真空泵培训材料
2024年真空泵培训课件(版)
真空泵培训课件(附件版)真空泵培训课件一、引言真空泵是一种广泛应用于各个领域的设备，其主要功能是抽取或压缩气体，使容器内形成真空状态。
为了更好地了解和使用真空泵，本课件将详细介绍真空泵的原理、分类、应用、操作方法及维护保养等内容。
二、真空泵的原理与分类1.真空泵原理真空泵的工作原理是通过机械或物理方法，将容器内的气体抽出或压缩，从而降低容器内的气压。
根据工作原理的不同，真空泵可分为两大类：容积式真空泵和速度式真空泵。
（1）容积式真空泵：通过改变泵腔的体积，使气体在泵腔内产生周期性的膨胀和压缩，从而达到抽气或压缩气体的目的。
常见的容积式真空泵有旋片式真空泵、滑阀式真空泵等。
（2）速度式真空泵：通过高速旋转的叶轮或叶片，使气体产生离心力，从而将气体甩出泵腔，达到抽气或压缩气体的目的。
常见的速度式真空泵有罗茨泵、涡旋泵等。
2.真空泵分类（1）旋片式真空泵：具有结构简单、体积小、重量轻、噪音低等特点，广泛应用于实验室、医疗、食品等领域。
（2）滑阀式真空泵：具有抽气速率高、抗水蒸气能力强等特点，适用于化工、制药等行业。
（3）罗茨泵：具有抽气速率高、无油压缩、维修方便等特点，适用于电子、半导体、真空镀膜等领域。
（4）涡旋泵：具有抽气速率高、结构紧凑、无油压缩等特点，适用于分析仪器、真空干燥等领域。
三、真空泵的应用1.实验室：用于真空过滤、真空干燥、真空蒸馏等实验操作。
2.医疗：用于真空采血、真空包装、真空敷料等。
3.食品：用于真空包装、真空冷却、真空干燥等。
4.化工：用于真空蒸馏、真空吸料、真空输送等。
5.电子：用于真空镀膜、真空焊接、真空封装等。
6.半导体：用于真空刻蚀、真空沉积、真空吸附等。
7.分析仪器：用于真空采样、真空分析等。
四、真空泵的操作方法1.开机操作（1）检查真空泵及附件是否完好，连接管道是否牢固。
（2）打开电源开关，启动真空泵。
（3）观察真空泵的运行状态，确保正常工作。
2.关机操作（1）关闭真空泵的电源开关。
水环真空泵培训资料
水环真空泵培训资料第一篇：水环真空泵培训资料（上）水环真空泵是一种常见的真空设备，广泛应用于化工、制药、电力、冶金等领域。
它以其独特的工作原理和高效的性能而备受青睐。
在本篇文章中，我们将为大家介绍水环真空泵的结构、工作原理以及常见的应用场景。
1. 结构水环真空泵主要由泵体、水环、叶轮、分离室、进气口和出气口等部件组成。
其中，泵体是整个泵的主要部件，承受真空泵的全部压力。
水环是在泵体内形成的一个密闭环状空间，通过自身旋转和水的填充来实现密封作用。
叶轮是真空泵的核心部件，通过旋转从而产生气体吸入和排出的效果。
分离室则用于将液体与气体分离，确保排出的气体干燥。
2. 工作原理水环真空泵的工作原理可以简单概括为以下几个步骤：首先，泵体内的水环与泵轮一同旋转。
当泵轮旋转时，由于离心力的作用，水环被抛到泵体壁上形成密封，从而将泵体分割为若干个密闭空间。
然后，在泵轮的作用下，进气口的气体被吸入泵体，并经过连续的压缩作用，随后通过出气口排出。
同时，液体被抛到分离室，完成液-气分离的过程。
最后，泵体不断旋转，水环与泵轮的接触处的气体被排空，实现真空泵的持续工作。
3. 应用场景水环真空泵广泛应用于化工、制药、电力、冶金等行业的真空处理过程中。
以下是一些常见的应用场景：（1）化工工业：在化工生产过程中，水环真空泵用于提供各种化学反应、蒸馏、干燥等真空条件，保证产品的质量和产量。
（2）制药工业：制药行业中，水环真空泵用于提供制药过程中的真空条件，例如浓缩、干燥、蒸发等，确保药品的纯度和有效成分。
