高纯氢氟酸的介绍与生产
氢氟酸生产工艺

氢氟酸生产工艺氢氟酸(HF)是一种无色透明的液体,在常温下有强烈的刺激性气味,能与水蒸气形成白色的烟雾。
其密度为1.15g/cm,沸点为19.5℃,熔点为-83.6℃。
氢氟酸具有强酸性,能与大多数金属发生反应,与玻璃、石英等硅酸盐类物质反应产生氟化物。
氢氟酸的强酸性和强腐蚀性使得其在生产、储存、运输等过程中需要特别注意安全。
二、氢氟酸的生产原理氢氟酸的生产原理主要是利用氟化物与硫酸反应生成氢氟酸。
反应方程式如下:H2SO4 + NaF → NaHSO4 + HF其中,NaF为氟化钠。
反应中产生的氢氟酸与反应溶液中的水分子相互作用,形成氢氟酸水溶液。
氢氟酸制备过程中,反应物质的纯度对产品的质量影响较大,因此需要对原料进行精细处理。
三、氢氟酸的生产工艺氢氟酸的生产工艺主要包括原料处理、反应过程、分离提纯、废气处理等环节。
1. 原料处理氢氟酸的原料主要是硫酸和氟化物。
硫酸通常以浓硫酸形式使用,而氟化物则需要进行精细处理。
一般采用氢氟酸水溶液和氢氟酸盐的混合物作为氟化物原料,其中氢氟酸水溶液需要进行脱色处理,以去除杂质。
2. 反应过程氢氟酸的生产反应是在反应釜中进行的。
反应釜通常采用碳钢或不锈钢制成,内壁需要进行特殊防腐处理。
反应釜内加入硫酸和氟化物原料,通过加热使其反应生成氢氟酸。
反应过程需要控制反应温度、反应时间、反应物料的搅拌等因素,以保证反应的充分进行。
3. 分离提纯反应产生的氢氟酸水溶液需要进行分离提纯。
常用的分离方法有蒸馏法、萃取法和结晶法等。
其中,蒸馏法是最常用的分离方法。
在蒸馏过程中,需要控制温度和压力,以保证产品的纯度。
4. 废气处理氢氟酸生产过程中,会产生大量的废气,其中含有氟化氢等有害物质。
废气处理方法主要有吸收法、氧化法和吸附法等。
吸收法是最常用的废气处理方法。
在吸收过程中,废气通过饱和的碱液或石灰水,将氟化氢等有害物质吸收掉,达到净化效果。
四、氢氟酸生产设备选型氢氟酸的生产设备主要包括反应釜、蒸馏塔、吸收塔、废气处理设备等。
高纯氢氟酸的介绍与生产

高纯氢氟酸的介绍与生产一、概述高纯氢氟酸英文名 hydrofluoric acid ,分子式 HF ,分子量 20.01。
为无色透明液体,相对密度 1.15~1.18,沸点 112.2℃,在空气中发烟,有刺激性气味,剧毒。
能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成各种盐类。
腐蚀性极强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。
易溶于水、醇,难溶于其他有机溶剂。
高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用,主要应用于集成电路(IC )和超大规模集成电路(VLSI )芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。
目前,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其它方面用量较少。
二、高纯氢氟酸的分类国际SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International )标准化组织根据高纯试剂在世界范围内的实际发展情况,按品种进行分类,每个品种归并为一个指导性的标准,其中包括多个用于不同工艺技术的等级,具体见下表1。
表1 SEMI 国际标准等级国内有的高纯试剂生产企业拥有自己的企业标准,其中,BV 系列标准比较常见,该标准共分为七个等级。
如:北京化学试剂用的就是BV 系列标准,具体见下表2。
