DIP十二工位全自动超声波清洗机的应用
超声波清洗机使用方法

超声波清洗机使用方法超声波清洗机是一种利用超声波的机械振动效应进行清洗的设备,广泛应用于实验室、医疗、电子、光学、汽车等行业。
下面将为您详细介绍超声波清洗机的使用方法。
1. 准备工作首先,确认超声波清洗机的电源线是否接好,并且确保设备的电源开关处于关闭状态。
接下来,将洗液加入清洗槽内,注意不要超过清洗槽的最大容量线。
根据清洗物品的情况,可选择不同的洗液,通常使用的洗液有水、酒精、清洁剂等。
2. 放置清洗物品将待清洗的物品放置在清洗槽内,注意每个物品之间的间隔应保持合适,以免相互影响。
同时,要确保物品完全浸没在洗液中,以保证清洗效果。
3. 设置参数打开超声波清洗机的电源开关,并通过控制面板设置清洗参数。
通常可以调节的参数有清洗时间、清洗温度、清洗功率等。
根据物品的特性和清洗要求,可以设置不同的参数。
一般情况下,清洗时间可根据物品的尺寸和污染程度来确定,一般建议清洗时间在3-10分钟之间。
4. 清洗操作设定好参数后,按下开始按钮,超声波清洗机开始工作。
在清洗过程中,超声波会通过洗液产生微小的气泡,这些气泡不断产生和破裂,产生巨大的能量释放,从而产生强大的冲击和刮擦力,有效地清洗物品表面和内部的污垢。
在清洗过程中,可以观察物品的清洗情况,如发现污垢未完全清除,可适当延长清洗时间或进行二次清洗。
另外,也可以适量调整清洗温度和清洗功率来提高清洗效果。
5. 清洗结束清洗结束后,关闭超声波清洗机的电源开关。
取出清洗物品并用清水冲洗干净,确保洗涤剂和污垢完全清除。
最后,将物品晾干或用吹风机吹干,完成整个清洗过程。
需要注意的是,不同类型的物品和材质可能需要不同的操作方法和清洗参数。
在使用超声波清洗机前,应仔细阅读设备的使用说明书,并根据实际情况进行操作。
另外,在清洗过程中要注意自身安全,避免触摸超声波振子和电源线,以免发生意外。
以上就是超声波清洗机的使用方法。
通过合理设置清洗参数和注意操作细节,可以高效地完成清洗工作,保持物品的清洁和安全。
汽车零配件超声波清洗机的应用介绍

汽车零配件超声波清洗机的应用介绍
汽车零配件超声波清洗机是一种利用超声波振动原理来清洗汽车零配件的专用设备。
它将汽车零配件放入清洗槽中,通过产生的超声波振动,可以在短时间内彻底清洗零配件表面的污垢和油脂。
汽车零配件超声波清洗机的应用包括但不限于以下几个方面:
1. 清洗发动机零部件:发动机是汽车的核心零部件之一,但长时间使用后会产生大量的油垢和碳积,影响发动机的工作效率和寿命。
使用超声波清洗机可以彻底去除发动机零部件表面的油垢和碳积,提高发动机的性能和可靠性。
2. 清洗制动零部件:制动系统是汽车安全性的重要组成部分,但制动器和制动盘等零部件常常会因为长期使用而积累油污和灰尘,导致制动力下降。
超声波清洗机可以将制动零部件中的油污和灰尘彻底清除,恢复制动系统的正常工作状态。
3. 清洗汽车电子元件:现代汽车中使用了大量的电子元件,如控制模块、传感器等。
这些电子元件对环境的要求较高,一旦受到油污或污水的污染,可能导致电子元件故障。
超声波清洗机可以将电子元件表面的污垢和油污清除,确保电子元件的正常运行。
4. 清洗空调系统零部件:汽车空调系统常常会产生细菌、霉菌和异味等问题,这主要是由于空调系统中的零部件经常接触到湿润的环境。
超声波清洗机可以帮助清洁空调系统中的零部件,
去除细菌和异味,提高空调系统的工作效果和空气质量。
总之,汽车零配件超声波清洗机的应用范围广泛,可以帮助汽车维修保养人员快速、高效地清洗汽车零配件,提高汽车性能和可靠性,延长汽车零配件的使用寿命。
超声波清洗器的工作原理及使用【详细版】

