第二章 功能薄膜材料 [兼容模式]
功能性膜材料
功能性膜材料功能性膜材料是一种具有特殊功能的薄膜材料，广泛应用于电子、光电子、能源存储和转换、生物医学等领域。
它具有多种功能，例如传导、隔离、防护、分离等，能够满足不同领域的需求。
首先，功能性膜材料在电子领域具有重要的应用。
在光电子设备、晶体管和光伏电池等装置中，功能性膜材料可以作为导电层、玻璃保护层和隔离层来提供电子的传导功能和环境的保护功能。
例如，以氧化物薄膜为主导的功能性膜材料可以在光电子设备中作为透明导电膜使用，实现高效的能量转换和电子传输。
其次，功能性膜材料在能源存储和转换领域也发挥着重要作用。
在锂离子电池、燃料电池和太阳能电池等能源转换设备中，功能性膜材料可以作为电解质膜、隔离层和阻隔层来实现离子传输、电子分离和环境防护。
这些膜材料具有超高的离子导电率和电子应变率，可以提高能源设备的效能和寿命，并且减少对环境的污染。
另外，功能性膜材料在生物医学领域应用广泛。
医用膜材料可以用于医用敷料、组织工程支架、药物缓释和生物传感器等应用。
这些膜材料具有良好的生物相容性和生物附着性，可以促进伤口愈合、支持组织生长、控制药物释放和检测生物信号。
此外，功能性膜材料还可以用于食品包装、环境污染治理和化学合成等行业。
在食品包装中，功能性膜材料可以通过调节透气性、阻隔性和杀菌性等特性来延长食品的保鲜期和改善安全性。
在环境污染治理方面，功能性膜材料可以作为滤料和催化剂载体来实现污染物的分离和转化。
在化学合成中，功能性膜材料可以作为催化剂和分离膜来提高反应效率和纯度。
总之，功能性膜材料具有多种功能，在电子、光电子、能源存储和转换、生物医学等领域都有重要的应用。
随着科技的进步和需求的增加，功能性膜材料的研究和开发将会更加重要，为不同领域的创新和发展提供更多可能性。
功能薄膜材料
功能薄膜材料功能薄膜材料是一类具有特殊功能和性能的薄膜材料，广泛应用于电子、光学、医疗、能源等领域。
它们具有优异的光学、电子、磁性、机械、化学等性能，可以实现多种功能，满足不同领域的需求。
功能薄膜材料的研究和应用对于推动科技创新和产业发展具有重要意义。
首先，功能薄膜材料在电子领域具有重要应用。
例如，氧化铟锡(ITO)薄膜广泛应用于液晶显示器、触摸屏等电子产品中，具有优异的导电性和透明性；氧化锌(ZnO)薄膜具有优异的半导体性能，可用于光电器件和传感器中；有机薄膜晶体管(OTFT)是一种新型的柔性电子器件，可实现可弯曲、可卷曲的电子产品。
这些功能薄膜材料的应用，推动了电子产品的不断创新和发展。
其次，功能薄膜材料在光学领域也发挥着重要作用。
例如，光学膜具有反射、透射、吸收等特殊光学性能，可用于激光器、光学镜片、光学滤波器等光学器件中；光学薄膜还可用于制备光学薄膜滤光片、偏振片、分光镜等光学元件，广泛应用于光学仪器、激光设备、光学通信等领域。
这些功能薄膜材料的应用，提高了光学器件的性能和功能。
此外，功能薄膜材料在医疗和生物领域也有重要应用。
例如，生物相容性薄膜可用于医用植入材料、药物缓释系统等医疗器械中，具有良好的生物相容性和药物控释性能；生物传感器薄膜可用于检测生物分子、细胞等生物样品，具有高灵敏度和快速响应特性。
这些功能薄膜材料的应用，促进了医疗器械和生物技术的发展。
最后，功能薄膜材料在能源领域也具有重要意义。
例如，太阳能电池中的光伏薄膜可将太阳能转换为电能，具有高效、轻薄、柔性等特点；锂离子电池中的隔膜薄膜可实现电解质的隔离和离子传输，影响电池的安全性和循环寿命。
这些功能薄膜材料的应用，推动了新能源技术的发展和应用。
综上所述，功能薄膜材料具有多种特殊功能和性能，在电子、光学、医疗、能源等领域具有重要应用。
随着科学技术的不断进步和创新，功能薄膜材料的研究和应用将会更加广泛，为人类社会的发展和进步做出更大的贡献。
功能薄膜材料
功能薄膜材料
