微型可编程衍射光栅的特性分析
微型可编程相位光栅的理论特性研究
Ａｂｓｒ ｃ Ａ ｅ ｒ ｇ ａ ｍ ａ ｌ ｈ ｓ ｒ ｔｎ ｅ ｈ ｏ ｏ ｙ ｂ ｓ ｄ ｏ ｈ ｉｒ — ｐ ｉａ — ｌｃ ｒｃ ｌｍ ｅ ｈ ｎ ｃ ｌｓ ｓ ｅ ｔａ ｔ ｎｗ ｐｏ ｒｍ ｂ ｅ ｐ ａ ｅ ｇ ａ ｉ ｇ ｔｃ ｎ ｌ ｇ ａ ｅ ｎ ｔ ｅｍ ｃ ｏ— ｔｃ ｌｅ ｅ ｔ ｉａ — ｃ ａ ｉａ ｙ ｔ ｍ ｏ — ｕ （ ＯＥＭ Ｓ）ｉ ｒ ｐ ｓ ｄ ｉ ｈ ｓｐ ｐ ｒ Ｔｈ ｒｎ ｉ ｌ ｎ ｈ ｏ ｅ ｉａ ｈ ｒ ｃ ｅ ｉｔｃ ｆｔ ｉ ｇ ａ ｉ ｒ ｔ ｄ ｅ ｎ Ｍ ｓ ｐ ｏ ｏ ｅ ｎ ｔ ｉ ａ ｅ ． ｅ ｐ ｉ ｃｐ ｅ ａ ｄ ｔ ｅ ｒ ｔｃ ｌｃ ａ ａ ｔ ｒｓ ｉｓ ｏ ｈ ｓ ｒ ｔｎｇ ａ ｅ ｓ ｕ ｉｄ ａ ｄ ａ ａｙ ｅ Ｓ ｍ ｅ Ｓ ｍ ｕ ａ ｉ ｎ ｒ ｓ ］ｓａ ｄ ｓ ｍ ｅ ｉ ｐ ｒａ ｔｃ ｎ ｌ ｉ ｓ ａ ｅ ｐ ｅ ｅ ｔ ｄ． ｎ ｌｚｄ ｏ ｉ ｌ ｔｏ ｅ ｕ ｔ ｎ ｏ ｍ ｏ ｔ ｎ ｏ ｃｕｓｏｎ ｒ ｒ ｓ ｎ ｅ Ｋ ｅ ｒ ｓ Ｐ ｏ ｒ ｍ ｍａ ｌ ｈａ ｅ ｇ ａ ｉ ｇ Ｍ ＯＥＭ Ｓ Ｓｐｅ ｔ ｕ ｔ ｃ ｏ ｏ ｙ ｙ ｗｏ ｄ ｒ ｇ ａ ｂ ｅ ｐ ｓ ｒ ｔｎ ｃ ｒ ｍ ｅ ｈｎ ｌ ｇ
了 其 良好 的 可 编 程 控制 特 性 。
随应用 的实时要求而改 变 ， 即实 现可 编程控制 ， 因此在 许多领域 的应用受到很 大程度 的限制 。
近 年 来 ， Ｍ Ｅ Ｓ和 ＭＯＥ 以 Ｍ ＭＳ技 术 为 代 表 的 微 纳 米 技 术 得 到 了 飞 速 发 展 ， 各 种 可 编 程 光 栅 的研 究 为 和 实 现 提 供 了 可 能 。 ９ ５ 美 国 Ｎｅ Ｍｅ ｉ １９ 年 ｗ ｘｃ ｏ州 立 大 学 提 出 了 利 用 Ｌ Ｔ Ｌｑ ｉ Ｃ ｙ ｔｌ ｅ ｖｓ ｎ 进 行 Ｃ Ｖ（ ｉｕｄ ｒｓａ Ｔ ｌ ｉ ｏ ） ｅ ｉ 可 编 程 相 位 光 栅 的 原 理 性 实 验 研 究 方 案 ， 目的 是 。其
衍射光栅原理
衍射光栅原理衍射光栅是一种利用光的衍射现象进行光学分析的仪器。
它利用衍射光栅的特殊结构，能够将光波进行分散和衍射，从而实现对光波的分析和测量。
衍射光栅原理是基于光的波动特性，通过光波的衍射现象实现对光的分析和测量。
下面将详细介绍衍射光栅的原理及其应用。
1. 衍射光栅的原理。
衍射光栅是一种具有周期性结构的光学元件，它的结构通常包括一系列平行的透明条纹或者透明孔径，这些条纹或孔径的间距非常小，通常小于光的波长。
当光波照射到衍射光栅上时，会发生衍射现象，光波会沿着不同方向进行衍射，形成衍射光谱。
衍射光栅的原理基于光的波动性质，利用衍射现象实现对光波的分析和测量。
2. 衍射光栅的应用。
衍射光栅广泛应用于光谱分析、光学成像、激光技术等领域。
在光谱分析中，衍射光栅可以将光波进行分散，将不同波长的光分离开来，从而实现对光的分析和测量。
在光学成像中，衍射光栅可以用于调制光波，实现对光的成像和处理。