超声波清洗应用原理及正确使用超声波设备超声波清洗的应用原理超声波清洗的应用原理是由超声波发生器发出的高频振荡信号,通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质,清洗溶剂中超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射,使液体流动而产生数以万计的微小气泡,存在于液体中的微小气泡(空化核)在声场的作用下振动,当声压达到一定值时,气泡迅速增长,然后突然闭合,在气泡闭合时产生冲击波,在其周围产生上千个大气压力,数百度的高温,利用闭合时的爆炸冲击波破坏不溶性污物而使它们分散于清洗液中,当团体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时,油被乳化,固体粒子即脱离,从而达到清洗件表面净化的目的。
由于超声波固有的穿透力,所以可以清洗各种表面复杂,形状特异的物件,对小孔和缝隙都有很好的清洗效果,对不吸音或吸音系数小的物体清洗效果最佳。
正确使用超声波设备1、了解超声波用超声波可以分为三种,即次声波、声波、超声波。
次声波的频率为20Hz以下;声波的频率为20Hz~20kHz;超声波的频率则为20kHz以上。
其中的次声波和超声波一般人耳是听不到的。
超声波由于频率高、波长短,因而传播的方向性好、穿透能力强,这也就是为什么设计制作超声波清洗机的原因。
2、超声波如何完成清洗工作超声波清洗是利用超声波在液体中的社会化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。
目前所用的超声波清洗机中,空化作用和直进流作用应用得更多。
(1)空化作用:空化作用就是超声波以每秒两万次以上的压缩力和减压力交互性的高频变换方式向液体进行透射。
在减压力作用时,液体中产生真空核群泡的现象,在压缩力作用时,真空核群泡受压力压碎时产生强大的冲击力,由此剥离被清洗物表面的污垢,从而达到精密洗净目的。
(2)直进流作用:超声波在液体中沿声的传播方向产生流动的现象称为直进流。
声波强度在0.5W/cm2时,肉眼能看到直进流,垂直于振动面产生流动,流速约为10cm/s。
实验室超声波清洗机

实验室超声波清洗机特点
• 1、1-99分钟时间可调,精确计 算到秒 • 2、0-80℃温度可调 • 3、工业级单片机芯片控制 • 4、数码显示器,时间、温度一 目了然 • 5、柔性线路板控制,更具安全 性、稳定性 • 6、超声波频率40KHz
•
实验室超声波清洗机技术参数
• 电源电压:AC 220~240V,50Hz
• • • •
AC 100~120V,60Hz 排水:有 降音盖:标配 加热:有
• 网篮:可选 • TL:一三七一三九六零六零零
实验室超声波清洗机
实验室丏用超声波清洗机用途、规格型号以及技术参数
实验室超声波清洗机用途
• 实验室超声波清洗机主要用于 清洗各种实验室仪器、容器类 、 各种口服液容器,食品玻璃金 属容器,化妆品容器类,包装 容器类,牙科器具清洗、检验 板。
实验室超声波清洗机的实用性
• 超声波清洗的方便性与实用性。 对于实验玻璃器皿的内壁的一 直是人手洗不到不干净,实验 室超声波清洗机就很好的解决 了这个问题。 • 由于超声波的能量能够穿透玻 璃器皿的内壁和细微的缝隙、 小孔、死角,故可以应用于任 何玻璃器皿、试管、烧杯、零 部件或装配件的清洗。当被清 洗件为精密玻璃器皿、部件或 装配件时,超声清洗往往成为 能满足其特殊技术要求的唯一 的清洗方式。
超声波清洗技术的研究与应用

超声波清洗技术的研究与应用随着科技的不断发展,各种先进的清洗技术得到了广泛应用。
其中,超声波清洗技术,作为一种高效的清洗方式,备受青睐。
本文将从超声波清洗技术的原理、研究现状、应用及发展前景等方面进行阐述,旨在让读者对该技术有更深入的认识。
一、超声波清洗技术的原理超声波是一种高频、高振幅的机械波,其频率一般在20kHz以上。
