气体质量流量计

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质量流量计(MFC)原理

质量流量计(MFC)原理

质量流量计(MFC)原理质量流量计(MFC)原理及如何来选择使⽤⾸先什么是质量流量计(MFC)?质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM),是⼀种精确测量⽓体流量的仪表,其测量值不因温度或压⼒的波动⽽失准,不需要温度压⼒补偿。

质量流量控制器,即Mass Flow Controller(缩写为MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能⾃动控制⽓体流量,即⽤户可根据需要进⾏流量设定,MFC⾃动地将流量恒定在设定值上,即使系统压⼒有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。

简单地说,质量流量控制器就是⼀个稳流装置,是⼀个可以⼿动设定或与计算机联接⾃动控制的⽓体稳流装置。

质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么?(1)流量的测量和控制不因温度或压⼒的波动⽽失准。

对于多数流量测控系统⽽⾔,很难避免系统的压⼒波动及环境和介质的温度变化。

对于普通的流量计,压⼒及温度的波动将导致较⼤的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则⼀般可以忽略不计。

(2)测量控制的⾃动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。

这样很容易实现对流量的数字显⽰﹑累积流量⾃动计量﹑数据⾃动记录﹑计算机管理等。

对质量流量控制器⽽⾔,还可以实现流量的⾃动控制。

通常,模拟的MFC/MFM输⼊输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串⾏通讯⼝,能⾮常⽅便地与计算机连接,进⾏⾃动控制。

(3)精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制⽓体的给定量,这对很多⼯艺过程的流量控制﹑对于不同⽓体的⽐例控制等特别有⽤。

(4)适⽤范围宽,有很宽的⼯作压⼒范围,我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适⽤于多种⽓体介质(包括⼀些腐蚀性⽓体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品最⼩流量范围可达0~5 sccm,最⼤流量范围可达0~200 slm。

流量显⽰的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~100% (量程⽐为-- 50:1),因此在很多领域得到⼴泛应⽤。

气体流量计工作原理

气体流量计工作原理

气体流量计工作原理
气体流量计是一种用于测量气体流动速度和质量流量的仪器。

它基于流体动力学定律和物理性质的变化来实现流量的测量。

气体流量计的工作原理通常包括以下几个方面:
1. 等密度原理:根据气体流过的截面积和速度可以计算出气体的流量。

一种常见的实现方式是通过流体动力学原理,将气体流过的截面积和流速转换为压力差。

2. 热速度原理:根据热速度定律,通过测量热电偶的温度差来计算气体的流量。

当气体通过测量管道时,流体的速度会影响热交换的速度,从而使热电偶测量到的温度差发生变化,通过测量温度差的变化可以计算出气体的流量。

3. 导管压差原理:根据气体在导管中流动时产生的压力差来计算气体的流量。

通过在导管中设置压力传感器,测量气体流过导管时的压力差,通过一定的计算方式可以得到气体的流量。

4. 质谱法:通过质谱仪来分析气体中的组分,并根据组分的质量来计算气体的流量。

质谱仪可以将气体中各组分的质量分析出来,通过测量时间、速度和流量等参数来确定气体的流量。

以上是常见的几种气体流量计的工作原理,通过选择适合的工作原理和仪器可以实现对不同气体的准确流量测量。

MF5000 系列气体质量流量计 说明书

MF5000 系列气体质量流量计 说明书

© 2011 Siargo Ltd.使用说明书(VA.3)SIARGO MEMS FLOW SENSOR PRODUCTS气体质量流量计MF5000系列1注意事项MF 5000系列气体质量流量计目录使用需知注意事项目录一、概述二、产品分类形式及选型说明三、产品结构与工作原理四、技术指标五、安装说明六、功能说明七、检定八、安全、维护及故障排除九、运输及储存十、开箱及检查十一、客户服务及技术支持附录:应用说明112334556778888 2选型方式按照如下规则确定:MF5000系列气体质量流量计是矽翔微机电系统有限公司结合微机电系统(MEMS )流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年,开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表。

主要技术性能处于国际领先水平,具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点;针对工业环境,融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计;且具有多种信号输出,能通过通讯接口实现网络管理功能;本产品在性能、安装、维护方面也具有其独特的优越性,可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。

