洁净室介绍
什么是模块化洁净室(洁净棚)详细介绍,它的优点是什么
什么是模块化洁净室(洁净棚)详细介绍，它的优点是什么？
硬墙洁净室分为两类：亚克力或彩钢板墙洁净室。
硬墙洁净室可自由站立，无需吊装。
洁净室内维持稳定正压，洁净等级可根据需求确定，包括百级至十万级。
特性说明
1.框架：模块化硬墙洁净室的框架可选择不锈钢或铝合金。
不锈钢防腐蚀且强度大，铝材则容易安装，外观突出；
2.吊顶：铝塑板质量轻，方便安装
3.墙体：透明亚克力板材强度高且价格便宜。
防静电亚克力板材表面具有防静电的性能，适用于工艺需要防静电环境的洁净室。
彩钢板则防尘及耐用。
4.FFU：采用优质、节能、低噪风机，或由客户指定品牌风机，如德国EBM。
外壳由镀铝锌板或不锈钢制成。
5.控制系统：控制系统由冠航研发，通过PLC同一控制FFU，调节风速、压差、温湿度（若配套空调）。
以风机过滤单元（FFU）为核心构成的高洁净度受控环境，适合在现有普通或低洁净度厂房内，快速创建一片更高洁净度的空间。
模块化洁净室的优点：
灵活性：模块化洁净室可组装、拆卸和移动位置，而且能够随着洁净度或要求变化重新配置或升级价廉且安装快速：相比传统洁净室而言，模块化洁净室能在更短的时间内以更低的成本生产和组装。
独立结构：模块化洁净室能自由站立，无需吊装至屋顶。
千级洁净室标准
千级洁净室标准洁净室是一种具有特殊环境要求的生产和实验场所，主要用于生产、加工、装配和检验对空气洁净度要求较高的产品，如电子、医药、生物工程、精密仪器仪表等。
千级洁净室是洁净室中的一种，其洁净程度达到千级标准，是一种高洁净度的洁净室。
千级洁净室标准是指千级洁净室应满足的一系列技术要求和规范，下面将对千级洁净室标准进行详细介绍。
首先，千级洁净室的空气洁净度要求非常高，空气中的颗粒物数量要控制在一定范围内。
根据国际标准，千级洁净室中每立方米空气中的颗粒物数量应该在0.5微米以上的颗粒物数量不超过3500个，0.3微米以上的颗粒物数量不超过1000个，0.5微米以下的颗粒物数量不超过10个。
这就要求千级洁净室在设计和运行时，需要采取一系列措施来控制空气中的颗粒物数量，如安装高效过滤器、定期清洁维护设备等。
其次，千级洁净室的温度、湿度和气流速度也有严格要求。
在千级洁净室中，温度一般控制在20~24摄氏度之间，湿度控制在45%~65%之间，气流速度一般控制在0.2~0.5m/s之间。
这些参数的控制对于保证洁净室内部的洁净度非常重要，需要在设计和运行中严格控制。
另外，千级洁净室还需要采取一系列措施来防止外界污染物进入洁净室内部。
这就需要在洁净室的设计中考虑到空气锁、气闸、空气淋浴等设施，以及在洁净室运行时严格控制人员进出和物料进出，避免外界污染物进入洁净室内部。
此外，千级洁净室的建筑材料、装修材料、设备设施等也有严格的要求。
建筑材料和装修材料需要具有良好的密封性和抗污染性能，设备设施需要具有良好的洁净性能，以确保洁净室内部的洁净度。
总之，千级洁净室标准是对千级洁净室洁净度、温湿度、气流速度、外界污染物防止、建筑材料、装修材料、设备设施等方面的严格要求，只有严格按照标准要求设计、建造和运行，才能保证千级洁净室的洁净度达到要求，满足生产和实验的需要。
洁净室介绍
化学过滤器和FFU的HEPA/ULPA的安装关系举例
风向
碱化学过滤器(A) 有机化学过滤器(L) 酸化学过滤器(C) FFU用ULPA过滤器
有了HEPA、ULPA，还要进行新风的空气净化（湿度控制）
等湿升温
冷却除湿
等焓加湿
（夏季工况）
后过滤器再热盘管除源自μm以上颗粒加热空气（效率82％以上） 调整温、湿度
大气、生产中使用的化学品、
TMA、TEA、HMDS、CHA 作业人员
酞酸脂、硅氧烷、 凝缩性有机物 芳香族碳水化合物、 Condensables 脂肪族碳水化合物
大气、生产中使用的化学品、 可塑剂、硅烷、建材
掺杂性气体 H3BO3、BF3 、H3PO4 、 Dopants 磷酸脂、有机磷
大气（农药）、生产中使用的化学品、 HEPA、阻燃剂
20
10
0 0
50
100
150
200 吸附物g
活性炭是如何吸附化学物质的呢？
微孔
微孔
气流
微孔
• 活性炭的小孔组织有非常大量的内表面，约1000M2/g • 吸附发生在活性炭的内表面 • 被吸附的化学分子通过扩散进入活性炭庞大的小孔组织，抵达微孔。碰撞发生在微孔表面。 • 活性炭通过它的弱吸引力有效地抓住化学分子——物理吸附 • 活性炭表面和分子间的相互作用是较弱的，不可能留住较轻的不稳定化学分子 • 使用精制活性炭（酸、碱、有机） 来对应不同的化学气体分子——化学吸附