（3）电力行业：在电力行业中，水环真空泵主要用于发电机组、变压器等设备的真空处理，保证设备运行的可靠性和安全性。
（4）冶金工业：冶金行业中，水环真空泵常用于冶炼、炼钢等过程中的真空处理，清除气体和杂质，提高冶炼效果。
总结：水环真空泵通过其独特的工作原理和结构设计，得到了广泛的应用。
在化工、制药、电力、冶金等行业中，水环真空泵为保证工艺过程的顺利进行，提供了可靠的真空条件。
真空泵培训资料
应用范围
适用于对噪音和振动要求 较高的场合，如食品、医 药等。
罗茨式真空泵
工作原理
通过两个8字形的转子在泵壳内相互 啮合旋转，将气体吸入、压缩并排出 。
结构特点
应用范围
广泛应用于真空冶炼、真空镀膜、真 空干燥等领域。
结构紧凑、运转平稳、噪音低、寿命 长。
各类真空泵性能比较
• 抽速与极限真空度：旋片式真空泵和滑阀式真空泵具有较高的抽速，而 罗茨式真空泵则具有更高的极限真空度。
故障诊断与排除
配备专业的故障诊断工具和技术人员 ，对系统故障进行及时诊断和排除。
冗余设计
在关键部位采用冗余设计，如备用真 空泵、备用电源等，提高系统容错能 力和可靠性。
CHAPTER 05
真空泵在工业生产中应用实 例
电子行业应用
半导体制造
在半导体制造过程中，真空泵用于提供洁净的真空环境，确保生产 过程的稳定性和产品质量的可靠性。
真空泵培训资料
目录
• 真空泵基本概念与原理 • 真空泵选型及使用注意事项 • 常见类型真空泵介绍与比较 • 真空系统设计与优化建议 • 真空泵在工业生产中应用实例 • 未来发展趋势和新技术展望
CHAPTER 01
真空泵基本概念与原理
真空泵定义及作用
真空泵定义
真空泵是一种利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而 获得真空的器件或设备。
显示器生产
真空泵在显示器生产线上发挥重要作用，如LCD、OLED等显示面 板的制造过程中，需要真空泵来实现薄膜沉积、真空干燥等关键工 艺。
电子元器件制造
真空泵在电子元器件的制造过程中也有广泛应用，如电容器、电阻器 等元器件的生产线上，真空泵用于实现真空浸渍、真空烘干等工艺。
真空泵培训资料
2023
PART 06
实验操作与技能培训
REPORTING
实验设备介绍及使用方法
真空泵的种类与工作原理
介绍不同类型的真空泵，如机械泵、扩散泵、分子泵等，以及它 们的工作原理和适用范围。
真空计的选择与使用
讲解各种真空计的原理、使用方法及注意事项，如热传导真空计、 电离真空计等。
真空系统的组成与搭建
介绍真空系统的基本组成，包括真空室、真空泵、真空计、阀门等 ，并演示如何搭建一个简单的真空系统。
实验操作流程演示
1 2
真空泵的启动与关闭
演示如何正确启动和关闭真空泵，以及注意事项 。
真空度的测量与记录
演示如何使用真空计测量真空度，并正确记录实 验数据。
3
真空系统的检漏与故障排除
演示如何对真空系统进行检漏，以及如何处理常 见的故障。
操作技能考核标准
真空泵操作技能
能够熟练掌握真空泵的启动、关闭及日常维护等 操作。
真空系统检漏与故障排除技能
能够熟练掌握真空系统的检漏方法，以及常见故 障的排除技巧。
ABCD
真空度测量技能
能够正确使用真空计测量真空度，并准确记录实 验数据。
安全意识与规范操作
在实验过程中，始终保持安全意识，遵守实验室 规章制度和操作规程。
结构组成
真空泵的结构组成也因类型而异。一般来说，机械真 空泵主要由气缸、活塞、阀门、曲轴箱等部件组成； 物理真空泵则包括磁体、电极、冷却系统等部件；化 学真空泵则有吸附剂或冷凝剂填充的吸附室或冷凝室 等部件。此外，各类真空泵还可能配备有密封装置、 润滑系统、控制系统等辅助部件。