执行标准为:Q/77453766-11-2009。

参照执行标准: ISO14511;GB/T 20727-2006。

00000360号。

采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术,传感器的尺寸缩小到了微米量级,使该流量计的灵敏度大大提高。

在单个芯片上实现了多传感器集成,使该流量计的量程比(范围度)大大提高。

传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。

结合二次仪表的微电脑智能技术,使流量计重复性好,实现了计量准确可靠。

技术进步带来的结构简化,使流量计较之传统的机械式仪表,压力损失大幅度减小,极大地降低了能源消耗。

采用LCD 显示瞬时流量和累积流量,清晰直观,读数方便。

产品融合了电磁兼容设计技术,具有更高抗干扰能力。

流量计带有RS485通讯模块,配合上位计算机网络可实现集中管理。

科里奥利质量流量计工作原理

科里奥利质量流量计工作原理

科里奥利质量流量计工作原理
科里奥利质量流量计是一种常用的流量测量仪器,它利用科里奥利效应来测量气体的质量流量。

其工作原理如下:
1. 气体进入流量计后,流经一个热电偶和一个辅助热电偶。

热电偶的位置要求在气体的流动方向上。

2. 两个热电偶都受到一个恒定的加热电流作用,使其保持在一定的温度差(通常为10℃)。

3. 气体流过热电偶时,根据科里奥利效应,热电势的大小与流过热电偶的气体的质量成正比。

4. 由于气体的质量流量与流过热电偶的气体的质量有关,所以可以通过测量热电势的大小来得到气体的质量流量。

5. 测量到的电位信号经过放大和处理后,可以将其转换为标准的电流信号或数字信号,以便进行进一步的分析和记录。

总结起来,科里奥利质量流量计通过测量气体流过热电偶时引起的热电势变化来间接地得到气体的质量流量。

这种测量原理简单可靠,并且对气体的压力和温度变化不敏感,因此在工业自动化控制和科学研究领域得到广泛应用。

热式气体质量流量计检定规程

热式气体质量流量计检定规程

热式气体质量流量计检定规程本规程旨在规范热式气体质量流量计的检定方法和程序,确保检定结果准确可靠,满足相关国家标准和行业要求。

2、检定范围本规程适用于热式气体质量流量计的检定,包括但不限于测量氮气、氧气、氢气、二氧化碳等气体的质量流量。

3、检定依据本规程依据国家标准《热式气体质量流量计》(GB/T 19624-2018)以及相关行业标准制定。

4、检定设备和仪器检定设备和仪器应符合国家标准和行业要求,包括但不限于: 4.1 气源:气源应稳定可靠,流量范围应覆盖被检流量计的测量范围。

4.2 温度计:应具有高精度和高稳定性。

4.3 电源:应稳定可靠,电压范围应与被检流量计要求匹配。

4.4 计算机:应配备相应的软件,能够进行数据存储、分析和处理。

5、检定程序5.1 准备工作5.1.1 根据被检流量计的要求,准备好气源和校准气体。

5.1.2 将被检流量计和检定仪器连接好,保证气体流向正确。

5.1.3 对检定仪器进行检查和校准,确保其工作状态良好。