超声波清洗技术,也称作声波清洗技术,是利用超声波在清洗液中的振动作用下,使沾附在被清洗物表面的污垢迅速溶解、脱落的一种清洗方式。
其主要原理包括:1.超声波的机械振动作用。
超声波波动时,会在液体中形成高压区和低压区,形成剪切力和挤压力,使液体中的分子运动增强,从而搅动清洗液,击碎污垢;同时,也能促进被清洗物表面的污垢迅速溶解和脱落。
2.超声波的共振增强作用。
在清洗液中,存在一些含气泡的污垢,如油污、泥浆等,这些污垢与液体之间存在共振作用。
当声波的频率等于气泡的固有频率时,就会发生共振增强现象,产生更强的撞击力,从而加速污垢的分解和清洗。
二、超声波清洗技术的研究现状随着超声波清洗技术的不断发展,其岗位、口径、功率和清洗介质等方面,都有了进一步的改善和完善。
1.超声波清洗机的种类种类繁多。
目前市场上主流的超声波清洗机有:一次清洗机、多次清洗机、多立方清洗机。
其中,一次清洗机适用于对小批量且质量要求高的清洗;多次清洗机适用于对大批量产品的清洗;多立方清洗机适用于大块件或特殊形状产品的清洗。
2.超声波清洗机的口径逐渐增大。
商用超声波清洗机的口径通常在2~50mm之间,而在一些工业生产环境中,需要进行大口径清洗。
因此,需采用特种超声波清洗机,其口径可达到500~1000mm。
3.超声波清洗机的功率逐渐增大。
随着清洗物的粘附和污垢的累积,超声波的清洗效果可能会大打折扣,因而需要不断提高超声波清洗机的功率。
目前,商用清洗机的功率通常在20~50W之间,而一些大功率清洗机的功率能达到数千瓦。
4.清洗介质得到改善。
超声波清洗机的原理与应用

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图6专用起声波清洗设备
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1.进抖:物件进科可采用半自动进料或手工进#方式。将搜清洗物件均匀排列在转送
网带上.
2. 前道啧淋:是用清洗液(水、煤油等)将物件表面的灰尘等颗粒物喷刷掉.
下载时间:2009年12月24日
田1为两种清洗方法洗净效果比较.
1.超声波清洗的原理
把液体放入清洗橹内,给橹内作用起 声波.由于超声泣与声波一样是一种藏密 的振动渡,介质的压力作交替变化.如果 对液体中某一确定点进行观察,这点的压 力如图2曲线^所示.以静压(一般一个 大气压)为中心,产生压力的增减,若依 次增强超声波的强度。则压力振幅也随着 增加,像图2曲线B那样,并产生负的压
漫没式换能器
送到由电加热的烘道中烘干.
7. 吹冷风:是由专用出口风机将冷风吹到烘干的物件上,冷却物件.
8. 出抖:物件出料可采用自动收科或手工收科方式。将被清洗物件装入包装盒内.
通过上述工序就完成了物件实现荆用起声波清洗的全过程.
目前,还有一种起声汽相清洗机,它是选用有机洛搁作清洗液,具有极强的j蓥解污垢的
空空
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静压
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时间
圈2清洗糟内裹体的某一点受压情况
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所谓负压,但实际上负的压力是不存在的,这是在液体中产生撕裂的力,且形成真空的 空泡,并被后面的压缩力压挤而破灭.这种在声场作用下的振动,当声压达到超声波清洗一 定值时,气泡将迅猛增长,然后又突然闭合,在气泡闭合时,由于液体闽相互碰撞产生强大 的冲击波,在其周围产生上千个大气压的压力.这也就是所说的。超声空化”.超声清洗就 是利用了空化作用的冲击波,其清洗过程中由下列四个因素作用所引起.
