真空泵培训资料

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真空泵知识大全培训课件

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由此导致入口处与出口处因气体分子数浓度不 同而产生扩散现象
❖ Principle Diagram
❖ The Function Description
Cold Head能防止油蒸气回流至Chamber Fore line管路中的Buffer防止油蒸气被Pump抽走 油挡板和冷凝井使用都是为了进一步防止油蒸气
Diffusion Pump CRYO Pump
Principle
压缩、扩散 压缩、扩散 压缩、扩散
用油做介质 冷却、扩散
用冷媒做介质 冷却、吸附
Range 可达10-3torr 可达10-3torr 可达10-5torr
可达10-5torr
可达10-8torr
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池保护。
Turbo Pump不能即停,会影响rotor和叶片,影响Pump寿命。
➢Diffusion Pump
❖ The Working Principle
真空油被加热之后,获得极高的热能 分子由喷嘴处向下喷射,且与周围气体分子碰
撞,由动量转移
通过外接低真空pump将聚集在出口处的气体 分子带走
❖Regeneration Procedure Purge
Vacuum controller: AUTO 切 MANUAL Turn off ion gauge Turn off power 通入热的N2
After 4 hours to roughing
❖Regeneration Procedure
潤滑 降溫 密封
❖ The Pumping Procedure
1 吸入
3 过压
2 压缩
4 排气

真空泵培训资料

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应用范围
适用于对噪音和振动要求 较高的场合,如食品、医 药等。
罗茨式真空泵
工作原理
通过两个8字形的转子在泵壳内相互 啮合旋转,将气体吸入、压缩并排出 。
结构特点
应用范围
广泛应用于真空冶炼、真空镀膜、真 空干燥等领域。
结构紧凑、运转平稳、噪音低、寿命 长。
各类真空泵性能比较
• 抽速与极限真空度:旋片式真空泵和滑阀式真空泵具有较高的抽速,而 罗茨式真空泵则具有更高的极限真空度。
故障诊断与排除
配备专业的故障诊断工具和技术人员 ,对系统故障进行及时诊断和排除。
冗余设计
在关键部位采用冗余设计,如备用真 空泵、备用电源等,提高系统容错能 力和可靠性。
CHAPTER 05
真空泵在工业生产中应用实 例
电子行业应用
半导体制造
在半导体制造过程中,真空泵用于提供洁净的真空环境,确保生产 过程的稳定性和产品质量的可靠性。
真空泵培训资料
目录
• 真空泵基本概念与原理 • 真空泵选型及使用注意事项 • 常见类型真空泵介绍与比较 • 真空系统设计与优化建议 • 真空泵在工业生产中应用实例 • 未来发展趋势和新技术展望
CHAPTER 01
真空泵基本概念与原理
真空泵定义及作用
真空泵定义
真空泵是一种利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而 获得真空的器件或设备。
显示器生产
真空泵在显示器生产线上发挥重要作用,如LCD、OLED等显示面 板的制造过程中,需要真空泵来实现薄膜沉积、真空干燥等关键工 艺。
电子元器件制造
真空泵在电子元器件的制造过程中也有广泛应用,如电容器、电阻器 等元器件的生产线上,真空泵用于实现真空浸渍、真空烘干等工艺。

真空泵培训资料

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2023
PART 06
实验操作与技能培训
REPORTING
实验设备介绍及使用方法
真空泵的种类与工作原理
介绍不同类型的真空泵,如机械泵、扩散泵、分子泵等,以及它 们的工作原理和适用范围。
真空计的选择与使用
讲解各种真空计的原理、使用方法及注意事项,如热传导真空计、 电离真空计等。
真空系统的组成与搭建
介绍真空系统的基本组成,包括真空室、真空泵、真空计、阀门等 ,并演示如何搭建一个简单的真空系统。
实验操作流程演示
1 2
真空泵的启动与关闭
演示如何正确启动和关闭真空泵,以及注意事项 。
真空度的测量与记录
演示如何使用真空计测量真空度,并正确记录实 验数据。
3
真空系统的检漏与故障排除
演示如何对真空系统进行检漏,以及如何处理常 见的故障。
操作技能考核标准
真空泵操作技能
能够熟练掌握真空泵的启动、关闭及日常维护等 操作。
真空系统检漏与故障排除技能
能够熟练掌握真空系统的检漏方法,以及常见故 障的排除技巧。
ABCD
真空度测量技能
能够正确使用真空计测量真空度,并准确记录实 验数据。
安全意识与规范操作
在实验过程中,始终保持安全意识,遵守实验室 规章制度和操作规程。
结构组成
真空泵的结构组成也因类型而异。一般来说,机械真 空泵主要由气缸、活塞、阀门、曲轴箱等部件组成; 物理真空泵则包括磁体、电极、冷却系统等部件;化 学真空泵则有吸附剂或冷凝剂填充的吸附室或冷凝室 等部件。此外,各类真空泵还可能配备有密封装置、 润滑系统、控制系统等辅助部件。
2023
PART 02
2023
REPORTING