表2 国内高纯试剂常用规格品级尘埃粒径尘埃粒子数各金属杂质含量适用于半导体ICSEMI 标准C1 (Grade1)C7 (Grade2)C8 (Grade3)C12 (Grade4)(Grade5)C11(VLSIGrade)金属杂质≤1ppm ≤10 ppb ≤1 ppb ≤0.1 ppb ≤0.01 ppb≤50 ppb 控制粒径μm ≥1.0≥0.5≥0.5≤0.2/≥0.5颗粒,个/mL≤25≤25≤5//≤250适应范围适用于>1.2μmIC 技术的制作适用于0.8-1.2μmIC 技术的制作适用于0.2-0.6μmIC 技术的制作适用于0.09-0.2μmIC 技术的制作适用于<0.09μmIC 技术的制作适用于0.8-1.2μmIC 技术的制作(非金属杂质含量)低尘埃5~10μm>2700个/100ml——≥5CMOS级≥5μm≤2700个/100ml≤500ppb(<1ppb)≥3μm(适合中小规模集成电路5μm技术用)BV—Ⅰ级≥2μm≤300个/100ml1~n×10ppb >2μm(属于标准电子级)(相当于ELSS级)BV—Ⅱ级≥2μm≤200个/100ml1~n×10ppb ≥1.2μm(属于标准电子级EL级) (相当于ELSSs级)BV—Ⅲ级≥0.5μm≤25个/ml≤10ppb 0.8~1.2μm(相当于SEMI-C7)(属于超大规模集成电路级VLSI或ULSI级)BV—Ⅳ级≥0.5μm≤5个/ml≤1ppb0.2~0.6μm BV—Ⅴ级≥0.2μm TBD≤0.1ppb0.09~0.2μm 目前,因各微电子生产企业对高纯氢氟酸要求的标准不同,可将其划分为四个档次:①低档产品,用于>1.2μmIC工艺技术的制作;②中低档产品,适用于0.8~1.2μmIC工艺技术的制作;③中高档产品,适用于0.2~0.6μmIC工艺技术的制作;④高档产品,适用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工艺技术的制作。
氢氟酸研究报告

氢氟酸研究报告氢氟酸是一种无色、刺激性气味的无机强酸。
它具有极强的腐蚀性,能够溶解玻璃、金属和其他许多物质。
氢氟酸不仅用于石油化工、电子、制药和建筑等领域,还是制备氟化物和高纯度金属的重要原料。
本次研究将重点探讨氢氟酸的化学和物理性质、制备方法和应用领域等方面。
一、氢氟酸的化学和物理性质氢氟酸的化学式为HF,相对分子质量为20.01。
它是一种无色透明液体,呈刺激性气味。
在空气中易吸湿,很容易挥发成为有毒的气体。
氢氟酸具有极强的腐蚀性,可以与许多金属、玻璃、石膏、水泥等材料反应,形成氟化物盐和水。
氢氟酸性质活泼,可以溶解包括并不仅限于金属、陶瓷和岩石等在内的大多数物质。
由于其具有较强的电负性和极短的吸附距离,所以它表现出极好的钝化和溶液反应性。
二、氢氟酸的制备方法1.草酸和氟化钙反应制备将草酸氢根与氟化钙溶液直接混合,加热至60℃左右,使反应进行。
反应后,将混合液过滤,过滤液就是氢氟酸水溶液。
随后,可以通过蒸馏提纯得到高纯度氢氟酸。
将三氯化铝和氢氟酸混合,加热至70℃左右,使反应进行。
反应后,将混合液冷却至室温,加入水稀释,生成氢氟酸水溶液。
该法可制备出相对纯度较高的氢氟酸,但反应后的产物中含有三氯化铝,需要进一步提纯。
三、氢氟酸的应用氢氟酸广泛应用于石油化工、电子、制药和建筑等领域,是制备氟化物和高纯度金属的重要原料。
1.石油化工氢氟酸可用于制备许多有机化合物,如氟化烃、氟化脂肪烃等,广泛应用于石油化工中的催化剂、防腐剂和合成材料等。
2.电子氢氟酸是电子制造业中重要的刻蚀剂。
在制造集成电路(IC)和光纤等电子产品时,需要将一些区域进行刻蚀和加工。
而氢氟酸能够对铝、硅、二氧化硅等材料进行刻蚀,是该领域不可或缺的化学品。
3.制药氢氟酸在制药业中也有广泛应用。
它可以制备许多重要的有机化合物,如试制核酸、氟尿嘧啶、氟米卡唑等药物,广泛应用于治疗糖尿病、癌症和传染病等方面。