2023
PART 02
2023
REPORTING
真空泵培训资料课件
调试与试运行
完成安装后进行调试和试运行 ，检查真空泵的性能参数是否
满足要求。
验收与交付
完成调试和试运行后，进行验 收并交付使用，同时提供相关
操作和维护培训。
真空泵安全与环保
04
真空泵的安全操作规程
启动前检查
确保真空泵的润滑油、冷却水 、密封液等充足，检查电源、
管道连接等是否正常。
启动操作
按照规定的顺序启动真空泵， 注意泵内气体排出情况，及时 调整。
漏油
可能是由于密封件老化、损坏或安装 不当等原因引起。应检查密封件，如 有需要应更换密封件，并确保安装正 确。
真空泵性能参数与
03
选型
真空泵的性能参数
抽气速率
表示真空泵在单位时间 内能抽走的空气流量， 是衡量真空泵性能的重
要参数。
极限真空度
指在一定条件下，真空 泵所能达到的最低压力 ，反映真空泵的抽气能
真空泵培训资料课件
汇报人：任老师 2023-12-30
目录
• 真空泵基础知识 • 真空泵操作与维护 • 真空泵性能参数与选型 • 真空泵安全与环保 • 真空泵案例分析
真空泵基础知识
01
真空泵的定义与分类
总结词
了解真空泵的定义和分类是掌握其工作原理和应用的基础。
详细描述
真空泵是一种能够将密闭容器中的气体抽出，使其内部形成 负压的装置。根据工作原理和应用的不同，真空泵有多种分 类，如干式螺杆真空泵、水环式真空泵、旋片式真空泵等。
总结词
了解真空泵的应用领域有助于更好地选择和使用适合特定需求的真空泵。
详细描述
真空泵广泛应用于多个领域，如化工、制药、食品、电子、环保等。在化工和制药领域，真空泵用于各种反应釜 的负压操作；在食品工业中，真空泵用于包装机械的负压吸附和物料输送；在电子工业中，真空泵用于制造和加 工过程中的气体抽除；在环保领域，真空泵用于废气处理和烟尘排放控制等。
真空泵培训课件
域。
02
真空泵结构与工作原理
真空泵主要部件介绍
进气口
进气口是真空泵的入 口，与大气相通，允 许气体进入泵内。
叶轮
叶轮是真空泵的核心 部件，它快速旋转， 将气体从进气口吸入 ，并排向排气口。
排气口
排气口是真空泵的出 口，将经过压缩的气 体排出泵外。
温度过高
可能是由于真空泵内部热量控制不当 、冷却系统故障等原因导致。应检查 真空泵的冷却系统，确保冷却效果良 好。
可能是由于轴承磨损、齿轮啮合不良 等原因导致。应检查轴承和齿轮的磨 损情况，及时更换磨损严重的部件。
预防性维护保养建议
建立定期维护保养制度
01
制定详细的维护保养计划，并按照计划进行维护保养。
定期更换易损件
如真空泵的密封件、轴承等易损件，应定期更换，以保证真空泵的 正常运行。
保持真空泵的清洁
定期清理真空泵内部的灰尘和杂质，防止对真空泵造成损害。
常见故障原因分析及排除方法
真空度不足
可能是由于真空泵内部泄漏、过滤器 堵塞等原因导致。应检查真空泵的密 封件和过滤器，及时更换损坏的部件 。
噪音过大
泵体
泵体是真空泵的支撑 结构，它支撑着叶轮 、轴承和密封件。
轴承和密封件
轴承用于支撑叶轮， 密封件用于防止气体 泄漏。
真空泵工作原理详解
01
02
03
04
吸气过程
当叶轮旋转时，叶片带动气体 运动，使气体从进气口进入泵
内。
压缩过程
叶轮将气体压缩，使其压力升 高。
排气管路
经过压缩的气体通过排气管路 排出泵外。
THANKS
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真空泵日常维护知识培训