可吸入颗粒：
10～200mg/ M3
大气含尘计数浓度： 1.3×108个/M3
等湿升温
冷却除湿
等焓加湿
等湿升温（冬季工况）
洁净室的温度是如何控制的？
Cooling Unit 干冷盘管
洁净室等级从低到高的标准
洁净室是一种特殊的生产环境，用于控制空气中的微粒和微生物数量，以确保对特定产品的生产或处理过程不会受到污染。
洁净室等级通常按照国际标准或行业规范进行分类，不同的等级适用于不同的生产场景和需要。
以下将从低到高的顺序，详细介绍洁净室等级的标准。
一、ISO 14644-1国际标准1. ISO 8级别：该级别要求每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.5微米，液滴颗粒物不得大于5微米。
这种级别适用于一些普通的办公室、车间等环境。
2. ISO 7级别：每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.5微米，液滴颗粒物不得大于5微米。
这个级别适用于一些对环境要求较高的生产场所，如电子元件生产线等。
3. ISO 6级别：每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米，液滴颗粒物不得大于0.5微米。
此级别适用于一些对洁净度要求很高的生产场所，如制药厂等。
4. ISO 5级别：每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米，液滴颗粒物不得大于0.5微米。
这个级别适用于一些对微生物污染要求极高的场所，如生物实验室等。
5. ISO 4级别：每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米，液滴颗粒物不得大于0.5微米。
这个级别适用于一些对微生物污染要求极高的场所，如医院手术室等。
6. ISO 3级别：每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米，液滴颗粒物不得大于0.5微米。
这个级别适用于一些对微生物污染要求非常严格的场所，如生物制药厂等。
7. ISO 2级别：每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米，液滴颗粒物不得大于0.5微米。
在这个级别下，洁净室内的空气质量已经接近于绝对洁净的水平，适用于一些对微生物污染要求极为严格的场所，如超洁净手术室等。
8. ISO 1级别：这是最高等级的洁净室标准，要求每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米，液滴颗粒物不得大于0.5微米。
这种级别适用于一些对微生物污染要求极其苛刻的场所，如微电子芯片生产工艺中的洁净室等。
洁净室知识培训资料
目录
• 洁净室基本概念与原理 • 洁净室设计与布局规划 • 空气净化系统与设备选型 • 洁净室操作管理与维护保养 • 洁净室性能评价与改进方向 • 总结回顾与拓展延伸
洁净室基本概念与
01
原理
洁净室定义及作用
主要功能
控制室内空气中尘埃粒子、有害空气、细菌等污染物，并将室内之温度、洁净 度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求 范围内。
故障排查和应急处理措施
故障排查
当洁净室出现故障时，及时进行排查和维修，确保洁净室的正常运行。同时，对 故障原因进行分析和总结，避免类似故障再次发生。
应急处理措施
制定洁净室应急处理预案，包括停电、设备故障等突发情况的应对措施，确保在 紧急情况下能够迅速采取有效措施，保障洁净室的安全运行。
洁净室性能评价与
维护保养策略和方法
01
02
03
04
定期对空气处理机组、风机等 设备进行清洗和保养，保持设
备良好的运行状态。
定期更换高效过滤器，避免过 滤器堵塞影响空气流通和过滤
效果。
定期对检测仪器进行校准和维 护，确保检测数据的准确性和
可靠性。
建立完善的维护保养档案，记 录设备的运行状况、维护保养
情况和更换部件等信息。
THANKS.
