2X型旋片式真空泵的产品用途及使用范围解析
2X系列旋片式真空泵ZZ系列(含DM、DDM、SDM)≤2200真空镀膜机
、 。
中环 牌
ZX 一 3 0
型 旋 片式 真 空 泵 被评 为同行业
1 993
种 具有很 高的 压 缩 比 所 以 作为基 本 的真 空 获 得设 备 被 广泛用 于 工厂 实验 室 等 厂所
、
中唯 一 的 一 等 品
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价廉 的 塑 料 及陶 瓷 表 面 金 属 化 制 品 广 泛 应 用
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22
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系 列 油 封 双 级旋 片式 真 空 泵 是 抽 除密
。
系 列 真 空镀 镇机均 具 有 的特 点 是 操作
型
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近 几 年来 经 国 家 和 广 东 省 产 品 质 量 监督
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机构抽 查 中 环 牌真 空 机械 产 品 均 达 一 等 品 并 获 国 家 和 部 多项 优奖 其 中 国 优
项 省优 两大 系 列 二 十 六 项
19 92
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年度 广 东 省质 量 效 益 先进
22
2 2 0 0m m
系 列
。
(
制氧厂2XZ4双级旋片式真空泵标准操作规程
四、责任：设备操作人员。
五、程序：1.检查Fra bibliotek是否清洁，状态标志是否清楚；
2.连接好进、出气管道，或检查是否联接好；
3.开启开关按钮，按所需的真空调节档位；
4.运行完毕，关闭开关按钮；
5.做好泵的清洁卫生；
制氧厂2XZ-4双级旋片式真空泵标准操作规程
文件类别：工作标准
颁发部门：质管部
编号：
页数1/1
制定人
审核人
QA审阅
批准人
分发部门：质管部、生产技术部、
年月日
年月日
年月日
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生效日期
年月日
一、目的：制定2XZ-4双级旋片式真空泵标准操作规程，确保其符合医用氧要求。
二、卫生部《药品生产质量管理规范》(2010版)、《中华人民共合国消防法》、《特种设备安全监察条例《危险化学品安全管理条例》。
2XZ型旋片式真空泵详解
产品名称：2XZ型旋片式真空泵一、2XZ型旋片式真空泵概述：2XZ型旋片式真空泵为双级直联结构，它的工作性能由高压级与低压级二部份组成，它的吸入口与真空设备连接，在运转时将容器内的气体大量吸入与排出，当设备获得真空时，高压级排气阀封闭，高压级入口的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出真空设备可获得了一定的真空，2XZ型旋片式真空泵的技术参数为6×10-2Pa，泵与电机连轴，高转速，外型小，结构紧凑，流动性工作方便，可用于电真空器件制造、保温瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备修理以及仪器仪表配套等。
因为它具有体积小、质量轻、操声低等优点，所以更适宜于实验室里使用。
