纯水系统技术手册下
纯水系统作业指导书1
厦门集顺半导体制造有限公司40T/H超纯水系统作业指导书厂务部制2015年5月25日目录目录 (2)一、多介质过滤器 (7)手动操作说明 (7)多介质单机图 (13)二、活性炭过滤器 (14)手动操作说明 (14)活性炭单机图 (17)三、阳塔 (18)手动操作说明 (18)阳塔单机图 (25)四、阴塔 (26)手动操作说明 (26)阴塔单机图 (32)五、RO机组 (33)手动操作说明 (33)RO单机图 (37)六、混床 (38)手动操作说明 (38)混床单机图 (47)七、终端装置 (48)手动操作说明 (48)八、常见异常报警及应对措施 (52)警告：1、本手册仅限于紧急状态使用，非操作员未经允许不得擅自在设备运行正常时操作。
2、操作设备前必须先阅读本手册及电话询问老员工，并密切观察各阀门、按钮和电磁阀开关状态，以及各仪表是否处于正常状态。
气动阀处于关闭状态气动阀处于打开状态自动运行时，灯亮为电磁阀打开；手动时，阀门开和关，灯都不亮。
旋钮开关/启动按钮/关闭按钮一、多介质过滤器运行状态行程表多介质过滤器手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。
警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。
3、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。
多介质过滤器单体原水泵（地点：水泵房）反洗泵（地点：水泵房）原水泵/反洗泵旋钮开关（地点：水泵房）多介质过滤器单体多介质过滤器单机图MMF01-AV5V3V2V1V4 HV1原水泵P01-A/B活性炭过滤器逆洗泵P022"1.5"排气一般排放（A类排放）二、活性炭过滤器运行状态行程表活性炭过滤器手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。
警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。
纯水制备系统操作说明书
目录第1章前言 3 第2章设备操作维护规范 4 第3章单元操作说明 5 3-1.全动石英砂过滤器 53-2.全动活性炭过滤器73-3.自动软化系统93-4.加药系统113-5.板式换热器123-6.反渗透RO系统133-7.EDI系统183-8.UV杀菌机、精密过滤器293-9.水泵29 第4章试车参考数据及运转报告36 第5章流程图、平面图、单机图等38 第6章附录39第1章前言本纯化水系统是以石英砂过滤器、活性炭过滤器以及软化系统作为前处理，以目前国际上技术最先进、应用最为可靠的RO 反渗透膜作为一级除盐设备，终端采用了先进的连续电除盐（EDI）系统，组成了一套完整、高效率、高品质的纯水系统。
本系统主要去除水中的悬浮物、胶体、细菌、病毒、溶解盐、细菌内毒素和大部分有机物等杂质，系统脱盐率一般在97-99%以上，终端出水电阻率达到0.1-18 MΩ/cm 。
在此，上海至纯洁净系统科技有限公司(PNC)诚挚地感谢您的信任与支持，今后将本着一贯的服务热诚，为您提供完善的售后服务、详实的水质分析、理想的改善建议，帮助客户降低产品成本，提高产品品质。
PNC公司客户将享有壹年的免费保固及永久售后服务，但因天灾人祸或不可抗拒的原因所引起，则不在此限。
第2章设备操作维护规范开始操作此系统前，请操作、维护人员务必详读本操作手册，使系统达到最佳使用状况，同时确保系统的正常运行及延长设备使用年限。
1.PNC公司在试车时，所调整的流量、压力等值请勿随意变动，并请操作人员做好详细的运行参数记录，若发现有异常变化，请及时通知本公司派人处理；2.设备的维护、管理、记录请派专人负责，并妥善保管记录资料及PNC公司所附的各项原始资料；3.设备在保固期内，要求每月月底传真一份设备的运行记录表至PNC 公司，以便能及时发现问题，确保系统的正常运行；4.本纯水系统为全自动运行控制，运行时只需将所有开关置于自动状态即可，也可手动操作或半自动操作；5.手动操作及半自动操作：开机时必须先打开阀门，再开启水泵，关机时必须先关闭水泵，再关闭阀门。
超纯水机中文使用手册
MILLIPORESimplicity （185）个人专用超纯水机中文使用手册厦门莱胜科技有限公司2004年5月 V1.0（以英文原版手册为准）第一章：安装拆箱Simplicity TM系统包括（如附图1）：A.纯水主机一套（Simplicity TM），内含3.5公升储水桶一只。
B.英文使用手册一本。
C.排气用（新的Simpak排气用）倒钩式连接头一只D.Simpak纯化管柱一组。
E.储水桶空气过滤器一只。
F.终端过滤器（POU）Simfilter一只。
