无尘车间知识详解PPT幻灯片
合集下载
《无尘室基础知识》课件
详细描述
在电子领域，无尘室是制造半导体、液晶显示面板、太阳能电池等高精密度产品的必备环境。在制药和生物医学 领域，无尘室用于生产药品、医疗器械和进行临床试验等。在航空航天领域，无尘室用于制造飞机零部件和卫星 等高精密度产品。此外，无尘室还应用于食品、化妆品等行业，保证产品的质量和安全性。
02
无尘室的构造与设备
不同洁净度等级的应用场景
低洁净度等级
适用于一般工业和实验室环境， 如电子、制药、食品等行业。
高洁净度等级
适用于高精度、高可靠性要求的领 域，如半导体、平板显示、生物医 疗等。
特殊洁净度等级
根据特定工艺需求，定制化设计的 洁净室，以满足特定环境要求。
洁净度等级的测试与评估
测试方法
采用粒子计数器等仪器对室内空气中 的颗粒物浓度进行测量，以评估洁净 度等级是否达标。
无尘室的结构一般采用框架结构或钢结构，以确保稳定 性和密闭性。
墙面和地面
墙面和地面通常采用防尘、防静电、抗菌的材料，以减少尘 埃的产生和附着。
门窗
无尘室的门窗应严密、平滑，并具有良好的气密性，以确保 空气的纯净度。
无尘室的空气净化系统
空气过滤
无尘室的空气净化系统通常采用初效、中效、高效过滤器逐级过滤，以去除空气中的尘埃和微生 物。
维持无尘环境。
空气过滤
定期检查并更换空气过滤器，确 保空气洁净度符合要求，防止尘
埃颗粒进入无尘室。
无尘室的定期检查与保养
设备检查
对无尘室内的设备进行定期检查，确保其正常运 行，如有故障及时维修或更换。
管道维护
定期对无尘室的管道进行检查和维护，防止管道 泄漏对无尘环境造成影响。
照明系统
检查和维护无尘室的照明系统，确保照明亮度符 合要求，防止光源污染。
在电子领域，无尘室是制造半导体、液晶显示面板、太阳能电池等高精密度产品的必备环境。在制药和生物医学 领域，无尘室用于生产药品、医疗器械和进行临床试验等。在航空航天领域，无尘室用于制造飞机零部件和卫星 等高精密度产品。此外，无尘室还应用于食品、化妆品等行业，保证产品的质量和安全性。
02
无尘室的构造与设备
不同洁净度等级的应用场景
低洁净度等级
适用于一般工业和实验室环境， 如电子、制药、食品等行业。
高洁净度等级
适用于高精度、高可靠性要求的领 域，如半导体、平板显示、生物医 疗等。
特殊洁净度等级
根据特定工艺需求，定制化设计的 洁净室，以满足特定环境要求。
洁净度等级的测试与评估
测试方法
采用粒子计数器等仪器对室内空气中 的颗粒物浓度进行测量，以评估洁净 度等级是否达标。
无尘室的结构一般采用框架结构或钢结构，以确保稳定 性和密闭性。
墙面和地面
墙面和地面通常采用防尘、防静电、抗菌的材料，以减少尘 埃的产生和附着。
门窗
无尘室的门窗应严密、平滑，并具有良好的气密性，以确保 空气的纯净度。
无尘室的空气净化系统
空气过滤
无尘室的空气净化系统通常采用初效、中效、高效过滤器逐级过滤，以去除空气中的尘埃和微生 物。
维持无尘环境。
空气过滤
定期检查并更换空气过滤器，确 保空气洁净度符合要求，防止尘
埃颗粒进入无尘室。
无尘室的定期检查与保养
设备检查
对无尘室内的设备进行定期检查，确保其正常运 行，如有故障及时维修或更换。
管道维护
定期对无尘室的管道进行检查和维护，防止管道 泄漏对无尘环境造成影响。
照明系统
检查和维护无尘室的照明系统，确保照明亮度符 合要求，防止光源污染。
无尘室知识 PPT课件
无尘室知识
Prepared by: Training Center Date: November-12-2002
目录
尘粒的知识 无尘室知识
隨著硬碟机技術不斷發展，對磁 頭行業的要求也越來越高，生產 區域的高洁淨度就是其中之一。
污染基础知识
•污染定义 •污染危害 •污染來源 •污染的去除 •污染的逐級清洁控制
預過濾器 新鮮空气
无尘室工作原理示意图
五、無塵室的基本組成
更衣室、風浴室、無塵室(工作區 域)
更衣室： 衣，新 效果， 的嚴格 一個
相對普通工場及辦公室而言，是一個更 洁淨的區域，主要用來穿脫無塵 厂(DGN2)更衣室也有貯存工衣之
其目的是配合MR Project 對濕度
要求，同時也能保証無塵衣貯存在
即從外圍環境到工作區域進行台階式漸進 控制，直至達到工作環境要求。如下圖1：
无尘室 Clean Room Class100/1K/10K/100K
办公室 + 普通工场
Class300K
SAE Class 500-800K
无尘室知识
•无尘室定义 •无尘室分类的定义 •SAE无尘室级别 •无尘室工作原理 •无尘室组成 •无尘室的控制 •无尘室控制思想 •无尘衣使用与存放 •附录
一、無塵室(Clean Room,C/R)定義
使室內(厂房)空气的塵粒、溫度、濕度 壓力
等技術指標成為一穩定受控的區域，用 來保
証某一生產或試驗過程所必需的環境要 求，
該區域即被稱為無塵室。
二 、無塵室分類定義
1. 無塵室分類定義：公制和英制
公制定義方式： 每立方米空间中含有大于或等于直徑 為0.5 m的塵粒总數，用10m表示。 如果无尘室每立方米空间含有大于或 等于直徑為0.5 m的塵粒1000粒， 10m=1000=10荒,那么该无尘室就被称为 M3级。
Prepared by: Training Center Date: November-12-2002
目录
尘粒的知识 无尘室知识
隨著硬碟机技術不斷發展，對磁 頭行業的要求也越來越高，生產 區域的高洁淨度就是其中之一。
污染基础知识
•污染定义 •污染危害 •污染來源 •污染的去除 •污染的逐級清洁控制
預過濾器 新鮮空气
无尘室工作原理示意图
五、無塵室的基本組成
更衣室、風浴室、無塵室(工作區 域)
更衣室： 衣，新 效果， 的嚴格 一個
相對普通工場及辦公室而言，是一個更 洁淨的區域，主要用來穿脫無塵 厂(DGN2)更衣室也有貯存工衣之
