光栅尺磁栅尺及感应同步位移测量
光栅尺位移传感器原理
光栅尺位移传感器原理
光栅尺位移传感器是一种常用的测量设备，其工作原理基于光的干涉原理。
该传感器由一对平行的光栅组成，一个光栅作为参考，另一个光栅与被测物体相连，用于测量物体的位移。
当光经过两个光栅之间的空隙时，光波会发生干涉。
依据干涉原理，当两束波长相同、频率相同的光线相遇时，它们会相互干涉产生干涉条纹。
根据干涉条纹的间距变化，可以推测出物体的位移。
当物体发生位移时，连接在物体上的光栅也会随之移动。
这会导致光栅间的间距发生变化，从而改变干涉条纹的间距。
传感器通过检测干涉条纹的间距变化，可以准确测量物体的位移。
为了检测干涉条纹的变化，传感器通常使用光电检测器来接收通过光栅传递的光信号，并将其转换为电信号。
经过放大和处理后，电信号可以被转化为数字信号，从而实现对位移的测量。
光栅尺位移传感器具有高精度、高分辨率和良好的稳定性等优点，因此在许多领域中得到广泛应用。
例如，它常用于机械加工、自动化控制、精密测量等领域，用于准确测量物体的位移和运动状态。
德国SIKO 量测模组,磁栅尺,磁性尺技术参数
● 磁性尺测量系统专为线性位移测量而设计.
● 经济，效率特别适用于长距离的测量.
● 特别适用于如油污，切削屑，震动等恶劣环境
* 依应用性质不同可定义出两个不同的系统
磁性尺测量系统：使用于线性位移测量并于显示器显示测量值
磁性编码器：使用于线性位移பைடு நூலகம்量并将位移量转换为对应的脉波数输出给PLC或控制器
测量范围50mm-3000mm
测量准确度±6um/m~±10/m
测量基准：光栅周期20um的光学玻璃尺
光学测量系统：透射式红外线光测量系统，红外线波长880nm
反应速度：60m/min(0.005mm),25m/min(0.001mm)
读数头滑动系统：垂直式五轴承
输出讯号：TTL/EIA-422-A,讯号传达周期：20um,供电电压：DC5±5%
尺带长度：Max 32M
磁 间 距：2+2mm、1+1mm
产品优点
●非接触式测量，无背隙问题
●高抗污染能力
●安装简易，安装允许误差大
●价格便宜
主要市场
金属加工设备 建材机械 木工机械 测量机 精密平台
【 磁性尺量测模组 】
——德国SIKO 量测模组，磁栅尺，磁性尺，磁尺，磁条，磁头，磁环，磁性显示器，电子显示器，位置指示器，计数器，手轮，重垂表，拉绳编码器，磁性编码器，电位编码器
电话0631-5997499 传真 0631-3631966 QQ815488790 邮箱whsfrf@
德国SIKO磁栅尺读头
分辨率：0.025、0.01、0.005、0.001、0.0005mm
输出 ：正交差动方波
线长 ：8米
光栅尺、球栅尺、磁栅尺、优缺点对比
光栅尺、球栅尺、磁栅尺优缺点比较机床直线编码器（机床数显）用做机床位移测量大意分为三种：光栅尺、球栅尺、磁栅尺、下面我们详细了解这三种数显*结构*精度对比*产品优点*缺点，方便大家了解三种数显。
一、从每种产品外观结构：1、光栅尺：基于光学玻璃刻线为测量基准，把光学玻璃安装到铝合金的尺身里面和读数头等配件组成光栅尺，铝合金半密封设计，如下图：2、球栅尺：基于球细分为测量基准，由合金的尺身和读数头等配件组成球栅尺，全密封设计，如下图：3、磁栅尺：基于磁带刻线（刻录位置）原理，磁性材料组成尺身和读数头等配件组成磁栅尺，开放式或半密封设计，如图下：从外观结构上：较好是球栅尺是全封闭，合金尺身硬度高，坚固耐用。
第二是光栅尺半封闭，光学玻璃测量基准，铝合金尺身，坚固度一般，第三是磁栅尺半封闭和开放式，采用3m胶粘贴，可选铝合金底座，坚固度差。
