特气系统培训
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特气常识和紧急响应知识培训教材
切位置，并及时向有关人员反馈现场情况； 2. 接到疏散的指令后，立即组织本部门的
员工有秩序的向就近的安全出口疏散，人 员到达安全区域后，组织点名，确定人员 的去向，及时向上级汇报； 3. 在有关部门的组织下，投入到紧急救援 的工作中。
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后再做好防护进行清理。 ——硫酸，氢氟酸等等
5.公司忌水物质，在接触水时剧烈反应和分解，放出有 毒气体，可能发生爆炸,扑救火灾时注意防止水溅到： TEOS、BCL3、BF3、B2H6、SiCl4、SiH2Cl2 （DCS）、httSp:i/H/mCadLe3.21、askB.cBomr3中、管网P制O造C业l3 频。道
a. 仍有跳动，可能是外界有杂质气体干扰所致，继续查 找外界杂质气体的来源，继而消除；
b. 如果没有跳动，则有可能气柜内确有气体泄漏，需查 找气柜内泄漏点；查泄漏点用测漏液或便携式检测器查找， 如难以查找到，通知通用设备部技术人员进行分段保压测 试，无问题即可恢复使用。
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呼吸道
皮肤
眼睛
消化道 防范措施
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3.特气常识
可燃
安全教育訓練（廠級）
NH3 1. 着火点: 651 ℃ (可燃) 2. 燃烧或爆炸范围:
16～28%(最易引燃浓度17%)
自燃
H4
1.自然温度: 低于54 ℃
2.燃烧或爆炸范围: 1.35% ∽96%
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3.特气常识
安全教育訓練（廠級）
助燃 自然
可燃
高压 危险性
腐蚀
低温 窒息
有毒
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3.特气常识
腐蚀
安全教育訓安全練教（育廠訓級練）（廠級）
员工有秩序的向就近的安全出口疏散，人 员到达安全区域后，组织点名，确定人员 的去向，及时向上级汇报； 3. 在有关部门的组织下，投入到紧急救援 的工作中。
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后再做好防护进行清理。 ——硫酸，氢氟酸等等
5.公司忌水物质，在接触水时剧烈反应和分解，放出有 毒气体，可能发生爆炸,扑救火灾时注意防止水溅到： TEOS、BCL3、BF3、B2H6、SiCl4、SiH2Cl2 （DCS）、httSp:i/H/mCadLe3.21、askB.cBomr3中、管网P制O造C业l3 频。道
a. 仍有跳动，可能是外界有杂质气体干扰所致，继续查 找外界杂质气体的来源，继而消除；
b. 如果没有跳动，则有可能气柜内确有气体泄漏，需查 找气柜内泄漏点；查泄漏点用测漏液或便携式检测器查找， 如难以查找到，通知通用设备部技术人员进行分段保压测 试，无问题即可恢复使用。
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呼吸道
皮肤
眼睛
消化道 防范措施
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3.特气常识
可燃
安全教育訓練（廠級）
NH3 1. 着火点: 651 ℃ (可燃) 2. 燃烧或爆炸范围:
16～28%(最易引燃浓度17%)
自燃
H4
1.自然温度: 低于54 ℃
2.燃烧或爆炸范围: 1.35% ∽96%
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3.特气常识
安全教育訓練（廠級）
助燃 自然
可燃
高压 危险性
腐蚀
低温 窒息
有毒
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3.特气常识
腐蚀
安全教育訓安全練教（育廠訓級練）（廠級）
保全培训-气动系统基础及维护培训
唇形密封圈
Ｖ形密封圈等
单向密封 在气缸中可用于活塞杆密封。
气动系统基础及维护培训
带防尘密封功能
密封圈的润滑
43
① 给油 在空气中将油注入油雾器后送入气缸。 使用无添加剂的（ISO VG32） 1类透平油。 这种润滑脂的润滑性最好，但是管理麻烦，排气中常常带有油分。
② 无需给油（润滑脂润滑） 在安装时涂敷必要量的润滑脂以促进润滑。 应使用相当于锂皂基润滑脂JIS2号。 管理简易，对环境无污染，但是需要进行充分的空气净化。