功能薄膜材料是一种具有特殊功能性能的薄膜材料，它通过特殊的工艺和组合材料的设计，赋予薄膜具备超强的各种特性和功能，广泛应用于各个领域。
首先，功能薄膜材料具有优异的阻隔性能。
它能够有效隔绝空气、水分、氧气或其它气体的渗透，以达到保鲜、降解、保护等作用。
例如在食品包装领域，利用功能薄膜材料制成的包装膜能够有效阻隔水分和氧气的渗透，从而保持食物的新鲜度和口感。
其次，功能薄膜材料具有优异的光学性能。
它能够具有不同的透光性能，如高透明度、透光率、反射率等，可应用于玻璃、显示屏、太阳能等领域。
例如在光伏领域，功能薄膜材料可以作为太阳能电池板的覆盖层，提高光的吸收效率。
此外，功能薄膜材料还具有优异的化学性能。
它可以具备耐腐蚀、耐高温、耐候性等特性。
例如在汽车领域，功能薄膜材料可以用于制作防刮擦、耐高温的保护膜，提高车身的耐用性和外观质量。
此外，功能薄膜材料还具有优异的机械性能。
它可以具备高强度、高柔韧性和高稳定性等特性。
例如在建筑领域，利用功能薄膜材料可以制造出轻质、高强度的膜结构，应用于建筑的遮阳、保温、通风等功能。
最后，功能薄膜材料还具备可控性能。
它可以根据需要改变或
调节特性，如热敏性、光敏性和形状记忆性等。
例如在医疗领域，利用功能薄膜材料可以制造出温度敏感的溶解缝线，用于内部手术线缝合后随时间自行溶解。
总之，功能薄膜材料是一种多功能的材料，具备优异的阻隔性能、光学性能、化学性能、机械性能和可控性能。
它在食品包装、光伏、汽车、建筑、医疗等领域有广泛的应用前景，并将为人们的生活和工作带来更多便利和创新。
功能薄膜材料与技术资料
GaAs(固) + 3CH4(气)
化学气相沉积的优缺点
化学气相沉积是制备各种各样薄膜材料的一种重要和普遍使用的技术，利用这 一技术可以在各种基片上制备元素及化合物薄膜。其优点是：
可以准确控制薄膜的组分及掺杂水平使其组分具有理想化学配比； 可在复杂形状的基片上沉积成膜； 由于许多反应可在大气压下进行，系统不需要昂贵的真空设备； 高沉积温度会大幅度改善晶体的完整性； 可以利用某些材料在熔点或蒸发时分解的特点而得到其他方法无法得到的材料； 沉积过程可以在大尺寸基片或多基片上进行。
其缺点是：
化学反应需要高温； 反应气体会与基片或设备发生化学反应； 在化学气相沉积中所使用的设备可能较为复杂，且有许多变量需要控制。
化学气相沉积制备的薄膜材料
化学气相沉积制备非晶BN薄膜
Nakamura使用的沉积条件为： B10H14气压 2×10－5 NH3气压 2.7×10－3～0.11Pa NH3 / B10H14 1:40 基片温度 300～1150℃ 沉积时间 30～300min 使用的基片 Ta、Si和SiO2
薄膜材料与薄膜技术
王成新
薄膜材料的简单分类
材料保护涂层
涂层或厚膜
薄膜材料
(>1um)
材料装饰涂层 光电子学薄膜
薄膜(<1um) 微电子学薄膜
其它功能薄膜
(力,热,磁,生物等)
薄膜材料的制备技术
喷涂
机械或化学方法 (涂层)
薄膜材料的制备技术 真空技术(薄膜)
电镀 物理气相沉积技术
化学气相沉积技术 电化学方法(薄膜)
电子回旋共振等离子体系统
等离子体室接受频率为2.45GHz的 微波，微波由微波源通过波导和石英窗 导入，电子回旋共振在875G磁场下发 生，从而获得高度激活的等离子体。
功能薄膜材料
功能薄膜材料
功能薄膜材料是近年来发展迅速的一类材料，具有许多独特的性能和应用。
下面我将介绍一些常见的功能薄膜材料及其应用。
首先，防护膜是一种广泛应用的功能薄膜材料。
它具有防水、防尘、防油等功能，在手机、平板电脑、汽车玻璃等产品上得到广泛应用。
防护膜的耐磨性好，能够有效保护产品表面不被划伤或磨损，延长产品使用寿命。
其次，光学膜是另一种重要的功能薄膜材料。
光学膜具有反射、透明、吸收等特性，可用于制备各种光学元件。