二、精度对比：下面我们以杭州德普光栅尺、球栅尺、磁栅尺，统一是分辨率0.005mm的尺为测试对像，对产品定位精度、绝对精度进行测试，试验设备为杭州德普激光测长平台：2、绝对精度：从0点开始到标准长度的误差，叫绝对精度，用3米光栅尺、球栅尺、从定位精度，和绝对精度看你希望选择加工产品能达到的精度来选择你需要的数显产品。
三、三种数显优点、缺点：光栅尺：1、光栅尺：光栅采用光学玻璃为测量基准，所以精度较高，以上试验也验证其精度好。
2、光栅尺采用半密封设计，有一定防水、尘、铁屑能力，使用过程中如水、油、铁屑、等进入会加速光栅尺损坏（可以查看德普在这方面试验的视频）。
3、光栅尺销售价格低，安装可选设备很多，应用广泛。
4、使用寿命：跟据所安装种类机床不同，和使用环境不同整体使用寿命1-5年左右，使用环境好，无水、油、铁屑、震动小使用寿命就长，如机床有油水、铁屑灰尘多震动大设产品寿命就短。
球栅尺：1、球栅尺精度好，适应大部份的机床，以上试验也验证其精度好。
2、球栅尺采用全密封设计，合金尺身，有防水、尘、铁屑、耐震动等特点，不受环影响所以使用寿命长（可以看德普在这方面试验视频）。
光栅尺与磁栅尺的区别【一文搞懂】
下面小编简要说明一下光栅尺与磁栅尺之间的区别，一起来看看吧。
光栅尺：利用光的干涉和衍射原理制作而成的传感器。
当两块栅距相同的光栅叠放在一起，同时让线纹构成一微小角度，这时在平行光照射下，与刻线垂直方向上就能看到对称分布的明暗相间的条纹，称为莫尔条纹，因此莫尔条纹是光的衍射和干涉作用的总效果。
当光栅移动一个小栅距时，莫尔条纹随之移动一个条纹间距，这样，我们测量莫尔条纹的宽度就比测量光栅线纹宽度容易的多。
此外，由于每条莫尔条纹都是由许多光栅线纹的交点组成，当线纹中有一条线纹有误差时（间距不等或倾斜），这条有误差的线纹和另一光栅线纹的交点位置将产生变化。
但是，一条莫尔条纹是由许多光栅线纹交点组成，因此，一个线纹交点位置的变化，对于一条莫尔条纹来讲其影响就非常小了，所以莫尔条纹可以起到放大和平均的作用。
磁栅尺：利用磁极的原理制作而成的传感器。
基尺是被均匀磁化的钢带。
S和N极均匀间隔排列在钢带上，通过读数头读取S，N极的变化来记数。
传统的光栅尺码盘的材料有玻璃、金属、塑料，玻璃码盘是在玻璃上沉积很薄的刻线，其热稳定性及精度可以达到普通标准、一般要求，但容易碎。
金属码盘直接以通和不通刻线，不易碎，但由于金属有一定的厚度，精度就有限制，其热稳定性就要比玻璃码盘差一个数量级。
塑料码盘是经济型的，其成本低，精度和耐高温达不到高要求。
而磁栅尺采用磁电式设计，通过磁感应器件、利用磁场的变化来产生和提供转子的绝对位置，利用磁器件代替了传统的码盘，弥补了光电编码器的这一些缺陷，更具抗震、耐腐蚀、耐污染、性能可靠高、结构更简单。
光栅尺以精度见长，量程在长度0---3米范围性价比有明显优势，应用如金属切削机床、线切割、电火花、测量光学投影仪等等。
因光栅尺生产工艺的原因，若测量长度超过5米，生产制造将很困难（两块玻璃尺要45°斜角对接以增加长度，用于玻璃尺镀铬机空间有限），价格会很贵。
同等情况下进口光栅对工作环境的要求很高磁栅尺以耐水耐油污耐粉尘耐震动性见长，长度在2米以上性价比优势愈加明显，并且长度越长优势越明显。
光栅尺和磁栅尺概述
光栅尺和磁栅尺概述光栅尺是一种使用光学原理的测量装置。
它的结构通常由一个透明的玻璃或塑料基板上涂有透明的刻痕组成。
刻痕通常是等距的，并沿着基板的方向排列。
光栅尺的原理是利用光的干涉来测量长度。
当光线照射到刻痕上时，由于刻痕所造成的干涉，会形成一系列的明暗条纹。
通过检测这些条纹的变化，可以确定物体的位置或长度。
光栅尺的优点是测量范围广，精度高，可达到亚微米级别。