其目的是配合MR Project 對濕度
要求，同時也能保証無塵衣貯存在
即從外圍環境到工作區域進行台階式漸進 控制，直至達到工作環境要求。如下圖1：
无尘室 Clean Room Class100/1K/10K/100K
办公室 + 普通工场
Class300K
SAE Class 500-800K
无尘室知识
•无尘室定义 •无尘室分类的定义 •SAE无尘室级别 •无尘室工作原理 •无尘室组成 •无尘室的控制 •无尘室控制思想 •无尘衣使用与存放 •附录
一、無塵室(Clean Room,C/R)定義
使室內(厂房)空气的塵粒、溫度、濕度 壓力
等技術指標成為一穩定受控的區域，用 來保
証某一生產或試驗過程所必需的環境要 求，
該區域即被稱為無塵室。
二 、無塵室分類定義
1. 無塵室分類定義：公制和英制
公制定義方式： 每立方米空间中含有大于或等于直徑 為0.5 m的塵粒总數，用10m表示。 如果无尘室每立方米空间含有大于或 等于直徑為0.5 m的塵粒1000粒， 10m=1000=10荒,那么该无尘室就被称为 M3级。
洁净车间控制与管理_PPT幻灯片
墙体材料以彩钢板为主。铝合金地槽固 定；彩钢板之间相互插接；玻璃胶密封接缝。
防止灰尘颗粒通过夹缝污染净化车间。
地面材料以自流平水泥和石英砂混合找 平，防止重物碾压变形；优质PVC焊接为一 体，防止灰尘通过接缝污染净化车间。
送、回风管道为1.5-1.75mm厚镀锌铁 板，长方形管口，角钢法兰连接结构。黑色 橡塑海绵保温。
（a）上送下回
送风管道
净化区 回风道
（b）上送下侧回
送风管道 回风道
净化区
（c）上送上回
净化区
送风管道 回风管道
（d）侧送同侧下回
净化区
送风管道
回风管道
（e）侧送对侧下回
净化区
送风管道 回风管道
（f）侧送同侧上回
概述
• 层流
散流层 FFU
净化区
a.垂直单向流
散流层
FFU
散F
净
流F
化
层U
区
b.水平单向流
植入到人体组织、与血液、骨髓腔或非自然腔道直接或间接接入的无菌医疗 器械或单包装出厂的配件，其（不清洗）零部件的加工、末道清洗、组装、 初包装和封口等生产区域的洁净度级别应不低于10 0000级。（无菌要求）
与人体损伤表面和粘膜接触的无菌医疗器械或单包装出厂的配件，其（不清 洗）零部件的加工、末道清洗、组装、初包装和封口等生产区域的洁净度级 别应不低于30 0000级。（无菌要求）
洁净区控制与管理
内容索引
• 法规要求 • 概述 • 设计 • 建设 • 验收检测 • 使用与维护 • 相关规程
法规要求
• 《医疗器械生产质量管理规范
无菌医疗器械实施细则（试行）》
第九条 生产企业应当具备并维护产品生产所需场地、生产设备、监视和 测量装置、仓储场地等基础设施以及工作环境。生产环境应当符合相 关法规和技术标准的要求。
防止灰尘颗粒通过夹缝污染净化车间。
地面材料以自流平水泥和石英砂混合找 平，防止重物碾压变形；优质PVC焊接为一 体，防止灰尘通过接缝污染净化车间。
送、回风管道为1.5-1.75mm厚镀锌铁 板，长方形管口，角钢法兰连接结构。黑色 橡塑海绵保温。
（a）上送下回
送风管道
净化区 回风道
（b）上送下侧回
送风管道 回风道
净化区
（c）上送上回
净化区
送风管道 回风管道
（d）侧送同侧下回
净化区
送风管道
回风管道
（e）侧送对侧下回
净化区
送风管道 回风管道
（f）侧送同侧上回
概述
• 层流
散流层 FFU
净化区
a.垂直单向流
散流层
FFU
散F
净
流F
化
层U
区
b.水平单向流
植入到人体组织、与血液、骨髓腔或非自然腔道直接或间接接入的无菌医疗 器械或单包装出厂的配件，其（不清洗）零部件的加工、末道清洗、组装、 初包装和封口等生产区域的洁净度级别应不低于10 0000级。（无菌要求）
与人体损伤表面和粘膜接触的无菌医疗器械或单包装出厂的配件，其（不清 洗）零部件的加工、末道清洗、组装、初包装和封口等生产区域的洁净度级 别应不低于30 0000级。（无菌要求）
洁净区控制与管理
内容索引
• 法规要求 • 概述 • 设计 • 建设 • 验收检测 • 使用与维护 • 相关规程
法规要求
• 《医疗器械生产质量管理规范
无菌医疗器械实施细则（试行）》
第九条 生产企业应当具备并维护产品生产所需场地、生产设备、监视和 测量装置、仓储场地等基础设施以及工作环境。生产环境应当符合相 关法规和技术标准的要求。
GMP车间洁净级别ppt课件
所以GMP车间就是指符合GMP质量安全管理体系要求的车间。
GMP车间--结构材料
1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点 为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造 。
2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的 ，可选用防静电型。
GMP车间洁净级别及其适用范围
目录
洁净室简介 GMP车间 GMP车间洁净级别 GMP车间洁净级别的适用范围
洁净室
洁净室(Clean Room)，亦称无尘车间、无尘室或清净室。 洁净室的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏 感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定 义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间， 其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从 而达到适当的微粒洁净度级别。
GMP车间洁净级别及适用范围
GMP车间洁净级别
具体要求
GMP车间洁净级别
GMP车间--无菌药品生产所需洁净区
