中韩扫描电子显微镜发展情况比较研究
扫描电子显微镜文献综述
扫描电子显微镜的应用及其发展１前言扫描电子显微镜ＳEM(Scａｎning Ｅlｅcｔｒon Ｍiｃroscopy)是应用最为广泛的微观形貌观察工具.其观察结果真实可靠、变形性小、样品处理时的方便易行。
其发展进步对材料的准确分析有着决定性作用。
配备上X射线能量分辨装置ＥＤS (Enｅｒgy DiｓpersivｅSpeｃｔroscoｐｙ)后,就能在观察微观形貌的同时检测不同形貌特征处的元素成分差异,而背散射扫描电镜EＢＳＤ（Eｌect ｒon BａckｓcatｔereｄDiffｒａction)也被广泛应用于物相鉴定等。
2扫描电镜的特点形貌分析的各种技术中,扫描电镜的主要优势在于高的分辨率。
现代先进的扫描电镜的分辨率已经达到1纳米左右;有较高的放大倍数,20—20万倍之间连续可调;有很大的景深,视野大，成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构试样制备简单;配有Ｘ射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析[1].低加速电压、低真空、环境扫描电镜和电子背散射花样分析仪的使用，大大提高了扫描电子显微镜的综合、在线分析能力;试样制备简单。
直接粘附在铜座上即可，必要时需蒸Aｕ或是C.扫描电镜也有其局限性,首先就是它的分辨率还不够高,也不能观察发光或高温样品。
样品必须干净、干燥,有导电性。
也不能用来显示样品的内部细节，最后它不能显示样品的颜色．需要对扫描电镜进行技术改进，在提高分辨率方面主要采取降低透镜球像差系数, 以获得小束斑；增强照明源即提高电子枪亮度（如采用LaB６或场发射电子枪) ;提高真空度和检测系统的接收效率；尽可能减小外界振动干扰。
在扫描电镜成像过程中，影响图像质量的因素比较多,故需选择最佳条件。
例如样品室内气氛控制、图像参数的选择、检测器的选择以及控制温度的选择,尽可能将样品原来的面貌保存下来得到高质量电镜照片[2］。
3 扫描电镜的进展低压扫描电镜(LVSＥM）是扫描电镜发展的新的方向，它可以直接观察绝缘样品而不会产生充电现象,而且电子能量小,穿透力弱，对样品的辐射损失小。
电子束显微技术的最新发展
电子束显微技术的最新发展电子束显微技术是一种高分辨率成像技术，它可以通过聚焦束发射出高速电子，在样品表面扫描形成图像。
该技术被广泛应用于材料科学、纳米技术、生物医学、化学等领域，其在样品表面的细节和局部结构上具有很高的分辨率，并且可以进行表面形貌、成分分析、晶格结构等微观特征的观察和研究。
目前，随着电子技术的不断发展，电子束显微技术也得到了不断的更新和改进，其发展呈现以下几个方面：一、多流束技术多流束技术采用多束电子束，扫描样品的同时可以得到多种类型的信号，如电荷或载流子浓度分布，射线释放分析等。
这项技术可以在不损失分辨率和分析能力的情况下提高扫描速度，扩大扫描范围，既提高了数据获取效率，又为多物理量测量提供了新的思路和手段。
二、低温电子显微技术低温电子显微技术是一种非常新的电子束显微技术。
其可以利用冷阴极产生低能量的电子束，通过调节加速电压来控制电子束的入射能量。
这项技术可以使样品得到更好的保护，从而在更低的温度下被观察，采集出具有更高原位分辨率的高质量样品图像。
三、3D显微成像技术3D显微成像技术利用电子束成像和计算机分析手段，对样品进行层层扫描，形成三维图像。
与传统电子束扫描显微镜相比，3D显微成像技术可以在观察样品的全过程中提供更多的信息，更具有实际应用价值。
四、准分子检测技术准分子检测技术是一种新型的电子束显微技术，它能够利用分子的自然振动频率来产生信号，并在产生的信号上提高电子束显微的分辨率。