真空泵培训资料课件

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调试与试运行
完成安装后进行调试和试运行 ,检查真空泵的性能参数是否
满足要求。
验收与交付
完成调试和试运行后,进行验 收并交付使用,同时提供相关
操作和维护培训。
真空泵安全与环保
04
真空泵的安全操作规程
启动前检查
确保真空泵的润滑油、冷却水 、密封液等充足,检查电源、
管道连接等是否正常。
启动操作
按照规定的顺序启动真空泵, 注意泵内气体排出情况,及时 调整。
漏油
可能是由于密封件老化、损坏或安装 不当等原因引起。应检查密封件,如 有需要应更换密封件,并确保安装正 确。
真空泵性能参数与
03
选型
真空泵的性能参数
抽气速率
表示真空泵在单位时间 内能抽走的空气流量, 是衡量真空泵性能的重
要参数。
极限真空度
指在一定条件下,真空 泵所能达到的最低压力 ,反映真空泵的抽气能
真空泵培训资料课件
汇报人:任老师 2023-12-30
目录
• 真空泵基础知识 • 真空泵操作与维护 • 真空泵性能参数与选型 • 真空泵安全与环保 • 真空泵案例分析
真空泵基础知识
01
真空泵的定义与分类
总结词
了解真空泵的定义和分类是掌握其工作原理和应用的基础。
详细描述
真空泵是一种能够将密闭容器中的气体抽出,使其内部形成 负压的装置。根据工作原理和应用的不同,真空泵有多种分 类,如干式螺杆真空泵、水环式真空泵、旋片式真空泵等。
总结词
了解真空泵的应用领域有助于更好地选择和使用适合特定需求的真空泵。
详细描述
真空泵广泛应用于多个领域,如化工、制药、食品、电子、环保等。在化工和制药领域,真空泵用于各种反应釜 的负压操作;在食品工业中,真空泵用于包装机械的负压吸附和物料输送;在电子工业中,真空泵用于制造和加 工过程中的气体抽除;在环保领域,真空泵用于废气处理和烟尘排放控制等。

真空泵培训课件

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除了上述领域,真空泵还广泛 应用于化工、医药、环保等领
域。
02
真空泵结构与工作原理
真空泵主要部件介绍
进气口
进气口是真空泵的入 口,与大气相通,允 许气体进入泵内。
叶轮
叶轮是真空泵的核心 部件,它快速旋转, 将气体从进气口吸入 ,并排向排气口。
排气口
排气口是真空泵的出 口,将经过压缩的气 体排出泵外。
温度过高
可能是由于真空泵内部热量控制不当 、冷却系统故障等原因导致。应检查 真空泵的冷却系统,确保冷却效果良 好。
可能是由于轴承磨损、齿轮啮合不良 等原因导致。应检查轴承和齿轮的磨 损情况,及时更换磨损严重的部件。
预防性维护保养建议
建立定期维护保养制度
01
制定详细的维护保养计划,并按照计划进行维护保养。
定期更换易损件
如真空泵的密封件、轴承等易损件,应定期更换,以保证真空泵的 正常运行。
保持真空泵的清洁
定期清理真空泵内部的灰尘和杂质,防止对真空泵造成损害。
常见故障原因分析及排除方法
真空度不足
可能是由于真空泵内部泄漏、过滤器 堵塞等原因导致。应检查真空泵的密 封件和过滤器,及时更换损坏的部件 。
噪音过大
泵体
泵体是真空泵的支撑 结构,它支撑着叶轮 、轴承和密封件。
轴承和密封件
轴承用于支撑叶轮, 密封件用于防止气体 泄漏。
真空泵工作原理详解
01
02
03
04
吸气过程
当叶轮旋转时,叶片带动气体 运动,使气体从进气口进入泵
内。
压缩过程
叶轮将气体压缩,使其压力升 高。
排气管路
经过压缩的气体通过排气管路 排出泵外。
THANKS
谢谢您的观看

