特气控制系统.
特气系统报告
30
30
2.94气瓶柜的验收规格
测试项目
出厂时
He泄露测试 微粒子测试 H2O含量测试 O2含量测试
验收內容
1.出入口端加裝管帽 2.盘面填充PN2 保压(1-2 bar) < 2×10-9 /sec 1. PN2流量 30 ml/sec 2. 微粒子 5 EA/ft3 at 0.1-0.3 m 3. 微粒子 < 0 EA/ft3 at 大于0.3 m
80SLPM 200SLPM 80SLPM 200SLPM 12 SLPM 42.8 SLPM 6.8 SLPM 42.8 SLPM
设备数量
5 5
11
11
1.6气瓶安置方式
功能 防护箱体 强制抽气 安全防护 气瓶柜 Gas Cabinet 有 有 有 气瓶架 Gas Rack 无 无 无
自动化
有
有/无
B2H2
CF4 Cl2 HCl HF
NF3
NH3
N2O
PH3
SiH4
SiH2Cl2
12
12
1.6a气瓶柜/架
▼气体依化学性质分类如下: 惰性气体(Inter gas): N2-----使用GR (Gas Rack)
▼易燃易爆性气体(Flammable gas): SiH4, NH3-----使用BSGS (Bulk special gas supply system) 供应
目前厂区钢瓶供应方式:
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特种气体系统工程设计要求规范
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类| 标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1 总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1 特种气体 specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统 speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特气系统工程技术规范.
特气系统工程技术规范1总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特气系统工程的技术规范
特气系统工程技术规范1总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
天燃气燃烧机控制系统原理
天燃气燃烧机控制系统原理天然气燃烧机控制系统是一个自动化设备，用于监控、控制和维护天然气燃烧机的运行。
该系统的原理是利用传感器和控制器，通过检测和调节燃气供应、燃烧过程和排放产物，以确保燃烧过程的安全性、高效性和环保性。
天然气燃烧机控制系统通常由以下几个组成部分构成：1.传感器：传感器用于检测和测量与燃烧过程相关的各种参数，例如燃气供应压力、燃气流量、燃烧器温度、燃烧产物的浓度等。
传感器将这些参数转换为电信号，并传输给控制器。
2.控制器：控制器是系统的主要组成部分，它接收传感器传输的信号，并根据预设的控制策略进行处理。
控制器负责监测和调节燃气供应、燃烧过程和排放产物等参数，以确保燃烧过程的安全性、高效性和环保性。
控制器可自动控制燃气阀门的开启和关闭，调节燃气的供应量，控制燃烧器的温度和压力等。
3.执行器：执行器是控制器的输出部分，它负责根据控制器的指令执行相应的动作。
例如，执行器可以打开或关闭燃气阀门，调节燃气的流量，改变燃烧器的温度和压力等。
4.监控和显示装置：监控和显示装置用于显示和记录系统的工作状态和参数。
它可以显示燃气供应压力、燃气流量、燃烧器温度等实时数据，并记录历史数据，以便分析和排查故障。
天然气燃烧机控制系统的工作原理如下：1.检测和分析：传感器检测和测量与燃烧过程相关的各种参数，例如燃气供应压力、燃气流量、燃烧器温度等。
控制器接收传感器传输的信号，并根据预设的控制策略进行处理。
控制器分析这些参数，并判断燃烧过程是否正常。
2.调节和控制：根据控制器的分析结果，控制器控制执行器执行相应的动作，以调节和控制燃气供应、燃烧过程和排放产物等参数。
例如，如果燃气供应压力过高，控制器可以要求执行器逐渐关闭燃气阀门，以降低燃气流量。
3.监控和显示：监控和显示装置显示和记录系统的工作状态和参数。
它可以实时显示燃气供应压力、燃气流量、燃烧器温度等数据，并记录历史数据。
这些数据可用于分析和排查故障，以便及时进行维护和修复工作。
GMS系统介绍
◆氧化性气体（Oxide Gas） 这类气体具有较强的氧化性，一般同时还有其他特性，如毒性或腐蚀性等，
属于这类气体的如CL2、O2、CLF3等。
1.2、特气供应系统 高 纯工业气体供应方式一般有多种，如现场制气， 用管道输送供气，槽车输送供气，外购钢瓶或者钢瓶组 输送供气等。具体采用哪种方式公司，设计人员主要考 虑的因素是工厂的生产规模和用气需求及周边地区的气 体供应情况等。综合所有条件经过认真的技术及经济比 较后方可确定。我们的设计原则是既要做到确保供气的 质量、运行管理方便，还要降低产品的生产成本，以便 安全、可靠、高 效地供应气体。 对于特种气体的供应方式，目前应用最为广泛的 是采用外购气体钢瓶或钢瓶组来输送供气。因为它具有 投资较少，使用方式灵活的优点，电耗及制气成本也相 对比较低廉。但在气体输送的过程中气体比较容易烧到 污染，这就要求整个供应系统得到严格的管理及维护。
特殊气体从气瓶出发，先经过各种阀、配件以及 压力调节器等，由特殊气体输送管道供应到位于厂房二 楼SubFab或者洁净室的多个阀分配箱（VMB：Valve Manifold Box)中。然后再由VMB的各个Stick点供应到生 产区域的设备使用。而用气设备的尾气也还要进入现场 尾气处理装置（Local Scrubber）进行处理。
1.1、气体的分类
半导体制造业等相近行业所使用的气体一般按其使用时的特性（图1-1） 可分为五大类
图1-1 气体的分类