SMC气缸扩展系列
气动系统基础及维护培训
直线气缸-多样化
31
无杆型-磁耦合式-扩展系列
直
接
滑
安
尺
装
型
型
低 平 型
高 精 度 型
SMC气缸扩展系列
气动系统基础及维护培训
直线气缸-多样化
32
双联型-CX系列
1-将两个单杆薄型气缸并联成一体。
2-耐冲击, 抗回转精度高
SMC气缸扩展系列
气动系统基础及维护培训
SMC气缸扩展系列
气动系统基础及维护培训
直线气缸-多样化
36
带锁型-端锁式
在气缸内压力释放完以前，将气缸 锁定在行程的末端，防止负载拖动 气缸。有杆侧锁，无杆侧锁，两侧 锁三种类型。
SMC气缸扩展系列
气动系统基础及维护培训
直线气缸-多样化
37
带锁型-单向锁式
气缸在伸出（或缩回）行程中任 意位置均可锁定，但在另一方向 上不可锁定。
理解老化、消耗、磨损等会导致怎样危 险的。（另外在操作使用方面也应有所 了解）
气动系统基础及维护培训
空气压技术
4
• 气动（PNEUMATIC）是“气动技术”或“气压传动 与控制”的简称。气动技术是以空气压缩机为动力源， 以压缩空气为工作介质，利用压缩空气的压力和流动 进行能量传递或信号传递的工程技术，是实现各种生 产控制、自动控制的重要手段。
特气系统安全操作规范
1. 目的 Purpose1.1 本操作作业规范目的在建立一套完整的特气系统操作流程，以避免人员操作错误及维护系统稳定运转并做为新进人员之教育训练教材。
2. 管制范围 Scope2.1 本操作规范适用于特气系统各操作单元之操作及故障排除指引。
3. 管理职责 Responsibi l ity3.1 厂务单位最高主管3.1.1 协调并提供各单位因产品生产所需之厂务服务内容。
3.1.2 综理厂务系统运转所需资源管理, 含人员/物料/预算等。
3.1.3 引进创新之厂务系统或管理知识。
3.2 厂务单位主管3.2.1 执行厂务系统维护保养制度及系统教育训练。
3.2.2 维持稳定的厂务供应系统所需之人员出勤管理。
3.2.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。
3.2.4 厂务系统异常事故追踪查核处理结果3.3 厂务系统工程师:3.3.1 负责特气供应系统之正常运转及改良维护。
3.3.2 负责厂务与机台设备间 Hook up (二次配管)工程之施工与协调事宜。
3.3.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。
3.3.4 担任所负责系统之教育训练讲师。
3.4 厂务轮班工程师:3.4.1 负责各项维护厂务系统所需之日常巡检及窗体记录。
3.4.2 执行各项厂务设施之日常或定期性保养维修作业。
3.4.3 更换厂务系统所提供或所需之原物料及产生之废弃物。
3.4.4 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。
4. 定义 Definition4.1 SG : Special Gas (特殊气体)。
5. 作业内容 Procedure5.1 日常记录与报告要求5.1.1定点现场抄表，发现数据异常即刻报告给系统工程师。
5.1.2统计气体，每日/周/月用量。
5.1.3统计气瓶、库存量，原则上现场要有足够15天运行库存量。
5.1.4整理特气系统仪器仪表（Gas detector、PT等）的校正记录。
5.1.5提供日常巡检报告、维护报告及事故报告。
特气柜操作培训
（1）系统外观
(2) 气体盘面功能简介
(2) 气体盘面功能简介
(2) 气体盘面功能简介
(2) 气体盘面功能简介
(2) 气体盘面功能简介
(3) 控制盘面简介
II BSGS操作简介
2. 操作指导
（1）开机界面 (2) 功能简介 （3）参数设定简介
(1) 开机界面
上图为BSGS开机界面，按图中的钥匙按钮，输入密码后进入下一级提示。
自动切换供气钢瓶的操作步骤同上。
(2) 功能简介
快速供气仅适用于自动吹扫完成以后或停止供气后立即恢复的状况。 快速供气的必要条件如下： 1 钢瓶重量必须高于设定值 2 HPT和LPT的正负压力显示值必须一致。
(2) 功能简介
按Line Purge，并输入密码确认后，用户也可根据需求选择自定义管路吹 扫，阀门开关顺序如下： Cycle Vent : GNBV - LPV - HPI – ESOV Vent : GNBV - LPV - HPI - ESOV - HPV – LPI Purge : PGIP - PNBV - PGI - ESOV - HPI - LPI
（1）系统外观
(2) 气体盘面功能简介
(2) 气体盘面功能简介
(2) 气体盘面功能简介
(2) 气体盘面功能简介
(3) 控制盘面简介
I 气瓶柜操作简介
2. 操作指导