安装储水桶（如附图2）A．将储水桶装水1.将储水桶上方的安全把手（locking handle）拉起到垂直位置（A）2.以安全把手将储水桶（B）提起3.以逆时针方向旋转1/4圈，打开储水桶上方的盖子（C）4.将储水桶装满经处理过的水（如：蒸馏水、去离子水、R O水或E l i x TM水）后，重新安装回主机，并且确认已将安全把手放回原来的位置（水平位置）B．安装排气过滤器1. 在储水桶盖子内安装储水桶专用的排气过滤器（D）2. 以顺时针方向旋转1/4圈，将盖子关紧安装纯化管柱—Sim P ak（如附图3）1.按住locking tab键（A）向左方打开纯化管柱的locking handle2.将Simplicity TM主机上连接纯化管柱连接头上的2个保护盖（B）拔除3.再将Sim P ak纯化管柱上的2个保护盖（C）拔除，用几滴水润湿管柱接头上的O型圈4.把Sim P ak管柱推入使装载至主机上（D）5.确定纯化管柱的locking handle已卡紧，并就定位（E）。
纯化管柱的locking handle应该很容易扣上。
如果你必须施力才能推紧的话，这表示Sim P ak未完全就位。
Pak排气1.将连接头（如附图1、C）安装至POU（终端取水处）阀上（注：POU阀内含有O型环作为密封用，因此，请勿使用铁弗龙带缠绕在连接头的螺纹上。
）2.在出水口的下方放置容器3.将Simplicity TM给水阀门转钮扳下，打开阀门4.按下OPERATE键，使STANDBY模式切换至OPERATE模式5.当系统做出1-2公升的水后，再将阀门关闭6.若有可能，将系统留在STANDBY模式使经过一整夜的时间。
纯水制备操作说明书
纯水系统说明书YDRO1 -1 –EDIDate时间：2010/03Rev 版次： Rev.1上海远东制药机械有限公司第1章前言本纯化水系统是以石英砂过滤器、活性炭过滤器以及软化系统作为前处理，以目前国际上技术最先进、应用最为可靠的RO 反渗透膜作为一级除盐设备，终端采用了先进的连续电除盐（EDI）系统，组成了一套完整、高效率、高品质的纯水系统。
本系统主要去除水中的悬浮物、胶体、细菌、病毒、溶解盐、细菌内毒素和大部分有机物等杂质，系统脱盐率一般在97-99%以上，终端出水电阻率达到0.1uS/cm 。
连续电除盐装置每小时产水量（吨）一级反渗透装置上海远东制药机械有限公司在此，上海远东制药机械有限公司诚挚地感谢您的信任与支持，今后将本着一贯的服务热诚，为您提供完善的售后服务、详实的水质分析、理想的改善建议，帮助客户降低产品成本，提高产品品质。
第2章设备操作维护规范开始操作此系统前，请操作、维护人员务必详读本操作手册，使系统达到最佳使用状况，同时确保系统的正常运行及延长设备使用年限。
1.在试车时，所调整的流量、压力等值请勿随意变动，并请操作人员做好详细的运行参数记录，若发现有异常变化，请及时通知本公司派人处理；2.设备的维护、管理、记录请派专人负责，并妥善保管记录资料及所附的各项原始资料；3.本纯水系统为全自动运行控制，运行时只需将所有开关置于自动状态即可，也可手动操作或半自动操作；4.手动操作及半自动操作：开机时必须先打开阀门，再开启水泵，关机时必须先关闭水泵，再关闭阀门。
5.系统所用滤芯，当进出水压差大于1.5kg/cm2 （约1.5bar）时请及时更换；6.请贵公司保存原水水质分析表，并随时注意是否异常；7.各种腐蚀药品，请远离设备；8.请尽量避免设备遭受日晒、雨淋。
第3章单元操作说明3-1．全自动石英砂过滤器3-1.1 前言全自动石英砂过滤器，作为纯水系统的前端过滤,对于水中的颗粒、悬浮物等有很好的去除效果,一般作为R.O的前处理，以确保R.O系统的正常运行，亦可使用于离子交换塔之前,防止树脂污染及延长树脂使用年限。
纯水系统操作指导书
纯水系统操作指导书1000字纯水系统是目前生产和实验中广泛应用的一种水处理设备，它可以将自来水或其他来源的普通水转化为纯净水，适用于生产、医疗、实验等领域。
为了保证系统的正常运行和取得高质量的纯水，以下是操作指导书。
一、设备安装1. 纯水系统应与电源接地。
2. 吸水管和排水管应保持足够的通气，以避免设备温度过高和压力异常，导致设备无法正常运行。
3. 设备安装后，应检查水箱、过滤筒、紫外线灯等部件是否正常连接。
二、操作步骤1. 打开进水阀门，并通过进水管向水箱注水，注水后关闭进水阀门。
2. 开机，按下开关，进入系统工作状态。
3. 在设备运行过程中，设备的压力传感器将自动监测系统的压力，当压力到达设定值后，设备将停机，此时系统中的滤芯需要更换。
4. 在使用系统的过程中，应定期更换滤芯和紫外线灯，根据操作手册上的使用寿命及操作方法进行更换。
5. 定期使用水质测试仪，对水质进行检测，如果发现水质不合格需查找原因并及时处理。
三、注意事项1. 不得直接使用饮用水和化学试剂等物质进入系统中。
2. 不得在水箱中加入药品或化学试剂等物质，以避免污染水质。