降低压力到规定值
2) 与设备要求的流量相比，风机流量太 将多余气体放到大气中 大，因而压力增大 或降低鼓风机转速 7.电机超载 3) 进口过滤堵塞，出口管道障碍或堵塞 清除障碍物
(4) 转动部件相碰和磨擦(卡住)
立即停机，检查原因
(5) 油位太高 将油位调到正确位置 (6) 窄B型皮带过热，振动过大,皮带轮 检查皮带张力，换成大 过小 直径的皮带轮
真空泵知识学习
一.真空泵知识学习
1 2 真空泵的基础知识 工作原理及结构说明
3
4
故障分析及处理
日常维护及保养
一.真空泵基础知识
• 真空泵的工作目的: 排出气体，获得真空。 • 真空泵的分类方法： 利用获得真空的原理方法 或用途进行分类。
一.真空泵基础知识
一.真空泵基础知识
一.真空泵基础知识
二.水环真空泵工作原理及结构说明
2.1水环真空泵日常监控：
在运行中，应时常观察如下情况： 1.供电电压和轴功率（电流）是否正常,机组的轴承温升是否正常，轴承温升不超 过35℃，实测温度最高应不超过75℃。电机、减速机轴承温升按电机、减速机 安装使用说明书。 2.液环真空泵的供水量是否正常，如果是轴封外供水，检查轴封供水是否正常。 注意：液环真空泵的前轴承由一个圆柱滚子轴承承担径抽载荷，后轴承由两个圆锥 滚子轴承组合承担径向和轴向载荷，所以液环真空泵在运转时，后轴承体的 测量温度会高于前轴承体的温度。 3.适当压紧填料，松紧度可通过填料压盖的螺栓来调节。轴封处允许有滴漏。填料 长时间使用后不能进一步调整时，应更换新的填料，更换时，应移出旧填料， 并清洗填料函。装填料时，填料切口位置应错开90°。 注意:停车一段时间后,因填料干涸,如果盘车时发现转子比较难转动,需松开填料压 盖,然后向填料喷一些机油,则能够使转子容易转动。 4.当用水作工作液时，尽可能使用软水。若不能满足，要定期清除水垢。如停泵后， 叶轮因水垢卡死，应充以10%草酸浸泡约30分钟，或用6%的盐酸快速冲洗，然后用 清水冲洗干净。如水垢较厚，要作解体清除。 注意：不要让清洗酸液接触到皮肤或溅入眼睛，必须穿戴相关的防护用品。
真空泵培训资料
泰兴新型工业泵厂真空泵培训资料二O一二年目录一.概述 (1)二.真空泵的选型 (2)三.立式真空泵的基本构造和工作原理 (3)四.真空泵的主要零部件结构 (3)4.1机身 (3)4.2气缸 (4)4.3气阀 (4)4.4活塞和活塞杆 (5)4.5活塞环和填料密封 (6)4.6曲轴 (8)4.7连杆 (8)4.8十字头 (9)4.9润滑 (10)4.10安装 (10)4.11真空泵试车 (11)4.12试运行 (11)4.13运转中检查 (12)4.14停机 (12)五.故障排除 (13)往复式真空泵一.概述真空泵是一种用来抽吸设备或系统中的气体，使其低于一个绝对大气压的气体压力的设备。
真空泵在多个工业部门中应用极为广泛。
在石油和化学工业中，物料的过滤、蒸发、浓缩、蒸馏、干燥、结晶、气体解析、尾气回收、真空包装等过程大多需要真空泵，以形成真空才能进行操作，尤其是电子工业和原子能工业，需要获得更高的真空才能使过程得以实现，真空泵已日益成为工业生产和国防部门经常采用的重要机器之一。
机械式真空泵按其结构型式可以分为往复式、回转式、水环式几大类，而按其工作条件则可分为干式及湿式两种类型，前者只用于抽吸气体，而后者可抽吸气液混合物。
真空泵按其工作原理可分为容积式和速度式。
往复式真空泵、水环式真空泵、螺杆式真空泵、罗茨真空泵都属于容积式真空泵。
蒸汽喷射泵、水喷射泵属于速度式真空泵。