行业前沿动态关注
新型洁净室技术不断涌现
随着科技的不断进步，新型洁净室技术不断涌现，如智能控制系统、高效过滤材料等，为洁净室行业的发展注入 了新的活力。
洁净室应用领域不断拓展
随着各行业对产品质量和生产环境要求的不断提高，洁净室的应用领域也在不断拓展，如新能源、新材料等领域 也开始广泛应用洁净室技术。
无尘室介绍报告模板范文
无尘室介绍报告模板范文1. 背景介绍无尘室，亦称洁净室，是一种专门用于控制空气污染、温度、湿度和气流速度等因素的封闭空间。
它主要用于各种对环境要求非常高的场所，如电子、制药、食品、医疗等行业。
在无尘室内，通过科学设计和合理布局，可以最大程度地减少微粒物质的产生和传播，从而保证产品的质量和可靠性。
2. 空气净化技术主要的空气净化技术包括过滤、静电除尘、化学吸附、紫外线杀菌等。
- 过滤：无尘室内采用高效过滤器，能有效拦截空气中的微尘颗粒和细菌等。
根据需要，过滤器可分为初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器三个级别，以提供不同的洁净度要求。
- 静电除尘：通过静电场作用，将空气中的带电微粒吸附在带电板上，从而达到除尘的目的。
- 化学吸附：利用吸附剂吸附空气中的有毒气体和异味物质，以净化空气。
- 紫外线杀菌：利用紫外线辐射杀灭空气中的微生物，防止细菌和病毒的传播。
采用一种或多种以上的净化技术，无尘室可以实现洁净度在空气细菌数目限度内的要求。
3. 工作原理无尘室主要通过以下措施实现对环境的控制：- 严格控制环境空气的进入和排出。
通常采用单向流的方法，即空气从无尘室的一侧流入，然后通过过滤器进行过滤，最后从另一侧排出。
这样可以有效避免外界污染物的进入和内部污染物的散播。
- 控制空气温度和湿度。
无尘室内通常采用空调系统和加湿器等设备，以确保空气温度和湿度在合适的范围内。
- 控制空气流速。
通过空气流速的调节，可以控制空气中微粒物质的传播和沉降速度，减少对产品的污染。
- 标准化操作。
无尘室内通常要求工作人员穿戴特定的洁净服，并进行相应的培训，以确保操作的标准化和规范化。
通过上述措施的综合应用，无尘室可以提供一个洁净、稳定的工作环境，确保产品的质量和可靠性。
4. 应用领域无尘室广泛应用于以下几个行业：电子行业无尘室在电子行业中的应用非常广泛。
在电子零件的生产和组装过程中，微小的尘埃颗粒可能会导致电子器件的短路或损坏，从而影响产品的质量和可靠性。
百级洁净室
百级洁净室简介洁净室是一种能够控制空气颗粒浓度、温度、湿度和压力等因素的特殊房间，用于保证生产过程中无菌环境的要求。
其中，百级洁净室是指每立方英尺空气中的固体颗粒数少于100个的洁净室。
本文将从洁净室的定义、特点、应用领域以及建设要点等多个方面进行介绍，以便更全面了解百级洁净室。
定义洁净室是一种通过过滤和气流控制等技术手段，使空气中的固体颗粒、微生物和化学气体控制在规定的范围内的特殊环境。
它不仅包括建筑结构、便利设施和洁净系统，还包括空气清洁技术和洁净室运行管理等方面。
特点1.空气质量控制：百级洁净室要求空气中的固体颗粒数限制在每立方英尺少于100个，从而有效控制生产环境中的微粒污染。
2.温湿度控制：百级洁净室通常需要保持稳定的温度和湿度，以满足特定生产过程的要求。
3.压力控制：百级洁净室通常具有正压、负压或中性压力，以防止外界空气污染进入洁净室或洁净室内空气污染外界环境。
4.净化设备：百级洁净室通常配备有高效空气过滤器、空调系统、洁净区域硬性墙壁等净化设备，以确保空气质量满足要求。
5.人员行为控制：百级洁净室对人员行为有一定要求，如要求穿戴特殊洁净服、鞋套和面罩等防护装备，以减少外界物质的进入。
应用领域百级洁净室广泛应用于多个行业，主要用于对空气质量要求较高的生产过程。
以下是一些常见的应用领域：•半导体制造：在半导体生产过程中，洁净室能够有效控制微粒污染，保障芯片生产的质量和可靠性。