医用超声波清洗机的原理和使用方法
医用超声波清洗机的原理和使用方法嘿,恁问医用超声波清洗机啥原理和咋使啊?这事儿咱得好好唠唠。
先说这原理哈。
这超声波清洗机啊,就跟个神奇的小魔法师似的。
它是通过发出一种咱耳朵听不见的超声波来干活儿。
这超声波在水里一震啊,就会产生好多小泡泡。
这些小泡泡可厉害咧,它们会不停地爆开,产生一种冲击力。
就像一群小蚂蚁在使劲咬脏东西一样,把那些沾在医疗器械上的污垢啊、细菌啊啥的都给冲掉喽。
再说说使用方法。
先得把清洗机准备好哇,看看有没有坏的地方,通上电试试。
要是不好使,那可不行。
就跟出门前得检查检查车有没有毛病一样。
然后把要洗的医疗器械放进去。
可别乱放啊,得摆整齐喽。
要是乱七八糟地扔进去,那洗不干净不说,还可能弄坏器械。
就跟收拾屋子似的,得规整好。
接着加上水。
这水不能加太多,也不能加太少。
加多了容易溢出来,加少了又洗不干净。
得掌握好那个度。
就跟做饭加水似的,得合适。
打开开关,让清洗机开始工作。
这时候就能听到嗡嗡的声音,那就是超声波在干活儿呢。
别害怕,这声音不大,也不会伤着人。
等洗好了,把器械拿出来。
看看洗得干不干净,要是还有脏的地方,就再洗一遍。
可不能马虎,医疗器械得洗干净了才能用,要不病人不得遭罪啊。
俺们镇医院就有个医用超声波清洗机。
有一回,医生要给一个病人做手术,那些手术器械得赶紧洗干净。
就用了这个清洗机。
医生们先把器械摆好,放进清洗机,加上水,打开开关。
不一会儿,器械就洗得干干净净的。
医生们可高兴了,说这个清洗机真好用。
咱要是用医用超声波清洗机呢,也得像医生们这样,仔细着点。
别瞎弄,按照步骤来。
这样才能把医疗器械洗干净,保证病人的安全。
反正啊,这医用超声波清洗机原理不难懂,使用方法也不复杂,只要用心,就能用好。
要不,洗不干净器械,那可麻烦了。
超声波清洗机的应用范围
超声波清洗机的应用范围一、超声波清洗机的应用范围1.汽车、摩托车:车架、车轿、底盘、发动机缸(套)、活塞环、水箱、油箱、减震器、化油器、制动泵、油咀等零部件清洗。
2.机械:液压件(系统)、轴承、齿轮、五金件、乳胶模具、其它各种金属结构件、冷热轧材等去油、去锈、去氧化皮。
3.真空离子镀膜:不锈钢板、刃量工具、关键零件、精密五金、玻璃、工艺美术制品、树脂片、首饰、灯饰、钟表零件、镜片、镜架、透镜等镀膜前高清洁度清洗。
4.家电:彩电、冰箱、空调等结构件漆(涂、镀)前处理,彩显管零件、音频磁头等清洗。
5.电子、半导体:线路板、电子元器件、半导体材料等去污。
6.化纤:喷丝板、绦纶过滤芯等微孔去污。
7.医疗器械:生产制作过程中和使用后消毒时的清洗。
8.饮食容器:酒瓶、饮料瓶、不锈钢餐(厨)具等清洗。
9.军工、航空产品:子弹、炮弹、枪械、装甲、飞机等零部件清洗。
10.机电:轴(套)、线圈材料、磁性材料清洗;线圈、变压器、整流器、电机采用超声波浸漆,可有效加速浸漆速度,提高浸漆质量。
超声波清洗技术在以上和其它领域的应用十分广泛,甚至应用到日常生活中清洗金银首饰、酒店餐饮具等,大大提高了工作效率和清洗质量。
随着经济的发展、科学技术的进步,超声波清洗技术将被更普遍地应用在生产和生活的各个领域。
六、主要技术参数主要适用于汽车摩托车的零部件、金属冲压件、电子电器零部件、油泵油嘴、压缩机零件、半导体硅片、电镀行业前处理及化纤行业的喷丝板与过滤芯的清洗。
规格型号CJT-300 CJT-600 CJT-900 CJT-1200 CJT-1500 CJT-2000 CJT-2500 CJT-3000超声功率300W 600W 900W 1200W 1500W 2000W 2500W 3000W超声频率25、28、40KHZ输入电压220V清洗槽(内)300×200 350×300 500×300 500×400 600×400 600×550 700×600 800×650×200 ×200 ×200 ×250 ×250 ×250 ×300 ×300清洗槽(外)400×300 500×400 600×400 600×500 700×500 700×650 800×700 900×750×450 ×450 ×450 ×500 ×500 ×500 ×550 ×550二、操作指南1、检查清洗槽,保证槽内有适量的水(水位至少应高出换能器盒200mm以上)。
超声波清洗机工作原理和使用
头入水约10mm~15mm。调节进水阀 使系统进出水平衡。
4.接通电源,确认电气控制柜内空气开
关合上,将面板开关合上,这时面板 上定时器指示灯亮。系统准备就绪。
滤芯清洗操作步骤
开始清洗 根据清洗工件的要求,设定定时器清洗时间。 选择按下控制柜移动绿色开关,即为开,振 动子沿X轴方向往复移动。 选择启动“超声”,系统开始频率扫描,即产 生超声波,开始清洗。
杭州翔盛纺织有限公司培训课程
主讲人:王拥军 日 期:2009年3月11日
超声波清洗机的工作原理及使用
超声波清洗机的原理
1.什么是超声波?
