钾铁矾盐，这只能在有水的条件下形成•“机遇号”(Opportunity)火星探测器探测到可能是由于水流冲击行程的痕迹•氨基酸在生命科学中的地位•氨基酸和核苷酸是动植物体内普遍存在和最最重要的两种生物小分子，它们是建造生命大厦的砖块和石头。
•目前地球上的氨基酸全部是左旋手性的，具有可以合成为蛋白质的特性。
右旋的氨基酸存在于外太空。
如果能够探测到火星上的氨基酸呈现左旋特性，则可以证明这些氨基酸是来之具有生命存在的星球。
目前陨石中发现的氨基酸都是消光旋特性的，即左旋和右旋基本一致。
MOA•Mars Organic Analyzer (MOA) was flied to aboard NASA/s roving, robotic Mars Science Laboratory mission and/or the European Space Agency's ExoMars mission, both scheduled for launch in 2009.Twodevelopment grants from NASA totaling nearly $2.4 million。
Atacama Desert ，ChileThe Rock Garden –one of the soil sampling sites in theAtacama Desert, Chile The Soil Pit –another soil sampling site in the Atacama DesertPanoche ValleyAn overview of the Panoche Valley site, with the RV inthe distanceLife on Mars?---Detecting amino acids on the red planet6.1 系统的基本描述•系统组成：高压电源、微管道、驱动电极、检测装置（光学检测、电化学检测）产品定义初始设计设计约束制造工艺信号转换机电系统封装测试材料选择概念设计设计分析设计确认投片、测试6.2 系统的初始设计•设计约束•低成本、便携性、电极集成…•材料选择•基底材料（玻璃、高聚物等）•薄膜微电极（Pt，Au等）•制造工艺选择•光刻法•体硅工艺法•UV－LIGA法•信号变换•化学－>光学信号？电学信号？•机电系统设计•微流体驱动、控制特性等•封装毛细管电泳芯片材料检测加工石英、玻璃PDMS PMMA光学检测电化学检测质谱检测微管道驱动电极键合封装特点：多功能、快速、高效、低耗和便携性应用：生物、化学、环境、药品、食品、医疗等领域具有广阔的市场化前景✓批量化✓集成化✓便携化✓质量高6.3 设计分析芯片结构设计原型样机制作测试检验是否符合要求批量化制作否加工和工艺设计芯片批量化制作工艺研究流程电泳芯片制作方法短周期，单件周期长，批量化集成化PMMA －SU8PMMA-PMMA光刻法UV-LIGA 法Lift-Off 法热压键合法表面改性键合法微管道微电极键合封装样机制作批量制作芯片的设计直接应用到批量制作工艺中❑微管道加工方法腐蚀法、刻蚀法直接光刻法注塑、热压模法注塑、热压模法镍模具电镜图PMMA微管道电镜图热压键合封装(1) 在真空热压模设备中进行PMMA的热压键合电泳芯片原型样机的制作示意图工艺难点：1）金属微电极在PMMA基底上的黏附性；2）PMMA基底透光性对曝光的影响电泳芯片原型样机制作的工艺流程图PMMA 基片处理涂胶前烘紫外曝光后烘坚膜涂胶烘胶紫外曝光显影紫外曝光溅射镀膜显影去胶涂胶前烘紫外曝光后烘显影坚膜等离子体处理钻孔等离子体处理等离子体处理真空热压键合键合后的CE 芯片样机Lift-Off 工艺黏附层制作UV 光刻工艺热压键合工艺芯片的批量化制作工艺Lift －Off 工艺制作微电极UV －LIGA 工艺制作镍模具PMMA 基片上机械加工缓冲池热压模法制作微管道芯片键合封装电泳芯片批量化制作工艺原理1.曝光2.电镀PMMA 表面改性键合。