•生物医药：在生物医药领域，洁净室可用于药品生产、实验室研究以及手术室等环境，以防止微生物污染对产品和患者的影响。
•光学仪器制造：光学仪器生产过程对空气质量也有较高要求，洁净室可有效减少尘埃等微粒对光学仪器的影响。
•食品加工：某些食品生产过程也需要洁净室，以防止细菌和其他微生物污染食品。
建设要点百级洁净室的建设需要注意以下几个关键要点：1.设计规划：根据生产过程的要求，合理规划洁净室的布局、通风系统、空调系统等设施，确保满足洁净室的控制要求。
洁净室设计手册
洁净室设计手册一、引言洁净室是一种对空气中微生物、悬浮颗粒物和化学气体等有特殊要求的场所，广泛应用于电子、制药、生物工程、航空航天等领域。
洁净室的设计是保证产品质量和生产效率的重要环节，因此需要严格遵循相关标准和规范进行设计。
本手册将从洁净室的分类、设计原则、关键设计要点以及建设管理等方面进行详细介绍，以期为相关设计人员提供参考。
二、洁净室分类根据ISO14644标准，洁净室根据空气洁净度等级可分为等级1-9级。
不同等级的洁净室适用于不同领域的需求，同时在设计时需要考虑不同等级的要求差异。
洁净室还可根据其用途和布局等因素分类，例如生产洁净室、生物洁净室、医疗洁净室等。
三、洁净室设计原则1. 空气质量的保证：洁净室设计首要原则是保证空气中微生物、颗粒物和化学气体等的质量，需要选择适当的净化设备和控制系统。
2. 去污原则：设计时需考虑防止外界尘埃和颗粒物进入洁净室，采取合适的去污措施。
3. 安全性原则：洁净室设计需要考虑操作人员的安全，并采取相应的安全措施，如防静电、防火等。
四、关键设计要点1. 洁净室布局：合理的洁净室布局对于提高工作效率和减少污染十分重要，需要考虑设备摆放、通风口位置、人员流线等因素。
2. 净化设备的选择：根据洁净室的等级和用途选择适当的净化设备，如高效过滤器、空调系统等。
3. 材料选择：洁净室内部装修材料的选择需要考虑其对空气质量的影响，尽量选用无尘、易清洁的材料。
4. 控制系统设计：洁净室需要配备合适的控制系统，包括温度、湿度、静电等控制系统，保证洁净室内环境稳定。
五、建设管理1. 建设过程管理：洁净室建设需要严格遵守相关标准和规范，施工验收前进行合格性检测，确保洁净室达到设计要求。
2. 运行管理：洁净室的运行需要有专门的管理人员进行监控和维护，定期进行设备检测和空气质量检测。
3. 定期维护：定期对洁净室设备进行维护和清洁，保证设备正常运行和空气质量符合标准。
六、结语洁净室设计是一个综合性的工程，需要从空气质量、布局、设备选型、材料选择等多个方面综合考虑。
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知道洁净室内为什么要随手关门的道理了吗？
化学物质去除的效率如何呢？
效率％
100
化学过滤器
测试条件 :
•湿度：50% •温度 : 20～23°C •风量： 2600 m3/h
90
80
70
Gigasorb碱
60
Gigasorb酸
50
40
30
活性炭
20
10
0 0 50 100 150 200
吸附物g
活性炭是如何吸附化学物质的呢？
外框 褶皱状滤纸
热溶胶
ULPA Filter高效过滤器—— Ultra Low Penetration Air Filter
过滤器去除灰尘的效率如何呢？（举例）
名称
HEPA高效 ULPA超高效
灰尘粒径
0.30μm 0.15μm
捕集率 99.97～99.999％ 99.9995%以上
灰尘又是如何产生的呢？
化学物质又是如何产生的呢？
分类
酸性物质 Acids
化学物质
主要来源
SOX、NOX、HCl、H3PO4、 大气、生产中使用的化学品 HF、HNO3、H2SO4
碱性物质 Bases
NH3、NH4OH、TMAH、 TMA、TEA、HMDS、CHA
大气、生产中使用的化学品、 作业人员