磁栅尺则是一种利用磁学原理的测量装置。
它由一个磁铁和一个带有磁性标记的带状材料组成。
带状材料上有一系列的磁性标记，这些标记通常是等距的，并沿材料的方向排列。
磁栅尺的原理是通过检测磁场的变化来测量长度。
当磁栅尺移动时，磁铁的磁场会影响到材料上的磁性标记，从而形成一系列的磁场变化。
通过检测这些变化，可以确定物体的位置或移动距离。
磁栅尺的优点是测量范围广，精度高，可达到亚微米级别。
而且，磁栅尺具有防尘、防水等特点。
光栅尺和磁栅尺在工业自动化、机械加工、光学测量等领域有广泛的应用。
它们可以用于机床的位置检测、数控系统的定位、运动的测量等。
在机床加工中，光栅尺和磁栅尺可以用于高精度的位置反馈，从而实现精确的加工。
在光学测量中，光栅尺可以用于测量光学元件的质量、光学仪器的性能等。
另外，光栅尺和磁栅尺可以与计算机等设备连接，实现自动化测量与控制。
总的来说，光栅尺和磁栅尺是两种常见的测量装置，它们都能提供高精度的测量结果，并且在工业自动化、机械加工、光学测量等领域有广泛的应用。
磁栅尺工作原理
磁栅尺工作原理
磁栅尺是一种常用于测量线性位移的传感器。
其工作原理基于磁场感应和光学测量。
磁栅尺由一个固定的铁磁栅格和一个与之平行的标尺组成。
标尺上有一系列等距分布的刻线，通常是通过光刻技术制作的。
每一根刻线上都有一个微小的永磁体，它们的磁性方向沿着标尺的长度方向排列。
栅格则是由一组感应线圈组成，每个线圈都与一个刻线上的永磁体相对应。
当标尺和栅格组合后，当标尺相对于栅格发生位移时，刻线上的永磁体也随之移动。
由于每个永磁体的磁性方向不变，因此，当标尺位移时，每个线圈内的磁通量发生变化。
这个变化的磁通量会感应出一个电压信号，并通过同步解码电路转换成数字信号。
根据标尺上刻线的数量，系统可以精确测量位移的大小。
综上所述，磁栅尺通过测量标尺上的磁通量的变化，实现对线性位移的测量。
其具有测量精度高、稳定性好等优点，广泛应用于各种自动化设备、数控机床、线性电机等领域。
磁栅尺 原理
磁栅尺原理磁栅尺是一种用于测量物体线性位移的设备，它的原理基于磁性和电磁感应。
磁栅尺由两部分组成：一部分是固定在底座上的磁栅，另一部分是固定在测量物体上的读数头。
磁栅尺的磁栅是由一系列磁性带（通常是永磁体带）和非磁性带交替排列而成。
这些磁性带的排列方式形成了一个磁栅的结构，可以产生磁场的周期性变化。
当测量物体沿着磁栅的方向进行位移时，读数头会感应到这种磁场变化。
读数头是一个包含了一对感应线圈的传感器。
感应线圈之间的距离与磁栅的周期性变化相匹配，当磁栅移动时，磁场也会随之变化。
根据法拉第电磁感应定律，当磁场变化时，感应线圈中就会产生电磁感应，从而产生电流。
读数头通过测量由位移产生的电流来确定位移的大小。
当测量物体位移时，磁栅的磁场变化也会改变感应线圈中生成的电流的大小和方向。
读数头中的电路会测量并处理这些电流信号，然后将其转换为对应的位移数值。
为了提高测量的准确性和精度，磁栅尺通常还会包含一个同步信号参考，用于精确地同步读数头感应电流和位移之间的关系。
同步信号通常由磁栅上的一个磁性区域提供，通过感应线圈来检测此区域而产生。
磁栅尺的测量精度取决于磁栅的分辨率和读数头的灵敏度。
磁栅的分辨率是指磁栅中磁性带和非磁性带的数量，分辨率越高，磁栅尺的测量精度就越高。
读数头的灵敏度和测量精度有关，一般应根据实际需要来选择合适的读数头。
总之，磁栅尺利用磁性和电磁感应原理来测量物体的位移。
通过固定在底座上的磁栅和固定在测量物体上的读数头之间的相互作用，将位移转化为电信号，从而实现对物体位移的精确测量。
磁栅尺广泛应用于机械加工、精密仪器、自动化系统等领域，并取得了很好的效果。
光栅尺分类