A级：高风险操作区,如灌装区、放置胶塞桶和与无菌制剂直接接触的 敞口包装容器的区域及无菌装配或连接操作的区域,应当用单向流操作 台〔罩〕维持该区的环境状态。单向流系统在其工作区域必须均匀送 风,风速为0.36-0.54m/s〔指导值）。应当有数据证明单向流的状态并 经过验证。
GMP车间的清扫必须在上下班前、生产工艺操作结束后进行； 清扫要在净化车间空调系统运行中进行；清扫工作结束后， 净化空调系统要继续运行，直到恢复规定的洁净级别为止， 开机运行时间一般不短于该GMP车间的自净时间。
使用的消毒剂要定期更换，以防止微生物产生耐药性。大 的物件搬进车间时，先要在一般环境中用真空吸尘器进行初 步的吸尘净化，然后再准进入净化车间内，用洁净室真空吸 尘器或擦拭方法进一步处理；在GMP车间净化系统停止运行期 间，不允许把大的物件搬进净化车间。
GMP车间--结构材料
1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点 为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造 。
2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的 ，可选用防静电型。
GMP车间洁净级别及其适用范围
目录
洁净室简介 GMP车间 GMP车间洁净级别 GMP车间洁净级别的适用范围
洁净室
洁净室(Clean Room)，亦称无尘车间、无尘室或清净室。 洁净室的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏 感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定 义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间， 其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从 而达到适当的微粒洁净度级别。
GMP车间洁净级别及适用范围
GMP车间洁净级别
具体要求
GMP车间洁净级别
GMP车间--无菌药品生产所需洁净区
A级：高风险操作区,如灌装区、放置胶塞桶和与无菌制剂直接接触的 敞口包装容器的区域及无菌装配或连接操作的区域,应当用单向流操作 台〔罩〕维持该区的环境状态。单向流系统在其工作区域必须均匀送 风,风速为0.36-0.54m/s〔指导值）。应当有数据证明单向流的状态并 经过验证。
GMP车间的清扫必须在上下班前、生产工艺操作结束后进行； 清扫要在净化车间空调系统运行中进行；清扫工作结束后， 净化空调系统要继续运行，直到恢复规定的洁净级别为止， 开机运行时间一般不短于该GMP车间的自净时间。
使用的消毒剂要定期更换，以防止微生物产生耐药性。大 的物件搬进车间时，先要在一般环境中用真空吸尘器进行初 步的吸尘净化，然后再准进入净化车间内，用洁净室真空吸 尘器或擦拭方法进一步处理；在GMP车间净化系统停止运行期 间，不允许把大的物件搬进净化车间。
无尘室知识 PPT课件
三.污染來源
人是無塵室中污染的最大來源。無塵
室 空气中檢測到的污物中，80%來源于人，15%
來源于工具和設備，5%來源于環境。
四.污染的去除
a).清洗 清洗拉：通過在水中加入洗滌劑，用超
聲波進行清洗。
b).無塵室
污染控制的一個最大突破是無塵 室
的使用。
擦洗：用棉簽蘸溶劑水擦除灰塵、污漬。
五.污染的逐級清洁控制
5)不得在无尘服上乱写乱画，不得人为割破无尘服， 不得使无尘服造成严重污脏，否则有人事行政部进行 相应处罚。若因尺寸大小的可联系P&A进行更换，或某 些工序确实容易造成工衣污脏，该无尘服将专人专用， 不得与其它工衣混淆。
3.无尘衣的存放
1)Class 100/1K 无尘衣存放 a)无尘衣脱下后挂在更衣室专用台下，并拉 紧拉链，不得拿出更衣室外。 B)帽子扣在工衣领扣上。 C)鞋套扣在工衣裤脚扣上。 D)注意保持无尘台风机处于常开状态。 2)Class100K无尘衣存放 无尘衣脱下后将鞋套和衣帽分用指定胶袋装 好，并封好口，存放在主更衣室工衣柜内。
料 ： 清洁并低发尘性
法 ：少排工序”尽量将不需要在无尘室内 完成的工序搬出无尘室。
“工序排列合理”考虑到无尘室自身结
不
构特性，在工序或排拉中充分考虑：
回
挡回风口，较易产生尘粒的工序靠近
等。
风口，生产中人及货的运动尽可能少
环 ：1)定期清洁：包括墙壁、天花、回风口 等，使之保持清洁状态。
2)期测试：随时了解无尘室的控制状 况，发生问题及时纠正。
刻畫及張貼而損坏牆壁表面。
人
机
六、無塵室
的控制
料
法
环
人： 在所有影響到無塵室清洁度的因素中，
人是無塵室中污染的最大來源。無塵
室 空气中檢測到的污物中，80%來源于人，15%
來源于工具和設備，5%來源于環境。
四.污染的去除
a).清洗 清洗拉：通過在水中加入洗滌劑，用超
聲波進行清洗。
b).無塵室
污染控制的一個最大突破是無塵 室
的使用。
擦洗：用棉簽蘸溶劑水擦除灰塵、污漬。
五.污染的逐級清洁控制
5)不得在无尘服上乱写乱画，不得人为割破无尘服， 不得使无尘服造成严重污脏，否则有人事行政部进行 相应处罚。若因尺寸大小的可联系P&A进行更换，或某 些工序确实容易造成工衣污脏，该无尘服将专人专用， 不得与其它工衣混淆。
3.无尘衣的存放
1)Class 100/1K 无尘衣存放 a)无尘衣脱下后挂在更衣室专用台下，并拉 紧拉链，不得拿出更衣室外。 B)帽子扣在工衣领扣上。 C)鞋套扣在工衣裤脚扣上。 D)注意保持无尘台风机处于常开状态。 2)Class100K无尘衣存放 无尘衣脱下后将鞋套和衣帽分用指定胶袋装 好，并封好口，存放在主更衣室工衣柜内。
料 ： 清洁并低发尘性