酞酸脂、硅氧烷、 凝缩性有机物 芳香族碳水化合物、 Condensables 脂肪族碳水化合物 掺杂性气体 Dopants H3BO3、BF3 、H3PO4 、 磷酸脂、有机磷
Cleanroom 洁净室
Fab 生产层 Chamber 回风静压室 Sub-Fab 下技术层 Cooling Coil 干式冷盘管
Shaft 回风井道
Duct 风管
AHU 空调机
灰尘是如何去除的呢？
波浪型隔离体 过滤器介质 外框 滤纸
热溶胶（多处加工） 密封条 HEPA Filter高效过滤器—— High Efficiency Particulate Air Filter 外框
4.8 m
0.6 m
Cl. 100 turbulent
Level 3
楼梯间
5.2 m
回风
Level 2
5.2 m
0.0m
Lower Subfab
Level 1
10 m (33 ft)
72 m (236,2 ft)
10 m (33 ft)
补充气体
特殊气体气柜 回风区
工艺真空管路 工艺原料主供应系统 人员操作区 （Class 100)
10,000～100,000级 室内洁净度不高 易受作业人员的活动而导 致洁净度下降
换气次数
20－50次/h
运行成本 设备费用
对生产设备的发热、排热进行 循环风量较少 分别处理，可以降低运行成本 运行成本最低 中 低
洁净室的洁净度是如何确定的？
Class1 1000000 100000 颗粒数量（个） 10000 1000 100 10 1 0 0 Class 1：大于0.5微米的粒子少于1个 Class 10：大于0.5微米的粒子少于10个 Class 100：大于0.5微米的粒子少于100个 Class 1000：大于0.5微米的粒子少于1000个 Class10 Class100 Class1000 Class10000
Cleanbench洁净工作台
自动洗手装置
Airshower 风淋室 Cleanbooth 层流罩
Passbox 传递窗
洁净室配套设施——高灵敏度烟感探测器
洁净室配套设施——紧急排气/烟系统
Fab
用力室
作业室
用力室
Sub-Fab
设备冷却水系统构成图
泵 板式热交 水过滤器
PCW 水 箱
冷冻水系统
Cleanroom洁净室
Cleanroom洁净室
但 适易 利 必 合形 用 须 有成 确 较垂 保 高直 和 架 洁单 地 空 净向 板 地 度流 上 板要 送 高求 下 度的 回 洁 净 室 FFU
适不直 合能接 洁形利 净成用 度同空 要一调 求方箱 不向侧 高气送 的流侧 洁，回 净是 室乱 流
1 型号：Trane 2 数量：
些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率
和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的 环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。
半导体工厂洁净室示意图
独立过滤风扇
高架地板
天花吊顶系统 架子格 排风扇
水泥覆盖 防水保温 镀锌浪板
静压箱 钢结构 微环境
（Class 1,SMIF
排风扇
22 m (74 ft) 5.5 m 1.3
•
使用精制活性炭（酸、碱、有机） 来对应不同的化学气体分子——化学吸附
化学过滤器和FFU的HEPA/ULPA的安装关系举例
风向
碱化学过滤器(A) 有机化学过滤器(L) 酸化学过滤器(C) FFU用ULPA过滤器
有了HEPA、ULPA，还要进行新风的空气净化（湿度控制）
等湿升温 后过滤器
除5μ m以上颗粒 （效率82％以上）
微孔
微孔
气流
微孔
•
活性炭的小孔组织有非常大量的内表面，约1000M2/g
•
• • •
吸附发生在活性炭的内表面
被吸附的化学分子通过扩散进入活性炭庞大的小孔组织，抵达微孔。碰撞发生在微孔表面。 活性炭通过它的弱吸引力有效地抓住化学分子 ——物理吸附 活性炭表面和分子间的相互作用是较弱的，不可能留住较轻的不稳定化学分子