二、2XZ型旋片式真空泵的型号意义：三、2XZ型旋片式真空泵的性能参数表：参数/型号2XZ-0.25 2XZ-0.5 2XZ-1 2XZ-2 2XZ-4抽气速率m3/h( L/S) 50（HZ）0.9（0.25） 1.8（0.5） 3.6（1）7.2（2）14.4（4）60(HZ) 1.1（0.3） 2.1（0.6） 4.3（1.2）8.6（2.4）17.2（4.8）极限压力（Pa）分压力≤6×10-1 ≤6×10-2 ≤6×10-2 ≤6×10-2 ≤6×10-2 全压力≤6.5 ≤1.33 ≤1.33 ≤1.33 ≤1.3350HZ 转速（r/min）1400 1400 1400 1400 140060HZ 转速（r/min）1720 1720 1720 1720 1720电机功率（kw) 0.12 0.18 0.25 0.37 0.55电源电压（V) 220 220/380 220/380 220/380 220/380 进气口口径（mm）（外径）φ15φ20φ20φ30φ30噪音（dBA）63 65 65 68 68容油量（L）0.5 0.6 0.7 1 1.2外形尺寸（mm) 403×130×240 447×168×260469×168×260514×168×282565×168×282重量（Kg）毛重/净重16/15 17/16 18/17 22/20 24/22 四、2XZ型旋片式真空泵的工作原理及结构图：2XZ旋片式真空泵系双级高速直联结构旋片式真空泵。
PVD设备及工艺简介
溅射源 圆柱靶磁铁布局及说明（图）：
a. 由于相对应靶材面不一样,圆柱靶磁铁布局相对平面靶磁铁布局要紧促的多,图中宽度 还不到平面靶的一半(50mm). b. 由于磁铁相对紧促,区域磁铁之间(之间)安装有导磁材料,既方便安装又可有效 的固定磁铁和磁路的控制. c. 圆柱靶磁铁也采用了强力磁铁(4.5Kgauss),中间区域的磁铁安装为尺寸较宽的规格,外 围区域的磁铁安装尺寸较窄的规格、区域之间磁铁极性必须保持相反,跟平面靶布局 同等原理.如图中区域磁铁磁极可为NSN,也可为SNS(根据工艺自行决定),检查时 跟平面靶一样,手持一块磁铁,根据磁铁同极相斥,异极相吸的原理,逐个单一的判定磁 铁极性是否安装错误. d. 相对圆柱靶靶材为管形,和平面靶材不一样,所以固定磁铁的磁铁座为凸形,如图中所 示.而平面靶磁座则为平面。
抽空系统 2. 技术要求: 2.1 品种规格及性能: （见右表） . 热偶计测量的是各种蒸汽 和永久气体的总压力,而麦化 计只能测出永久气体占的分 压力. . 几何抽速是根据几何尺寸 算出的抽速在大气压力时,实 际抽速与几何抽速基本相符 合,在各种不同的压力时,抽 速有一定下降. . 温升是指泵温稳定后,在 排气阀门处的油的温度与室 温之差.
溅射源 平面靶磁铁布局及说明（图）
安装磁铁过程中,外围区域的磁铁磁极必须保持一致.中间区域的磁铁磁极与外围区域磁 铁磁极必须保持相反.如图区磁铁磁极可为NSN,也可为SNS.可手挡一块磁铁,根据磁 铁同极相斥,异极相吸的原理,逐个单一的判定磁铁极性是否安装错误)。
溅射源 (二). 圆柱形磁控溅射靶 1、结构与说明（图）：
PVD设备及工艺简介
目 录
PVD设备简介 泵 靶 真空测量 真空检漏 PVD工艺简介 PVD相关概念定义 真空度量单位 磁控溅射 铂阳生产线相关工艺简介 合金靶的溅射 金属氧化物的溅射
2XZ型旋片式真空泵说明书
产品名称：2XZ型旋片式真空泵一、2XZ型旋片式真空泵用途：2XZ型旋片式真空泵是用来对密封容器抽除气体的基本设备。
它可单独使用，也可用为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵、维持泵、钛泵的预抽泵用；该系列泵具有低嗓声、停泵不返油、启动容易等优点，泵上装有气镇阀，可抽除少量的可凝性蒸汽。
本泵不能抽除含氧过高的，腐蚀性的，有爆炸性的或有毒的(防爆2XZF系列除外)，以及含有颖粒尘埃的气体，也不能作压缩泵、输气泵使用。
2XZ型旋片式真空泵可用于电真空容器制造、真空焊接、印刷、照相制版、食品包装、真空吸塑、制冷设备维修及仪器、仪表设备配套和实验室等。
广泛适用于航空航天、半导体、镀膜、食品包装、干燥、制冷、科研、医疗、电子、化工、医药等专业单位和大专院校等部门的实验室、化验室。