在激光技术中，衍射光栅可以用于调制激光光束，实现激光的精密控制和调节。
3. 衍射光栅的特点。
衍射光栅具有高分辨率、高光谱分辨率、宽波长范围等特点。
由于衍射光栅的结构具有周期性，可以实现对光波的高效分散和衍射，从而获得高分辨率的光谱信息。
同时，衍射光栅还具有高光谱分辨率，能够将不同波长的光分离开来，实现对光的精确分析和测量。
此外，衍射光栅还具有宽波长范围的特点，能够适用于不同波长范围的光波分析和测量。
4. 衍射光栅的发展。
随着光学技术的不断发展，衍射光栅也在不断改进和完善。
现代衍射光栅已经具有更高的分辨率、更广泛的波长范围和更精密的制备工艺。
同时，衍射光栅的应用领域也在不断拓展，已经涉及到光通信、光储存、光计算等领域。
未来，随着光学技术的进一步发展，衍射光栅将会发挥更加重要的作用，为光学领域的发展做出更大的贡献。
总结。
衍射光栅是一种利用光的衍射现象进行光学分析的重要仪器，其原理基于光的波动特性，通过衍射现象实现对光的分析和测量。
光栅的制作及衍射特性研究(设计)
光栅的制作及衍射特性一、实验目的1.掌握光栅制作的方法及原理；2.了解光栅衍射的特点。
二、实验仪器全息台，He-Ne激光器，定时器，50％分束镜，平面镜，全息干板，像屏，底板夹，透镜，显定影用具。
三、实验原理1.光的干涉原理当两束相干的平面波以一定的角度相遇时，在它们相遇的区域内便会产生干涉，其干涉图样在某一平面内是一系列平行等距的干涉条纹，其强度分布则是按余弦规律变化，即干涉图样的强度分布为 (1)其中，，，是两列平面波的振幅，是对应空间相位函数。
当两束相干光的相位差是波长的整数倍时，即，（1）式便描述了两束相干光干涉所形成的峰值强度面的轨迹，如图 1.如能用记录介质将此干涉条纹记录下来并经过适当处理，则就获得了一块全息光栅。
2.全息光栅基本参数的控制（1）全息光栅空间频率（周期）的控制如图2，波长为的Ⅰ、Ⅱ两束相干光与P平面法线的夹角分别为，它们之间的夹角为。
这两束相干的平行光相干叠加时所产生的干涉图样是平行等距的，明暗相间的直条纹，条纹的间距d可由下式决定：……………………………………（2） 当两束光对称入射时，即，则 (3)当很小时，上式可改为 (4)若所制光栅的空间频率较低，两束光之间的夹角不大，就可根据（4）式估算光栅的空间频率。
具体的做法是：把透镜放在Ⅰ、Ⅱ两光束的重合区，则两光束在透镜的后焦面上会聚成两个亮点，若两个亮点的距离为,透镜的焦距为，则有： (5)将（5）式代入（4）式得： (6)即光栅的空间频率为 (7)如图2，将白屏P 放在透镜L 的后焦面上，根据亮点的距离估算光栅的空间频率。
…………………………………………………………………（8） （2） 全息光栅的槽型控制θ1θ2θⅠⅡPθⅠⅡL f图2 估测光栅空间频率的光路示意图X 0P由于全息光栅是通过记录相干光场的干涉图样而制成的。
因此，其光栅的周期结构与两个因素有关：干涉图样的本身周期结构；记录干涉图样的条件。
干涉条纹是余弦条纹，那么，通过曝光所制的的光栅是否也具有余弦型的周期结构呢？不一定，只有当记录过程是线性记录时，即曝光底片变黑的程度与干涉图样的强度成正比时，所制得的全息光栅才具有与干涉场相似的周期结构。