在真空技术中，习惯采用/mmHg （毫米汞柱）或Torr （托），1托为单位来衡量真空系统可达到的真空度。
在中低压真空范围内常用真空度P 乙来表示真空系统所达到的真空程度。
P 乙=P N - P mmHg式中：P-水银柱压差（mmHg ）。
P N -当时当地的大气压（mmHg ）。
真空度P 乙即为真空系统的绝对压力。
当真空系统中绝对压力大于1mmHg 时，常采用真空度百分数表示。
即：真空度（%）=（P N （760）-P ）/ P N （760）×100% P N -当时当地的大气压（mmHg ）。
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粗低真空
蒲公英
高真空
•冶炼 •真空热处理、真空焊接 •集成电路、半导体制造 •各种镀膜工艺 •各种表面加工工艺 •化学研究 •离子注入 •隔离作用（绝热）
超高真空
•食品行业 •化工行业 •冷冻干燥 •轻工行业 •制药行业 •导电 (真空放电灯具)
•空间模拟 •材料科学分析 •物理现象研究 •表面分析 •高纯材料制备 (如： MBE)
蒲公英
参见国标：GB/T 3163-97《真空技术名词术语》
合肥工业大学真空与过程装备教研室
一、机械真空泵基础知识
4、机械真空泵性能参量
几点说明： 实际应用中真空泵的抽气速率和极限压力是真空泵选配的最重要参 量； 真空泵的性能测试必须严格按照相关国家标准规定的项目和测试条 件来执行； 性能测试标准由国标、部标、企业标准几个等级； 真空泵在不同使用条件下，强调的性能参数是不同的； 对于不同类型真空泵，所需测试的项目差别很大； 真空泵性能和真空系统性能是两个概念。
蒲公英
蒲公英
真空泵培训材料（二）
合肥工业大学机械与汽车工程学院 真空与过程装备教研室 王君 2006年11月
液环式真空泵
1、液环真空泵的工作原理； 2、液环真空泵的基本类型和优缺点； 3、液环泵的结构； 4、液环泵的主要参数计算及选型； 5、液环泵的使用、维护注意事项；
蒲公英
合肥工业大学真空与过程装备教研室
蒲公英
参见国标：GB/T 3163-97《真空技术名词术语》
合肥工业大学真空与过程装备教研室
一、机械真空泵基础知识
3、机械真空泵
泵。 变容真空泵（Positive displacement pump）：泵腔容积的周期性变化 来完成抽气。 动量传输泵（Kinetic vacuum pump）：依靠高速叶片、射流，将动量 传递给气体，完成抽气。
一、机械真空泵基础知识
1、几个基本问题 1.3 抽速特性曲线
蒲公英
1 抽速 2 3 4 10-10 入口压力 10- 10--1
-3
合肥工业大学真空与过程装备教研室
一、机械真空泵基础知识
1、几个基本问题
1.4 真空条件下气体的流动子流 (分子运动相对独立)
蒲公英
合肥工业大学真空与过程装备教研室
二、液环式真空泵
2、液环真空泵的基本类型和优缺点 2.0 型号及基本参数
水环真 空泵级数， 阿拉伯数字 表示，单级 不表示，2 表示两级。 2 SK A 6 P 1
水环真空泵用”SK”、 “SZ”表示；水环压缩机 用”SY”表示。 最大气量相同， 但极限真空度不同的 水环泵，A代表较高， B代表较低。
合肥工业大学真空与过程装备教研室
一、机械真空泵基础知识
1、几个基本问题 1.2 真空系统的基本组成
9 1 4
蒲公英
7 8 5 7 2 6 3
8
1 2 3 3a 4 5 6 7 8 9
真空室 高真空泵（主泵） 预抽泵 前级泵 高真空阀门 低真空阀门 前级管道 放气阀 低真空计 高真空计
3a
合肥工业大学真空与过程装备教研室