波可以分为三种,即次声波、声波、超声波。 次声波的频率为20Hz以下;声波的频率为 20Hz~20KHz;超声波的频率则为20KHz以上。 其中的次声波和超声波一般人耳是听不到的。 超声波由于频率高、波长短,因而传播的方向性好、穿透能力强,这也就是为什么设计制作超声波清洗机的原因。
滤芯清洗操作步骤
将滤芯直接放在支架上,根据滤芯的位 置,调整限位开关位置,使振动子行程 正好满足清洗要求。
调节振动子前后位置,使振动子的辐射面 正好在工件中心。调节振动子前后高度使 振动子的辐射面与滤芯的最高点间隙保持 在2~4mm左右,不碰撞、不磨擦为宜。
一、准备开机
滤芯清洗操作步骤
3.打开进水阀进水,调节溢水阀,使振
7.不准带故障工作。
单击此处添加正文,文字是您思想的提炼,为了演示发布的良好效果,请言简意赅地阐述您的观点。您的内容已经简明扼要,字字珠玑,但信息却千丝万缕、错综复杂,需要用更多的文字来表述;但请您尽可能提炼思想的精髓,否则容易造成观者的阅读压力,适得其反。
日常维护和保养
一、机械保养
机械部分要保持运转灵活,三个月左右 要加一次油,如有松动,应作必要调整。
概述超声波清洗机的应用范围
声清小型超波洗机领导品牌——劲声设备泰超波(/ ) 联系QQ :185064055
概述超声波清洗机的应用范围
超声波清洗机采用超声波清洗的原理,可以达到物件全面洁净的清洗效果。
深圳劲泰环保设备生产的超声波清洗机系列产品是引进了国内外先进的工业技术和管理手段,拥有剪板、折弯、切割、氩弧焊、电焊等全套钣金加工设备。
先进的工艺装备,严格的质量检测,高标准的元器件采购,确保了每一个环节的质量完善。
超声波清洗机已广泛应用于医院、医药、学校、科研、石油、化工、轻工、冶金、机械、交通、国防等行业,对仪器、仪表、电子器件、电路板、半导体硅片、磁性材料、电镀件、五金件、光学镜片及零配件、音频磁头、涤纶过滤芯、喷丝板、乳胶模具、医疗器械、玻璃器皿、珠宝首饰、钟表零件、精密五金件、轴承、油嘴油泵及机械制造中零部件和几何形状复杂部件的深度清洗,特别对深孔、盲孔、凹凸面的污垢清洗是目前最理想的高效率、高精度的超声波清洗机设备。
清洗时,选择加配相应的清洗液,清洗效果更好。
深圳劲泰致力于做您身边的洁净清洗专家,以创新、节能、环保为主题,为你量身打造各种全自动、 半自动超声波清洗生产线。
以双赢为目标,携手广大客户和同仁共同迈向高峰。
文章转自:/equipment/188.html
作者:小型超声波清洗机@深圳劲泰超声波设备 修订1.1 2011-11-3
劲泰——超声波清洗机领导品牌! 咨询:186ぺ7555ぺ9595。
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DIP十二工位全自动超声波清洗机的应用李智峰湖南金能自动化设备有限公司 410012摘要:本文论述了一种新型全自动超声波清洗机的的工作原理及实际应用,该清洗机综合运用了当今国际最前沿最先进的清洗技术。
本设备是铬版制作中掩膜抛光后的高精度清洗设备,清洗后的产品洁净度可达0.25μm。
该产品可以应用于同行业不同的工序或其他行业要求高精度清洗工序中。
近年来,IC制造业和平板显示制造业在我国的发展很快,高洁净度清洗机作为微电子行业和平板显示行业的关键的设备之一,其技术水平和清洗精度直接影响我国电子信息技术的发展。