3. 长时间不使用系统时，应关闭电源，并拆卸过滤筒并放置阴凉处进行保管。
4. 在操作过程中，注意观察设备的工作调节指示灯，及时排除故障。
5. 在操作结束后，应关闭电源，并清洗系统。
总之，正确的操作步骤和注意事项是保证纯水系统长期、稳定地运行工作的基础。
在使用过程中，应加强设备的日常维护和管理，使系统的使用寿命更长，并且保证纯水的质量符合主客户预期。
上海和泰仪器 实验室纯水系统 说明书
和泰实验室纯水系统Hitech Series Laboratory Water Purification System使用说明书Instruction Manual上海和泰仪器有限公司Shanghai Hitech Instruments Co.,Ltd 全国统一客户服务专线：400-600-6097您的需要我们创造!1. 前言尊敬的顾客：感谢您选择和泰Hitech -DW系列实验室纯水机。
您现在拥有的是在当今世界水处理领域中占据领先地位的水处理设备。
它所制造的纯水能够满足您实验对纯水的需求，确保水质长期稳定可靠。
在您安装使用纯水机之前，我们建议您仔细阅读本使用手册。
它能使您的安装合格、规范，保养合理，从而使本纯水机发挥出最大的效能，保证您得到源源不断、质量可靠的纯水。
如果您在安装使用过程中遇到任何困难，请与当地经销商或我公司工程师联系，我们的专业人员将竭诚为您服务！2. 系统配置表，技术参数及性能指标得。
**GPD＝加仑/天，1加仑＝3.8升。
***进水水质将影响纯水的质量和滤柱的寿命。
3. DW系列纯水机流程图4. 微电脑控制器功能说明接线方式技术指标1、工作方式：长时间连续工作2、工作电压：DC24V3、功耗：<1.5W(MAX)4、负载电流：3A5、工作温度：-20°C - +70°C6、负载电压：24VDC7、工作湿度：5%-85%5. 工作环境进水为：市政自来水适用水压：1.0-3.5 Kg/cm2适用水温：5-40℃进水TDS值：<200ppm(进水条件超过上述指标会影响预处理滤柱、RO膜和纯化柱的使用寿命。
) 电源：220V、50Hz功率：72W注意：(1). 机器的进水应为市政自来水，水质应符合《生活饮用水水质卫生规范》(2001)的要求。
(2). 环境温度过低时，RO膜的产水量会低于其理论产量。
实际产水量与理论产水量最大会有20％的偏差。
RO膜的理论产量是在：25℃，1atm环境下的指标；脱盐率是在：进水TDS＝200ppm，25℃，50psi和15%回收比下测得。
Millipore超纯水制造系统操作及保养手册
範例: 針對共同項目
M ILLI-Q Ac. Gr. Bio.Syn.A10
: 所有線條皆為柱狀。 （表示本功能是用在所有四種機型）
針對特殊系統: Gradient 所有圖形皆收錄在手冊最後之摺頁內。
系統各部分圖形 - 詳列於手冊之後
如何使用本手冊
本手冊是說明如何安裝耗材，使用及保養您的Milli-Q純水系統，雖然Milli-Q系統非常容易使用，但還 是強烈建議使用者徹底閱讀本手冊，可防止系統故障，可使使用者更熟悉所有功能及操作指令。
如何區分不同 Milli-Q 機型所涵蓋之不同應用內容
本操作手冊使用下述表記來區分。
如何使用本手冊 ......................................................................................................................................... 4 如何區分不同機型所針對的應用內容...................................................................................................... 4 警告標誌之意義.......................................................................................................................................... 4 前言 ............................................................................................................................................................. 