5.1.4 将被检流量计加热到其工作温度范围内。

5.2 检定流程5.2.1 根据被检流量计的要求,设置检定参数,包括气体种类、压力、温度、流量范围等。

5.2.2 开始检定,记录被检流量计的输出数据、检定仪器的读数及气体流量等数据。

5.2.3 在不同的流量点上进行检定,记录数据并计算误差。

5.2.4 检定结束后,对数据进行分析和处理,得出检定结果并进行记录。

5.2.5 对于不合格的被检流量计,应进行维修或更换,重新进行检定。

6、检定结果的表述和评定6.1 检定结果应包括被检流量计的实际输出值和检定误差。

6.2 检定误差应按照国家标准或行业要求进行评定,达到要求即为合格,否则为不合格。

6.3 检定结果应进行记录,并附上检定报告,报告应包括被检流量计的型号、编号、制造商、检定结果等信息。

7、检定周期7.1 热式气体质量流量计应按照国家标准或行业要求进行定期检定。

7.2 检定周期应根据被检流量计的使用情况、精度要求等进行制定。

气体质量流量计算 -回复

气体质量流量计算 -回复

气体质量流量计算的原理与方法气体质量流量是指单位时间内流动的气体分子的质量,它是气体流动特性的重要参数之一。

气体质量流量与气体的压力、温度、密度、粘度、流速等因素有关,因此,测量和计算气体质量流量是一项复杂而有意义的工作。

本文将介绍气体质量流量计算的原理与方法,以及常用的气体质量流量计的类型和特点。

气体质量流量计算的原理气体质量流量计算的基本原理是根据理想气体定律,利用气体的压力、温度、密度和体积之间的关系,求出单位时间内通过某一截面的气体质量。

理想气体定律可以表示为:PV=nRT其中,P是气体的压力,V是气体的体积,n是气体的摩尔数,R是通用气体常数,T是气体的绝对温度。

由此可得:n=PV RT又由于气体的摩尔质量m=nM,其中M是气体的摩尔质量,则:m=PV M RT如果将上式两边同时除以时间t,则得到气体质量流量q m的表达式:q m=PV M RTt如果假设气体在管道中沿轴向均匀流动,则可以认为通过任意截面的气体具有相同的压力、温度和密度,则上式可以简化为:q m=PVt=ρQ v其中,ρ是气体的密度,Q v是气体的体积流量。

由此可见,如果已知或可以测得气体的压力、温度和密度,就可以根据理想气体定律计算出气体的质量流量。

气体质量流量计算的方法根据不同的测量手段和条件,可以采用不同的方法来计算气体质量流量。

常见的方法有以下几种:直接法:直接法是指利用专门设计的仪器或装置,直接测得通过某一截面的气体质量或者单位时间内通过该截面的气体质量。

这种方法不需要知道或测得其他参数,因此比较简单和准确。

直接法常用于实验室或标准化条件下测定标准状态下(STP)或标准大气压下(NTP)的气体质量流量。

直接法常用的仪器有重力式、容积式和电磁式等。

间接法:间接法是指利用其他可测参数(如压力、温度、密度、流速等)来推算出通过某一截面的气体质量或者单位时间内通过该截面的气体质量。

这种方法需要知道或测得多个参数,并且要考虑到各种误差和修正因子,因此比较复杂和不准确。

实验室气体质量流量计的类型有哪些?

实验室气体质量流量计的类型有哪些?