近年来,清洗技术在我国进步很快,但与微电子行业和平板显示行业的要求相差甚远,与国际先进清洗技术水平相比还较落后。
一直以来,高档次的高洁净度清洗机一直被国外少数几家企业所垄断,他们通过高洁净度清洗机牢牢控制着IC制造业和平板显示器的上游尖端行业。
研发高洁净度清洗机不仅可为集成电路产品和新型显示器件提供可靠配套服务,同时也将带动相关技术研究和产品开发的进步,有利于提高我国在全球信息化建设中的国际竞争力。
我公司的DIP十二工位全自动超声波清洗机正是在此背景下提出并进行开发与研制的。
设备概述:DIP十二工位全自动超声波清洗机是铬版制作中掩膜抛光后的高精度清洗设备,在使用碱性溶液清洗剂与中性溶液清洗剂的基础上,采用中、高频超声波清洗及高压喷淋相结合的办法,将工件清洗干净,并采用纯温水提拉脱水保证铬版干燥。
该设备主要由上下料装置、10个清洗槽、机械移送装置、超纯水加热系统、空气净化系统及自动控制系统六个部分组成。
当工件被送至上料工位时,清洗机开始工作,并按设定程序及工艺从1#工位移送至12#工位,实现工件从粗到精,逐级清洗干净,产品清洗后的洁净度可达0.25μm。
该产品可以用于同行业不同的工序或其他行业要求高精度清洗工序中,是国际领先、国内一流的高洁净度清洗设备。
1项目所依据的技术原理论述超声波清洗原理:超声波以每秒数万次高速震荡在液体中传导,推动介质的作用,使液体之分子间产生压力变化,造成空化效应,这种无数微小的真空气泡在震荡受压破裂时,产生强大的冲击力,将清洗物之表面及细缝死角之污物剥离,达到彻底洗净之功能。
超声波清洗机一般由清洗槽体、发振器、电源驱动器构成,槽体用来容纳洗净液和工件,发振器则是执行电能转化为机械能的装置,通常称为换能器或振子,早期的清洗机换能器使用的是由电磁振荡型的磁致辞伸缩组件,换能效率较低,使用寿命短,现在已基本被由压电陶瓷材料构成的压电型换能器替代。
压电型换能器是利用压电材料的逆压电效应原理工作的:压电陶瓷材料有一种特殊的电学特性:在受到外力作用时,处于压缩或拉伸状态的压电陶瓷两端表面会产生电荷的堆积,称为压电效应;而在两端施加一定的电压,则会产生伸缩的机械振动,称为逆压电效应,对于压电陶瓷材料,它的这两种特性是可逆的。
由压电陶瓷材料制作的换能器,当施加的电压按一定频率变化时,换能器就会产生超声波,这就是压电式超声波换能器产生超声波的原理。
超声波洗净方式:由于超声波清洗具有独特的机械效应和热效应,对污垢有很强的分解离散能力,清洗速度快、效率高、质量好,洁净度均匀,易于实现自动化,减轻劳动强度,在现代工业制程中的应用越来越来广泛,特别适用于多孔及几何形状复杂的工件的除油、除蜡、除锈处理。
应用于工业的洗净技术主要有以下方法,在很多清洗系统中,是由其中几种相互配合而构成一套完整清洗系统:超声波洗净、喷射洗净、浸渍洗净、循环洗净、有机溶剂洗净、超震动洗净、搅拌摇动洗净、酸洗等。
近年来精密工业洗净和超精密工业洗净,随着光学仪器、精密机械、半导体电子组件、液晶显示的技术发展有了飞跃性的进步,发展出多种新的超声波洗净技术,如扫频超声波、复频超声波、兆声超声波等。
我们的设备选择用超声波采用4波段(28KHz、45KHz、75KHz、100KHz)循环运转。
DIP十二工位全自动超声波清洗机设备描述:该清洗机是一台能完全满足工艺线路的全自动多波段超声波十槽十二工位清洗机、该清洗机过程由PLC、TFT触摸屏人机界面控制,有多种电气、机械保护装置。