1.1、气体的分类
◆易燃性气体（Flammable Gas） 把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这一类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃
烧，当温度达到一定时，PH3和B2H6等气体也会产生自燃。可燃、易燃气体有一定的着火燃烧爆 炸范围，及上限值与下限值。此范围越大的气体，其爆炸燃烧危险性就越高。如B2H6的爆炸上 限为98%，下限为0.9%。
特气系统报告
越短越佳
加热帶需有最高的加热溫度(65℃) 一般加热溫度(30-40℃)
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19
2.3空间设计
依气体特性一般区分成三间：
腐蚀性/毒性气体房
防爆墙、泄爆口
易燃易爆气体房
惰性气体房
设 计 重 点
空调温控、大量排气、负力设计 气体泄露侦测、独立监控室 消防洒水、侦烟器、UV/IR、极早期侦烟 一般及紧急防护具、地震仪 与供应点距离近，但須有适当的安全区域 与物料间距离近，但須有适当的安全区域
1
1
IVO Confidential
特气中央 系统概述
特气中央 系统设计 气体侦 测系统
ALS 2.0 应系统简介
特殊气体供
管路设计 阀盘介绍
2
2
1.1 气体种类
大宗 气体 特殊 气体
类别
腐蚀性/毒性
N2、H2 O2 、He Ar 、He …
CORROSIVE/TOXI C
气体名称
HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、 NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等 H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、 SiH2Cl2、 B2H6、 CH2F2、CH3F、CO… 等 O2、Cl2、 N2O、NF3…等
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2.92长时间停电处理程序
» 停止气瓶柜供气 » 由气瓶柜将一次侧管路Vent并Purge干净 » 充填PN2保压 » 记录钢瓶出口压力值与机台供应压力值 » 关闭控制箱之電源断路器 » 确认钢瓶阀关闭 » 关断气体供应室相关电力
注一：若有任何施工可能导致管路断裂以致于气体外泄之考量，除Vent外，尚須进行 30次以上之Cycle Purge。另外，若为惰性气体，则不需进行Vent动作。
大宗气体特气系统介绍
大宗气体特气系统介绍大宗气体特气系统是指一种用于储存、输送和利用大量气体的系统。
这种系统通常涉及到工业生产、能源开发、科研实验以及其他一些需要大量气体的领域。
在这篇文章中，我们将介绍大宗气体特气系统的基本原理、组成部分以及应用领域。
大宗气体特气系统的基本原理是将气体储存在特气集中储罐中，并通过输送管道将气体送到需要使用的地方。
在储气罐中，气体通常被压缩或液化以提高储存密度，并保持稳定的储存状态。
输送管道可以根据需要进行设计，以确保气体在输送过程中的流量和压力变化控制在合适的范围内。
大宗气体特气系统的主要组成部分包括储气罐、输送管道、气体压缩或液化装置、调节阀以及使用终端设备。
储气罐通常是由高强度的材料制成，以承受高压气体的储存。
输送管道是用于输送气体的管道系统，可以按照需要进行布置和连接。
气体压缩或液化装置是将气体压缩或液化的设备，以便提高储气密度和便于输送。
调节阀用于控制气体的流量和压力，确保稳定的供应。
使用终端设备根据实际需求而定，例如燃烧设备、冷却设备、实验设备等。
大宗气体特气系统的应用领域非常广泛。
在工业生产中，特气系统通常用于提供能源或原材料，例如供应工厂的燃气、供应化工生产的原料气体等。
在能源开发领域，特气系统可以用于提供燃气、蒸汽和热能，用于发电、加热和蒸汽动力等。
在科研实验中，特气系统可以提供实验所需的稳定气体供应，例如实验室中的气氛控制、气体分析等。
此外，特气系统还可以应用于其他领域，如医疗卫生、高科技制造等。
在大宗气体特气系统的设计和运行中，需要注意一些关键问题。
首先，应确保气体的储存和输送安全可靠，因此需要采取适当的安全措施，如安装安全阀、压力传感器等。
其次，应根据实际需求和气体特性选择合适的储气罐、输送管道和终端设备，以确保系统的正常运行和高效利用。
此外，还应定期进行检查和维护，以确保系统的可靠性和安全性。
总之，大宗气体特气系统是一种用于储存、输送和利用气体的系统，广泛应用于工业生产、能源开发、科研实验以及其他领域。
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二.半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤：
1 选择需要更换的钢瓶，按“更换钢瓶”后按“确认”。 2 关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀，按“下一步”。 3 确认钢瓶手动阀已经关闭，按“确认”。 4 进行低压释放。 5 进行预吹扫，完成设置的循环次数。 6 钢瓶检测结束报警，按“close”，按“下一步”。 7 更换钢瓶，结束后按“下一步”。 8 进行钢瓶Fitting测漏，正常后按“确认”。 9 进行后吹扫，完成循环次数。 10 钢瓶检测结束，按“close”。 11 如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力“净重”确认。 12 缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。 13 选择供气或备用。 14 缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。