实验室气体质量流量计的类型有哪些?
实验室气体质量流量计是一种测量气体质量流量的仪器,广泛应用于化学、环保、制药、食品等行业中。

它具有测量准确、反应灵敏、操作便捷等优点。

本文将对实验室气体质量流量计的类型进行介绍。

1. 热式气体质量流量计
热式气体质量流量计也称为热敏质量流量计,它通过测量流体通过热敏器件前
后温度差来计算气体质量流量。

热式气体质量流量计测量精度高,响应速度快,适用于气体流量较小的场合,但价格相对较高。

2. 质量差压式气体质量流量计
质量差压式气体质量流量计也称为微分式气体质量流量计,它通过测量气体在
管道内形成的差压和流体密度来计算气体质量流量。

质量差压式气体质量流量计测量精度高,适用于气体流量较大的场合,但在高压下使用时需要特殊设计。

3. 节流孔式气体质量流量计
节流孔式气体质量流量计利用节流孔在管道内形成的压差和流体密度来计算气
体质量流量。

这种类型的气体质量流量计结构简单,测量范围广,但测量精度相对较低。

4. 体积式气体质量流量计
体积式气体质量流量计是利用测量气体通过流量计两端一定时间内流经的体积
来计算气体质量流量。

这种类型的气体质量流量计价格相对较低,但测量精度和响应速度相对较低。

5. 超声波式气体质量流量计
超声波式气体质量流量计利用超声波在气体中传播的速度来计算气体质量流量。

这种类型的气体质量流量计测量精度高,响应速度快,可测量多个气体,但价格比较昂贵。

以上是实验室气体质量流量计常见的类型,各种类型的气体质量流量计各有优
缺点,根据具体使用场合选择合适的类型气体质量流量计才能更好地满足实验的需求。

安松(Aosong)AMS2106 数显气体质量流量计说明书

安松(Aosong)AMS2106 数显气体质量流量计说明书

AMS2106说明书数显气体质量流量计•质量流量与温度集成测量•量程200L/min •重复性好•支持多种气体测量•可配置参数•标准Modbus-RTU 通信•段码屏显示•可用电池或9~24V DC电源供电•默认NPT 1/2连接,可根据客户需求定制接口应用范围AMS2106应用于监测空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳等干燥洁净无腐蚀性气体(易燃易爆炸气体除外)的质量流量。

可广泛应用于高校科研、消防、环境监测、烟草、智慧农业、食品、医药等行业。

图1.AMS2106产品简述AMS2106是一款热式质量流量传感器,通过测量电阻变化计算测量气体的质量流量。

传感器采用自主研发的MEMS 质量流量芯片,具有直观、精准、稳定,同时具有耐高低温、线性好、响应时间快等特点。

出厂前对AMS2106相关性能、参数进行了严格的测试和校准。

1.外观结构和引出线1.1外观结构及工作界面图2展示的是AMS2106的外观结构及工作界面,包含了传感器风道和工作界面等。

工作界面包括段码屏和操作按键,段码屏显示的内容有流量计Modbus通信地址、气体温度、电池、累积流量及瞬时流量。

按键包括向上、菜单和向下三个按键。

传感器风道在工作界面下方,包括进气和出气接口。

风道上的箭头指示了传感器要求的气体流向。

图2.AMS2106示意图1.2引出线定义图3.引出线示意图表1.引出线定义颜色引线接口名称及定义黑色(粗)屏蔽线白色RS485B-红色VCC(9~24V DC)绿色RS485A+黑色(细)GND2.AMS2106技术指标及基本信息表2.AMS2106技术指标及基本信息参数描述量程0~200L/min(标准)精度±3%F.S.重复性0.5%F.S.响应时间≤2s供电方式3节AA电池或外部电源9~24V DC输出方式RS485显示方式段码屏显示单位累计流量:SL(L,标况)瞬时流量:SLPM(L/min,标况)最大工作压力0.8MPa压力损耗≤2000Pa标准校准气体空气(标况)引出线专用Type-C定制数据线功耗≤50mW机械接口NPT1/2净机重量303g注:标况指25℃,1个标准大气压。