5 一般說明...................................................................................................................................................... 5 系統運作原理.............................................................................................................................................. 5 系統結構流程圖.......................................................................................................................................... 6 規範.............................................................................................................................................................. 7 裝置 ............................................................................................................................................................. 9 系統裝置...................................................................................................................................................... 9 裝置方法.................................................................................................................................................... 10 MILLI-Q 系統操作 .................................................................................................................................. 13 操作的幾種模式........................................................................................................................................ 13 標準顯示.................................................................................................................................................... 13 附加顯示.................................................................................................................................................... 14 按鍵使用方法............................................................................................................................................ 15 MILLI-Q 系統啟動 ..................................................................................................................................... 20 保養 ........................................................................................................................................................... 21 例行保養時間表........................................................................................................................................ 21 例行保養.................................................................................................................................................... 22 疑難排除 ................................................................................................................................................... 25 疑難排除、訊息........................................................................................................................................ 25 警告號碼表................................................................................................................................................ 27
纯水系统操作手册
纯水系统操作手册一．工艺流程设备说明1．原水箱（T01）原水箱的容积为20m3,用来存储原水并提供一定缓冲。
2．原水泵（P01A/B）原水泵的作用是为处理系统提供足够的进水压力，维持预处理系统的正常运行。
其出力为30 m3/hr，扬程为4.4bar。
3．多介质过滤器（SF01）多介质过滤器的作用是除去原水中的悬浮物，降低原水的浊度。
4．活性炭过滤器（ACF01）活性炭过滤器主要作用是除去水中的余氯、色度、有机物及胶体硅等。
保证进入反渗透系统的水质，5．5μm过滤器（F01）5μm过滤器的作用是截留来自预处理系统产水中大于5μm的颗粒进入反渗透系统。
这种颗粒经高压泵加速后可能击穿反渗透膜组件，造成大量漏盐的情况，同时划伤高压泵的叶轮。
过滤器中的滤元位可更换滤芯，过滤器进出口压差大于设定值时应当更换。
6．RO高压泵（P02A/B）高压泵为反渗透膜组提供足够的进水压力，维持反渗透膜的正常运行。
其出口力为30m3/hr，扬程16.8bar。
7．反渗透系统（R001）反渗透系统是本流程中最重要的脱盐装置，它具有极高的脱盐能力。
本反渗透系统采用三段配置。
反渗透系统包括反渗透膜组、控制仪表几个部分。
现分述如下：1)反渗透膜组反渗透膜组是整个脱盐系统的执行机构。
它主要负责脱除水中的可溶性盐份、胶体、有机物及微生物，使出水达到要求。
反渗透装置的膜组件采用世界上先进的苦咸水复合膜，长度为1.0米。
系统设置反渗透膜组，正常出力为20 m3/hr，反渗透回收率设计为67％，反渗透膜组采用三段串联排列，第一段由3根安装4芯1米长膜元件的压力容器组成，第二段由2根安装4芯1米长膜元件的压力容器组成，第三段由1根安装4芯1米长膜元件的压力容器组成。
第一段的浓水直接进入第二段作为第二段的进水，而第二段的浓水则直接进入第三段作为第三段的进水。
2）为了控制、监测反渗透系统正常运行，在原水进入反渗透之前，还配置了一系列的在线检测仪表。
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多介质滤器填料
视镜位置 进气位置
无烟煤
石英砂 d0.4~5mm
鹅卵石 d5~25mm
多介质滤器阀组
运行 排水 气洗 反洗 正洗 正洗进水阀 反洗排水阀 进水阀
出水阀 反洗进水阀 正洗排水阀 进气阀
原水泵 反洗泵 罗茨风机
活性碳 (Activated Carbon Filter)
ACF是利用活性碳的物理吸著組織，將水中的游離氯氣、苯 酚、亞硝酸、硝酸、鐵等不純物除去，將進入過濾水槽中的 回收水所包含的有機物(TOC)分解為目的。
純水系統技術手冊 下
砂濾塔 (MULTI MEDIA FILTER)
在MMF設備中，是用濾材(Anthracite)將原水中的懸濁 粒子或膠質粒子等微細的不純物除去。一般水中的懸濁 粒子或膠質粒子等在粒子表面為負電荷，互相排斥而保 持安定分散的狀態。針對此，添加帶有相反電荷的PAC 已中和電荷，將懸濁粒子等結合，形成群狀，由 Anthracite層將之捕捉住。
0.35~0.55 g/cm3 0.27~0.36 cal/g℃ 0.56~1.20 cm3/g 600~1600 m2/g 15~25 0A 100~140 ℃ 150 ℃