真空泵培训讲义基础知识

真空泵培训讲义基础知识

3.1 概述3.1.1 真空的获得方法人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。

目前在真空技术中,采用各种不同的方法,已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa,宽达18个数量级的压力范围。

显然,只用一种真空泵,获得这样宽的低压空间的气体状态,是十分困难的。

在真空获得技术中,目前用以获得真空的技术方法有两种,一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出;另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。

利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多,分类方法各异,但是,最常用的方法还是按泵的工作原理或其结构特点加以分类。

这一点,我们将在下一节中介绍。

3.1.2 真空泵的分类按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体传输泵和气体捕集泵。

随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。

为了方便起见,将这些泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是必要的。

现分述如下:3.1.2.1 气体传输泵气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型:1)变容真空泵变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。

气体在排出前被压缩。

这种泵分为往复式及旋转式两种:⑴往复真空泵:是利用泵腔内活塞做往复运动,将气体吸入、压缩并排出。

因此,又称为活塞式真空泵。

⑵旋转真空泵:是利用泵腔内活塞做旋转运动,将气体吸入,压缩并排出。

旋转真空泵又有如下几种型式:①油封式真空泵:它是利用油类密封各运动部件之间的间隙,减少有害空间的一种旋转变容真空泵。

这种泵通常带有气镇装置,故又称气镇式真空泵。

按其结构特点分为如下五种型式。

真空泵培训课件

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真空泵培训课件一、引言真空泵是一种广泛应用于各个领域的设备,其主要功能是抽取或压缩气体,使容器内形成真空状态。

为了更好地了解和使用真空泵,本课件将详细介绍真空泵的原理、分类、应用、操作方法及维护保养等内容。

二、真空泵的原理与分类1.真空泵原理真空泵的工作原理是通过机械或物理方法,将容器内的气体抽出或压缩,从而降低容器内的气压。

根据工作原理的不同,真空泵可分为两大类:容积式真空泵和速度式真空泵。

(1)容积式真空泵:通过改变泵腔的体积,使气体在泵腔内产生周期性的膨胀和压缩,从而达到抽气或压缩气体的目的。

常见的容积式真空泵有旋片式真空泵、滑阀式真空泵等。

(2)速度式真空泵:通过高速旋转的叶轮或叶片,使气体产生离心力,从而将气体甩出泵腔,达到抽气或压缩气体的目的。

常见的速度式真空泵有罗茨泵、涡旋泵等。

2.真空泵分类(1)旋片式真空泵:具有结构简单、体积小、重量轻、噪音低等特点,广泛应用于实验室、医疗、食品等领域。

(2)滑阀式真空泵:具有抽气速率高、抗水蒸气能力强等特点,适用于化工、制药等行业。

(3)罗茨泵:具有抽气速率高、无油压缩、维修方便等特点,适用于电子、半导体、真空镀膜等领域。

(4)涡旋泵:具有抽气速率高、结构紧凑、无油压缩等特点,适用于分析仪器、真空干燥等领域。

三、真空泵的应用1.实验室:用于真空过滤、真空干燥、真空蒸馏等实验操作。

2.医疗:用于真空采血、真空包装、真空敷料等。

3.食品:用于真空包装、真空冷却、真空干燥等。

4.化工:用于真空蒸馏、真空吸料、真空输送等。

5.电子:用于真空镀膜、真空焊接、真空封装等。

6.半导体:用于真空刻蚀、真空沉积、真空吸附等。

7.分析仪器:用于真空采样、真空分析等。

四、真空泵的操作方法1.开机操作(1)检查真空泵及附件是否完好,连接管道是否牢固。

(2)打开电源开关,启动真空泵。

(3)观察真空泵的运行状态,确保正常工作。

2.关机操作(1)关闭真空泵的电源开关。

(2)关闭真空泵的进气阀门。

真空泵培训资料

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泰兴新型工业泵厂真空泵培训资料二O一二年目录一.概述 (1)二.真空泵的选型 (2)三.立式真空泵的基本构造和工作原理 (3)四.真空泵的主要零部件结构 (3)4.1机身 (3)4.2气缸 (4)4.3气阀 (4)4.4活塞和活塞杆 (5)4.5活塞环和填料密封 (6)4.6曲轴 (8)4.7连杆 (8)4.8十字头 (9)4.9润滑 (10)4.10安装 (10)4.11真空泵试车 (11)4.12试运行 (11)4.13运转中检查 (12)4.14停机 (12)五.故障排除 (13)往复式真空泵一.概述真空泵是一种用来抽吸设备或系统中的气体,使其低于一个绝对大气压的气体压力的设备。