整套装置为全封闭结构,有便捷的维修通道、有可拆卸的透明防静电PVC观察窗,活动检修门及良好的抽排风系统。
清洗机主体采用全密封结构,清洗机顶部采用高效空气过滤器吹洁净的空气进来,清洗槽侧面采用细管路抽风,使清洗机相对室内环境形成正压,清洗机侧面采用透明的防静电PVC板密封,清洗机内部气流形成一个密闭循环,越工作越干净;另像液位传感,采用高压空气两次减压及两次高效过滤,吹气泡到水里通过压力反馈精确感应液面(可防超声波干扰及耐高温),超声波采用4波段(28KHz、45KHz、75KHz、100KHz)循环运转,传动采用精密滚珠丝杆及伺服电机驱动,玻璃基版的干燥方式采用纯温水慢提拉干燥,纯温水采用远红外线石英管加热并做去气泡处理、操作界面采用触摸屏控制;另选材采用不自产尘或极少自产尘材料,气缸及其它关键件均选洁净厂房专用的洁净型的,另气缸安装的位置要考虑不掉尘到清洗槽内,清洗机内空气流向也要控制能自洁,清洗机下料部位也有静电除尘装置。
下图为清洗机整体布置图2项目产品的技术创新点论述2.1项目的技术创新全自动化智能化程度高:该机采用可编程序控制器(PLC)与触摸屏控制,实现了从进料到出料的能非常稳定可靠的全自动化性操作,这样保证了产品清洗质量的稳定。
该设备采用了很多的安全保护措施,每一工位均有好几处光电开关感应,运动部件还有过载及过行程缓冲保护装置,保护设备的启停、加速减速及可能出现的各种异常情况。
控制面板采用TFT触摸式人机对话屏,操作人员可方便而快捷地输入所要求的工艺程序,并可在操作屏上方便的看到每一工位及每一部件的运行状况,足够大的编程自由度(清洗时间、清洗温度、摇摆频率及提拉干燥速度均可大范围地调节),具有极高的灵活性,可适用客户的多种清洗工艺要求。
各工位设备运行状态的实时显示包括:加热工位温度的设定值和测量值、超声波发生器的工作状态、泵的开启状态、电磁阀及气控阀的运行状态、喷淋的启停状态、各水槽的液位高低状态等。
运行过程TFT触摸屏实时显示,四周透明的PVC板可多角度目测及监控设备运行情况。
新型液位传感器的应用:传统的浮球液位传感器的原理是通过浮球的短距离移动感应液位高低,因浮球的运动与杆子的磨擦会产生细微的颗粒,容易对溶液造成新的污染,这种液位传感器不适用于超洁净的清洗;传统的电容感应式液位传感器的工作原理是通过感应电容的轻微的变化来判别液位高低,这种液位传感器不与液体直接接触,因此不会污染被感应溶液,缺点是不耐超声波干扰及不耐高温,在有超声波的溶液中感应失灵,另在温度高的溶液中感应器自身的电路原件容易短路及老化;本清洗机采用的新型液位传感的工作原理:经过二级高效过滤及减压的高压空气吹气泡到水槽内通过压力反馈感应液面,与传统液位传感器相比,这种新型液位传感器可防超声波干扰及耐高温,比传统的浮球液位传感器更洁净。
2.2项目的工艺创新采用新型清洗液,选用日本的环保型LCG-451、LCG-25及国产的电子级的SC-1清洗液,通过上述三种清洗液组合清洗与浓度配比,对玻璃基片能很好的清洗,本清洗液对溴氧层无破坏对环境无污染。
鉴于工艺保密,对清洗液及其配方不再细述。
采用先进的干燥方式:纯温水通过远红外线石英管加热水箱输送过来,进温水干燥槽前先做脱泡处理,玻璃基片缓慢向上提拉,表面张力把基片上的水膜拉下来,这样就能很好地干燥。