4.建筑氢氟酸可用于清洁建筑材料表面,除去污垢和污染物。
氢氟酸生产工艺

氢氟酸生产工艺氢氟酸是一种极具腐蚀性的化学品,广泛应用于冶金、电子、化工等领域。
其生产工艺一直是工业界关注的焦点,本文将从氢氟酸的性质、生产工艺及安全措施等方面进行详细介绍。
一、氢氟酸的性质氢氟酸,化学式为HF,是一种无色透明的液体,具有极强的腐蚀性和刺激性。
其密度为1.15g/cm,沸点为19.5℃,熔点为-83.6℃。
氢氟酸可以溶解许多金属和非金属,如铁、铜、铝、锌、镁、钙、石灰石、玻璃等,且与硫酸、盐酸等强酸发生剧烈反应。
二、氢氟酸的生产工艺氢氟酸的生产工艺主要有湿法和干法两种。
1. 湿法生产工艺湿法生产氢氟酸的方法是将氢氧化钙与氢氟酸混合后反应,生成氟化钙和水。
反应方程式为:Ca(OH)2 + 2HF → CaF2 + 2H2O该反应需要在一定的温度和压力下进行,通常在160℃和2.5MPa 的条件下进行。
由于反应放热剧烈,因此需要加入冷却水进行控制。
反应结束后,将产生的氟化钙和水通过过滤分离,再用浓盐酸进行回收,得到纯度较高的氢氟酸。
2. 干法生产工艺干法生产氢氟酸的方法是将氟化钙和硫酸混合后反应,生成氢氟酸和二氧化硅。
反应方程式为:CaF2 + H2SO4 → 2HF + CaSO4该反应需要在高温下进行,通常在450℃左右进行。
反应结束后,将产生的氢氟酸通过冷却器进行冷却,得到液体氢氟酸。
三、氢氟酸生产的安全措施由于氢氟酸的极强腐蚀性和刺激性,生产过程中需要采取一系列安全措施。
1. 严格控制生产过程中的温度和压力,避免反应过程失控。
2. 生产过程中应加入足量的冷却水进行控制,避免反应放热过程过度。
3. 生产过程中必须佩戴防护服、呼吸器等防护设备,同时要求生产工人必须接受专业的培训和指导。
4. 生产过程中应严格控制氢氟酸的浓度和纯度,避免产生毒气等危险物质。
5. 生产车间应设置足够的通风设备,必要时应进行空气监测和排风处理。
四、结语氢氟酸是一种极具腐蚀性和刺激性的化学品,其生产工艺需要采取严格的安全措施。
电子级氢氟酸生产工艺和质量指标介绍

电子级氢氟酸生产工艺和质量指标介绍电子级(高纯)氢氟酸是一种重要的化工原料,在半导体、电子、光学和其他精细化工领域有广泛应用。
其主要用途是用于刻蚀硅片和清洗半导体材料。
电子级(高纯)氢氟酸的生产工艺一般包括氟化矾石法和电解法两种。
氟化矾石法是将氢氟酸的原料矿石矾石与浓硫酸进行反应,生成氟化铝,然后用热蒸汽进行气化,生成气态氟化氢。
接下来,将气态氟化氢与空气中的水蒸气反应,生成氢氟酸。
这种方法可获得较高纯度的氢氟酸,但反应过程中需要高温和高压,工艺复杂,对设备要求较高。
电解法是将电解质性透明盐岩溶解在水中,经过电解,阳极会产生氧气,而阴极则产生氢气和氟气,从而通过电解生成氢氟酸。
这种方法的优点是工艺相对简单、操作方便,并且可连续生产。
但由于电解过程中存在多种杂质和杂质侵入的问题,所以其产出的氢氟酸需要经过进一步的纯化处理,以获得高纯度的电子级氢氟酸。
电子级(高纯)氢氟酸的质量指标主要包括纯度、水分、杂质和金属离子含量等。
一般来说,电子级(高纯)氢氟酸的纯度要求在99.999%以上,水分含量应控制在100ppm以下,杂质含量如氯离子、硫酸根离子等应低于1ppm。
金属离子如铁离子、铜离子等也应低于1ppm。
此外,颜色应无色透明、无悬浮物。
为了确保电子级(高纯)氢氟酸的质量,需要对生产过程进行严格的控制和监测。
比如,在氟化矾石法中,需要控制反应温度和压力,确保反应的高效进行,同时还要进行杂质的去除和纯化处理。
在电解法中,需要选用合适的电解质以及控制电化学条件,以减少杂质的产生。
而在后续的纯化过程中,常采用蒸馏、吸附等技术,去除残余的杂质和离子。
总而言之,电子级(高纯)氢氟酸的生产工艺和质量控制对于实现高纯度和稳定质量至关重要。
