无尘室洁净室详细介绍
洁净室(无尘室)标准
洁净室(无尘室)标准(一)洁净室之定义洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M 1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
(四)洁净室之分类1.乱流式(Turbulent Flow)：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
《无尘室基础知识》课件
在电子领域，无尘室是制造半导体、液晶显示面板、太阳能电池等高精密度产品的必备环境。在制药和生物医学 领域，无尘室用于生产药品、医疗器械和进行临床试验等。在航空航天领域，无尘室用于制造飞机零部件和卫星 等高精密度产品。此外，无尘室还应用于食品、化妆品等行业，保证产品的质量和安全性。
02
无尘室的构造与设备
不同洁净度等级的应用场景
低洁净度等级
适用于一般工业和实验室环境， 如电子、制药、食品等行业。
高洁净度等级
适用于高精度、高可靠性要求的领 域，如半导体、平板显示、生物医 疗等。
特殊洁净度等级
根据特定工艺需求，定制化设计的 洁净室，以满足特定环境要求。
洁净度等级的测试与评估
测试方法
采用粒子计数器等仪器对室内空气中 的颗粒物浓度进行测量，以评估洁净 度等级是否达标。
无尘室的结构一般采用框架结构或钢结构，以确保稳定 性和密闭性。
墙面和地面
墙面和地面通常采用防尘、防静电、抗菌的材料，以减少尘 埃的产生和附着。
门窗
无尘室的门窗应严密、平滑，并具有良好的气密性，以确保 空气的纯净度。
无尘室的空气净化系统
空气过滤
无尘室的空气净化系统通常采用初效、中效、高效过滤器逐级过滤，以去除空气中的尘埃和微生 物。
维持无尘环境。
空气过滤
定期检查并更换空气过滤器，确 保空气洁净度符合要求，防止尘
埃颗粒进入无尘室。
无尘室的定期检查与保养
设备检查
对无尘室内的设备进行定期检查，确保其正常运 行，如有故障及时维修或更换。
管道维护
定期对无尘室的管道进行检查和维护，防止管道 泄漏对无尘环境造成影响。
照明系统
检查和维护无尘室的照明系统，确保照明亮度符 合要求，防止光源污染。
洁净室基本常识
洁净室基本常识什么是洁净室？典型的洁净室洁净室又可称作无尘室（Cleanroom），通常用作专业工业生产或科学研究的一部分，包括制造药品，集成电路，CRT，LCD，OLED和microLED显示器等。
洁净室的设计是为了保持极低水平的微粒，如灰尘，空气中的生物体，或汽化的微粒。
确切地说，洁净室有一个受控的污染水平，该水平由在指定的颗粒尺寸下每立方米的颗粒数来规定。
洁净室也可指任何给定的容纳空间，在该空间中设置了减少微粒污染和控制其他环境参数，如温度，湿度和压力。
在药学意义上，洁净室是指符合GMP无菌规范（即EU和PIC/S GMP 指南附件1以及当地卫生当局要求的其他标准和指南）中定义的GMP规范要求的房间，是将普通房间转换为洁净室所需的工程设计、制造、完成和操作控制（控制策略）的组合。
很多行业会使用无尘室，只要是小颗粒会对生产过程产生不利影响的地方都会有洁净室的身影。
它们的尺寸和复杂度各不相同，广泛应用于半导体制造，制药，生物技术，医疗设备和生命科学等行业，以及航空航天，光学，军事和能源部中常见的关键工艺制造。
洁净室的发展历程现代无尘室是由美国物理学家威利斯·惠特菲尔德发明的。
惠特菲尔德作为桑迪亚国家实验室的雇员，于1966年为无尘室设计了最初的设计方案。
在惠特菲尔德发明之前，早期的无尘室经常遇到颗粒和不可预测的气流的问题。
Whitfield设计的无尘室具有恒定的且经过严格过滤的气流来保持空间内的洁净。
硅谷的大部分集成电路制造设施由三家公司制造:MicroAire，PureAire和Key Plastics。
他们制造了层流装置，手套箱，洁净室和空气淋浴器，以及用于集成电路“湿法工艺”建造的化学罐和工作台。
这三家公司也是将特氟龙用于气枪，化学泵，洗涤器，水枪和其他集成电路生产所需设备的先驱。
William（Bill）C.McElroy Jr.曾担任三家公司的工程经理，制图室主管，QA/QC和设计师，他的设计为当时的技术增加了45项原始专利。
无尘洁净室基本常识
无尘洁净室基本常识一、无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
二、无尘洁净室的原理。
洁净室是利用HEPA、空气净化设备，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。
然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
三、无尘洁净室中的三尘。
无尘洁净室有三大原则：禁尘、带尘、产尘。
风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的最好净化设备之一，它可以最大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。
风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。
四，无尘洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。
按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。