法 ：少排工序”尽量将不需要在无尘室内 完成的工序搬出无尘室。
“工序排列合理”考虑到无尘室自身结
不
构特性，在工序或排拉中充分考虑：
回
挡回风口，较易产生尘粒的工序靠近
等。
风口，生产中人及货的运动尽可能少
环 ：1)定期清洁：包括墙壁、天花、回风口 等，使之保持清洁状态。
2)期测试：随时了解无尘室的控制状 况，发生问题及时纠正。
刻畫及張貼而損坏牆壁表面。
人
机
六、無塵室
的控制
料
法
环
人： 在所有影響到無塵室清洁度的因素中，
无尘室管理规定精品PPT课件
❖ 3、无尘服和无尘鞋要分开放置；
26
无尘室管理四原则
27
写在最后
成功的基础在于好的学习习惯
The foundation of success lies in good habits
28
谢谢大家
荣幸这一路，与你同行
It'S An Honor To Walk With You All The Way
无尘室管理规定
LED晶片厂
品管部 2008年12月
1
目录
❖ 无尘室基础知识； ❖ 无尘室进出流程； ❖ 无尘室相关规定； ❖ 无尘室管理四原则；
2
无尘室相关知识
❖ 无尘室定义
❖ 无尘室(Clean room),亦称洁净室或清净 室,是指将一定的空间范围内之空气中的 微粒子、有害空气、细菌等之污染物排 除，并将室内之温度、洁净度、室内压 力、气流速度与气流分布、噪音振动及 照明、静电控制在某一需求范围内，而 所设计之房间。
❖ 其他注意事项 3、其他物品如需带入无尘室前需进行洁净处 理。清洁步骤如下： 1）先去除物品之外包装部分 2）取无尘布沾酒精等溶剂将物品表面擦拭 干净
21
无尘室准入制度
❖ 1、与无尘室无关的人员，需要进入无尘室时， 必须由超净室管理人员核准后，方可进入。
❖ 2、外单位人员需要进入洁净室时，必须由超 净室管理人员核准后，在1名或1名以上的准 入人员带领下方可进入。
NG
风淋
不能
时站
用手
在风
去乱
淋不
转动
到的
风淋
位置
口
NG
NG
16
无尘室作业人员注意事项
❖ 无尘车间注意事项
1、无尘室内的人员应维持正常行走，动 作要轻，严禁在无尘室内饮食、抽烟、大 声喧哗、嬉闹、跑、跳、碰撞等。且尽量 减少不必要的进出，以减少污染源的携入。
26
无尘室管理四原则
27
写在最后
成功的基础在于好的学习习惯
The foundation of success lies in good habits
28
谢谢大家
荣幸这一路，与你同行
It'S An Honor To Walk With You All The Way
无尘室管理规定
LED晶片厂
品管部 2008年12月
1
目录
❖ 无尘室基础知识； ❖ 无尘室进出流程； ❖ 无尘室相关规定； ❖ 无尘室管理四原则；
2
无尘室相关知识
❖ 无尘室定义
❖ 无尘室(Clean room),亦称洁净室或清净 室,是指将一定的空间范围内之空气中的 微粒子、有害空气、细菌等之污染物排 除，并将室内之温度、洁净度、室内压 力、气流速度与气流分布、噪音振动及 照明、静电控制在某一需求范围内，而 所设计之房间。
❖ 其他注意事项 3、其他物品如需带入无尘室前需进行洁净处 理。清洁步骤如下： 1）先去除物品之外包装部分 2）取无尘布沾酒精等溶剂将物品表面擦拭 干净
21
无尘室准入制度
❖ 1、与无尘室无关的人员，需要进入无尘室时， 必须由超净室管理人员核准后，方可进入。
❖ 2、外单位人员需要进入洁净室时，必须由超 净室管理人员核准后，在1名或1名以上的准 入人员带领下方可进入。
NG
风淋
不能
时站
用手
在风
去乱
淋不
转动
到的
风淋
位置
口
NG
NG
16
无尘室作业人员注意事项
❖ 无尘车间注意事项
1、无尘室内的人员应维持正常行走，动 作要轻，严禁在无尘室内饮食、抽烟、大 声喧哗、嬉闹、跑、跳、碰撞等。且尽量 减少不必要的进出，以减少污染源的携入。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天 花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻 烦。
11
适用洁净等级 1-100级
层流式典型结构形式
12
3.复合式
混流方式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可 提供局部超洁净之空气。 (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过 滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度 等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此 型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予 以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B. 维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自 动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至 100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔 离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省 能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。 药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级 10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的 洁净度等级提高为10~1000级以上。