二、2XZ型旋片式真空泵的型号意义：三、2XZ型旋片式真空泵的结构特点：1.体积小，重量轻、噪音低；2.设有气镇阀，可抽除少量水蒸汽；3.设有自动防返油双重保险装置；4.小口径2XZ-2，2XZ-4真空泵专配真空干燥箱、冷冻干燥机，印刷机械；5.配小口径转换接头、KF接口；2、先拧开加油螺塞，从加油孔中加油至油标2/3(因出厂运输关系，真空泵腔内无泵油灌入)，后从进气管孔内加入少许泵油(可能出厂时间太长引起泵腔内干燥)为加强泵腔内润滑。
油位过低对排气阀不能起封闭作用，影响真空度，过高可能会引起喷油。
泵油采用石化行业矿物油型真空泵油标准号为SH0528牌号，配用HFV-N1100，HFV-N1200,HFV-A100.SV-68等。
3、按规定接上三相电源线，三相电机要注意电机旋转方向与泵支架上的箭头方向一致，单相电机直接插上电源插座即可，试运转一下，再开始正常工作。
4、与泵进气管口的连接管道不宜过长，千万注意要检查真空泵外连接管道、接头及容器绝对不能漏气，要密封。
否则会影响极限真空及真空泵使用寿命。
5、泵的工作环境:温度5℃~40℃范围内，相对湿度不大于85%，进气口压力1.3*103帕的条件下工作。
2X型真空泵说明书
目录一、概述 (5)二、结构原理 (6)三、性能参数 (12)四、安装尺寸表 (15)五、拆箱安装 (16)六、使用说明 (18)七、维护保养 (19)八、故障排除 (20)九、维修 (22)Word资料一、2X型旋片式真空泵的产品用途及使用范围：１、2X型旋片式真空泵是用以抽除特定密封容器内的气体，使该容器获得一定真空的基本设备，由于现代科学技术的高度发展，真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位，可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产与教学之用。
２、由于旋片式真空泵是用黑色金属制造，而且比较精密，整个泵的工作都是联系在一起的，所以旋片式真空泵不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体，也不可做为压缩机和输送泵使用。
如有气镇装置的泵，可抽除一定地的可凝汽体。
，3、旋片式真空泵可以用来直接获得真空度在10~3托以下的真空作业，以及配合其它真空作业之用。
4、旋片式真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。
二、2X型旋片式真空泵的结构及原理：5、图1是旋片式真空泵泵原理图，转子3及7与高真空室外1及低真空室6相切，转子3及7沿箭头方向旋转，带动转子槽内滑动的转片旋转,由于弹簧9及离心力的作用, 转片外端紧贴高低真空室的内表面滑动,把转子与高低真空室所形成的月洼形空间从进气嘴2到排气阀门5和从过气管4到排气阀门10之间分隔开来,形成二或三个容积,并且周期性的大小变化,当在图示旋片式真空泵位置继续旋转时A及C容积逐渐增大,被抽容积气体没进气嘴进入泵内,同时B及D容积逐渐减少,压力升高,随后冲开排气阀门5及10,将气体排出真空室外,气体经过油面而排于大气之中,因为油是淹住排气门的,故能防止气体返回真空室。
当抽气压强较高时,高低真空室的阀门都排气,相当于单级泵,当真空度较高时,全部气体进入真空室,再由排气阀门10排出,此时二级串联即进入双级泵工作。
2x-70a型旋片式真空泵