只有通过科学合理的工艺流程和严格的质量控制,才能生产出符合要求的电子级(高纯)氢氟酸,以满足精细化工产业的需求。
氢氟酸制备

氢氟酸制备
氢氟酸是一种重要的有机化学原料,主要用作有机合成标准试剂、电解液以及系列有
机合成料中的活性催化剂和添加剂。
目前,氢氟酸已被广泛用于制造眼镜片、药物合成、
氟碳涂料、橡胶聚合物等。
在氢氟酸制备上,通常采用氟硫酸法或同位素法进行分离精馏。
氟硫酸法是最常用的氢氟酸制取方法,它的基本原理是将氟硫酸还原灼烧后,其中的
氢氟酸分离出来,然后经过除水和净化后,再经过真空精馏及分子筛蒸馏最后得出高纯氢
氟酸,但这种方法的效率低、成本高,由于氟硫酸的有毒性,在该过程中需要严格控制温度,否则容易形成有毒的中间产物,而该法一般只能得到比较低纯度(30%~40%)的氢氟酸。
同位素法是一种利用放射性同位素原理对氢氟酸进行分离精馏的技术,是由英国超级
分离公司开发的用于制备氢氟酸的技术。
这种方法的特点是利用同位素通过放射吸收,使
氢氟酸分子隔离了分离,有效防止混合应变形。
采用同位素法可以出产高纯度(>99.999%)的氢氟酸,同时可以无毒将氢氟酸从低纯度环境源中提取出来,是当今最受欢迎的一种氢
氟酸制备工艺。
从毒性来看,采用同位素法制备氢氟酸比氟硫酸法造出更安全的氢氟酸。
由于采用同
位素法技术,在制备过程中不会产生有毒物质,而采用氟硫酸法则需要严格控制温度,容
易产生有毒的中间产物,且温度不当也会降低产品的纯度。
总而言之,采用同位素法制备氢氟酸具有很多优势,可以出产出更高纯度的氢氟酸,
具有更高的可靠性;采用同位素法制备的氢氟酸毒性更低,制备过程更安全,而且成本更低;另外,该工艺还可以从低纯度环境源中提取出氢氟酸,使能源、原料以及废弃物得到
更好的回收利用。
氢氟酸生产工艺

氢氟酸生产工艺氢氟酸是一种无色透明的液体,具有强烈的腐蚀性和毒性。
它是一种重要的化工原料,广泛应用于制药、电子、冶金、纺织、玻璃等行业。
本文将介绍氢氟酸的生产工艺及其相关的注意事项。
一、氢氟酸的生产工艺氢氟酸的生产工艺主要有以下几种:1. 湿法生产工艺湿法生产工艺是氢氟酸的传统生产工艺,它通过氢氟酸的水解反应来制备氢氟酸。
具体的生产过程如下:(1)将氢氟酸气体通入水中,反应生成氢氟酸溶液;(2)反应结束后,将氢氟酸溶液过滤,去除杂质;(3)将氢氟酸溶液蒸发至一定浓度,得到纯度较高的氢氟酸。
2. 干法生产工艺干法生产工艺是一种新型的氢氟酸生产工艺,它是通过氟化铝和硫酸的反应来制备氢氟酸。
具体的生产过程如下:(1)将氟化铝和硫酸混合加热,产生气体;(2)将产生的气体冷却,生成氢氟酸。
3. 气相法生产工艺气相法生产工艺是一种高效的氢氟酸生产工艺,它是通过氟化氢和氟化铝的反应来制备氢氟酸。
具体的生产过程如下:(1)将氟化氢和氟化铝混合后,在高压下加热,产生气体;(2)将产生的气体冷却,生成氢氟酸。
二、氢氟酸生产过程中的注意事项1. 安全生产氢氟酸是一种具有强腐蚀性和毒性的化学品,生产过程中必须严格遵守安全操作规程,做好防护措施,确保生产过程的安全。
2. 环境保护氢氟酸生产过程中会产生大量的废水和废气,如果不加以处理就会对环境造成严重污染。
因此,在生产过程中必须严格遵守环保法规,做好废水和废气的处理工作,保护周围环境。
3. 质量控制氢氟酸是一种重要的化工原料,对其质量要求非常高。
在生产过程中必须严格控制各项工艺参数,确保生产的氢氟酸质量符合标准。
4. 能源消耗氢氟酸生产过程中需要大量的能源,如果能源消耗过大,不仅会增加生产成本,还会对环境造成影响。
因此,在生产过程中必须尽可能降低能源消耗,提高生产效率。
总之,氢氟酸是一种重要的化工原料,其生产工艺需要严格控制各项参数,确保生产的氢氟酸质量符合标准,同时还需要注重安全生产、环境保护和能源消耗等方面的问题,才能实现氢氟酸的高效生产和可持续发展。
国内外超净高纯氢氟酸产能调研