例如，反射膜常用于制造太阳能电池板，能够有效地反射阳光，提高太阳能的收集效率；透明膜常用于制造显示器、智能眼镜等光学设备，能够提高透光率，减少视觉衍射。
此外，导热膜也是一种具有重要应用的功能薄膜材料。
导热膜具有良好的导热性能，可以用于散热器、电子元件等产品中。
导热膜能够迅速将热量从高温区域传导到低温区域，降低元件的工作温度，提高产品的稳定性和可靠性。
此外，防雾膜也是一种常见的功能薄膜材料。
防雾膜具有防止表面水滴凝结成雾的功能，在车窗、镜片等产品上应用广泛。
防雾膜能够使水滴均匀分布在表面，减少光的散射，提高透光性。
最后，还有一些其他常见的功能薄膜材料，例如防紫外线膜、防静电膜、隔热膜等。
这些功能薄膜材料在电子产品、建筑材
料、汽车制造等许多领域有着广泛的应用。
总体来说，功能薄膜材料具有多种特殊的性能和应用。
随着科技的不断进步，功能薄膜材料的研发和应用将继续拓展，为我们的生活带来更多的便利和创新。
功能薄膜材料应用概述
功能薄膜材料应用概述 高性能材料的领先制造商英国威格斯公司(Victrex )日前正致力于推广可应用于电子元器件和电子设备的VICTEREX PEEK 产品，包括VICTREX PEEK 聚合材料和最新推出的APTIV 薄膜。
这些材料主要针对高端应用市场。
目前，PEEK 等高性能材料已经广泛应用于电子设备及其关键元件和部件中，如手机、电池、线路板、硬盘驱动器(HDD)、打印机、计算机、发光二极管(LED)、开关及连接插头等应用。
新型APTIV 薄膜是基于Victrex PEEL 聚合材料的创新型薄膜，用途也非常广泛，典型的应用案例包括用于DVD 主轴马达的止推垫圈、采用矿物填充级APTIV 薄膜用于扬声器扩音器球顶和表面贴装动圈麦克风等。
这些材料独特的综合性能可帮助电子厂商和终端用户轻松满足RoHS 和WEEE 等强制性指令的要求，并实现最理想的性能、质量和成本目标。
随着终端市场对电子产品的要求越来越高，如必须能够承受各种严酷的运行环境、必须是环保型产品、以及必须是高安全性产品，电子设备和元器件供应商也对材料提出了更严格的要求，包括更高的耐热性、更高的机械强度和可加工性等。
与此同时，随着当今电子产品的工作频率越来越高，以及无线电子产品采用的载波频率越来越高，客户也开始越来越关注终端产品的散热问题，并对材料提出越来越高的热性能要求和介电性能要求(即在很高频率下仍能保持很好的绝缘性能)。
PEEK 是一种于1978年由ICI 发明的聚合材料，其本身的特性包括：高温条件下机械强度高、连续使用温度高达260℃、热变形温度高于300℃、低蠕变性、低吸湿性、低热膨胀性、优异抗磨性、高强度、高尺寸稳定性、高抗化学特性、高耐腐蚀性和易于加工等。
它是用于电子元器件和电子设备的理想材料选择，不仅表面硬度高，具备出色的抗磨性，而且燃烧时产生的副产品无毒性，符合安全要求。
PEEK 材料还可在最大限度地保证电子产品稳定性和可靠性的同时，帮助客户节约总体成本。
功能性薄膜材料的制备与应用
功能性薄膜材料的制备与应用嘿，咱今天就来好好聊聊功能性薄膜材料的制备与应用！先来说说啥是功能性薄膜材料吧。
就好比有一次我去一个工厂参观，看到那些正在生产的薄膜，就像魔术师手中的道具，有着各种各样神奇的功能。
有的能防水，就像给物品穿上了一件雨衣；有的能隔热，仿佛是夏天里的一把遮阳伞；还有的能导电，像是为电子设备搭建的“高速公路”。
那这些神奇的功能性薄膜材料是咋制备出来的呢？就拿一种常见的制备方法——真空镀膜来说吧。
想象一下，有一个大大的真空腔室，就像是一个神秘的魔法屋。
在这个屋子里，把要镀膜的基底材料放进去，然后通过加热或者溅射等方式，让那些神奇的材料粒子像小精灵一样飞过去，均匀地附着在基底上，一层一层，慢慢地就形成了具有特定功能的薄膜。
再比如说，有一种制备方法叫溶胶凝胶法。
这就像是在做一碗特别的“汤”。