因此，洁净室是保证诸如医药、半导体、太阳能电池 板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要
求。
3
相关术语
❖ 悬浮微粒 ：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在 0.1～5μm 之间。
❖ 洁净度 ：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区 分空间洁净程度的标准。
❖ 气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置 的缓冲间。
❖ 风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进 行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。
❖ 洁净工作服 ：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的 洁净服装。
❖ 高效空气过滤器 HEPA ：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm 粒子的捕集 效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa 以下的空气过滤器。
准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程 中，洁净室等级要求也越来越高。
但目前半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级）， 只有局部区域的高自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
6
感性认知
一般微粒粒径对比
0.3μm 微尘粒径
肉眼可视 (5μm)
人类头发 (15μm)
感性认知
一般自然界气体等级 外大气层
1,000
大气层
10,000
田园地带 街市区
100,000
工业地带
1,000,000
10,000,000
8
洁净室之分类(按形式）
1.乱流式
非单方向流方式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气 过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室 两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非 直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状 态。此型式适用于洁净室等级1,000100,000级。 优点：构造简单、系统建造成本低，洁 净室扩充比较容易 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间 飘浮不易排出，易污染制程产品。另外 若系统停止运转再激活，欲需达到设定 要求之洁净度，往往须耗时相当长一段 时间。
优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要 求，稳定运转。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩 充。 (2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之 洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可 快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳 定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
9
适用洁净等级 1,000-100,000级
乱流式典型结构形式
10
2.层流式
FFU
垂直单方向流方式
层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过 滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回 风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境 使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其 型式可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹 出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向 排出室外，一般在下流侧污染较严重。
N—洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中间
数可以按0.1 为最小允许递增量。
D—要求的粒径(μm)。 0.1—常数，其量纲为μm。
5
美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
1m3=35.3ft3。 对照我国标准及美国标准可以看出，我国的3级标准与美国的1级标
❖ 超高效空气过滤器 ：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm 粒子的捕集效率在 99.999%以上及气流阻力在280Pa 以下的空气过滤器。