（1）开机界面 (2) 功能简介 （3）参数设定简介
(1) 开机界面
上图为气瓶柜开机界面，按图中的钥匙按钮，输入密码后进入下一级提示。
(1) 开机界面
本设备设有二级密码，其操作权限不同。用户也可在此画面中更改密码。 •Operator Password Acceptable Mode : Purge & Leak check, Status Display, Alarm Summary Function •Manager Password Acceptable Mode : Process gas flow, Purge & Leak check, Calibration Set, Status Display, Alarm Summary, Valve operation, Password change, Configuration set Function
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安全教育訓練（廠級）
3.特气常识
安全常识： 2.在环境中有毒气体不明时，不要贸然进入实施救护。
——中毒、窒息 3.发现有些气体管道或容器泄露着火，在不能确定可以
3.特气常识
安全教育訓練（廠級）
特气中毒的急救原则及注意事项：
1、脱离中毒环境 ：控制好气源，加强通风等现 场处理。
2、污染衣物以及眼、皮肤、毛发等必须彻底清 除和清洗，常用流动清水冲洗后，适当合理应 用中和剂。
3、口服毒物时应灌入水或牛奶去稀释，之后迅 速就医。但若是患者无意识不要做任何中和或 引起呕吐的动作，应注意其症状。
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3.特气常识
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关闭和堵漏时，不要贸然灭火。 ——气体扑灭后继续泄露，形成爆炸性混合气体，
有爆炸的危险。 4.发现有不明液体，不要贸然搽拭，在确认液体的性质
后再做好防护进行清理。 ——硫酸，氢氟酸等等
5.公司忌水物质，在接触水时剧烈反应和分解，放出有 毒气体，可能发生爆炸,扑救火灾时注意防止水溅到： TEOS、BCL3、BF3、B2H6、SiCl4、SiH2Cl2 （DCS）、httSp:i/H/mCadLe3.21、askB.cBomr3中、管网P制O造C业l3 频。道
3.特气常识
安全教育訓練（廠級）
燃气行业职业培训资料
燃气行业职业培训资料燃气行业是我国国民经济的重要组成部分，为了提高燃气行业从业人员的素质和技能，职业培训成为行业发展的重要环节。
本文将探讨燃气行业职业培训的内容和方式，并提出建议。
一、燃气行业职业培训的必要性燃气行业的发展对从业人员的要求越来越高，他们需要具备一定的技能和知识来应对各种情况。
职业培训可以帮助从业人员提升技术能力，更新知识，适应行业的需求变化。
同时，职业培训也可以提高从业人员的职业道德和责任心，减少工作中的事故和损失。
二、燃气行业职业培训的内容燃气行业的职业培训内容主要包括以下几个方面：1. 燃气安全知识培训：燃气是一种潜在的危险物质，从业人员需要了解燃气的性质、危险特点以及安全操作规范。
培训内容可以包括燃气泄漏的识别和处理、防止燃气爆炸事故的措施等。
2. 燃气设备操作技能培训：从业人员需要掌握燃气设备的正常操作和维护知识，包括燃气爆炸器的使用、设备故障排除等。
培训可以通过理论授课和实际操作相结合的方式进行，确保从业人员掌握实际应用技能。
3. 燃气工程项目管理培训：对于燃气工程项目的管理人员，他们需要具备项目管理的知识和技能。
培训内容可以包括项目计划与控制、成本管理、质量管理等方面的内容，以提高项目的管理效率和质量。
4. 燃气行业法规政策培训：从业人员需要了解燃气行业的相关法规政策，以确保自己的工作符合法规要求。
培训内容可以包括燃气行业的法律法规、政策解读等，以提高从业人员的法律意识和法规遵守能力。
三、燃气行业职业培训的方式燃气行业职业培训的方式多种多样，可以根据不同的培训对象和培训内容进行选择。
以下是一些常见的培训方式：1. 线下培训：由专家或资深从业人员进行的面对面培训。
优势是能够提供互动交流和实际操作的机会，但是受时间和地点的限制较大。
2. 在线培训：通过互联网平台进行培训，包括在线课程、视频教学、在线答疑等。
优势是时间和地点灵活，适合各类从业人员参与，但是有可能存在互动交流较少的问题。
特气系统安全培训
台制程使用,满足生产用气要求. 2.为保证供气的联系性,一般左右盘面均为独
立的操作执行体. 3.能够在保证一边供气的前提下,另外一边实
现Purge, 更换钢瓶,并直至到Standby. 等待 被自动切换当另外一边气体被用完后. 4.可以实现跟VMB, Scrubber 等设备的联动 根据客户的要求.