与常规电子束成像技术相比，准分子检测技术可以通过自身特征鲜明、突出，来实现无标记的分子结构成像和化学成分检测。
总之，电子束显微技术的不断更新和改进已经给科学研究和产业开发提供了更加精细、迅速和准确的手段。
电子束扫描显微技术的不断发展和进步，不仅可以让我们了解世界的越来越精细微观，也让许多产品的设计和制造过程变得更为先进，更好地填补了许多材料研究和科普教育方面的空白。
电子显微镜的发展及现状
电子显微镜的发展及现状20130125001李智鹏2014/10/8电子显微镜的发展及现状摘要：本文综述了电子显微镜的发展，电子显微镜的主要分类，它们在生活当中的应用以及国内显微镜的现状。
关键词：电子显微镜发展应用现状1、引言显微镜技术的发展,是其他科学技术发展的先导,在17世纪60年代出现的光学显微镜,引发了一场广泛的科技进步, 促进了细胞学和细菌学的发展。
使人类的观测范围进入微观世界,导致了一大批新的领域进入人类的研究范围,促进了许多学科的创立和发展。
三百年来，光学显微镜巳经发展到了十分完善的地步。
而我们知道，分辨率极限的量级为入/a带，对于光学显微镜，最短可见光波长约为400。
人，最大数值孔径约1。
4，故只能获得亚微米量极的分辨率。
于是，人们开始寻找较短波长的光源，X射线波长为几个埃，Y射线波长更短，但它们都很难直接聚焦，所以不能直接用于显微镜。
[1]20世纪30年代出现的电子显微镜技术,更进一步拓宽了人类的观测领域,同样导致了大批新学科、新技术的出现.可以说,现代科学技术的研究工作,已很大程度依赖于电子显微镜技术的使用,尤其是在纳米技术、材料技术、生命科学技术等研究方面,没有电子显微镜技术的帮助,它们几乎是无法进行的.随着科学技术的不断进步,电子显微镜技术的应用越来越广泛,同时电子显微镜技术本身也在不断快速发展.从最初的电子显微镜开始,已经逐步发展出扫描电子显微镜、扫描隧道电子显微镜、原子力电子显微镜、扫描离子电导显微镜、扫描探针电子显微镜等.这些先进的仪器现已广泛地应用于物理学、化学、材料科学和生命科学领域的研究和检测工作中.在纺织科技研究工作和纺织材料及纺织品检测过程中也得到了广泛的应用[2]。
本文仅对电子显微镜技术在出土古代纺织品检测方面的应用作一初步探讨。
电子显微镜(简称电镜,EM)经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。
我国的电子显微学也有了长足的进展[3]。
2024年透射电子显微镜市场发展现状
透射电子显微镜市场发展现状透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）是一种非常重要的高分辨率显微镜，可以观察物质的原子级结构和纳米级细节。
随着科学技术的不断进步和应用领域的不断拓展，透射电子显微镜市场在过去几年里呈现出快速发展的趋势。
市场概览透射电子显微镜市场按照产品类型分为传统透射电子显微镜和扫描透射电子显微镜两大类。
传统透射电子显微镜主要应用于材料科学、生物学和化学等领域的研究，可以观察和分析材料的晶体结构、原子排列和组成成分；扫描透射电子显微镜则是基于传统透射电子显微镜的技术进步，可以实时观察样品表面的原子级细节，并能用于纳米材料和纳米结构的研究。
全球透射电子显微镜市场在过去几年里保持稳定增长。
市场的增长主要受到科学研究领域对高分辨率显微镜的需求驱动。
此外，透射电子显微镜的应用领域不断扩大，涵盖了材料科学、纳米科技、生物医学和能源等多个领域。
这些因素都促使透射电子显微镜市场保持稳定增长，预计未来几年里这一趋势将继续。
市场驱动因素透射电子显微镜市场的快速发展可以归因于以下几个主要因素：1.科研领域的需求增加：科学研究领域对高分辨率显微镜的需求不断增加，以满足对材料和纳米结构进行精确观察和分析的要求。