普通的干燥方式有热风干燥与风刀干燥,这种干燥方式因空气流动大空气的洁净度不好控制因此不能用于超洁净干燥;传统的IPA干燥也能很好地满足要求,但电子级的IPA比较昂贵,IPA属于易燃易爆物品,对环境也有一定的污染,因此纯温水慢提拉干燥比IPA干燥更安全更环保更节省运行成本。
采用新型水加热器:远红外石英管加热水箱,采用耐高温洁净型PFA管,18MΩ.cm 超纯水通过过滤器流经PFA管,石英加热管对着PFA管加热(水与加热器不直接接触),进水口与出水口均装有洁净型的温度传感器,石英管加热设备内的PLC通过控制石英加热管的开启数量使水温达到设定的温度,水温可调,动态温度偏差±1.5℃。
与传统的不锈钢加热器加热相比,因高温时不锈钢与水有微量的化学反应而影响水质,因此这种加热方式更能可靠地保证超纯水的洁净度,从而达到更高的清洗精度。
3.项目国内外发展技术现状及趋势3.1国内清洗机生产状况a.结构简单、清洗工艺单一.我国工业发展还不够发达,以前对清洗机的质量要求不高,主要注重清洗机的适用性,国内清洗机大多采用冲洗或化学溶液清洗的方式,对质量要求较高的采用超声波清洗的方式,其结构简单,清洗机使用的材质也没有严格的要求,由于竞争激烈,行业利润率也低,因此投入的科研经费更少,没有形成一个良性循环;b.清洗精度低.由于清洗机清洗工艺简单,通过实验结果表明,采用水喷淋或化学溶液清洗后的清洗洁净度在10μ以上,采用28KHZ超声波的清洗机清洗洁净度在2μ以上,对1μ以下的颗粒根本没有方法去除.然而在IC集成电路制造业和平板显示制造业中,产品本身的洁净度直接影响到产品的质量,以制作铬版为例,其片表面的微颗粒是造成铬版制程中针孔缺陷的主要原因,微颗粒多,产生的针孔缺陷多,颗粒大,产生的针孔也大, 良品率极低,光刻后需要修版量很大,费时多,不能满足超高精度光刻掩膜制版品质的需要。
所以在铬版制作中,对清洗机清洗后洁净度要求必需在0.5μ以上,很显然,传统方法制作的清洗机根本无法满足这一要求,在微电子行业制作中也是如此.C.自动化程度低,兼容性差.在现代工业发展中,对产品的自动化有着更高的要求,自动化程度越高,生产效率越高,同时投入的人员少,后续成本低,特别的微电子和平板显示制造行业,现场人员少,生产洁净度也容易达到要求.目前国内清洗行业清洗机其本采用手动或半自动生产的方式,当产品有多种生产规格时,机器的兼容性也很难达到要求.d.清洗机本身洁净度低.对高洁净度清洗机而言,清洗机的清洗效果不仅取决于清洗机本身的结构和清洗工艺,同时对其本身的制造材质有着更高的要求,首先是材质本身不能产生微粒,不能产生生锈或腐蚀;然后是材质不能产生污物沉积或粘结,因此要求表面清度高;对接近产品的地方,还要采用防静电材料.不可否认,我国基础工业还不够发达,一般市场上采购的材料还不能满足高洁净度的要求,特别是高洁净度清洗机管路材料市场上还找不到,需要进口.在IC集成电路制造业和平板显示制造业中,生产环境一般在100级以上,在这严格的要求下,清洗机的组装调试工厂也必需在100级以上超净室中进行,可以说,目前国内清洗机制作厂家很难达到这一要求.3.2国外清洗机技术发展趋势国外清洗机的现状与发展趋势:国外高洁净度清洗机专业厂家主要集中在日本、德国、韩国和我国台湾地区等电子信息产业发达地区,日本高洁净度清洗机技术是最强的也是走在最前列的,日本的高洁净度清洗机不但注重清洗质量及清洗精度,也非常注重清洗机的整体外形效果,外形尺寸基本符号机械产品艺术造型中要求的如黄金分割率等,最高清洗洁净度能达到0.5u,清洗机的自动化、智能化程度比较高。