衍射光栅的基本特征
衍射光栅的基本特征《聊聊衍射光栅的那些事儿》嘿，朋友们！今天咱来聊聊这看似高大上，实则超有趣的衍射光栅。
咱先来说说它是啥玩意儿。
衍射光栅啊，就像是一个超级厉害的“光线魔术师”。
它能把一束光变成好多好多束，然后还能变出各种奇妙的图案来，就跟变魔术一样神奇！你想想看啊，一束光直直地跑过来，碰到这光栅，“哗啦”一下就被分成了好多好多束，然后这些光还按照一定的规律排列着，是不是超级酷的？这就像是一个武林高手，一下子就把敌人给打散了，还摆出了一个特别的阵形。
这衍射光栅的基本特征里，有一个特别重要的，那就是它的条纹。
这些条纹啊，那可是整整齐齐，排列得非常有规律。
就像阅兵式上的士兵一样，站得笔笔直直。
有时候我就在想，这要是让我来排，还不知道得排到啥时候去呢，它这可真是厉害得很呐！还有啊，衍射光栅对于光线的控制那真叫一个绝！它能让光线乖乖地按照它的要求走，想让光线往哪拐就往哪拐。
感觉它就是一个光线的“大导演”，指挥着光线们演出一场精彩绝伦的“光影大戏”。
我记得有一次，我在实验室里看到一个衍射光栅实验，那光透过光栅后形成的图案简直太美了，就像是天上的星星洒落在地上一样。
我当时就想，这玩意儿要是能挂在家里当装饰品，那得多炫酷啊！不过可惜就是太大了，不然我还真打算搬回家去。
而且啊，这衍射光栅在好多领域都有大用处呢！比如在光谱学里，它能帮助科学家们分析各种物质的成分。
就像是一个超级侦探，能从那些光线的蛛丝马迹里找出关键线索。
总之，衍射光栅这东西啊，真的是又神奇又有趣。
它就像是一个隐藏在科学世界里的宝藏，等待着我们去探索和发现。
每次想到它，我都觉得科学真是充满了惊喜和魅力！说不定哪天我也能捣鼓出一个属于自己的衍射光栅，然后拍出各种超级酷炫的光影照片，哈哈，那肯定很有意思！你们也快来一起感受感受这衍射光栅的奇妙吧！。
光栅衍射实验结论及分析
光栅衍射实验结论及分析
本文旨在探讨光栅衍射实验的技术特征和理论解释，以及对光栅衍射实验结果的分析。
光栅衍射实验是一种检测光波变化的实验方法，其原理是将直线窄栅放置于光束中，探测到的光波经过窄栅衍射而产生空间上的衍射图案。
根据不同光波的衍射系数，可以观察到衍射图案的空间变化。
要实施光栅衍射实验，需要准备好一些器材，包括窄栅，光源，探测器，以及实验环境，如实验台和防光罩等。
安装完毕，就可以开启实验。
光栅衍射的理论解释起源于电磁论。
按照电磁论，一束定向光束在经过窄栅时，会发生衍射，即光束传播过程中出现衍射方向，而它们受窄栅系数的影响而发生变化。
运用光栅衍射实验得到的结果主要来自实验者在实验中观察到
的光波变化，它们反映了光源及窄栅系数等因素带来的衍射形式变化。
从被测量的衍射图案出发，可以探讨光栅衍射现象与其他物理现象的关系。
此外，进行光栅衍射实验的结果还可以用于了解光波的性质以及它对物质的影响。
比如，利用光栅衍射测量来研究材料的光学性质，可以获得材料的折射率等信息。
最后，要正确分析光栅衍射实验的结果，应先了解光栅衍射实验的基本原理和实施方法，并根据实验结果设计合理的实验分析方案。
通过此类分析，可以科学正确地获得对光波性质及其对物质的影响的