4
洁净度等级标准
国家标准GB50073-2001
式中 ：Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。
Cn 是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数。
13
适用洁净等级 10-100000级并装
复合式典型结构形式
14
洁净室设计基础
气流组织型式及换气次数
空气洁净度
100级
10000级
100000级 大于100000级
气流流型
气 主要
流 送风
组 织
方式
型
式 主要
回风
方式
垂直单向流
1.顶送(高效过滤 器占顶棚面积 ≥60%) 2.侧布高效过滤 器顶棚设阻尼层 送风
四、洁净室人员管理
1、洁净室最主要的污染源 ➢发尘源及量
➢人的污染--发菌量
2、洁净室人员管理规定
洁净室之定义
洁净室(Clean Room),也称为无尘室。 洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、
细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、 气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需 求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条 件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿 度及压力等生产所需环境因素性能的特性。
无尘车间培训教材
一、洁净室基础知识
1.洁净室定义 2.相关术语 3.洁净等级标准 4.感性认知
二、洁净室设计简介
1、洁净室分类（形式） 2、洁净室设计基础
➢气流组织型式及换气次数 ➢滤网过滤流程 ➢送风量及FFU数量计算 ➢滤网寿命 ➢温湿度控制
➢正压
摘要
三、洁净室管控手段
1.监测采样 2.制定监测表
11
适用洁净等级 1-100级
层流式典型结构形式
12
3.复合式
混流方式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可 提供局部超洁净之空气。 (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过 滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度 等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此 型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予 以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B. 维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自 动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至 100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔 离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省 能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。 药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级 10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的 洁净度等级提高为10~1000级以上。
因此，洁净室是保证诸如医药、半导体、太阳能电池 板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要
求。
3
相关术语
❖ 悬浮微粒 ：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在 0.1～5μm 之间。
❖ 洁净度 ：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区 分空间洁净程度的标准。
❖ 气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置 的缓冲间。
❖ 风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进 行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。
❖ 洁净工作服 ：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的 洁净服装。
❖ 高效空气过滤器 HEPA ：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm 粒子的捕集 效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa 以下的空气过滤器。
准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程 中，洁净室等级要求也越来越高。
但目前半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级）， 只有局部区域的高自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