有强大的实力去与之竞争，我相信迅速成长并日益成熟的中国阀门企业会在不远的将来实现令中国人民自豪的这个目标。本刊记者：知识经济的到来，创新在企业的发展过程中起到什么样的作 用？康秘书长：江泽民说过创新是民族进步的灵魂，是国家兴旺发达的不竭动力，没有创新企业无法长期保持旺盛的生命力，企业创新体现在机制创新、管理创新、技术创新、产品创新上。熊彼得认 为技术发明者不一定是“创新者”，只有那种敢于冒风险把新发明引入经济之中的企业家才是创新者，只有倡导和实行“创新”活动的企业经营者才是“企业家”。在网络信息高速发展的社会里，一层 不变的东西已不存在，企业要发展，创新是源动力，只用这种源动力才能将企业推向一个又一个新的台阶。志存高远、乘龙而飞本刊记者：中国企业的领导者在市场体系的浪涛中经历了严竣的考验， 一批企业家已经成长，他们在行业的发展中起着什么样的作用。康秘书长：一个企业的领导者决策者，他的行为方式、管理方法、眼光很大程度上决定着企业的未来，管理现代企业既要懂技术、懂业 务又要会管理，随着我国市场体系
泵由泵体、高转子、低转子、前端板、后端板、高转片、低转片、排气阀、排气罩、视镜等零部件组成。 在泵体内压入一个中隔板、将泵壳分成高低真空室，各室都有排气门，高真空室排气与低真空室进气相通。高转子前端伸出前轴；后端伸出 后轴。前轴通过前端板的轴承支持、经过油密封室而伸出前端板外：后轴由中隔板上的轴承支持。而伸入低真空室内，低真空室转子则装在后轴 上、故高低转子均由前轴带动。高低转子都有对开的槽子，呈“T”形的旋片由弹簧开而装于槽内。泵的进气口处有过滤网，而排气口处有挡油网， 视镜左边有掺气阀，下边有放油塞。 【2X 型双级旋片式真空泵】型号意义：
【2X 型双级旋片式真空泵】拆箱与安装：
拆箱后小心取出旋片真空泵体、备附件及说明书并保管好作日后备用。除去填充物，擦净泵的表面灰尘、垢。按装箱单清点数目。 旋片真空泵安装在环境清洁、通气良好，光线充足符合第4条要求的室内。根据使用情况泵应安装在有一定宽裕的场地，以便于操作维护。泵的外 形尺寸见。旋片真空泵可以放置在坚实平坦的地面上，不需特别的地基，如需固定可另加螺钉与基础固牢，地脚螺钉尺寸见。旋片真空泵如靠近 精密仪表使用时，应考虑增加防震装置。 将被抽容器用真空软管或法兰与旋片真空泵相联结，如用法兰联接时，法兰上应有橡胶圈槽，形式及尺寸见图50联接被抽容器的管径不应小于泵 进气口直径，管通宜短，接头宜少，否则影响抽速，管道和接头的漏气量应小。被抽容器的气体量应与泵的抽速相适应，旋片真空泵的抽速关系 见图4。在泵与被抽容器之间建议装上一个真空阀，以便控制气体流量。对于泵并建议装上一个放气阀（或电磁阀）以便停车时对泵放气,能防止 返油以及容易起动。 按照电机标牌所示电压和接线方式接上电源，并建议采用保险装置以免超载，判明电机旋转方向，应与泵上箭头方向一致。取下排气塞装上排气 罩，或将排所嘴上的套子取下。旋片真空泵需冷却者接上水源。 如必须使泵抽除有毒的及腐蚀黑色金属的气体、对真空油起化学变化的气体、及超过常温和有尘埃的气体时，应在进气管道上加装中和、冷却、 过滤等有关装置配合使用，否则将影响旋片真空泵使用性能和寿命。抽除对人体有害的气体时，应安上相应的管道，将排出气体引至室外远离工 区进行处理。
2x-70旋片真空泵
2X-4A
抽气速度（L/S）
2
4
关气镇
极限真空
Pa(Torr)
开气镇
电动机功率(KW)
0.37
0.55
温升（℃）
进气口径(mm)
18
25
转速(r/min)
450
用油量(L)
0.7
1.0
噪声 dB(A)
68
≤68
外形尺寸(cm)
56×31×39 56×34×37
适用电磁阀型号
DDC-JQ25
重量（kg）
2、由于旋片式真空泵是用黑色金属制造，而且比较精密，整个泵的工作都是联系在一起的，所以旋片式真空泵不适用于抽除含氧过高的、有 毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体，也不可做为压缩机和输送泵使用。如有气镇装置的泵，可抽除一定地的可 凝汽体。
3、旋片式真空泵可以用来直接获得真空度在10~3托以下的真空作业，以及配合其它真空作业之用。 4、旋片式真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。