把各种化学物质按照一定的比例混合在一起，搅拌搅拌，形成一种溶胶。
然后让它慢慢地发生化学反应，变成凝胶。
最后经过处理，就得到了我们想要的薄膜。
还有一种方法叫化学气相沉积法。
这就像是一场气体的舞蹈派对。
在高温的环境下，气体分子们欢快地跳动着，相互结合，然后在基底表面沉积下来，形成一层薄薄的膜。
这些制备方法听起来是不是挺有趣的？但可别以为这就完了，制备过程中还有很多细节要注意呢。
比如说温度、压力、反应时间等等，稍微有点偏差，可能就达不到理想的效果。
那制备好了这些功能性薄膜材料，它们都有啥用呢？在我们的日常生活中，到处都能看到它们的身影。
比如说手机屏幕上的防指纹膜，让你的手机屏幕总是干干净净的，不会被指纹弄得脏兮兮的。
还有汽车玻璃上的隔热膜，夏天的时候能让车里不那么热，省得开空调费油。
在医疗领域，也有功能性薄膜材料的用武之地。
比如说有一种伤口敷料膜，它不仅能保护伤口，还能促进伤口的愈合。
就像有一次我看到一个小朋友不小心摔破了膝盖，医生给他贴上了这种膜，没过几天伤口就好得差不多了。
在电子领域，功能性薄膜材料更是不可或缺。
薄膜功能材料
薄膜功能材料
薄膜功能材料是一种具有特定功能的薄膜材料，它在各种领域都有着广泛的应用。
薄膜功能材料通常具有轻薄、柔软、透明、耐热、耐腐蚀等特点，能够在光学、电子、能源、生物医药等领域发挥重要作用。
在光学领域，薄膜功能材料常常用于制备光学薄膜，如反射膜、透射膜、滤光
膜等。
这些光学薄膜可以用于调节光的透射、反射和吸收特性，广泛应用于光学镜片、光学滤波器、激光器、光学仪器等领域。
在电子领域，薄膜功能材料可以用于制备柔性电子器件，如柔性显示屏、柔性
电池、柔性传感器等。
这些柔性电子器件具有轻薄柔软的特点，可以与各种曲面结构完美贴合，具有重要的应用前景。
在能源领域，薄膜功能材料可以用于制备太阳能电池、燃料电池、锂离子电池等。
这些薄膜功能材料具有优异的光电特性和电化学性能，能够有效转换和存储能源，为可再生能源和储能技术提供了重要支撑。
在生物医药领域，薄膜功能材料可以用于制备生物传感器、药物释放系统、组
织工程支架等。
这些薄膜功能材料具有生物相容性和生物活性，能够与生物体良好结合，为生物医药领域的诊断、治疗和修复提供了新的途径。
总的来说，薄膜功能材料具有广泛的应用前景，可以在光学、电子、能源、生
物医药等领域发挥重要作用。
随着材料科学和工程技术的不断发展，薄膜功能材料的性能和应用将得到进一步提升，为人类社会的可持续发展做出更大的贡献。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
1金属薄膜材料
Metal Film Materials
授课人：郑晓彤
材料科学与工程学院
材料先进技术教育部重点实验室
材料学院分析测试中心
联系方式：zhengxt@, 87600896,
办公室信息楼号房间
办公室：信息楼（0号）0101
金属薄膜材料介金属薄膜材料-介绍
金属薄膜材料介金属薄膜材料-介绍
金属薄膜材料介金属薄膜材料-介绍
金属薄膜材料介金属薄膜材料-介绍
金属薄膜材料介金属薄膜材料-介绍
金属薄膜材料介金属薄膜材料-介绍
金属薄膜材料介金属薄膜材料-介绍
金属薄膜材料-介绍属薄膜材料介
金属薄膜材料-介绍属薄膜材料介
金属薄膜材料-介绍属薄膜材料介
金属薄膜材料-介绍属薄膜材料介
金属薄膜材料
薄膜材料的制备方法简介 金属薄膜材料的形成及结构
主要薄膜功能金属材料
第一节薄膜材料制备方法简介功能薄膜材料、物理气相沉积（）
1、物理气相沉积（PVD）
采用物理方法使物质的原子或分子逸出，然后沉积在基片上形成薄膜的工艺
根据使物质的逸出方法不同，可分为蒸镀、溅射和离子镀
离镀
（1）真空蒸镀
把待镀的基片置于真空室内，通过加热使蒸发材料气化（或升华）而沉积到某温度基片的表面上料气化（或升华）而沉积到某一温度基片的表面上，从而形成一层薄膜，这一工艺称为真空蒸镀法