当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
五.每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。
目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A 级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。
微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
无尘室介绍
脱下防尘服
口罩
离室 ▶离室时脱下并细致整理整顿防尘服及防尘靴
戴口罩 入室
内防静电手套
出入室流程
• 1、进入一次更衣室 • a）脱：进入人员须在一次更衣室入口脱去防静电鞋后进入。 • b）放：使用更衣柜，放置与生产无关、不必要等物品。 • 更衣柜内部的上层基本放衣服、手表、钱包等，下层放置防静电
鞋等。 • 2、进入二次更衣室 • a）穿戴洁净手套：根据岗位要求选择佩戴乳胶手套或PVC手套。 • b）佩戴口罩：须紧压铁丝，口罩与面部紧贴、固定。 • c）着装：尽可能不使洁净服着地，站立穿着洁净服，禁止不穿内
35
8
2370
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352
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832000
29300
35200000 8320000
293000
空气洁净度等级计算公式
按国际标准ISO14644-1
Cn=10N×(0.1÷D)2.08
洁净度级别
1 10 100 1000 10000 100000
0.1 35.0 350
NA NA NA NA
0.2 7.50 75.0 750
NA NA NA
粒 径 (um)
0.3 3.00 30.0 300
NA NA NA
0.5 1.00 10.0 100 1000 10000 100000
5.0 NA NA NA 7.0 70.3 700
水平层流方式
洁净室分类
无尘室介绍报告模板范文
无尘室介绍报告模板范文1. 背景介绍无尘室，亦称洁净室，是一种专门用于控制空气污染、温度、湿度和气流速度等因素的封闭空间。
它主要用于各种对环境要求非常高的场所，如电子、制药、食品、医疗等行业。
在无尘室内，通过科学设计和合理布局，可以最大程度地减少微粒物质的产生和传播，从而保证产品的质量和可靠性。
2. 空气净化技术主要的空气净化技术包括过滤、静电除尘、化学吸附、紫外线杀菌等。
- 过滤：无尘室内采用高效过滤器，能有效拦截空气中的微尘颗粒和细菌等。
根据需要，过滤器可分为初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器三个级别，以提供不同的洁净度要求。
- 静电除尘：通过静电场作用，将空气中的带电微粒吸附在带电板上，从而达到除尘的目的。
- 化学吸附：利用吸附剂吸附空气中的有毒气体和异味物质，以净化空气。
- 紫外线杀菌：利用紫外线辐射杀灭空气中的微生物，防止细菌和病毒的传播。
采用一种或多种以上的净化技术，无尘室可以实现洁净度在空气细菌数目限度内的要求。
3. 工作原理无尘室主要通过以下措施实现对环境的控制：- 严格控制环境空气的进入和排出。
通常采用单向流的方法，即空气从无尘室的一侧流入，然后通过过滤器进行过滤，最后从另一侧排出。
这样可以有效避免外界污染物的进入和内部污染物的散播。
- 控制空气温度和湿度。
无尘室内通常采用空调系统和加湿器等设备，以确保空气温度和湿度在合适的范围内。
- 控制空气流速。
通过空气流速的调节，可以控制空气中微粒物质的传播和沉降速度，减少对产品的污染。
- 标准化操作。
无尘室内通常要求工作人员穿戴特定的洁净服，并进行相应的培训，以确保操作的标准化和规范化。
通过上述措施的综合应用，无尘室可以提供一个洁净、稳定的工作环境，确保产品的质量和可靠性。
4. 应用领域无尘室广泛应用于以下几个行业：电子行业无尘室在电子行业中的应用非常广泛。
在电子零件的生产和组装过程中，微小的尘埃颗粒可能会导致电子器件的短路或损坏，从而影响产品的质量和可靠性。
无尘室基础知识
医疗器械的制造过程中，无尘室有助于减少生产环境中的尘埃和微生物污染，提 高医疗器械的洁净度和安全性。
食品工业
食品包装
无尘室用于食品包装材料的生产，确保包装材料的洁净度和 卫生标准，从而保证食品的质量和安全性。
食品加工
某些食品加工过程需要在洁净的环境中进行，如饮料灌装、 糖果制作等，无尘室提供了一个符合卫生标准的加工环境。
回风系统
02
03
排风系统
回风系统将室内的空气排出，经 过过滤和净化后再送回无尘室内。
排风系统用于排除无尘室内的不 良气体和尘埃，保持室内空气的 洁净度。
洁净设备
洁净工作台
01
用于进行高精度、高洁净度要求的实验和生产。
洁净棚
02
一种较经济实惠的洁净空间，适用于一般洁净度要求的场所。
洁净隧道
03
一种高效、快速净化空间的设备，适用于大规模、高洁净度要
无尘室基础知识
目录
• 无尘室的定义与特性 • 无尘室的组成与功能 • 无尘室的洁净度与测试 • 无尘室的应用领域 • 无尘室的未来发展与挑战
01
无尘室的定义与特性
无尘室的定义
无尘室是一种特殊的环境，通过严格 控制室内空气的洁净度、温度、湿度 等参数，为生产、科研等提供了一个 高度洁净的工作环境。