2.尖端技术的不断进步：透射电子显微镜的技术不断创新和改进，使得其分辨率和成像能力大幅提升，从而获得更准确的数据和图像结果。
3.应用领域的扩展：透射电子显微镜在材料科学、生物医学、纳米科技和能源等多个领域的应用不断扩大，为市场带来新的增长机遇。
市场挑战尽管透射电子显微镜市场发展迅速，但仍面临一些挑战：1.高昂的价格：透射电子显微镜属于高端科研设备，价格昂贵，导致部分科研机构和实验室无法负担。
2.技术门槛较高：透射电子显微镜的操作和维护需要专业知识和技能，可能需要专门培训和经验，限制了一部分潜在用户的使用。
3.竞争加剧：透射电子显微镜市场竞争激烈，存在多个国内外制造商和品牌，对企业来说，如何在市场中保持竞争优势是一个挑战。
超高分辨率电子显微镜技术的研究前沿
超高分辨率电子显微镜技术的研究前沿超高分辨率电子显微镜技术是当今材料科学和生物医学研究领域中最受欢迎的分析方法之一。
该技术的原理是通过使用高能电子束来探测样本结构的微观特征。
近年来，随着电子显微镜技术的不断发展，超高分辨率电子显微镜技术的研究前沿也逐渐展现出来。
1. 透射电子显微镜技术（TEM）的发展透射电子显微镜是一种能够在原子尺度下探测三维宏观结构的重要工具。
这种技术最早于1930年代被发明，近年来随着电子束的能量、空间分辨率和信噪比的提高，透射电子显微镜技术的研究取得了很大的进展。
最近，科学家们利用透射电子显微镜技术研究了金属纳米颗粒的结构和动力学。
他们发现，通过在纳米颗粒中引入杂质，可以显着增强金属纳米颗粒的催化活性。
此外，透射电子显微镜技术还被广泛应用于生物医学领域，如分析细胞膜蛋白结构的变化以及病毒与细胞相互作用的研究。
随着技术的进步，电子显微镜早已不只是研究小分子和物质的工具，而是在许多领域成为研究的重要手段。
2. 原子力显微镜（AFM）的进展原子力显微镜是一种可以在原子尺度下观察到样品表面形貌和表面力学性质的仪器。
随着技术的成熟，原子力显微镜已经成为研究新型材料的重要工具之一。
例如，人们利用原子力显微镜研究了具有重大科学应用价值的二维纳米材料，例如石墨烯。
通过使用原子力显微镜技术，他们成功地观察到了单层石墨烯的原子结构，同时还研究了石墨烯的电传输特性。
此外，原子力显微镜还被广泛应用于生物医学研究中，例如研究蛋白质和DNA的结构。
3. 光电子能谱显微镜（PEEM）的应用光电子能谱显微镜是一种可见光或紫外线光照射样品后，测量样品电子发射能谱图的仪器。
这种技术最初被广泛用于材料科学和表面化学领域，但是随着技术的发展，它已经逐渐应用于生物体系与材料界面的研究中。
PEEM技术被广泛应用于生物体系研究，例如研究细胞膜蛋白和生物分子的表面电荷分布，以及在细胞内探测特定物质的空间分布和组织学变化。
中国扫描电子显微镜的发展历史
中国扫描电子显微镜的发展历史1、1965年，中国科学院科学仪器厂设计研制我国第一台DX-2型透射式电子显微镜。
2、1975年，中国科学院科学仪器厂自行研制成功电子显微镜DX-3型，主要指标达当时国际先进水平。
1978年获全国科学大会一等奖。
3、1977年7月，上海新跃仪表厂完成SMDX-1P型微区分析扫描电镜。
4、1977年，中国科学院科学仪器厂研制成功X-3F双道X射线光谱仪。
与DX-3扫描电镜匹配，发展为DX-3A分析扫描电镜。
获1978～1979年中国科学院重大科技成果一等奖。
5、1978年，上海新跃仪表厂鉴定台式TSM-1型扫描电镜（30nm，17kV），获上海市重大科技成果奖及1983年国家经济委员会颁发的优秀新产品证书。
6、1979年，云南大学物理系自行设计研制的YWD-1A型扫描电镜。
7、1979年，江南光学仪器厂于完成DXS-1小型扫描电镜。
8、1980年，中国科学院科学仪器厂研制成功DX-5型扫描电镜，获中国科学院1986年科技进步奖。
9、1982年，上海第三分析仪器厂生产400型台式扫描电镜。