注：安装时应小心，防止铁屑、污物、尘埃等落入泵内
【2X 型双级旋片式真空泵】使用说明：
1、旋片真空泵运转注意事项： （1）断续起动1—2次，观察在运转中有无异常声响及特殊的震动，无问题方可边续运转。 （2）注意油面应在视镜的两条油标线之间，油量多了会引起起动困难、返油、喷油等不良现象，少了则影响真空度。油量不足时应通过加油 孔加油。注意久停的泵油面要下降，将泵连续运转几转后，油面才会上升。 （3）打开冷却水 （4）打开泵进气嘴上的阀门，打开的大小视具体情况而定。
8、2X 旋片式真空泵油密封室里的油，由油池 A 经前端板上的孔供给。低真空室里的油，由油池 A 经后端板上的孔供给。高真空室的油，由 中隔板上的孔，循环供给。2X 旋片式真空泵前后端盖的密封是由泵体上部的油池 B 经泵体端面室的孔而流入油槽进行密封。
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一、2X型旋片式真空泵的产品用途及使用范围：１、2X型旋片式真空泵是用以抽除特定密封容器内的气体，使该容器获得一定真空的基本设备，由于现代科学技术的高度发展，真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位，可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产与教学之用。
２、由于旋片式真空泵是用黑色金属制造，而且比较精密，整个泵的工作都是联系在一起的，所以旋片式真空泵不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体，也不可做为压缩机和输送泵使用。
如有气镇装置的泵，可抽除一定地的可凝汽体。
，3、旋片式真空泵可以用来直接获得真空度在10~3托以下的真空作业，以及配合其它真空作业之用。
4、旋片式真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。
二、2X型旋片式真空泵的结构及原理：5、图1是旋片式真空泵泵原理图，转子3及7与高真空室外1及低真空室6相切，转子3及7沿箭头方向旋转，带动转子槽内滑动的转片旋转,由于弹簧9及离心力的作用, 转片外端紧贴高低真空室的内表面滑动,把转子与高低真空室所形成的月洼形空间从进气嘴2到排气阀门5和从过气管4到排气阀门10之间分隔开来,形成二或三个容积,并且周期性的大小变化,当在图示旋片式真空泵位置继续旋转时A及C容积逐渐增大,被抽容积气体没进气嘴进入泵内,同时B及D容积逐渐减少,压力升高,随后冲开排气阀门5及10,将气体排出真空室外,气体经过油面而排于大气之中,因为油是淹住排气门的,故能防止气体返回真空室。
当抽气压强较高时,高低真空室的阀门都排气,相当于单级泵,当真空度较高时,全部气体进入真空室,再由排气阀门10排出,此时二级串联即进入双级泵工作。
如被抽除的气体中含有较高的蒸汽气体时，在气体受到压缩而其蒸汽的分压强超过此蒸汽在泵内温度下的饱和压强时，此时蒸气被压缩成为液体，旋片式真空泵无法排出，而混在真空油内，使泵的性能大大降低。
如果掺入适量的空气，使蒸汽在受到压缩时，其分压强也低于泵温的饱和压强，则蒸汽在变成液体前就能被排出泵外去，故本系列2X-4以上的泵都装有能放入一定量气体的掺气阀11见图1（图1）附表６、2X系列的各种真空泵的外形和结构是基本相同的，泵由电机经三角皮带传动到转子。
电动机和泵用螺钉卡板固定在底盘上。
2X旋片式真空泵由泵体、高转子、低转子、前端板、后端板、高转片、低转片、排气阀、排气罩、视镜等零部件组成。
见图2、图3。
在2X旋片式真空泵体内压入一个中隔板、将真空泵壳分成高低真空室，各室都有排气门，高真空室排气与低真空气相通。
高转子前端伸出前轴；后端伸出后轴。
前轴通过前端板的轴承支持、经过油密封室而伸出前端板外：后轴由中隔板上的轴承支持。
而伸入低真空室内，低真空室转子则装在后轴上、故高低转子均由前轴带动。