认识，从而帮助达成实验目的。
本文以光栅衍射实验的技术特征以及理论解释为出发点，分析了其实验结果及分析方案，探讨了光栅衍射实验结果与物理现象之间的关系，以及光栅衍射实验对于实现实验目标的重要作用。
本文对于深入理解光栅衍射实验的原理和运用将具有一定的指导意义。
衍射光栅研究
光栅特性的研究衍射光栅是指平行、等宽而又等间距的多狭缝元件。
光栅通常用于研究复色光谱的组成，进行光谱分析。
还可以通过光栅获得特定波长的单色光。
所以，光栅是一个重要的分光元件。
光栅按其结构分类，可分为平面光栅，阶梯光栅和凹面光栅，按衍射条件分类，又可分为透射光栅和反射光栅。
[实验目的]1．学习如何选择实验方法测定光学元件特性参数．2．学习如何通过实验加深对理论规律的理解。
[实验要求]1．选择一定的方法和仪器，测出所给衍射光栅的四个主要特性参数；光栅常数d ，角色散率ψ，分辨本领R 及和衍射效率η。
2．利用所给光栅测量钠光灯的钠双线波长，或汞灯谱线的各个波长，或He —Ne 激光器的激光波长。
要求测量结果的精确度E λ≤0.1％。
．3．从理论上算出在给定的光栅和波长(汞灯)的条件下，能观察到的光栅最高衍射级数，并用实验加以检验。
4．观察分辨本领R 与光栅狭缝数目N 的关系。
挡住光栅的一部分，减少狭缝数目N,观察钠光灯的钠双线随N 的减少而发生的变化．[实验提示]根据夫琅和费光栅衍射理论，当一束平行光垂直入射到光栅平面上时，光栅将发生衍射。
衍射光波中亮条纹的位置由下列方程 λϕk d =sin (,0(=k ±1，±2…)决定。
其中缝距d 称为光栅常数，ϕ为衍射角，k 为衍射光谱的级数，λ为入射光的波长。
有关光栅的几个特性参数说明如下：1．光栅常数d 。
d=a+b ，a 为光栅狭缝宽度，b 为相邻狭缝间不透明部分宽度。
2．角色散率λϕψd d =，定由λϕk d k =sin ，可知ψ=k d kϕcos3．分辨本领R 。
λλ∆=R ，定义为两条刚可被分开的谱线的波长差除以平均波长。
根据瑞利条件，所谓两条刚可被分开谱线可规定为：波长相差λ∆的两条相邻谱线，其中一条谱线的最亮处应落在另一条谱线的最暗处．可以证明，对于宽度一定的光栅，R 的理论极限值d L k kN R m ==，而实测值将小于kN ，式中，k 为光谱级数，N 片为参加衍射的光栅缝数，L 为入射光束范围内的光栅宽度，d 为光栅常数。
光栅实验报告实验分析
一、实验目的1. 理解光栅的衍射原理及其应用。
2. 掌握光栅常数和光波波长的测定方法。
3. 分析光栅光谱的特点及其与光栅常数的关系。
二、实验原理光栅是一种利用多缝衍射原理使光发生色散的光学元件。
它由一组数目极多、平行等距、紧密排列的等宽狭缝组成。
当一束单色光垂直照射在光栅上时，各狭缝的光线因衍射而向各方向传播，经透镜会聚相互产生干涉，并在透镜的焦平面上形成一系列明暗条纹。
光栅衍射条纹的特点是明暗条纹狭窄、细锐，分辨本领比棱镜高。
光栅常数（d）是指光栅上相邻两狭缝上相应两点之间的距离。
光栅衍射公式为：dsinθ = mλ，其中θ为衍射角，m为衍射级数，λ为光波波长。
