晶圆(Wafer) 制程工艺学习
晶圆制作工艺流程
晶圆制作工艺流程晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。
硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式广泛存在于岩石、砂砾中，硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤：硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。
首先是硅提纯，将沙石原料放入一个温度约为2000 ℃，并且有碳源存在的电弧熔炉中，在高温下，碳和沙石中的二氧化硅进行化学反应（碳与氧结合，剩下硅），得到纯度约为98%的纯硅，又称作冶金级硅，这对微电子器件来说不够纯，因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度非常敏感，因此对冶金级硅进行进一步提纯：将粉碎的冶金级硅与气态的氯化氢进行氯化反应，生成液态的硅烷，然后通过蒸馏和化学还原工艺，得到了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999%，成为电子级硅。
接下来是单晶硅生长，最常用的方法叫直拉法。
如下图所示，高纯度的多晶硅放在石英坩埚中，并用外面围绕着的石墨加热器不断加热，温度维持在大约1400 ℃，炉中的空气通常是惰性气体，使多晶硅熔化，同时又不会产生不需要的化学反应。
为了形成单晶硅，还需要控制晶体的方向：坩埚带着多晶硅熔化物在旋转，把一颗籽晶浸入其中，并且由拉制棒带着籽晶作反方向旋转，同时慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。
熔化的多晶硅会粘在籽晶的底端，按籽晶晶格排列的方向不断地生长上去。
因此所生长的晶体的方向性是由籽晶所决定的，在其被拉出和冷却后就生长成了与籽晶内部晶格方向相同的单晶硅棒。
用直拉法生长后，单晶棒将按适当的尺寸进行切割，然后进行研磨，将凹凸的切痕磨掉，再用化学机械抛光工艺使其至少一面光滑如镜，晶圆片制造就完成了。
单晶硅棒的直径是由籽晶拉出的速度和旋转速度决定的，一般来说，上拉速率越慢，生长的单晶硅棒直径越大。
而切出的晶圆片的厚度与直径有关，虽然半导体器件的制备只在晶圆的顶部几微米的范围内完成，但是晶圆的厚度一般要达到1 mm，才能保证足够的机械应力支撑，因此晶圆的厚度会随直径的增长而增长。
晶圆制备的九个工艺步骤
晶圆制备的九个工艺步骤嘿，朋友们！今天咱就来讲讲晶圆制备的那九个工艺步骤。
你可别小瞧这晶圆制备啊，就好比盖房子，那每一步都得精心细致，稍有差错可就全白费啦！首先就是要选好材料，这就像做菜选食材一样重要。
得挑那些高质量的，不然怎么能做出好的晶圆呢！然后呢，要进行清洗，把那些杂质啥的都洗掉，让晶圆清清爽爽的。
接下来就是热处理啦，这就像是给晶圆来个“桑拿浴”，让它变得更结实。
再之后就是光刻，这可神奇了，就像给晶圆画画一样，把那些精细的图案都印上去。
刻蚀就像是雕琢，把不需要的部分去掉，留下精华。
然后是掺杂，给晶圆加点“调料”，让它具备特殊的性能。
薄膜沉积呢，就像给晶圆穿上一层“衣服”，起到保护和功能性的作用。
平坦化就像是给地面磨平一样，让晶圆表面更光滑。
最后一步就是检查啦，这可不能马虎，得仔仔细细地看，有一点问题都不行啊！你想想，这九个步骤，哪一个不重要？哪一个能随便应付？这就跟人成长一样，每一步都得稳稳当当的。
要是中间出了岔子，那可就麻烦了。
咱就说，要是清洗不干净，那后面的步骤能做好吗？肯定不行啊！就好比脸上有脏东西没洗干净就化妆，那能好看吗？所以啊，这晶圆制备的九个工艺步骤，那都是环环相扣，缺一不可。
每一个从事这行的人都得打起十二分的精神，认真对待每一个步骤。
咱也得明白，科技的发展就是这样，一点点积累，一点点进步。
这晶圆制备虽然听起来很专业很复杂，但只要咱认真去了解，其实也不难理解嘛。
总之，这九个工艺步骤就是晶圆制备的关键，它们共同铸就了半导体行业的坚实基础。