蒸发源可分为：电阻加热、电子束加热和激光加热等
功能薄膜材料（2）溅射（Sputtering）
当具有一定能量的粒子轰击固体表面时，固
体表面的原子就会得到粒子的一部分能量，当体表面的原子就会得到粒子的部分能量，当
获得能量足以克服周围原子得束缚时，就会从
表面逸出，这种现象成为溅射
表面逸出，这种现象成为“溅射”
它可分为离子束溅射和磁控溅射
功能薄膜材料离子束溅射
它由离子源、离子引出极
和沉积室3大部分组成，
在高真空或超高真空中溅
射镀膜法。
利用直流或高
频电场使惰性气体（通常
为氩）发生电离，产生辉
光放电等离子体，电离产
生的正离子和电子高速轰
击靶材，使靶材上的原子
61或分子溅射出来，然后沉
积到基板上形成薄膜。
图6.1 离子束溅射工
作原理图
功能薄膜材料
离子束溅射
离子束溅射沉积法除可以精确地控制离子束的能量、密度和入射角度来调整纳米薄膜的微观形成过程，溅射过程中的基片温度较低外还有以下优点
下优点：
①可制备多种纳米金属，包括高熔点和低熔点金属，而常规的热蒸发只能适用于低熔点金属；
②能制备多组元的化合物纳米微粒，如Al 52Ti48，Cu91Mn9及ZrO2等；
能制备多组元的化合物纳米微粒如及等
③通过加大被溅射的阴极表面可提高纳米微粒的获得量。
Lawrence Livemore国家实验室的Bwbee等人利用真空溅射技术制成了层状交替金属复合材料。
该技术是经氩离子将金属表面的原子激发出来层状交替金属复合材料该技术是经氩离子将金属表面的原子激发出来，并沉积成层状。
只要控制离子束交替冲击不同金属表面，就可以制成由几百、几千层不同金属组成的复合材料，每一层只有0.2nm厚。
功能薄膜材料磁控溅射
在被溅射的靶极（阳
极）与阴极之间加一
个交磁场电场在正交的电磁场的作用下，电子以摆线的方式沿着靶表面前进个正交磁场和电场，
电场和磁场方向相互
垂直。
当镀膜室真空
方式沿着靶表面前进，电子的运动被限制在一定空间内，增加了抽到设定值时，充入
适量的氩气，在阴极
同工作气体分子的碰撞几率，提高了电子的电离效率。
电子经过多次碰撞后丧失(柱状靶或平面靶)和阳
极(镀膜室壁)之间施加
几百伏电压，便在镀
过多次碰撞后，丧失了能量成为“最终电子”进入弱电场区，6.2膜室内产生磁控型异
常辉光放电，氩气被
电离。
最后到达阳极时已经是低能电子，不再会
使基片过热。
图6.2 磁控溅射SiO2装置图
使基片热
功能薄膜材料同时高密度等离子体被束缚在靶面附近，又不与基片接触，
同时高密度等离子体被束缚在靶面附近又不与基片接触
将靶材表面原子溅射出来沉积在工件表面上形成薄膜。
而基片又可免受等离子体的轰击，因而基片温度又可降低。
更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。
功能薄膜材料
射频溅射
射频溅射的质量受到预抽真空度、溅射时的氩气压强、溅射功率、溅射时间、衬底温度等因素的影响，要想得到理想的溅射膜，必须优化这
些影响因素。
纳米薄膜的获得主要通过两种途径：
(1)在非晶薄膜晶的过程中控制纳米结构的形成；
(2)在薄膜的成核生长过程中控制纳米结构的形成，其中薄膜沉积条件的控制极为重要。
在溅射过程中,采用高的溅射气压、低的溅射易于得到纳米结构的薄膜。
纳米结构的薄膜
功能薄膜材料两种溅射法的对比分析
美国NASA中心的报告中评论了高频溅射技术提高薄膜粘附性，同时也指出了薄膜生长环境是在等离子区的恶劣环境中，薄膜缺陷的增加成为制备高频绝缘性能薄膜和提高成品率的个主要问题。
绝缘性能薄膜和提高成品率的一个主要问题。