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( 图6 - 1) 用 户 输 入/输 出 接 口 线 缆 (型 号 :I C7 - 1 5 0, 长 度 :1 . 5 m )
6.2 LCD显示
( 图6-2)LCD连 接 线 缆 (型 号 :IC7-30-IC7, 长 度 :30cm 型 号 :IC7-200-IC7, 长 度 :2m)
在 正 常 工 作 状 态 下 , 流 量 计 液 晶 屏 为 显 示 如 图6-3a所 示 。 显 示 内 容 有 : 总 量Total( 即 累 积 流 量 ) 、 瞬 量Flowrate( 即 瞬 时 流 量)等。
1标 准升 (SL) 等 于 在 温 度20℃,大气压力101. 325kPa下该气体1升 的 体
积。
M
故 障 报 警: 流 量 计 会 自 动 判 定 故 障,并 从 屏 幕 上 显 示 报 警(如 图6-3b所 示) ,代 码 显 示 为E1~E5,含义分别如下:
E1
E2
E3
E4
Hale Waihona Puke E5传 感 器 故障 ADC故障 时钟故障 EEPROM故障 晶振故障
5.3 流量计安装注意事项
(1)流 量计 安装 前必 须清 除 管 道 中 的 杂 质,避 免 异 物 进 入 而 损 坏 流量计,管道内壁应清洁无积垢; (2)不得 随意 松开 流量 计的 固 定 部 分 ; (3)流量 计的 输出 连线 中保 护 地 线 必 须 可 靠 连 接 ; (4)安 装后 不允 许对 流量 计 产 生 安 装 应 力 , 以 免 损 坏 流 量 计 ; (5)流 量 计应 避免 工作 在强 磁 场 干 扰 及 剧 烈 振 动 环 境 中 ; (6)介 质流 量应 稳定 ,操 作 有 关 阀 门 时 动 作 要 缓 慢 , 切 勿 急 开 急关。
1 为了保证流量计的计量准确性,安装时要先连接流量计的上游端,上游直管段应满足 10DN的最 低要 求,下游 直 管 段 应 满 足5DN的 最 低 要 求 ;
2 流量计安装时不能有任何密封物质渗入管道内; (4)连 接 电源 电缆 线, 需要 注 意 接 线 时 的 极 性 , 确 保 输 入 的 直 流电压在(12~24)VDC; (5)如 需要 连接 信号 线, 应 保 障 信 号 线 与 相 应 用 户 界 面 端 连 接 无误; (6)接 通电 源, 液晶 屏显 示 正 确 。
4
M F 5 6 0 0系 列 气 体 质 量 流 量 计
四、技术参数
型号
MF5612
MF5619
单位
显示方式 显示单位 显示分辨率 键盘
环境温度 介质温度
引出线
30:1 ±(1.5+0.5FS)
0.5 12~24VDC,50mA 4~20mA;RS485;3.3V脉冲 LCD (一 体 显 示 、 分 体 显示) 瞬时 流 量SLPM, 累 积 流 量SL 瞬 时 流 量0.0100SLPM, 累积 流 量0.0010SL
2. 产品在清洁气体的环境中使用最佳;不适用于有大量粉尘、油污及多相流的 环境中;对于有大量水汽的环境,请事先与厂商联系。
3. 在使用产品前请仔细阅读说明书。 4. 在使用或应用本产品时,应严格遵循相应有关的操作规范和操作人员安全注
意事项和规程。 5. 如对说明书有任何疑问,请及时与厂商联系。联系方式请参阅本说明书的客
在正常工作状态下,流量计液晶屏为双排数字显示。上排为当前累积流 量 , 单 位 为SL(标 准 升), 可 以 显 示0.0000~99999999.9990SL; 下 排 为 实 时 流 量 , 单 位 为SLPM(标 准升/分钟),可以显示0.0000~999999.9900SLPM。
实时质量流量与体积流量间的转换是基于下述条件:
1
MEMS流 量 产 品 系 列
目录
使用需知
1
注意事项
1
目录
2
一、概述
3
二、产品分类形式及选型说明
3
三、产品结构与工作原理
4
四、技术参数
5
五、安装说明
6
六、功能说明
7
七、检定
10
八、安全、维护及故障排除
10
九、运输及储存
11
十、开箱及检查
11
十一、客户服务及技术支持
11
附录:应用说明
12
2
M F 5 6 0 0系 列 气 体 质 量 流 量 计
用户设备 (计算机或仪表)
+5V +6.5V
电源 模块
+12~24VDC
4~20mA 信号
转换模块
脉冲 输出模块
RS485 通讯接口
微控制器
M E M S流 量 传感芯片
信号处理 模块
A/D 转换器
M
液晶显示 驱动模块
EEPROM 存储器
RTC 实时时钟
模块
( 图3 - 2) 流 量 计 原 理 框 图
一、概述
MF5600 系列气体质量流量计
原理是利用流动气体传热传质的依存关系,在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。
该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时,在传感器的周边形成稳定的