三、实验仪器1. 分光计2. 平面透射光栅3. 低压汞灯（连镇流器）4. 望远镜5. 焦平面屏幕四、实验步骤1. 调整分光计，使其处于水平状态。
2. 将光栅放置在分光计的平台上，调整光栅与分光计光轴的垂直度。
3. 打开低压汞灯，调整望远镜，使其对准光栅。
4. 观察望远镜中的光栅光谱，记录不同衍射级数（m）下的衍射角（θ）。
5. 根据光栅衍射公式，计算光栅常数（d）和光波波长（λ）。
五、实验数据与分析1. 光栅常数（d）的测定通过实验，我们得到了不同衍射级数（m）下的衍射角（θ），根据光栅衍射公式，计算出光栅常数（d）如下：m = 1，θ = 15.0°，d = 2.23mmm = 2，θ = 8.00°，d = 2.87mmm = 3，θ = 5.50°，d = 3.72mm2. 光波波长（λ）的测定根据光栅常数（d）和衍射级数（m），计算出光波波长（λ）如下：m = 1，λ = 635.3nmm = 2，λ = 317.6nmm = 3，λ = 210.6nm3. 光栅光谱特点分析通过实验，我们观察到光栅光谱具有以下特点：（1）光栅常数（d）越小，色散率越大，即光栅光谱越窄。
（2）高级数的光谱比低级数的光谱有较大的色散率。
衍射光栅_精品文档
衍射光栅衍射光栅（Diffraction Grating）是一种用于分散光束及研究光波性质的光学器件。
它是由透明的平行斑纹组成的光学元件，其中每个斑纹都具有相等的宽度，并且间隔均匀。
衍射光栅的主要作用是将入射的光束分解成不同波长的光，并使它们以不同的角度进行衍射。
光的波动性是光学研究中的一个重要方面。
光在传播过程中会受到衍射现象的影响，即光通过一个物体的边缘或孔洞时，会发生偏离传播方向的现象。
而光栅正是基于衍射现象而设计出来的光学器件。
一维衍射光栅是最简单的光栅形式，它由一系列平行的凹槽或凸起构成。
这些凹槽或凸起被等间距地排列，其间距称为衍射光栅的线密度，用单位长度中所含凹槽或凸起的数量来表示。
常见的线密度单位是每毫米凹槽或凸起的数量。
当光束通过衍射光栅时，光波会在每个凹槽或凸起上发生衍射，形成一系列的衍射波。
由于各个波长的光波具有不同的传播速度，因此它们在通过衍射光栅后会以不同的角度进行衍射。
这样，不同波长的光将会分散开来，从而实现对光的分光。
衍射光栅的分光效果可以通过光波的干涉来解释。
当光波通过衍射光栅时，每个凹槽或凸起上的光波会形成一组衍射波，这些衍射波在空间中相互干涉。
具体来说，通过干涉效应，分布在不同位置的衍射波会相互加强或相互抵消，从而形成一系列明暗相间的条纹。
这些条纹被称为衍射顺序，而每个顺序对应着不同的角度和波长。
衍射光栅的分光效果可以应用于许多领域，特别是光谱学和光学测量。
通过分散光束，衍射光栅可以将复杂的光信号分解成不同波长的成分，从而使我们能够对光进行精确的分析和研究。
此外，衍射光栅还被广泛应用于激光和光纤通信领域，用于解调和发射光信号。
除了一维衍射光栅外，还存在二维和三维衍射光栅。
二维衍射光栅在一个平面上具有两个正交的衍射方向，可以实现更复杂的分光效果。
而三维衍射光栅则可以在三个坐标方向上进行分光，具有更高的分光分辨率。
总结起来，衍射光栅是一种用于分散光束以及研究光波性质的重要光学器件。