其他领域
科学研究
在科学研究领域，无尘室广泛应用于 实验室、科研机构等，为科研人员提 供了一个洁净、恒温恒湿的环境，有 助于实验的准确性和可靠性。
光学仪器制造
光学仪器制造过程中，无尘室有助于 减少尘埃对光学表面的污染，提高光 学仪器的质量和性能。
05
无尘室的未来发展与挑 战
新型无尘室技术的研发
洁净室名词解释
洁净室名词解释
洁净室 (Clean Room) 是一种严格控制环境微生物和尘埃数量的室内空间。
通常用于高科技制造、制药、医疗和生物技术等领域，目的是确保产品或生产过程不会对周围环境产生污染。
洁净室的空气净化系统通常由高效过滤装置、换气系统和气流组织等部分组成。
空气净化系统的目的是过滤空气中的尘埃、微生物和其他微粒，并将净化后的空气排放到室内，以保持室内空气清新。
换气系统则是为了在室内产生足够的新风量，以维持室内正压，防止外部污染进入室内。
气流组织则是为了确保室内污染物的有效控制，通过气流调节系统将气流均匀分布在室内，防止气流短路和污染扩散。
洁净室的设计和建造需要考虑到许多因素，例如室内温度、湿度、照明、通风和噪音等。
洁净室的建筑材料和表面材料也需要经过精心挑选和特殊处理，以避免出现微生物和尘埃的积累。
此外，洁净室的维护和管理也非常重要，需要定期清洁、消毒和检查，以确保洁净室的空气净化效果和环境卫生。
洁净室广泛应用于高科技制造、制药、医疗和生物技术等领域，对于保证产品质量和生产过程的无菌化有着重要的作用。
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无尘室/洁净室详细介绍
无尘室/洁净室就是就是车间经过空气净化后所形成的一个无灰尘的生产环境，等级可分为ISO 1- ISO 9级。
无尘室/洁净室主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。
它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
一、气流流型的设计，应符合下列要求:
1 气流流型应满足空气洁净度等级的要求。
空气洁净度等级要求为 1～4 级时，应采用垂直单向流；空气洁净度要求为 5 级时，应采用垂直单向流或水平单向
流。
2 空气洁净度要求为 6～9 级时，宜采用非单向流。
3 洁净室工作区的气流分布应均匀。
4 洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺要求。
5 洁净室的送风量，应取下列三项中的最大值:
1) 为保证空气洁净度等级的送风量。
2) 根据热、湿负荷计算确定的送风量。
3) 向洁净室内供给的新鲜空气量。
（一）单向流无尘室/洁净室（1-5级）
1-5级的洁净室，均采用单向流的气流组织送风方式，即洁净室内的气流在同一截面的任意一点，气流的方向和速度均保持一致，这样可以使清洁空气象“活塞”一样，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。
要实现“活塞”的效果，高效过滤器需要布满率在80%以上，才可实现单向流的气流组织方式。
（二）非单向流无尘室/洁净室（6-9万级）
6-9级无尘室/洁净室的气流组织方向和5级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动的，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，来实现净化。
不同的净化等级，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现的。
（三）无尘室/洁净室基本工作原理：
1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、
刚性强。
圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造
2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防
静电型。
3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果良好的阻燃型胶塑保温棉。
4.高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，
宜清洁
5。
净化参数
A换气次数：为保证空气洁净度等级的送风量，按表 6.3.3 中有关数据进行计
算或按室内发尘量进行计算。
B洁净室温度20-26℃，相对湿度45－65％；GMP粉剂车间湿度在50％左右为宜；
电子车间湿度略高以免产生静电。
C洁净室的噪声≤65dB（A）；
D洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:
1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。
2 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于 40m3/h。
E洁净室的照明配电照度一般采用350LX
F净化原理
气流→粗效过滤→中效过滤→风机送风→管道→高效过滤→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→粗效过滤重复以上过程，即可达到净化目的。