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS
NH3&SiH4
Psi---pounds per square inch 磅/平方英寸（1Mpa=145psi=10.2kg）
·无水氨气是一种刺激性、无 色储存于钢瓶的液化压缩气 体。其存储压力为其蒸汽压
900~1100psi 。
·如果泄放硅烷时压力过高或速度 过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的 硅烷如没有自燃会非常危险，不要 靠近。
·比重：（空气＝1) 1.2 ·不要用卤化物类灭火器。从最远 的距离用水冷却暴露在火 焰中的 钢瓶。
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS
目录
1. 气柜概述 2.自动气柜安全配置 3.系统参数含义及作用 4. 气柜的安全性能 5. 常见故障及处理方法
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS
特气系统培训
• Gas Cabinet的用途 1.实现安全的连续的供应某种特殊气体,供机
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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立的操作执行体. 3.能够在保证一边供气的前提下,另外一边实
现Purge, 更换钢瓶,并直至到Standby. 等待 被自动切换当另外一边气体被用完后. 4.可以实现跟VMB, Scrubber 等设备的联动 根据客户的要求.
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NH3&SiH4
Psi---pounds per square inch 磅/平方英寸（1Mpa=145psi=10.2kg）
·无水氨气是一种刺激性、无 色储存于钢瓶的液化压缩气 体。其存储压力为其蒸汽压
900~1100psi 。
·如果泄放硅烷时压力过高或速度 过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的 硅烷如没有自燃会非常危险，不要 靠近。
·比重：（空气＝1) 1.2 ·不要用卤化物类灭火器。从最远 的距离用水冷却暴露在火 焰中的 钢瓶。
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目录
1. 气柜概述 2.自动气柜安全配置 3.系统参数含义及作用 4. 气柜的安全性能 5. 常见故障及处理方法
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特气系统培训
• Gas Cabinet的用途 1.实现安全的连续的供应某种特殊气体,供机
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工厂特气常识及紧急响应知识培训
生产制造部门
1.通知相关人员到场检查是否为误报警，并维护好现场人员的秩 序；
2.发生报警时，密切与监控室保持联系，及时向监控室反馈现场 的真实情况，并做好组织撤离得准备工作；
安全教育訓練（廠級）
ERT人员
1.协助检查是否为误报警，查找报警的确 切位置，并及时向有关人员反馈现场情况；
2. 接到疏散的指令后，立即组织本部门的 员工有秩序的向就近的安全出口疏散，人 员到达安全区域后，组织点名，确定人员 的去向，及时向上级汇报；
安全教育訓練（廠級）
3.特气常识
安全常识： 1. 一般情况下，对于大多数气体的应急处理都 是一样的： 眼睛接触：用大量的流动清水冲洗15分钟以上就医. 皮肤接触：立刻脱去被接触的衣物，然后用大 量的流动 水冲洗15分钟以上，就医。 吸入： 迅速脱离现场，进行人工呼吸或输氧。 就医。
安全教育訓練（廠級）