10、1983年，江南光学仪器厂完成DXS-X2 普及型分析扫描电镜。
获南京市科技进步二等奖。
11、1983年，中国科学院科学仪器厂从美国Amray公司引进微机控制、分辨本领6nm，功能齐全的Amray-1000B扫描电镜生产技术。
12、1985年，中国科学院科学仪器厂生产了KYKY-1000B 扫描电镜，共生产100台。
获1988年国家科技进步奖二等奖，并列为我国1979～1988年重大科技成果。
13、1985年，上海新跃厂完成DXS-10普及型扫描电镜，获1985年上海市优秀新产品奖二等奖。
14、1987年，中国科学院科学仪器厂实现了Amray-1000B扫描电镜国产化。
制成了大试样室，及背反射电子探测器，可获得元素成分分布图像。
配备了低温试样台（-170℃～＋18℃连续可调，冷刀可断裂试样，适于观察生物及含水试样）和试样拉伸台。
扫描电子显微镜市场发展前景及投资可行性分析报告
扫描电子显微镜市场发展前景及投资可行性分析报告标题：扫描电子显微镜(SEM)市场发展前景及投资可行性分析报告（2024-2026年）摘要：扫描电子显微镜(SEM)市场在过去几年中得到快速发展，随着科技和制造业的不断进步，SEM的需求呈现出快速增长的趋势。
本报告对SEM市场的发展前景进行了全面的分析，并评估了投资SEM市场的可行性。
一、引言扫描电子显微镜(SEM)是一种高分辨率的显微镜，通过扫描样品表面的电子束并通过探测器记录样品反射的电子信号，可以获得高质量的样品图像。
SEM广泛应用于材料科学、电子器件制造、生命科学等领域。
过去几年中，SEM市场呈现出快速增长的趋势，并在2024年至2026年之间有望继续保持增长。
二、市场概述1.市场规模及增长率：根据行业报告，SEM市场在2024年的总价值为XX亿美元，预计到2026年将增长至XX亿美元，复合年增长率为X%。
2.主要驱动因素：-科学研究和发现的增加，特别是在纳米科技领域的发展，推动了SEM市场的增长。
-制造业的快速发展，特别是在汽车、航空航天和电子领域的需求增加，对SEM的需求也在增加。
-新兴市场的开拓，特别是亚太地区的SEM市场增长迅速。
3.主要挑战：-高成本限制了一些行业对SEM的采用，高端SEM价格昂贵。
-技术竞争激烈，市场上有多家主要厂商提供SEM产品，竞争压力较大。
三、市场细分分析1.根据应用领域：-材料科学领域：材料研究和分析一直是SEM市场的主要应用领域之一，因为SEM可以提供高分辨率的材料表面图像。
-生命科学领域：SEM可用于生物样品的观察和分析，如细胞结构研究和病毒检测等。
-电子器件制造领域：SEM可用于芯片和其他电子器件的制造和检测，例如IC芯片的质量控制和故障分析。
2.根据产品类型：-断层SEM：断层SEM是当前市场上最常见的类型，根据样品表面的电子信号反射图像来观察和分析样品。
-高分辨率SEM：高分辨率SEM具有更高的分辨率和更精细的图像质量，适用于对细小结构和材料特性进行更高级别的观察。
电子显微镜技术改进与高解析度成像方法深入研究
电子显微镜技术改进与高解析度成像方法深入研究电子显微镜（electron microscope）是一种利用电子束来观测样品的高分辨率显微镜。
相较于光学显微镜，电子显微镜具有更高的分辨率和更大的放大倍数，可以观察微观世界中更细小的细节结构。
然而，电子显微镜技术仍然存在一些挑战和局限性，对于某些样品的成像和分析有限制。
因此，对电子显微镜技术进行改进与高解析度成像方法的深入研究具有重要意义。
一、改进电子显微镜技术的方法：1. 仪器优化：通过对电子显微镜的硬件和操作系统的优化，可以提高成像分辨率和稳定性。
例如，可以改进电子源的发射度和亮度，提高电子束的聚焦能力和稳定性，以获得更高的分辨率和更清晰的成像结果。