活性碳之壽命
一、自由餘氯洩漏即壽命終止
二、自由餘氯達0.1ppm時,會造成RO膜水解
一.拌和
影響活性碳吸附之因素
l 吸附速率可受膜擴散或孔擴散之控制，視系統之拌合速度而定 l 均流程度越佳，效果越好
2.顆粒狀活性碳(GAC) 指粒徑大於40 mesh(0.420mm)，主要由木屑、褐煤、
泥碳或椰 子殼經乾餾、熱解所製成。由於表面積較小，吸附
力無PAC強， 但因顆粒較大，在管徑中不易阻塞，可減低壓力損
失。
活性碳之一般性質
填充密度 比熱 孔隙體積 表面積 平均孔隙直徑 再生溫度(蒸氣) 最高容許溫度
l 流通速度適中
二.活性碳之性質
l 活性碳之總吸附能力與其總表面積有關
l 粒徑大小對總表面積並無太大影響
l 大部份表面積皆在顆粒之孔隙內。
三.被吸附物之溶度
l 吸附發生時，分孔應與溶劑分離，並與碳表面接觸。
四.被吸附分子之大小
l 若孔隙大小剛可容許分子進入，則吸附力應屬最強。
五.PH
l PH對吸附程度有極大之影響，原因為氫離子本身被吸附之能力 極強。
活性炭过滤的填料
视镜位置
活性炭
鹅卵石 d5~25mm
活性炭滤器阀组
运行 反洗 正洗 正洗进水阀 反洗排水阀B3T 兩床三塔 離子交換
Ion Exchanger(Include:Cation Exchanger,Degasifier,Anion Exchanger)
‧Cation Tower─由弱酸性、強酸性陽離子交換樹脂組成，將水中Ca2+、 、Mg2+、Na+吸附及去除，放出與吸附離子等量的H+
。
‧Degasifier─讓Cation Tower 處理水，中CO2氣體化而排出。
‧Anion Tower─由弱鹼性、強鹼性陰離子交換樹脂組成，將Degasifier水 中SO42-、NO3-、Cl-、殘存CO2、Silica等吸附及去除， 放出與吸附離子等量的OH-。
活性碳之功用特性
一、去除流體中有機物及碳氫化合物
二二、純種水常製使程用主之要去活除性自碳來類水型中自由餘氯、三鹵甲烷、重金屬等物質 三、活性碳可由多種不同含碳物製造,包括煤、木材、椰 子殼1及.粉泥末煤狀等活。性碳(PAC)
活性碳經磨碎篩分離後，其顆粒粒徑小於325 mesh(0.043mm)
者約占60~75%。
濾材:級配,石英砂,無煙煤
用途:初步過濾,去除20u以上的雜質
砂濾池的目的在去除較大的粒子（.. 10-50微米）、懸浮物，以及未沉降的絮狀 物。它屬於深層過濾（depth filtration）的一種，被去除的粒子可能在砂石表層 被 阻隔，也可能在進入內層時被陷住。多媒體（multimedia）砂濾池則是利用多種 不同種類，大小密度各異的小石塊或砂子，將大顆但較輕的排在上層，較小顆且 重的排下層，如此可減少操作過程中壓力降太大而阻礙水流，並方便定期的逆洗 （back wash）以除去污物
加氯的主要目的在去除細菌等微生物，因微生物與一般雜質不同之處在於它 會自我繁殖，只要有一隻細菌就可以在短時間內繁殖變成千萬隻，因此必須對它 作控制，以免影響水質以及後續的淨化設備。加氯是許多種殺死微生物的方法中 最便宜、高效率的方式，一般以添加次氯酸鈉（.. NaOCl）或二水合次氯酸鈣 （Ca(OCl) 2H2O）最常見，在酸性水溶液（PH<7）時效果最佳。連續投藥的劑 量約.. 0.2-2ppm，瞬間劑量（shock treatment）是.. 100-200ppm。
加氯雖然可有效控制微生物的生長，但是有一些副作用，例如添加的藥劑溶 於水中變成離子，勢必要在後續處理中去除；殘餘的氯是強氧化劑，會對後續的 設備（如.. RO薄膜、離子交換樹脂）造成破壞；氯還可能和水中的有機物生成 含
多介质过滤器(砂濾)
• 位置：纯水房。 • 原理：多介质过滤 器利用无烟煤、石 英砂滤料的吸咐和 机械筛网作用，截 留水中的悬浮杂质， 降低水的浊度。 • 反洗：截留物的积 累，会使多介质过 滤器的进出水压差 增加，出水水质会 因污物穿透而下降，
l 吸附程序之最佳PH，應由實驗求得。
六.溫度
l 溫度增加時，吸附速率也將增加
l 低溫度情況下，吸附程度會增加。
活性炭滤器
• 位置：纯水房。 • 原理：活性炭过滤 器利用活性炭的吸 咐作用，去除水中 的氧化性物质（如 游离氯）及部分有 机物。 • 反洗：碳粉的泄漏 和截留物的积累， 会使活性炭滤器的 进出水压差增加， 需要定期反洗以去
活性碳是很好的吸附劑，具有多孔性，大的比表面積（.. ~1000m2/g）的特性， 大部分半導體界用的活性碳為顆粒狀，由椰子殼碳化，1000℃ 活化而成，並須經 輻射照射成無菌狀態。它可以吸附有機物，是前處理中降低.. TOC的有效方法。 同時它也會吸附殘留的氯，間接保護.. RO等設備。
在活性碳之後往往跟隨著一種高分子材質的濾膜，孔徑約.. 15μm，可將活