安全教育訓練（廠級）
二级报警响应
二级报警时，现场的声光报警器将自动报警。
监控室值班人员通过特气侦测系统，确定其报警位置， 并尽快用电话、对讲机、广播通知现场人员及有关人 员，广播用语为：“紧急通知：气体泄漏二级报警， 地点：--工程，--设备，设备编号--，--（气体）， 请确认”（重复两次,共三遍）
3. 在有关部门的组织下，投入到紧急救援 的工作中。
安全教育訓練（廠級）
5.特气警报设置域值和响应
1.基于危险气体的最高限值，每个危险气体都设置 两个不同的报警值：
一级（低位）报警值 二级（高位）报警值 2.对于氧气,工作环境设置最低限值（19%）报警。
安全教育訓練（廠級）
一级报警响应
当达到一级报警值时，监控室值班人员通过特气报 警系统，确定其报警位置，并尽快根据情况用电话、对 讲机 等通知现场人员，告知内容为：“您好：气体泄 漏一级报警，地点：--工程，--设备，设备编号--，-（气体），请确认”。
1.通知相关人员到场检查是否为误报警，并维护好现场人员的秩 序；
2.发生报警时，密切与监控室保持联系，及时向监控室反馈现场 的真实情况，并做好组织撤离得准备工作；
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ERT人员
1.协助检查是否为误报警，查找报警的确 切位置，并及时向有关人员反馈现场情况；
2. 接到疏散的指令后，立即组织本部门的 员工有秩序的向就近的安全出口疏散，人 员到达安全区域后，组织点名，确定人员 的去向，及时向上级汇报；
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3.特气常识
安全常识： 1. 一般情况下，对于大多数气体的应急处理都 是一样的： 眼睛接触：用大量的流动清水冲洗15分钟以上就医. 皮肤接触：立刻脱去被接触的衣物，然后用大 量的流动 水冲洗15分钟以上，就医。 吸入： 迅速脱离现场，进行人工呼吸或输氧。 就医。
安全教育訓練（廠級）
安全教育訓練（廠級）
二级报警响应
二级报警时，现场的声光报警器将自动报警。
监控室值班人员通过特气侦测系统，确定其报警位置， 并尽快用电话、对讲机、广播通知现场人员及有关人 员，广播用语为：“紧急通知：气体泄漏二级报警， 地点：--工程，--设备，设备编号--，--（气体）， 请确认”（重复两次,共三遍）
3. 在有关部门的组织下，投入到紧急救援 的工作中。
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5.特气警报设置域值和响应
1.基于危险气体的最高限值，每个危险气体都设置 两个不同的报警值：
一级（低位）报警值 二级（高位）报警值 2.对于氧气,工作环境设置最低限值（19%）报警。
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一级报警响应
当达到一级报警值时，监控室值班人员通过特气报 警系统，确定其报警位置，并尽快根据情况用电话、对 讲机 等通知现场人员，告知内容为：“您好：气体泄 漏一级报警，地点：--工程，--设备，设备编号--，-（气体），请确认”。
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此两种是发生在换钢瓶以后的吹扫,目的是将管道 中可能存在的颗粒进行吹扫以达到去除这些颗粒 的目的
正压保压最低底线值.检查钢瓶与猪尾巴有没有完 全被密封.若保压失败一般都是钢瓶接头没有旋紧. 但也有特殊情况,比如SIH4可能会受温度的影响
系统参数含义及作用(2)
7
8
Vacuum low limit (-15~9999Psi)
2
3 4
Pre-2`st LPT Purge (10~9999)
Pre-purge 2`st time (10~9999) post-purge 1`st time (10~9999)
5
6
post purge 2`st time (10~9999)