对于离子束溅射技术和设备而言，离子束是从离子源等离子体中，通过离子光学系统引出离子形成的，离子靶和基体置放在远离等离子体的高真空环境光学系统引出离子形成的离子靶和基体置放在远离等离子体的高真空环境内，离子束轰击靶、靶材原子溅射出来，并在衬底基片上淀积成膜，没有等离子体恶劣环境影响，彻底克服了高频溅射技术和设备制备薄膜的缺陷。
值得提出的是离子束溅射被普遍认为溅射出来的是个和几个原子原子尺得提出的是，离子束溅射被普遍认为溅射出来的是一个和几个原子，原子尺寸比分子尺寸小得多，可以形成分布更密，晶核更小的生长薄膜，进一步减少薄膜内的空洞，针孔缺陷，提高附着力和增强薄膜的弹性。
功能薄膜材料
（3）离子镀离子镀
离子镀是在真空蒸镀的
基础上在热蒸发源与基基础上，在热蒸发源与基
片之间加一电场（基片为
负极）在真空中基片与负极），在真空中基片与
蒸发源之间将产生辉光放
电使气体和蒸发物质部电，使气体和蒸发物质部
分电离，并在电场中加速，
从而将蒸发的物质或与气
体反应后生成的物质沉积
到基片上到基片上。
功能薄膜材料
2、化学气相沉积（CVD）
化学气相沉积是使含有构成薄膜元素的一种或几种化合物（或单质）气体在一定温度下通过化学反应生化合物（或单质）气体在定温度下通过化学反应生成固态物质并沉积在基片上而生成所需薄膜的方法。
特点：设备可以比较简单，沉积速率高，沉积薄膜范围广，覆盖性好，适于形状比较复杂的基片，膜较致密，无离子轰击等优点。
特别是在半导体集成电路致密无离子轰击等优点特别是在半导体集成电路上得到广泛应用
常用的气态物质有各种卤化物、氢化物及金属有
常用的气态物质有各种卤化物氢化物及金属有机化合物等，化学反应种类很多，如热解、还原、与水反应与氨反应等
与水反应、与氨反应等
功能薄膜材料
功能薄膜材料
功能薄膜材料金属有机化学气相沉积（MOCVD）
原料主要是金属（非
金属）烷基化合物。
优点是可以精确控制
很薄的薄膜生长，适
于制备多层膜，并可
于制备多层膜并可
进行外延生长。
功能薄膜材料金属有机化学气相沉积（MOCVD ）
一般而言，载流气体通常是氢气，但是也有些特殊情况下采用氮气（例如：成长氮化铟镓（InGaN ）薄膜时）。
常用的基板为砷化镓（GaAs ）、磷化镓（GaP ）、磷化铟（InP ）、硅（Si ）、）等等而通常所成长的薄膜材碳化硅（SiC ）及蓝宝石（Al 2O 3）等等。
而通常所成长的薄膜材料主要为三五族化合物半导体（例如：砷化镓（GaAs ）、砷化镓铝（AlGaAs ）、磷化铝铟镓（AlGaInP ）、氮化铟镓
（InGaN ））或是二六族化合物半导体，这些半导体薄膜则是应用在光电元件（例如：发光二极管、雷射二极管及太阳能电池）及微电子元件（例如：异质结双极性晶体管）及假晶式高电子迁移率晶体管（PHEMT ））的制作。
功能薄膜材料
金属有机化学气相沉积（MOCVD）
MOCVD系统的组件可大致分为：
反应腔、气体控制及混合系统、
反应源及废气处理系统。
废系
1. 反应腔（Reactor Chamber
）：反应腔(Reactor
Chamber)主要是所有气体混
合及发生反应的地方，腔体通
常是由不锈钢或是石英所打造
而成，而腔体的内壁通常具有
由石英或是高温陶瓷所构成的
内衬。
功能薄膜材料金属有机化学气相沉积（MOCVD）
2. 气体控制及混合系统(Gas
handling & mixing system)：
载流气体从系统的最上游供应
端流入系统，经由流量控制器
（MFC, Mass flow
controller）的调节来控制各
个管路中的气体流入反应腔的
流量。
功能薄膜材料金属有机化学气相沉积（MOCVD）
3. 反应源（Precursor）：
反应源可以分成两种，第一种
反应源可以分成两种第一种
是有机金属反应源，第二种是
氢化物气体反应源。
4. 废气处理系统（Scrubber）：
废气系统是位于系统的最末端，
负责吸附及处理所有通过系统
的有毒气体，以减少对环境的
污染。
污染
功能薄膜材料
功能薄膜材料。