2. 样品准备技术：样品准备是电子显微镜观察中至关重要的一步。
在样品准备过程中，可以采用新的染色剂、固化剂和切片技术，使样品更适合电子显微镜观察。
此外，还可以借助冷冻技术和冷冻切片技术，对生物样品进行无损处理，以获得更真实和高质量的图像。
3. 检测系统改进：电子显微镜检测系统的改进可以提高图像的信噪比和对比度，从而实现更高的分辨率。
利用现代数字成像技术和傅里叶变换技术，可以对获得的电子图像进行数字处理和增强，清晰显示样品的微观结构。
4. 数据处理和分析方法的发展：通过发展更高级的数据处理和分析方法，可以从电子显微镜获得的图像中提取更多的信息。
如图像重建、局域增强、三维重建等方法可以增强图像的细节和深度信息，从而实现更全面和准确的分析结果。
二、高解析度成像方法的深入研究：1. 高分辨率成像技术：高分辨率成像技术是电子显微镜技术的核心之一。
传统的高分辨率成像方法包括透射电子显微镜（Transmission Electron Microscopy，TEM）和扫描电子显微镜（Scanning ElectronMicroscopy，SEM）。
目前，还有一些新兴的高分辨率成像方法得到了广泛的研究，如剖面成像电子显微镜（Scanning Transmission Electron Microscopy，STEM）等。
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描 电子显微镜 的过 程中， 经历 了 相似 的发 展过 程 ， 但 韩 国却能后来居上 ， 在短短 的 １ ０多年 时间里 ， 不断
有新产品 问世并被 市场所接 受。 韩 国政 府 支持 重点科 学技 术领域 的做 法， 以及韩 国研 究机 构及 时将研
究成果推向市场的做 法， 值得我 国借鉴和学习。 关 键词 ：中国； 韩 国； 扫描 电子显微镜 ； 发展 历程 中图分 类号 ： Ｔ Ｎ１ ６ （ ２ ） ； Ｔ Ｎ１ ６ （ ３ １ ２ ． ６ ） 文献标 识码 ： Ａ Ｄ ＯＩ ： １ ０ ． ３ ７ ７ ２ ￣ ． ｉ ｓ ｓ ｎ ． １ ０ ０ ９ — ８ ６ ２ ３ ． ２ ０ １ ３ ． １ １ ． ０ １ ｌ
前 ，制 造 和产 业 总 体上 不 够景 气 。２ ０ ０ ０年后 ，韩 同将 纳米 技术 列 为 国策 ，坚 定进 人研 制 Ｓ Ｅ Ｍ 的行 列 ， 目前 ，市场份 额在 逐渐增 加 。本文分 别对 中国
和韩 国 Ｓ Ｅ Ｍ 的发 展历 程及 现 状进行 了研究 。韩 国
在短 短 的 １ ０多年 里 ，Ｓ Ｅ Ｍ 得 到迅 速发展 ，其经 验
中韩扫描 电子 显微镜发展情况 比较研究
李 志 荣 ，郑 佳 ，赵 蕴 华 ，张 旭 ，赵 志 耘
（ 中国科 学技 术信息研 究所 ，北京 １ ０ ０ ０ ３ ８ ）
摘
要： 通过 对 中国和韩 国扫描 电子显微镜 的发 展过 程进 行比较研 究， 发现 ： 中国和韩 国在 自 主研 制扫
第一作者简介 ：李志荣 （ １ ９ ７ ８ 一） ，女 ，理学博 ＿ ，博 士后 ，助理研究员 ，主要研 究方向为重点科技领域信息分析。
基金项 目：巾闰博士后科学基金面上资助项 目 （ ２ ０ １ ２ Ｍ５ １ ０ ５ ２ １ ）；科技部科技创新知识产权专项项 日 （ ２ ０ １ ３ 年）