蒲公英
真空泵培训材料（一）
合肥工业大学机械与汽车工程学院 真空与过程装备教研室 王君 2006年11月
真空泵培训基本内容
1、真空泵的基础知识； 2、液环式真空泵； 3、旋片式真空泵； 4、滑阀式真空泵； 5、罗茨式真空泵； 6、分子泵； 7、无油干式真空泵； 8、喷射式真空泵； 9、气体捕集真空泵。
合肥工业大学真空与过程装备教研室
一、机械真空泵基础知识
2、真空泵的类型（按真空获得的方法）
真空获得的方法 气体输送 变容真空泵 往复式 隔膜式 活塞式 旋片泵 定片泵 气体捕集 动量传输真空泵 喷射真空泵 吸附泵 冷阱 低温泵 升华泵 涡轮泵 油封泵 滑阀泵 罗茨泵 蜗旋泵 复合泵 气体喷射泵 分子筛吸附泵 蒸汽喷射泵 溅射离子泵
蒲公英
合肥工业大学真空与过程装备教研室
一、机械真空泵基础知识
5、机械真空泵规格及型号
真空泵型号组成：
真空泵 1 2 级数，阿拉 伯数字表 示，不分级 或单级者省 略。 真空泵名称，构 成名称关键字的汉语 拼音第一个或前两个 字母。 真空泵特征，用 关键字汉语拼音的第 一（或第二）个大写 字母表示。 基本型号 3 4 5 6 真空泵 设计序号， 用A、B、C、 D…顺序表示。
蒲公英
大气喷 射器的级数。 1表示1级，2 表示2级。
是否带有大气喷射 器，带有则用”P”。
最大抽速，m3/min。
参见达道安《真空设计手册》
合肥工业大学真空与过程装备教研室
二、液环式真空泵
2、液环真空泵的基本类型和优缺点
2.1 基本类型（按照叶轮个数分类） 单级泵：泵中只有一个叶轮，为液环泵最常见的形式； 两级泵：利用心轴将两个单级泵串联而成（非泵管道的串联）； 比较： 两级泵的极限真空度高； 在较低压力下，两级泵仍具有较大抽速； 两级泵更适合较高真空条件下的需要。
蒲公英
合肥工业大学真空与过程装备教研室
二、液环式真空泵
2、液环真空泵的基本类型和优缺点
2.1 基本类型（按照吸、排气状态分类） 液环真空泵：泵的进口为真空状态，出口为大气压力。该类泵主 要用于粗低真空获得，化工行业的脱酸、脱气等。 液环压缩机：泵进口为大气压力状态，出口高于大气压力。主要 用于化工行业介质的输送。 介于真空泵和压缩机之间：介于真空泵和压缩机二者之间的液环 泵。进口为真空状态，出口为压缩状态，用于煤矿瓦斯气体抽除 和火炉煤气的抽送。
W 2 X X 3 L GL D 35 15 63 B A 往复泵，抽速35L/s,二次改型； 二级旋片泵，15L/s,一次改型； 单级多旋片真空泵，63m3/h; 三级溅射离子泵，160L/s； 锆铝吸气剂泵，进气口100mm；
蒲公英
160 100
变容式机械泵的抽速分档：0.5、1、2、4、8、15、30、70、150、300、600、 1200、2500、5000、10000、20000、40000。
蒲公英
合肥工业大学真空与过程装备教研室
二、液环式真空泵
2、液环真空泵的基本类型和优缺点
2.1 基本类型（按照作用方式分类） 单作用：叶轮与泵体呈单偏心结构，叶轮旋转一次进行一次吸、排气。（该方 式结构简单，容易制造，吸、排气口面积大，压缩段较长，可以获得较高效率 及极限真空，且不易产生涡流和气蚀。但叶轮转子受力不均匀。） 双作用：叶轮与泵体呈双偏心结构，叶轮旋转一次进行两次吸、排气。
合肥工业大学真空与过程装备教研室
二、液环式真空泵
1、液环真空泵的工作原理（概念）
液环式真空泵采用带有多叶片的转子安装在泵壳内，当转 子旋转时，会将液体抛向泵壳并形成液环，液环和转子叶片形成 容积周期变化的旋转变容真空泵。水环泵是液环式真空泵中最常 见的一种。