国内外超净高纯氢氟酸产能调研
内容涵盖相关公司、厂家的产品及产能情况、价格变化、供应情况等内容,一般不低于1500字
一、概述
超净氢氟酸(HFS)是一种有机氢氟化合物,是重要的工业原料,用于制备消毒剂、精细化学品、助剂、阻燃剂、防腐剂和农药等,能够满足消费者的多样化需求。
因此,超净氢氟酸产能的调研一直是重要的课题。
根据国家统计局的数据,2023年中国超净氢氟酸产能达到了30.1万吨,而2023年的产能达到了33.4万吨。
二、全球具备超净氢氟酸产能的厂家
1、国内
当前,国内超净氢氟酸的产能主要集中在江苏、山东、湖北等地,具体厂家有:
(1)中石油天然气岛湖北分公司:致力于生产高纯度超净氢氟酸,其产品的纯度达到98.5%,该厂家目前的月产能达到3.5万吨。
(2)江苏石化南京化学厂:主要生产高纯度超净氢氟酸,其产品的纯度达到99.0%,该厂家的月产能达到3.2万吨。
(3)广西河池化工有限责任公司:致力于生产高纯度超净氢氟酸,其产品纯度达到98.0%,该厂家的月产能达到2.5万吨。
2、国外
在国外,主要有美国、德国、英国等几个国家具备超净氢氟酸产能。
具体厂家有:
(1)美国百特制药公司:主要生产高纯度超净氢氟酸,其产品纯度达到99.5%,该厂。
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高纯氢氟酸的介绍与生产
一、概述
高纯氢氟酸英文名 hydrofluoric acid,分子式 HF,分子量 20.01。
为无色透明液体,相对密度 1.15~1.18,沸点112.2℃,在空气中发烟,有刺激性气味,剧毒。
能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成各种盐类。
腐蚀性极强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。
易溶于水、醇,难溶于其他有机溶剂。
高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用,主要应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。
目前,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其它方面用量较少。
二、高纯氢氟酸的分类
国际SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)标准化组织根据高纯试剂在世界范围内的实际发展情况,按品种进行分类,每个品种归并为一个指导性的标准,其中包括多个用于不同工艺技术的等级,具体见下表1。
表1 SEMI国际标准等级
国内有的高纯试剂生产企业拥有自己的企业标准,其中,BV 系列标准比较常见,该标准共分为七个等级。
如:北京化学试剂用的就是BV系列标准,具体见下表2。
表2 国内高纯试剂常用规格
目前,因各微电子生产企业对高纯氢氟酸要求的标准不同,可将其划分为四个档次:①低档产品,用于>1.2μmIC工艺技术的制作;②中低档产品,适用于0.8~1.2μmIC工艺技术的制作;③中高档产品,适用于0.2~0.6μmIC工艺技术的制作;④高档产品,适用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工艺技术的制作。
三、制备方法与工艺
目前国内外制备高纯氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、气体吸收等技术,这些提纯技术各有特性,各有所长。
有的提纯技术如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品,而有的提纯技术如气体吸收技术可以用于大规模的生产。