三.手动气柜更换钢瓶操作步骤：
要求PN2钢瓶的出口压力80+/-10PSI。 1 关闭钢瓶手动阀。 2 打开低压放空的左抽空开关（V3L、V4L、V7L），使之管道内气体完全放空， 然后关闭此阀，同时关闭Regulator。 3 更换钢瓶前的Pre-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关 闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关 闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。 4 执行更换钢瓶的过程。 5 更换钢瓶后的Pigtail Fitting检漏：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关，然后再关闭， 进行Pigtail Fitting的check leak。检漏通过后进行Pigtail后吹扫。 6 更换钢瓶后的Post-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关 闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关 闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。 7 关闭L盘面上所有气动阀件，打开L钢瓶手动阀，调节Regulator的压力使之满足 工艺设备的供气压力。 如果是液态类气体需要输入切换压力“毛重”确认。 8 缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。 9 缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。 10 按“供气开关”或“备用开关”。
4.更换钢瓶操作（依照L钢瓶为例）
一.Semi-Gas全自动气柜更换钢瓶操作步骤:
如果是液态类气体需要输入“净重”确认。 1 接通220V电源，打开“EMO”紧急开关，进入盘面画面。 2 输入password，按确认。 3 L盘面进入“In shutdown”按“commands”菜单。 4 选择“terminate purge”按“Yes”。 5 选择“select purge”按“Cylinder change”，按“Yes”，按“ACK”确认，进入更换钢瓶的过 程。 6 L-Cylinder shutoff test，执行process Gas removal置换。 7 更换钢瓶前Pre-purge前吹扫，执行完循环次数。 8 Cylinder change更换钢瓶，按“ACK”确认。 9 Process Gas removal执行工艺气体置换。 10 Auto leak test自动检漏测试 11 Manual leak test手动检漏测试，按“ACK”确认。 12 Leak Repair泄漏维护，按“ACK”确认。 13 Repair Leak test维护后泄漏测试，按“ACK”确认。 14更换钢瓶后Post-purge后吹扫，执行完循环次数。 15 Regulator调压阀 shutoff及测试。 16缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈，进入钢瓶压力测试。 17缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。 18按“service ready”进入钢瓶供气或备用。
SELECT PROCESS or STANDBY PROCESS STANDBY
YSE OPEN CYLINDER
OPERATION SCREEN
POST PURGE
SELECT GO TO A or B PANEL
LOW DELIVERY PRESSURE&HIGH DELIVERY PRESSURE
MRC
CVD APWJ
易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/ ASH3/PH3
PLC
GAS CYLINDER
盘面
DFUR EPSL IMP
电磁阀
气动阀
有毒：CL2/HBR/NH3/ NF3/SIH2CL2/BCL3
无毒：AR/HE/CF4/N2O/ C2F6/SF6/O2-HE
SENSORS
■气柜 组成: 1.电控 PUTER 3.GAS PANEL
5.气柜操作流程图
SCREEN AUTO PURGE (PREPURGE) MENU SCREEN PROCESS (INSTALL ESV)
NO CONFIRM LOAD CELL (NEW or OLD
NO
FINISH
INPUT PASSWORD CHANGE NEW CYLINDER THEN PRESS ACK.. BUTTON
PROCESSຫໍສະໝຸດ STANDBYFINISH
(DO YOU WANGT TO PROCESS OR STANDBY?
A PANEL Or B PANEL
YSE
6.钢瓶更换分解图示
1.电气控制
STATUS LED’S RED,YELLOY,GREEN LOCAL SD SWITCH 电磁阀
SENSORS
2. COMPUTER
koyo
philips
3.盘面(一)
双盘面
单盘面示意图
(二)GAS FLOW SCHEMATIC-DUAL GSM WITH PURGE GAS MANIFOLD
特气系统控制
2005年9月20日
■特气系统控制
特气系统控制
易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/ ASH3/PH3
LAM
AMEM VMB/VMP 设备 TCPM AMS101
气柜
有毒：CL2/HBR/NH3/ NF3/SIH2CL2/BCL3
无毒：AR/HE/CF4/N2O/ C2F6/SF6/O2-HE