解释： • 液环的形成：旋转离心力； • 工作腔形成：转子+液环+泵端盖； • 抽气原理： 利用若干个、体积变化的工 作腔的容积变化来实现抽气作用； • 也可以作为压缩机来使用。
10-9
10-5
10-1
10+2
10+5
合肥工业大学真空与过程装备教研室
一、机械真空泵基础知识
7、几个思考题：
何谓“真空泵”、“机械真空泵”？ 真空泵分类的基本方法及结果如何？ 真空泵有哪几个典型参数，选泵时最重要的有哪两个？ 真空泵型号是如何构成的？ 各种类型真空泵的工作压力范围如何？
参见标准：JB/T 7637-95《真空泵型号组成》
合肥工业大学真空与过程装备教研室
一、机械真空泵基础知识
6、真空泵的使用范围
超高真空 <10-5Pa 高真空 10-5~10-1Pa 中真空 10-1~102Pa
膜片泵 液环泵
低真空 102~105Pa
活塞泵
蒲公英
旋片泵 滑阀泵 罗茨泵 爪形泵 涡旋泵 液体喷射泵 涡轮分子泵 扩散泵 升华泵 溅射离子泵 低温泵 扩散喷射泵 吸附泵 蒸汽喷射泵
蒲公英
合肥工业大学真空与过程装备教研室
二、液环式真空泵
1、液环真空泵的工作原理（能量传输过程）
液体被叶轮带动后，获得动能并形成紧贴于泵腔的液环； 液环在泵腔内回转，在吸气侧不断被加速，并吸入气体； 在向排气侧转动过程中，液体经历了加速~减速的过程，动能经历 了增加~降低，势能则降低~增加； 在排气侧，气体被压缩，而液体增加的势能则被传递给气体，以 抵抗气体膨胀压力； 压缩的气体在排气侧排出； 液环剩余的能量将会推动叶轮旋转。
本讲座将介绍各类泵的原理、基本参数、基本结构、相 关标准、安装、使用及维护的基本知识。
蒲公英
合肥工业大学真空与过程装备教研室
合肥工业大学真空与过程装备教研室
一、机械真空泵基础知识
1、几个基本问题 1.1 定义
真空泵是根据一定的工作原理，用来产生、改善和维持真 空环境的装置。 解释： • 真空泵的工作原理：机械、物理、化学。 • 真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。 • 真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。 • 真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。
凡是利用机械运动（转动或滑动）来获得真空的泵，称为机械真空
蒲公英
常见机械真空泵图形符号 参见国标：GB/T 3164-93 《真空技术系统图用图形符号》
合肥工业大学真空与过程装备教研室
一、机械真空泵基础知识
4、机械真空泵性能参量
抽气速率（Flow rate）：在相关标准测试条件下，从测试罩流过的气体 流量和在测试罩指定位置测得的平衡压力之比。 极限压力（Ultimate pressure）：在标准测试条件下，不引入气体正常工 作条件下，趋向稳定的最低压力。 启动压力（Stating pressure）: 泵无损坏启动并且有抽气作用的压力。 前级压力（Backing pressure）: 排气压力低于一个大气压，真空泵的出 口压力。 最大前级压力（Maximum backing pressure）:能使泵损坏的前级压力。 最大工作压力（Maximum working pressure）:对应最大抽气量的入口压 力。 抽气量（Throughout of vacuum pump）:流经泵入口的气体流量。 压缩比（Compression ratio）:泵对给定气体的出口压力和入口压力之比。