PositiveL/C Low limit (15~9999)
Auto Guard(钢瓶接口处的安全装置) • 定义:这个装置的目的是为了保证换钢瓶的 安全.为了防止在没有进行换瓶前吹扫便把 钢瓶卸下从而导致毒气泄漏. • 工作原理:这是一个气动装置.装置内部有一 个控制开关的电磁阀.这个装置保证了钢瓶 接口处的安全,操作者无法轻易卸下钢瓶接 口,除非是在安全流程下才会打开此装置,允 许操作者卸下接口
9 10
11
保压稳压时间.经过稳压可以让PT SENSOR保持稳定, 待数分钟稳定后方开始保压,高压时建议稳压30分 钟以上
保压时允许降低/升高的压力值.超过此设定值保压 失败,须重新走保压流程 力矩扳手提示压力,只供操作者参考
12
Leak change pressure (0~9999)
Torque wrench pressure
零点值显示不正确
•主电源出现问题 •线路出线问题 •电源错误 •磅秤损坏 •信号连接出错 •零度值出错 •电源错误 •磅秤损坏 •信号连接出错 •输出范围错误 •N2输送问题 •电磁阀出现问题
•检查电源和线路的 状态 •检查是否输入24V 输出4-20MA •重新调整零点值 •检查信号线连接处 •检查是否输入24V 输出4-20MA •重新调整零点值 •检查信号线连接处 •检查N2驱动的压力 时5-7公斤 •检查是否24V输入
措施
•更换调压阀 •进行PT校准或更换 •调整气柜内部温度
•更换调压阀 •进行PT校准或更换 •调整气柜内部温度 •更换钢瓶 •进行PT校准或更换 •重新调力下降 在1`st调压时压力达 不到设定值 排风负压表没有读 数 设备运行压力过低
3
4
•调排风的压力值 •打开排风阀 •更换负压表
20
21
W/S 1`st Low limit (0~999.9)
22
W/S 2`st Low limit (0~999.9)
气柜的安全性能(1)
各类安全装置(切断气柜) UVIR（光感应器） Emergency Stop Hi-temperature sensor PT3 2`st High Limit 所有气动阀关闭/气柜顶 部红色指示灯闪烁/蜂鸣 器持续报警/屏幕上出现 报警字幕且无法被消除 (重启电源并排除故障后 方能开机) 供气状态 系统执行的命令
•调整调压阀压力 •更换过滤器 •进行保压确认2`st是 否存在问题
5
常见的故障及处理方法(2)
NO
6
状况
在通电运行的状态 输送压力没有变化
原因
•没有气供给气动阀驱动 •供给气动阀驱动的压力过低 •由于电磁阀损坏导致没有气体
措施
•检查供给气动阀的 气源是否充足 •调整供给气动阀驱 动的压力值 •检查电磁阀,并更换 •打开氮气吹扫的阀 •调整氮气吹扫压力
900~1100psi 。
· 需避免的情况： 高温(大于 426℃)，钢瓶储存温度不可 高于52℃ · 比重：(空气＝1) 0.59
· 不可燃气体!但当它在空气 中的浓度超过15%时有立即 造成火灾及爆炸的危险
· 如果泄放硅烷时压力过高或速度 过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的 硅烷如没有自燃会非常危险，不要 靠近。 · 比重：（空气＝1) 1.2 · 不要用卤化物类灭火器。从最远 的距离用水冷却暴露在火 焰中的 钢瓶。
特气系统培训
各零部件的简图及名称
气柜阀门及零件概述
AV1 PT1 PT3 AV4 AV5 AV6 AV7 AV8 低压吹扫阀 高压供气阀 低压供气阀 低压端抽空阀 高压端抽空阀 高压保压阀 氮气吹扫阀 抽空微漏阀 AV9 REG CV GF MV 氮气吹扫微漏阀 调压阀 单向阀 垫片式过滤器 供气确认手动阀
Positve L/C Time (0~9999) Negative L/C Time (0~9999) P-N2 Low Limit (-15~9999)
Leak Check stable time (0~9999)
吹扫时真空端的压力底线,低于此设定值便产生报 警.