扫描 电子显微镜 （ Ｓ ｃ ａ ｎ ｎ ｉ ｎ ｇ Ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ ｎ Ｍｉ ｃ ｒ ｏ ｓ ｃ ｏ ｐ ｅ ， Ｓ Ｅ Ｍ ）是 一 种 重 要 的大 型科 学 仪 器 ，主 要 用 于观 察 物 体 的 表 面形 貌 ，能 够 直 接 观 察 样 品 表 面 的结 构 ，也 可 以从 各 种 角 度 对 样 品进 行 观 察 ，样 品 制 备 过 程 简单 】 。 目前 ，Ｓ Ｅ Ｍ 主 要 应用 在 材 料 科 学 和 生命科 学 ２ 个 领域 。在材 料科 学领 域 。主要 是进 行 成份 与结构 分析 以及纳 米材料 的形 貌观 察 ，要 求 高分 辨率 的 电子显微 镜 ；在生命 科学 领域 ，主要 研 究 细胞 、病毒 、生化 物质 定位 、生物 大分 子等 ，要 求 中 等分 辨 率 的 电子 显微 镜 。Ｓ Ｅ Ｍ 具 有很 高 的分
收 稿 日期 ：２ ０ １ ３ — ０ ８ —１ ３
① ｜ １ 奉ａ ｋ ａ ｓ ｈ ｉ Ｉ Ｓ Ｉ（ 明石 ）公司是 日本 Ｔ ｏ ｐ ｃ ｏ ｎ扫描电镜制造部门的前身 。目前 ，Ｔ ｏ ｐ ｃ ｏ ｎ专注于实验 室 （ Ｆ ａ ｂ Ｓ Ｅ Ｍ） 厂 自动在线检测
Ｓ Ｅ Ｍ、 关键尺寸 自动测量 Ｓ Ｅ Ｍ（ Ｃ Ｄ — Ｓ Ｅ Ｍ） 等高附加值产品。韩闰在研制 Ｓ Ｅ Ｍ 的过程中参考 』 Ｔ ｏ ｐ ｃ ｏ ｎ 的技术
值得我 国借 鉴和 学 习。
１ 韩国 Ｓ Ｅ Ｍ 发 展历 程 及现 状
１ ． １ 发展历 程 １ ． １ ． １ ２ ０ 世纪 ７ Ｏ年代 末— — 零部 件组 装阶段
辨率 ，目前 ，Ｓ Ｅ Ｍ 的分辨率已达到 ０ ． ４ ｎ ｍ，放大 韩国 Ｓ Ｅ Ｍ 的研发历 程较 短 ，但其制 造 Ｓ Ｅ Ｍ 的 倍 数范 同能达 到几 十乃至 几百 万倍 以上 ｆ ２ 】 。 历史可以追溯到 ２ ０ 世纪 ７ ０ 年代末 ｌ 。１ ９ ７ ６ －１ ９ ９ ３ Ｓ Ｅ Ｍ 是集 合 了光学 、真空 系统 的集 成产 品 ，其 年 ， 日本 ａ ｋ ａ ｓ ｈ ｉ Ｉ Ｓ Ｉ（ 明石 ）公司 在韩 国马 山 自由 生产 、 制造具有较高的技术含量 。目前，Ｓ Ｅ Ｍ的核 贸易 区 ，设 立 Ｓ Ｅ Ｍ 生产 基地 ，先后 建 了 ２个 工 心 技术 掌握在 美 、 日、德等 国家手 中，这些 国家 的 厂 ，其生 产任 务主要 是进 口零部 件进 行组 装 ，当时 扫描 产 品互 补 ，其 产量 占据 了全球 ８ ０ ％ 的份额 。能 的年 产量 为 ３ ０ ０台。 够 独立制造 大型 Ｓ Ｅ Ｍ 的公 司主要有 ：美 国 Ｆ Ｅ Ｉ 、日 １ ９ ９ ０年 ，ａ ｋ ａ ｓ ｈ ｉ Ｉ Ｓ Ｉ 被 东芝 Ｔ ｏ ｐ ｃ ｏ ｎ（ 拓普 康 ） 本Ｊ Ｅ Ｏ Ｌ和 Ｈ 立 高新技术公 司及德 国蔡 司。捷克 兼 并 。但 随后 ，东芝 集 团陷入 困境 ，需撤 离 在韩 Ｔ ｅ ｓ ｃ ａ ｎ也 是 主要 研发 和 生产 Ｓ Ｅ Ｍ 的企 业 ，但 目前 的投资 ，因而在韩国物色收购电镜 制造 工厂的企业 。 已被 美 国 Ｆ Ｅ Ｉ 收 购 了大部分产 能 。 由于 电子显 微镜 属 于尖端 产 业 ，韩 国 Ｓ Ｋ 集 团 、浦 中国在 ２ ０世 纪 ７ ０年 代末 介入 Ｓ Ｅ Ｍ 领域 ， 目 项 钢铁 参 与收购论 证 ，均认 为不具 备 自主设 计能力 ຫໍສະໝຸດ 一６ ４— ・
科 技 评估 ・
和销 售 网络 ，结果 ，东 芝旗 下 的韩 国 电镜 制造 工厂 未 能 被 收 购 ，最 终 在 １ ９ ９ ３年 清算 解 体 ，３ ０ ０多 名 韩 国职 员也分 散到各 处 。因为 日本撤 资 ，韩 国 Ｓ Ｅ Ｍ 的制造 因此 中断 。
第２ ８ 卷 第 １ １ 期 ２ ０ １ ３ 年ｌ １ 月
全球科 技经济 嘹望
Ｇｌ ｏ ｂａ ｌ Ｓ ｃ ｉ ｅ ｎ ｃ ｅ ， Ｔｅ ｃ ｈｎｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ａ ｎｄ Ｅｃ ｏ ｎｏ ｍｙ Ｏｕ ｔ ｌ ｏ ｏ ｋ
Ｖ＿ ０ １ ． ２８ Ｎｏ． １ ｌ
ＮＯ Ｖ． ２ ０１ ３