高低转子都有对开的槽子，呈“T”形的旋片由弹簧支撑开而装于槽内。
2X旋片式真空泵的进气口处有过滤网，而排气口处有挡油网，视镜左边有掺气阀，下边有放油塞。
（图3）2X旋片式真空泵附表７、2X旋片式真空泵抽气过程：见图2，气体由进气嘴进入高真空室，起初是高压强，高低真空室都充满大气，两个排气门都打开排气。
随着抽气的进行，气压下降（即真空度提高），高真空室压力不足以推开排气门，气体经中隔板进入低真空室，此时压力亦不足推开排气门，但低真空室进入有一定量油，帮助推开排气门，气体亦随之排出。
排出的气体平杂着的油粒，经挡油网滤而使油分离，只有气体排出泵外，气体路径见图2。
８、2X旋片式真空泵油密封室里的油，由油池A经前端板上的孔供给。
低真空室里的油，由油池A经后端板上的孔供给。
高真空室的油，由中隔板上的孔，循环供给。
2X旋片式真空泵前后端盖的密封是由泵体上部的油池B经泵体端面室的孔而流入油槽进行密封。
三、2X型旋片式真空泵的性能参数：2X-222X旋片式真空泵注意：（1）真空度是指被抽容器内剩余气体压强，以分压强为我厂出厂标准，总压强为辅助标准，热偶计测的是各种蒸汽和永久气体的总压强，而麦氏表只能测出永久气体占的分压强，故二表的数值有一定的差异。
（2）抽速度是根据几何尺寸算出的在大气压强j时,实际抽速与几何抽速基本相符合,在各种不同的压强时,抽速有一定下降,抽速与压力关系见图4。
（3）温升是指泵温稳定后，在排气阀门处的油的温度与室温之差。
（4）2X旋片式真空泵型号表示方法：列2K—1，2代表双级泵，K代表旋片式真空泵，一横线后面的数字代表每秒钟的抽速。
四、2X型双级旋片式真空泵的安装尺寸表：五、2X型旋片式真空泵的拆箱安装：拆箱后小心取出旋片真空泵体、备附件及说明书并保管好作日后备用。
除去填充物，擦净泵的表面灰尘、垢。
按装箱单清点数目。
旋片真空泵安装在环境清洁、通气良好，光线充足符合第4条要求的室内。
根据使用情况泵应安装在有一定宽裕的场地，以便于操作维护。
泵的外形尺寸见。
旋片真空泵可以放置在坚实平坦的地面上，不需特别的地基，如需固定可另加螺钉与基础固牢，地脚螺钉尺寸见。
旋片真空泵如靠近精密仪表使用时，应考虑增加防震装置。
将被抽容器用真空软管或法兰与旋片真空泵相联结，如用法兰联接时，法兰上应有橡胶圈槽，形式及尺寸见图50联接被抽容器的管径不应小于泵进气口直径，管通宜短，接头宜少，否则影响抽速，管道和接头的漏气量应小。
被抽容器的气体量应与泵的抽速相适应，旋片真空泵的抽速关系见图4。
在泵与被抽容器之间建议装上一个真空阀，以便控制气体流量。
对于泵并建议装上一个放气阀（或电磁阀）以便停车时对泵放气,能防止返油以及容易起动。
按照电机标牌所示电压和接线方式接上电源，并建议采用保险装置以免超载，判明电机旋转方向，应与泵上箭头方向一致。
取下排气塞装上排气罩，或将排所嘴上的套子取下。
旋片真空泵需冷却者接上水源。
如必须使泵抽除有毒的及腐蚀黑色金属的气体、对真空油起化学变化的气体、及超过常温和有尘埃的气体时，应在进气管道上加装中和、冷却、过滤等有关装置配合使用，否则将影响旋片真空泵使用性能和寿命。
抽除对人体有害的气体时，应安上相应的管道，将排出气体引至室外远离工区进行处理。
注：安装时应小心，防止铁屑、污物、尘埃等落入泵内六、2X型旋片式真空泵的使用说明：1、旋片真空泵运转注意事项：（1）断续起动1—2次，观察在运转中有无异常声响及特殊的震动，无问题方可边续运转。
（2）注意油面应在视镜的两条油标线之间，油量多了会引起起动困难、返油、喷油等不良现象，少了则影响真空度。
油量不足时应通过加油孔加油。
注意久停的泵油面要下降，将泵连续运转几转后，油面才会上升。
（3）打开冷却水（4）打开泵进气嘴上的阀门，打开的大小视具体情况而定。
2、对初次安装好的旋片真空泵，应先做一次试车运转，此时泵应无安装不当的振动及无特殊冲击声响，电机不应超负荷，油温和极限真空度应符合技术规格。