光栅尺分类光栅尺是一种常见的线性位移传感器，用于测量物体的位移或位置。
根据其原理和性能，可以将光栅尺分为多种类型。
下面是对几种常见的光栅尺分类及其相关参考内容的介绍。
1. 光电效应光栅尺：光电效应光栅尺是使用光电二极管工作的一种光栅尺。
其原理是基于内置的光栅条纹和光电二极管之间的光电效应。
这种光栅尺通常具有较高的分辨率和较快的响应时间。
相关参考内容可以参考"High-resolution absolute optical encoder with photodiode linear arrays"（S. Higashi等，1982）。
2. 磁性光栅尺：磁性光栅尺是一种使用磁性材料制作的光栅尺。
它通常由一个带有磁性条纹的磁带和一个磁头组成，磁头可以通过磁性条纹上的改变来测量位移。
这种光栅尺具有较高的抗干扰能力和较长的使用寿命。
相关参考内容包括"Magnetic Linear Encoder Design and Implementation"（M. Jiang等，2015）。
3. 容积光栅尺：容积光栅尺是一种通过测量光栅条纹的容积变化来测量位移的光栅尺。
它通常由一个玻璃光栅和一个光电检测器组成。
当物体移动时，光栅条纹的容积会发生变化，从而产生光强改变，进而被光电检测器检测到。
这种光栅尺具有较高的灵敏度和较小的体积。
相关参考内容可以参考"Compact Capacitive Grating Encoder"（A. K. Swan等，2016）。
4. 线性光栅尺：线性光栅尺是一种非接触式的测量设备，它通常由光源、光栅板和光电检测器组成。
当物体移动时，光栅条纹与光源和光电检测器之间的位置关系发生变化，从而测量出位移。
这种光栅尺具有高精度、高分辨率和可靠性好的特点。
相关参考内容包括"Principles of Optical Linear Encoders"（C. T. Baxendale等，1993）。
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(1)ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ莫尔条纹（Moire）
主光栅 指示光栅
均匀刻线
夹角
移动
明暗相间条纹
莫尔条纹
条纹宽度： B
W W 2 sin( / 2)
W-栅距， a-线宽， b-缝宽 W=a+b ，a=b=W/2 特例：当 =0, w1=w2 → B= → 光闸莫尔条纹 当 =0, w1≠w2 → 纵向莫尔条纹
莫尔条纹特性： 方向性：垂直于角平分线，当夹角很小时 → 与光栅移动方向垂直 同步性：光栅移动一个栅距 → 莫尔条纹移动一个间距一方向对应 放大性：夹角θ很小 → B>>W → 光学放大 → 提高灵敏度 可调性：夹角θ↓→ 条纹间距B↑ → 灵活 准确性：大量刻线 → 误差平均效应 → 克服个别/局部误差 → 提高精度
3）激光三角法
原理：
y = f (x)
x
y
激光测距产品
Keyence 激光测距传感器
特点： 非接触、不易划伤表面、结构简单、测量距离大、 抗干扰、测量点小（几十微米）、测量准确度高 精度：光学元件本身的精度、环境温度、激光束的光强和直 径大小以及被测物体的表面特征
应用：
厚度测量：
莫尔条纹 --- 圆弧形、 环形、辐射形 ① 径向光栅的圆弧形莫尔条纹 两块径向光栅 --- 栅距角相同/不大偏心量
光栅不同区域，栅线交角不同
--- 圆弧形莫尔条纹 （不同曲率半径） 条纹宽度 --- 随位置变化 偏心垂直位置上 --- 横向莫尔条纹 实际应用 --- 条纹近似垂直于栅线 偏心方向上 --- 纵向莫尔条纹 --- 条纹近似平行于栅线 其他位置 --- 斜向莫尔条纹 特例 --- 光闸莫尔条纹（同心、栅距角相同） 主光栅（一个栅距角）--- 透光量（一个周期）