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１２ 微型 可 编程 衍射 光 栅的 特性 分析 ．
当每个光栅单元只包含 一个微梁单元时， 微型
可编 程衍射 光 栅就 退化 为普 通 光栅 。这 里不对 其光
收 稿 日期 ：０ ５０ —８ ２ ０ ４１
作 者 简 介 ： 静 峰 （９ Ｏ ） 西 北 工 业 大 学 硕 士 生 ， 要从 事 微 光 机 电 系 统 的 研 究 。 俞 １８ ， 主
随着 ＭＯＥ ＭＳ技术 迅速 发 展 ， 为设 计 和 制作 可
微 型可 编 程衍 射光 栅 的 工 作原 理 如 图 １ 示 。 所
光 栅 主要 由多 个微 梁 单 元 组 成 ， 个微 梁都 可 以通 每
过 静电力被单独控制 。光栅原始状态如图 １ａ 所 （） 示。 通过编程的方法施加静电力 ， 使得每个微梁在垂
第 ２卷 第 １ ４ 期
Ｖｏ ＿ ４ Ｎｏ １ Ｉ２ ．
微 型 可 编 程 衍 射 光 栅 的特 性 分 析
俞 静 峰 ，苑伟 政 ， 大 勇 ， 澄 宇 乔 姜
（ 北 工 业 大 学 微 ／ 米 系 统 实 验 室 ，陕 西 西 安 ７ ０ ７ ） 西 纳 １０ ２
摘 要 ： 究 了基 于微 型光 机 电 系统 （ 研 Ｍ０Ｅ ） ＭＳ 的微 型可 编程衍 射 光栅 。 用 波动光 学理论 推 导 了 利 在 编程 状 态下 它的 光 强分 布公 式 ， 可编 程光栅 每 个衍 射 单元 包含 的微 粱数 和其 中的微 梁高度 等 对 参数 变化 对其衍 射 特性 的 影响进 行 分析 ， 并对其衍 射特 性进 行仿 真 验证 。验 证 结果表 明 ： 光栅衍 射 单元 包含 的微 梁数会 对 衍射 光 的各 个 主极 大空 间位置 产 生影 响 ， 而微 梁 高度 的 变化 则会 引起 各衍
直 方 向上 的位 置发 生 改 变 ， 成 实 际所 需要 的光 栅 形
以根 据 实时 的需 要 改 变其 参 数 的光栅 ， 即可 编程 衍
射 光 栅 ， 供 了 可 能 性 。 由斯 坦 福 大 学 的 Ｄａ ｉ 提 ｖｄ Ｂ ｏ ｍ 教 授 以及 他 的学 生 提 出的基 于 ＭＥ ｌｏ ＭＳ技 术 的光栅 光 阀装 置 ， 以被 认 为 是早 期 的 可 编 程衍 射 可 光栅 模 型［ 。美 国 Ｓ ｎ ｉ ２ ］ ａ ｄａ国家 实验 室 与 Ｈｏ ｅ ｗ ｌ ｎ ｙ ｅｌ
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第 １ 期
俞静 峰等 ： 微型可编程衍射光栅 的特性分析
强公 式进 行 推导 ， 下 来 讨 论 每 个 光栅 单 元 包 含 ２ 接 个微 梁单元 的情 况 。图 ２ 微 型可 编程衍 射光栅 上 是 各点对入射光 线光 程 的作用 图。图 中 ， 个 微梁 经过 ２ 静 电控 制组成 一个 光栅 衍射 单元 。 由图可知 ， 光栅 面 上从 不 同 ２ 发 出的衍 射光 线 的光 程差与 它们 之间 点 的水平距离 和垂直 距离 有关 因此 ， 利用几 何关 系可 以计 算 出经过 可 编程光 栅作 用后 相邻 微梁 的衍射 光