6
感性认知
一般微粒粒径对比
0.3μm 微尘粒径
肉眼可视 (5μm)
人类头发 (15μm)
感性认知
一般自然界气体等级 外大气层
1,000
大气层
10,000
田园地带 街市区
100,000
工业地带
1,000,000
10,000,000
8
洁净室之分类(按形式）
1.乱流式
非单方向流方式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气 过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室 两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非 直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状 态。此型式适用于洁净室等级1,000100,000级。 优点：构造简单、系统建造成本低，洁 净室扩充比较容易 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间 飘浮不易排出，易污染制程产品。另外 若系统停止运转再激活，欲需达到设定 要求之洁净度，往往须耗时相当长一段 时间。
优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要 求，稳定运转。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩 充。 (2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之 洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可 快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳 定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
9
适用洁净等级 1,000-100,000级
乱流式典型结构形式
10
2.层流式
FFU
垂直单方向流方式
层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过 滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回 风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境 使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其 型式可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹 出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向 排出室外，一般在下流侧污染较严重。
N—洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中间
数可以按0.1 为最小允许递增量。
D—要求的粒径(μm)。 0.1—常数，其量纲为μm。
5
美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
1m3=35.3ft3。 对照我国标准及美国标准可以看出，我国的3级标准与美国的1级标
❖ 超高效空气过滤器 ：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm 粒子的捕集效率在 99.999%以上及气流阻力在280Pa 以下的空气过滤器。
4
洁净度等级标准
国家标准GB50073-2001
式中 ：Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。
Cn 是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数。
13
适用洁净等级 10-100000级并装
复合式典型结构形式
14
洁净室设计基础
气流组织型式及换气次数
空气洁净度
100级
10000级
100000级 大于100000级
气流流型
气 主要
流 送风
组 织
方式
型
式 主要
回风
方式
垂直单向流
1.顶送(高效过滤 器占顶棚面积 ≥60%) 2.侧布高效过滤 器顶棚设阻尼层 送风
四、洁净室人员管理
1、洁净室最主要的污染源 ➢发尘源及量
➢人的污染--发菌量
2、洁净室人员管理规定
洁净室之定义
洁净室(Clean Room),也称为无尘室。 洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、
细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、 气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需 求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条 件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿 度及压力等生产所需环境因素性能的特性。
无尘车间培训教材
一、洁净室基础知识
1.洁净室定义 2.相关术语 3.洁净等级标准 4.感性认知
二、洁净室设计简介
1、洁净室分类（形式） 2、洁净室设计基础
➢气流组织型式及换气次数 ➢滤网过滤流程 ➢送风量及FFU数量计算 ➢滤网寿命 ➢温湿度控制
➢正压
摘要
三、洁净室管控手段
1.监测采样 2.制定监测表