3、停旋片真空泵时应先关断进气嘴上的阀门，装有放气阀者对泵放气，再截断电源，再停水源。
4、旋片真空泵使用中注意事项：（1）经常注意油位。
（2）泵起动后再缓慢打开阀门。
（3）经常注意泵运转是否正常，有无特殊声响，电机是否超负荷运转。
（4）注意冷却水是否中断。
（5）注意泵温升不超过40℃（6）如停车后旋片式真空泵温要下降到5℃以下时，泵内冷水必须除净。
七、2X型旋片式真空泵的维护保养：1、旋片真空泵在工作中除了注意第15条事项外，尚须注意下列事项：（1）旋片真空泵须经常保持清洁，泵上不得放置其他物件。
（2）注意皮带松紧是否适当，第半年年调整一次。
（3）管道接头是否漏气，及时杜绝。
2、旋片真空泵连续工作三月至半年之后，就应换油一次，在湿度较大的地区，在潮湿季节工作的泵，或被抽气体污染很大的，应根据具体情况酌情缩短换油时间。
换油事项如下：（1）将旋片真空泵拆除真空系统，把底盘电机一端垫高些，打开放油塞放油，转动真空泵、捂住排气口，使腔内污油全部从放油口放出，再从进气口处加入新油100—500ml持续转动5—10转以上对，内部进行清洗，照此操作3—5次，特污油放清后，再装上放油塞，将泵放平，从进气口及加油孔分别加入新油，换油即告完毕。
（2）换油时不宜长久开动电机，以免使排气阀片跳动过于剧烈和疲劳。
（3）严禁用煤油、汽油、酒精等对泵作非拆卸的清洗。
注：旋片式真空泵换油最好的油温升高后进行。
3、如停旋片真空泵时间较长，应取下排气罩放上排气塞，封闭进气口，放净积水。
八、2X型旋片式真空泵的使故障原因及消除方法：旋片式真空泵一般故障的排除：1、旋片式真空泵真空度不高：（1）泵温太高：（2）如被抽气体温度高，则应先将气体冷却后再进入旋片真空泵内。
B、如吸入硬物缸内磨损，应修复更换。
（3）如泵的冷却水不够，应打开或加大冷却水。
D、如装配不当，造成单面磨损，应检查再装。
（4）油位过低未到视镜油线位置，应加够油量。
（5）掺气阀未关严漏气，应关严。
（6）油质变坏，更换新油。
（7）旋片真空泵漏大气多是由于泵的端面油封不良所致，这时应打开排气盖，检查B 处油池是否缺油，如无油应从加油孔处加油，使油池B处积满油.（8）转片弹簧折断，应拆下更换。
（9）阀门片损坏，应更换。
（10）前端板上油密封里的密封圈损坏或橡胶变质，应更换。
（11）旋片真空泵使用时间长，磨损大、间隙增大，应修复或更换受损零件。
（12）进气处过滤网堵塞，取下清洗。
2、旋片式真空泵电机超负荷运转：（1）旋片真空泵温太高，照20条（1）款（1）项处理。
（2）吸入铁屑或其它机械物质造成单面磨损，应予修复或更换磨损零件。
（3）装配不当，造成单面磨损或咬毛，应修理重新装配。
3、旋片式真空泵其它：（1）轴端漏油，密封圈磨损或装配不正确，应更换或重装。
（2）开车喷油，油位太高，应放出多余的油，或各挡油装置已坏，应重新调整或修理。
（3）端面漏油，因前后端面碰伤不平，端板未拧紧，应将端面修平拧紧。
九、2X型旋片式真空泵的维修：1、将旋片式真空泵拆离真空系统，放油先拆低真空端（见图3），取下后端板后，再取低真空转子及键，然后将前端板拆下，取出真空转子及转片、弹簧等，取下视镜、排气阀门、排气盖，用汽油或者用酒精彻底清洗全部零件。
拆时应注意每个零件的部位，方向及组合松紧，拆下的零件应分开放置，不允许混在一起，互相磨伤。
检查全部零部件，看有无磨损或拉毛，打烂等不良现象，按情况进行修理或更换。
特别注意前后端板发现有较大程度的擦伤，说明装配时转子与中隔板不垂直，应予调整定位销钉，如太严重时应予修理或更换。
旋片式真空泵检查间隙：分别将高转子放入高真空室，低转子放入低真空室，用刀口尺及厚薄规检查间隙，两端的间隙应基本相等。
2、装配前应清洗干净并烘干，按图4进行装配，先装高真空端，将弹簧转片托起装入高转子内，然后放进高真空室，装上前端板，再装定位销钉，均匀拧紧螺钉，装配后应保证转动灵活轻松，均匀一致。