真空泵在多个工业部门中应用极为广泛。

在石油和化学工业中,物料的过滤、蒸发、浓缩、蒸馏、干燥、结晶、气体解析、尾气回收、真空包装等过程大多需要真空泵,以形成真空才能进行操作,尤其是电子工业和原子能工业,需要获得更高的真空才能使过程得以实现,真空泵已日益成为工业生产和国防部门经常采用的重要机器之一。

机械式真空泵按其结构型式可以分为往复式、回转式、水环式几大类,而按其工作条件则可分为干式及湿式两种类型,前者只用于抽吸气体,而后者可抽吸气液混合物。

真空泵按其工作原理可分为容积式和速度式。

往复式真空泵、水环式真空泵、螺杆式真空泵、罗茨真空泵都属于容积式真空泵。

蒸汽喷射泵、水喷射泵属于速度式真空泵。

在真空技术中,习惯采用/mmHg (毫米汞柱)或Torr (托),1托为单位来衡量真空系统可达到的真空度。

在中低压真空范围内常用真空度P 乙来表示真空系统所达到的真空程度。

P 乙=P N - P mmHg式中:P-水银柱压差(mmHg )。

P N -当时当地的大气压(mmHg )。

真空度P 乙即为真空系统的绝对压力。

当真空系统中绝对压力大于1mmHg 时,常采用真空度百分数表示。

即:真空度(%)=(P N (760)-P )/ P N (760)×100% P N -当时当地的大气压(mmHg )。

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贝克泵培训报告
此次培训是和北京,深圳的同事一起在德国贝克公司(上海青浦贝克分公司)参加培训的。

培训的主要内容:气泵的类型,结构以及操作说明,维护保养等方面进行较详细的讲解,之后,到车间进行实操演练。

气泵的类型主要分干式和油式两种:小森机所配的气泵都是干式的,干式气泵又分:旋片式,旋涡式和螺杆式。

我们小森机所配置的是旋片式和旋涡式两种。

下面就以型号为:DVT3.80四开机的飞达泵(旋片式,也称碳片式)为例进行说明。

字母DVT代表的是型号,字母DT开头代表的是压力泵(吹气),VT开头代表的是真空泵(吸气),那么DVT代表的就是压力真空复合泵。

数字3代表的是版本号,也就是第3代产品,数字80代表的是最大流量等级(单位:m3/h)。

旋片式气泵常用流量为3~140m3/h。

压力真空复合泵能在压力、真空为±40~60kpa条件下同时使用真空吸气和排送压缩空气。

旋片式气泵的工作原理,主要机件由泵体、转子、滑片(碳片)组成。

转子偏心配置在气缸上部,转子上开有若干条纵向槽(通常为7条),在槽中装有能径向自由滑动的滑片,由于转子的偏心位置,气缸内壁与转子外表面间构成月
牙形的空间,当电机通过联轴器带动转子转动时,滑片在离心力的作用下紧贴在气缸内壁上,月牙形的空间被滑片分隔而形成若干扇形的气室,在转子旋转一周之内,各个气室将依次由最小值逐渐变大,直到最大值,然后再逐渐变小,直到最小值,随着转子的连续旋转,气室将遵循上述规律周而复始变化。

如图所示:
以下是复合泵的组装过程中需要注意的细节:
如需更换转子另一侧(内侧的)轴承,需拆出气泵散热风扇,在贝克公司使用的是专用拉玛如图所示:
更换轴承如下图所示:
把更换好内侧轴承的转子装入气缸时需注意:
更换石墨片时需注意:
另要注意的是:DVT3.80型气泵上的两个调节阀,压力阀和真空阀里的活塞安装的方向是相反的,如图所示:
贝克泵的使用和维护保养要注意:
1、合理的摆放位置,通风良好,以便散热。

周围无腐蚀性气体。

2、定期做清洁保养,风泵滤芯每周清洁一次,在其底部的滤芯每个月清洁一次。

滤芯最好每年进行更换。

3、定期加油:使用指定的润滑油,没1000h 加油一次。

葛立
2009-12-17
首先确定你们是什么类型的真空泵,以单级油泵为例:
1,检查油位,避免缺油运行,一般一个月左右更换一次润滑油.2,检查泵浦表面洁净度,表面干净,泵浦散热好.
3,观察排气口,如排气口有油烟,需要更换排气滤芯.4,一年左右做一次基本保养!5,三年到五年做一次大保养!。

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