因此,选择工艺技术路线时应视实际情况而定。
另外,由于氢氟酸具有强腐蚀性,采用蒸馏工艺时所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。
高纯氢氟酸生产装置流程布置要以垂直流向为主,原料无水氢氟酸和高纯水在上层,氢氟酸的提纯在中层,过滤、包装及储存在底层。
因为原料(无水氢氟酸和高纯水)与中间产物可以依靠重力自上而下流动,避免用泵输送,节省能耗,降低生产成本。
下面介绍一种精馏、吸收相结合的生产高纯氢氟酸的生产工艺。
将无水氢氟酸经过化学预处理后通过给料泵进入高位槽,再通过流量计控制进入精馏塔,通过精馏操作得到精制后的氟化氢气体,并将其送入吸收塔,精馏塔残液定期排放并制成工业级氢氟酸。
在吸收塔中,通过加入经过计量后的高纯水,使精馏后的氟化氢气形成高纯氢氟酸,并且可采用控制喷淋密度、气液比等方法使高纯氢氟酸进一步纯化,得到粗产品。
随后再经过超净过滤工序,使产品进一步混合和得到过滤,保证产品的颗粒合格。
最后在净化室内进行包装得到最
终产品——高纯氢氟酸。
具体工艺流程见下图1。
图1:高纯氢氟酸工艺流程图
AHF
杂质砷是高纯氢氟酸中需要控制的一种重要杂质指标,在氢氟酸原料中砷一般以三价态形式存在,而且AsF3与氢氟酸的沸点相差不大,所以仅靠精馏对其分离的效果不会十分理想。
为去除杂质砷,可在精馏过程中,加入适量的强氧化剂(如高锰酸盐等)将三价态的砷进行氧化,使其在精馏过程中沉积于塔釜中而被除去。
四、配套设施
1、分析控制与产品检测
随着微电子行业制作技术的不断发展,对高纯氢氟酸的要求也越来越高——所需控制的颗粒粒径越来越小,金属及非金属杂质含量的要求越来越低(杂质都是微量甚至痕量即ppm甚至ppb/ppt/ppc级),这就要求生产企业须具有与之相匹配的分析控制与产品检测的能力。
然而,这些分析控制和产品检测设备价格昂贵,操作技术专业性强且要求较高,一般中小型企业很难承担和管理,因此,最终产品一般都是通过权威测试中心鉴定或直接交给用户试使用与鉴定,以得到客户认可。
制备高纯氢氟酸所应有的测试仪器如下:(1)电感耦合等离子高频质谱分析
仪(ICP—MS);(2)电感耦合等离子原子发射分析仪(IeP—AES);(3)原子吸收分光光度计;(4)氧原子发生无焰原子吸收分析仪;(5)离子色谱分析仪;(6)激光散射液体微粒计数器;(7)水表而杂质分析系统;(8)原予间力显微镜;(9)光学显微镜微粒计数器;(10)扫描电子显微镜;(11)光学膜厚测定和表面仿形仪;(12)表面张力测定仪;(13)空气中尘埃微粒测定仪;(14)水电阻率测定仪。
2、高纯水
高纯水是生产高纯氢氟酸中不可缺少的原料,也是包装容器的清洗剂,其纯度将直接影响到高纯氢氟酸的产品质量。
高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒,其它辅助指标有可氧化的总碳量(TOC)、细菌、被溶解的二氧化硅、离子浓度等。
目前,高纯水的生产工艺较为成熟,较常见是先通过离子交换柱和微过滤器,得到普通纯水,然后再采用反渗透、电渗析等各类膜技术进一步处理,最后配合杀菌和超微过滤便可得到高纯水。
3、包装
高纯氢氟酸具有强腐蚀性,而且由于在IC制作行业使用质量要求较高,所以对包装技术的要求较为严格。
首先,包装容器必须具有防腐蚀性,其次要防止产品出现二次污染。
目前最广泛使用的材料是高密度聚乙烯(HDPE)、四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)。
4、环境
厂房、分析室、仓库等环境是封闭的,而且要达到一定的洁净度,一般为10000级(随高纯氢氟酸产品等级而提高);还要保持一定的温度(22.2±2.5℃,具体操作部位控制在22.2±0.11℃)、湿度(40%左右,不得低于30%,不得高于50%)。