② 切向光栅的环形莫尔条纹 两块切向光栅 ---栅距角相同/切线圆半 径不同/同心叠合 环形莫尔条纹 --- 以光栅中心为圆心的同心圆簇 条纹宽度 --- 随条纹位置变化 优点：--- 全光栅平均效应 应用：高精度角度测量和分度 ③ 环形光栅的辐射形莫尔条纹 两块环形光栅（相同）--- 栅线相对 /不大的偏心量 辐射形莫尔条纹 --- 条纹近似直线/呈辐射状 特点：条纹数目/位置 --- 偏心量大小/ 圆心连线方向 偏心量（一个栅距）--- 莫尔条纹数目 增加一条（一个象限内） 光栅旋转 --- 条纹数目/位置（不变） 应用：主轴偏移、晃动
磁头按读数方式不同可分为动态磁头和静 态磁头 动态磁头又称为非调制磁头，属于速度响 应磁头，静止时无信号输出；静态磁头又 称为调制磁头，属于磁通响应磁头，静止 时仍有信号输出。
动态磁头
静态磁头
静态磁头测量
静态磁头测量方法
三 感应同步器
(2) 光栅传感器分类与结构原理 按运动形式分： 直线型---主光栅为直尺形→直线移动 旋转型---主光栅为圆盘形→旋转运动 按光学形式分： 透射式---光源与光电元件在两侧→透射光 反射式---光源与光电元件同一侧→反射光
(3)圆光栅传感器 光栅 --- 径向光栅、切向光栅、环形光栅
径向圆光栅
切向圆光栅
二 磁栅尺测量原理
磁栅传感器主要由磁珊，磁头和检测电路 构成。 测量原理：磁珊上有等间距的磁信号，利 用磁带录音原理将等间距周期性变化的电 信号（正余弦或矩形波）用录磁的方法磁 性尺子或圆盘上。 工作时，磁头相对于磁珊有一定的相对位 置，在这个过程中，磁头会读出磁珊上的 磁信号
磁头
一
光栅激光位移测 量技术
一、 光栅式传感器
--- 等节距的透光和不透光的刻线均匀相间排列构成的光学元件
物理光栅：利用光的衍射现象分析光谱、测定波长
计量光栅： 利用光的莫尔条纹现象测量精密位移
长光栅 --- 直线位移；圆光栅 --- 角位移 构成：主光栅 --- 标尺光栅，定光栅；指示光栅 --- 动光栅 长度 --- 测量范围；刻线密度 --- 测量精度 ( 10、25、50、100、125线/mm )
(a) 参考表面：两传感器同向 --- 减小偏心误差 (b) 相对测量：两传感器反向，无参考表面 --- 克服钢板本身 上下起伏造成的误差
测量范围：16mm左右；相对测量精度：0.1% ~ 0.2% 适用：在线测量钢板/铝板等板材厚度 特点：测头对表面颜色和纹理变化以及背景光的影响不敏感 不能测量镜面 --- 漫反射原理
(4) 光栅传感器特点 ①精度高：测长±(0.2+2×10-6L)μm，测角±0.1″ ②量程大：透射式---光栅尺长（米），反射式---几十米 ③响应快：可用于动态测量 ④增量式：增量码测量 → 计数 断电→数据消失 ⑤要求高：对环境要求高→温度、湿度、灰尘、振动、移动精度 ⑥成本高：电路复杂
二、激光干涉测量系统
单频激光干涉系统
双频激光干涉系统
--- 信噪比高，抗干扰能力强，大位移测量（200m以上）
双频激光干涉测量系统
三、激光测距系统 --- 大范围远距离测距（几千/几十千米）
1）脉冲测距法 激光短脉冲信号（激光器 被测目标） 距离 d ct / 2 测量精度：时间间隔测量精度（脉冲窄、响应速度快） 远距离 --- 固体/二氧化碳；近距离 --- 半导体 巨脉冲激光器 --- 地球—月球距离（分辨力：1m） 2）相位差测距法 c c 激光束调制 --- 相位差 --- 时间 --- 距离 D 2 4f 0 0 特点：测量精度高、分辨力强