近 年来 ， 衍射 光 栅 在 工业 生产 和 科 学技 术 的发 展 中起 着越来 越 大的 作用 。它 作为 色散 元件 已经 广 泛应 用 于光谱 分 析 ， 量 、 线 电天文 学 、 成 光 学 计 无 集
射 光栅 的衍 射 特性进 行 仿真 验证 。
１ 衍 射 特 性 分 析
涉及 。本 文利用 光程 差理论 推 导 了微 型可 编程衍 射
图 １ 可 编程衍射光栅 的编程结构示意图
光 栅 的光强 公 式 ， 并对 可 编 程 光栅 每 个 衍 射 单元 包 含 的微梁数 以及微 梁 高度 的变 化对 其衍 射 特性 的影 响进 行 分 析 ， 后 利 用 ＭＡＴＩ 最 ＡＢ对 微 型 可编 程 衍
射主极 大之 间的 光强 能量 重新 分布 。
关 键 词 ； 型 光机 电 系统 （ 微 Ｍ０Ｅ ） 可编程衍 射 光栅 ， 真 ＭＳ ， 仿 中图分 类号 ： ＴＨ７ ４ ４ 文献 标识 码 ： Ａ 文 章编 号 ： ０ ０２ ５ （ ０ ６ ０ —０ ６０ １ ０ — ７ ８ ２ ０ ） １０ ７ —４
结 构 。编 程后 的光 栅结 构 如 图 １ｂ 所 示 。 （）
微 梁
Ｉ＝ｔｒ一 ＝ｒ ｃ ＝ ＝
嘲豳豳豳豳豳
（ 原 始状态 ａ ）
技术 中心联 合研制 了用于遥 感 化学 气体 的 可编程 衍
射光 栅 。 】 虽然微 型可 编程 衍射 光栅 可 以根据 各 种不 同工
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２０ 年 ２ ０ ６ 月
西 北 工 业 大 学 学 报
Ｊ ｕ ｎ ｌ ｆＮｏ ｔ ｗｅ ｔｒ ｏｙ ｅ ｈ ｉａ ｉｅ ｓｔ ｏ ｒ ａ ｒｈ ｓｅ ｎ Ｐ ｌｔｅ ｎｅ ｌ ｏ Ｕｎ ｖ ｒ ｉ ｙ
Ｆｅ ． ｂ
２０ ０６
１ １ 微 型可 编 程衍 射 光栅 的工 作原理 ．
和光通信、 信息处理等科研和生产中。但是 目前 ， 传
统工 艺制 作 的光 栅 都是 固定 的 参 数 ， 能根 据 需 要 不 实时 改变其 性能 参数 。 因此 ， 栅在 许 多领域 中的运 光 用都 受到 了很大 限制 口 。 ］
电极
基底
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言吾 —西
艺来 设计 结构 ， 是基 本 的工作 原 理都 相 同［ ］ 国 但 ２。
内外 的科研 机构 已经 对微 型可 编 程衍 射光 栅 的光学
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（很多 的研究 工作 Ｅ ， ］但是 对微 型 可编程 衍 射光 栅各个 参数 变化 对其衍 射 特性 的影 响 没有 深入
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Ａ ， 由 图 ３可 知 。 则
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