的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。 MF5600流量计芯片上的传感器将测量这一变化 并把这一变化转换为电信号,由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。 质量流量或总流量。下图为该系列流量计的原理框图。
户服务部分。 6. 为任何因不当使用本产品带来的损害负责。其它事宜以销售合同为准。
注意事项
1. 产品只有在本手册界定的使用环境中才能正常工作。 2. 安装时应注意气体流向标志,连接和检漏应按相应规程进行。 3. 在产品使用过程中,或在在线情形下,清洗管道或其他可能引入大量杂质的
操作将可能对产品带来损坏。
连接(N-NPT;Y-用户自定义)
通径(管道内径,单位为mm;5612-12mm,5619-19mm)
* 最大流量的单位为SLPM,比如200代表最大流量为200SLPM; 对二氧化碳,MF5612最大流量可选200,不可选300;MF5619最大流量可选600,不可选800。
型号 MF5612 MF5619
RL(max)=450Ω
6.5 脉冲输出
流 量 计 提 供 的 脉 冲 为3.3V方 波 , 每 个 方 波 代 表1SL,10SL, 100SL或 1000SL的 累 积 流 量 。 即 Total每 增 1SL, 10SL, 100SL或1000SL, 流 量 计 便 输 出1个 脉 冲 。 每 个 脉 冲 对 应 的 累 计 流 量 , 可 以 通 过RS485设 置 。 出 厂 默 认 为 每 个 脉 冲 对 应 1000SL, 用 户 可 以 在 订 货时选择其他数值。
二、产品分类形式及选型说明
选型方式按照如下规则确定:
MF - - - - -
气体介质(A-空气,C-二氧化碳,N-氮气,O-氧气,R-氩气; 其它气体请与厂商联系。)
显示(D-带LCD显示,N-不带LCD显示)
输出(A-4~20mA,B-RS485,D-脉冲;可选B,AB,BD,ABD) 最大流量*(MF5612可选200和300,MF5619可选600和800)
产品特点
采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术,传感器的尺寸 缩小到了微米量级,使该流量计的灵敏度大大提高。 在单个芯片上实现了多传感器集成,使该流量计的量程比(范围度)大大提高。 传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。 结合二次仪表的微电脑智能技术,使流量计重复性好,实现了计量准确可靠。 技术进步带来的结构简化,使流量计较之传统的机械式仪表,压力损失大幅度减小,极大地 降低了能源消耗。 采 用LCD显示瞬时流量和累积流量,清晰直观,读数方便。 流 量 计 标 配 有RS485通讯模块,配合上位计算机网络可实现 集 中 管 理 。 流 量 计 选 配 有4~20mA标准电流信号输出和脉冲输出。 光 洁 的 不 锈 钢 管 体,适用于氧气测量。 满 足EMC电磁兼容要求,具有较高的抗干扰能力。 可根据需求采用分体显示或一体显示。
( 图6-3a) 流 量 计 正 常 工 作 显 示
6.3 RS485通信
流 量 计 的 通 讯 方 式 为RS485, 有 两 种 协 议 :A.工 厂 校 准 通 讯 协 议 ,
为 单 机 通 讯 协 议 ;B. Modbus协议,为多机通讯协议。其设置为:
波特率
57600(单机)/ 9600(多机);
MF 5600系列
气体质量流量计
SIARGO MEMS FLOW SENSING PRODUCTS
使用说明书 (VA.5)
M F 5 6 0 0系 列 气 体 质 量 流 量 计
使用须知
1. 产品适用于各种工业环境范围内的气体测量、监测和控制,以及医院供氧系 统中的医用氧气计量。其他环境内的使用应严格禁止。
3.2 工作原理
微 机 电 系 统(MEMS)芯 片 传 感 技 术 , 是 在 硅 芯 片 上 集 成 了 具 有 机 械 和 电 子 特 征 的 微 米 级 传 感 器 。 它 并不是简单地将机械和电子功能微缩在芯片上,而是采用了现代材料制作技术与大规模集成电路技 术相结合获得新的机电特性。微机电系统芯片可获得某些宏观机电器件所不能达到的功效。 MF5600系 列 气 体 质 量 流 量 计 采 用 了 公 司 生 产 的 热 质 量 气 体 流 量 传 感 芯 片 , 属 于 质 量 流 量 传 感 方 式 的 流量计,它是通过气体流动产生的热场变化来测量气体流量的。由于不同质量的气体对热场的变化 具有不同的影响,因而,它所测量的流量为质量流量。 同时,由于采用了多传感器和微热源技术,使其具备了优良的零点稳定性、响应时间短和超大量程 等特点。 MF5600系 列 气 体 质 量 流 量 计 主 要 由 电 源 模 块 、MEMS流 量 传 感 芯 片 、 信 号 处 理 模 块 、A/D转 换 模 块 、 EEPROM存 储器 、RTC实时 时 钟 模 块 以 及 显 示 模 块 组 成 。 见 流 量 计原理框图图3-2。
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