尘埃粒子直径的示意图
0.5 μm 0.0001 0.001 0.01 0.1 1.0 香烟的烟 颜料 10 100 1000 水泥 人的头发 植物孢子 硅砂 花粉 重工业发出的粒子 10000
烟
病毒
细菌
化学物质
尘埃粒直径（单位：μm）
洁净室的洁净度是如何维持的？
Chamber 回风静压室 Fan Filter Unit 风机过滤单元
洁净室的构造是怎样的？
比较项目 全面垂直层流方式 部分层流方式 乱流方式
洁净室 气流方式 流程图
洁净度
1～1000级 室内全部为高洁净度区域 易受作业人员的活动而导 致洁净度下降 400－500次/h、 下降风速0.45m/s 生产设备的发热即为空调 的热负荷，运行成本最高 高
1～10,000级 洁净通道内为高洁净度区域 可以减少作业人员对洁净度的 影响 通道内200－400次/h， 下降风速0.25-0.45m /s； 其它区域100－200次/h
工艺原料供应主管路 钢结构
洗涤塔 无尘电梯
洁净室的空调系统及其气流组织形式
易为 利 控非 用 制单 风 大向 管 范流 上 围洁 送 的净 侧 空室 排 气 流 动 但较适为利 必大合混用 须热有合风 确负较流管 保荷高洁和 架要洁净地 空求净室板 地的度 上 板洁和 送 高净 下 度室 回
Cleanroom洁净室
不让灰尘产生
不让灰尘堆积 迅速排除灰尘
2、不使用容易发尘的物品及材料 3、减少不必要的人员走动 4、不用的物品严禁带入 1、清扫作业不留死角，特别是不易清扫的角落和设备周围 2、尽量减少风管、配管暴露于洁净室内
3、实施标准化的清扫作业 1、增大换气次数
2、设备发尘部位应有排气 3、室内的气流形式应使得灰尘难以在产品上附着
空气中漏入
原料中带入
7 人员因素造成 8 25 设备运转产生
35
25
生产过程产生
——摘自GB50073-2001《洁净厂房设计规范》
洁净室的四原则
1、过滤器本身及外框无漏风
不将灰尘带入
2、洁净室需保持一定的正压 3、作业人员需穿洁净服并经风淋 4、带入的工具、材料等必须擦洗干净 1、正确穿着洁净服
大气
29% 59% 8%
3 4
动力设备
生产设备
5
洁净室为什么还要控制压差？
洁净室的压差就是使洁净室与周围的空间必须维持一定的静压差，洁净度不同的洁净
室之间，或洁净室与一般房间之间保持适当的压差值，其目的是为了保证在洁净度等
级低的区域其洁净度遭受破坏时，洁净度等级高的区域可以免受邻室的污染。 不同洁净等级的洁净室之间应维持不小于5Pa的 压差，级别高的区域为正压； 洁净区与非洁净区之间也应维持不小于5Pa的压 差；洁净区与室外也应维持不小于10Pa的压差。
知道了吗——
洁净室内为什么要随手关门？
HHNEC洁净室的断面示意图
FFU
P/W 室 Class10000
一般 环境 通道
CR2F Class10000
CR2F Class1
D区 1F C/R Class1000
Air Return
C/R Sub-Fab
D区 支持栋
A区 生产栋
洁净室配套设施——净化设施
冷却空气 除湿至露点温度 温度：10℃ 湿度：100％
中效过滤器
除1μ m以上颗粒 （效率90％以上）
预热盘管
冬季空气预热
10～200mg/ M3 大气含尘计数浓度： 1.3×108个/M3
等湿升温
冷却除湿
等焓加湿
等湿升温（冬季工况）
洁净室的温度是如何控制的？
Cooling Unit 干冷盘管
干冷盘管温差小，温度分布均匀，控制精度高 主要用于小范围作业室的温度控制
冷却除湿 变频风机
等焓加湿 水喷淋段
（夏季工况） 初效过滤器
除5μ m以上颗粒 （效率75％以上）
再热盘管
加热空气 调整温、湿度 温度：21.5±0.5℃ 湿度：40 ±15％
金属网
防鸟 防虫 防漂浮物
排气风量补充 除氨 泄漏风量补充 除悬浮物 加湿空气