正压保压时间,检查钢瓶与连接头有没有完全被密 封.若保压失败一般都是钢瓶接头没有旋紧.但也有 特殊情况,比如SIH4保高压可能会受温度的影响 负压保压时间.检查钢瓶阀门是否关紧,若保压失败 一般情况下可以确认是钢瓶阀没有关紧 高纯氮吹扫最低压力值,低于此设定值产生报警
NH3&SiH4
Psi---pounds per square inch 磅/平方英寸（1Mpa=145psi=10.2kg）
· 无水氨气是一种刺激性、无 色储存于钢瓶的液化压缩气 体。其存储压力为其蒸汽压 114 psi
· 可自燃气体! 硅烷是一种无色、与 空气反应并会引起窒息的气体。该 气体通常与空气接触会引起燃烧并 放出很浓的白色的无定型二氧化硅 烟雾。 其存储压力为其蒸汽压
全自动气柜安全配置
• • • • • • Fire Sensor(火焰侦测) High Temp Sensor(高温传感器) Auto Guard(钢瓶接口处的安全装置) Sprinkler(喷淋装置) Seismic Detector(防震探测器) Gas Leak Detector(毒气侦测器)
任何供气状态
气柜安全性能(2)
各类安全装置(提示报警) 供气状态 系统执行的命令
Exhaust Fail（抽风失败） L/D 1`st alarm L/D 2`st alarm
PLC CPU memory error
所有供气状态
气柜顶灯:橙色指示灯亮 /蜂鸣器间歇性报警/屏幕 上出现报警提示(待问题 解决后可消除报警字幕)
特气系统培训
• 硅烷和氨气主要在太阳能生产上用于等离 子化学气相沉积(PEVCD) 之中. • 等离子化学气相沉积(PEVCD)：PEVCD被 使用来在硅片上沉积氮化硅材料，是在 300-900℃的温度下通过化学反应产生 Si3N4的过程。 • 典型的化学反应为：SiH4 + NH3 → Si3N4 + NH3 + N2
特气系统培训
特气系统培训
• Gas Cabinet的用途 1.实现安全的连续的供应某种特殊气体,供机 台制程使用,满足生产用气要求. 2.为保证供气的联系性,一般左右盘面均为独 立的操作执行体. 3.能够在保证一边供气的前提下,另外一边实 现Purge, 更换钢瓶,并直至到Standby. 等待 被自动切换当另外一边气体被用完后. 4.可以实现跟VMB, Scrubber 等设备的联动 根据客户的要求.
PLC battery low error
常见的故障及处理方法(1)
NO 1 状况 2`st压力高于设定值 原因
•由于颗粒导致调压阀内漏 •PT不稳定或损坏 •气柜内部温度突然变化
•由于颗粒导致气动阀门内漏 •PT不稳定或损坏 •气柜内部温度突然变化 •钢瓶内压力过低 •PT不稳定或损坏 •报警设定的值有问题 •主排风的负压力过低 •排风阀被关闭 •负压表损坏 •调压阀没调整到正常压力 •过滤器被堵塞 •在2`st减压时有泄漏
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PT3 2`st Low limit (-15~9999)
供气调压之后PT3端的压力2段报警,这时请 调节调压阀增大压力
系统参数含义及作用(4)
19 PT3 1`st High limit (-15~999) PT3 2`st High limit (-15~999) PT3低压端压力过高产生的一段报警.此 时屏幕会指示操作者调节调压阀来解决 此问题 PT3低压端压力过高产生的二段报警.此 时供气将被临时停止,系统会进行短暂的 泄压步骤.待压力正常后才恢复工作 此参数多用于以重量来切换的气体如 NH3,当达到此设定值时系统报警提示即 将切换钢瓶 此参数为重量切换的临界值参数.当重量 低于此值时,并且满足切换条件,系统正 常切换左右钢瓶
Fire Sensor(火焰侦测) • 定义:此设备是针对一些易燃气体,易爆气体 或因为其他原因而设 • 工作原理:当气柜里面有火焰时气柜内部会 有个超声波检测模块(UV-TRON)探测到一 个特殊的频段,产生报警信号
High Temp Sensor(高温传感器) • 定义:此设备的目的是为了防止气柜内部温 度过高而导致危险 • 工作原理:这是一个双金属开关,它由两个受 热膨胀绿不同的金属片组成,从而控制电信 号开关. • 规格:工作温度是72℃,超过72度便产生报警 信号.
Sprinkler(喷淋装置) • 定义:当气柜内部由于火焰或其他原因导致 内部温度超过72℃时喷淋启动 • 工作原理:当气柜内部温度上升到一定极限 (72℃)时消防水便会被开启
Gas Leak Detector(毒气侦测器) • 定义:此设备是侦测大气中毒气含量的装置, 根据所设定值来产生报警 • 工作原理:公司常用的是电化学式的侦测器, 通过采样管从气柜风管里抽取少量气体从 如侦测器分析毒气含量,之后排出大气.(采样 管必须接在排气管的下面) • 安装:可以采集气柜内部的气体进行分析,也 可以采集环境中的气体进行分析
气柜运作流程图