让我们一起为这些默默付出的人们点赞，为科技的进步欢呼吧！。
晶圆制造工艺流程9个步骤
晶圆制造工艺流程9个步骤嘿，朋友们！今天咱来聊聊晶圆制造工艺流程的那9 个神奇步骤呀！你想想看，就像盖房子得先打地基一样，晶圆制造也是个精细活儿。
第一步呢，就是要准备好那片晶圆衬底，这就好比是房子的根基呀，得稳稳当当的。
然后呢，就要在上面进行氧化啦，给它穿上一层“保护衣”，就像我们冬天要穿厚棉袄一样。
接下来呀，是光刻！这可重要了，就像是在晶圆这个大画布上精心描绘图案，得特别仔细，不能有一点儿差错呢。
然后就是刻蚀啦，把不需要的部分去掉，就好像雕刻大师在精心雕琢一件艺术品。
离子注入这一步呢，就像是给晶圆注入了特别的力量，让它变得更强大、更有本领。
薄膜沉积呢，就像是给晶圆披上了各种好看的“外衣”，让它变得更加丰富多彩。
化学机械抛光这一步呀，就像是给晶圆来个彻底的“美容”，让它变得光滑又亮丽。
测试这一步可不能少，就像我们考试一样，得看看晶圆合不合格呀。
最后一步，就是封装啦，把晶圆好好地保护起来，让它能安全地去发挥自己的作用。
你说这晶圆制造工艺流程是不是特别神奇呀！从一块普通的衬底，经过这么多步骤的精心打造，最后变成了能在各种电子设备里大显身手的重要部件。
这就跟一个小娃娃慢慢长大，变成一个有本事的大人一样呢！每个步骤都那么重要，少了哪一个都不行。
想象一下，如果其中一个步骤出了问题，那整个晶圆不就毁了吗？所以呀，那些制造晶圆的人可得特别细心、特别专业才行。
他们就像是一群神奇的魔法师，用他们的双手和智慧创造出了这些小小的晶圆，却有着大大的能量。
咱平时用的手机呀、电脑呀，里面可都有这些晶圆的功劳呢。
它们在背后默默地工作着，让我们的生活变得更加便利和精彩。
所以呀，可别小看了这小小的晶圆制造工艺流程，它可是科技世界里的大功臣呢！怎么样，是不是对晶圆制造工艺流程有了更深的了解啦？嘿嘿！。
晶圆(Wafer) 制程工艺学习
晶圆（Wafer）制程工藝學習晶圆（Wafer）的生产由砂即（二氧化硅）开始，经由电弧炉的提炼还原成冶炼级的硅，再经由盐酸氯化，产生三氯化硅，经蒸馏纯化后，透过慢速分解过程，制成棒状或粒状的「多晶硅」。
一般晶圆制造厂，将多晶硅融解后，再利用硅晶种慢慢拉出单晶硅晶棒。
一支85公分长，重76.6公斤的8吋硅晶棒，约需2天半时间长成。
经研磨、拋光、切片后，即成半导体之原料晶圆片。
光学显影光学显影是在光阻上经过曝光和显影的程序，把光罩上的图形转换到光阻下面的薄膜层或硅晶上。
光学显影主要包含了光阻涂布、烘烤、光罩对准、曝光和显影等程序。
小尺寸之显像分辨率，更在 IC 制程的进步上，扮演着最关键的角色。
由于光学上的需要，此段制程之照明采用偏黄色的可见光。
因此俗称此区为黄光区。
干式蚀刻技术在半导体的制程中，蚀刻被用来将某种材质自晶圆表面上移除。
干式蚀刻（又称为电浆蚀刻）是目前最常用的蚀刻方式，其以气体作为主要的蚀刻媒介，并藉由电浆能量来驱动反应。
电浆对蚀刻制程有物理性与化学性两方面的影响。
首先，电浆会将蚀刻气体分子分解，产生能够快速蚀去材料的高活性分子。
此外，电浆也会把这些化学成份离子化，使其带有电荷。
晶圆系置于带负电的阴极之上，因此当带正电荷的离子被阴极吸引并加速向阴极方向前进时，会以垂直角度撞击到晶圆表面。
芯片制造商即是运用此特性来获得绝佳的垂直蚀刻，而后者也是干式蚀刻的重要角色。
基本上，随着所欲去除的材质与所使用的蚀刻化学物质之不同，蚀刻由下列两种模式单独或混会进行：1. 电浆内部所产生的活性反应离子与自由基在撞击晶圆表面后，将与某特定成份之表面材质起化学反应而使之气化。
如此即可将表面材质移出晶圆表面，并透过抽气动作将其排出。
2. 电浆离子可因加速而具有足够的动能来扯断薄膜的化学键，进而将晶圆表面材质分子一个个的打击或溅击（sputtering）出来。
化学气相沉积技术化学气相沉积是制造微电子组件时，被用来沉积出某种薄膜(film)的技术，所沉积出的薄膜可能是介电材料(绝缘体)(dielectrics)、导体、或半导体。
晶圆制作过程
晶圆制作过程第一阶段1. 沙子：硅是地壳内第二丰富的元素，而脱氧后的沙子(尤其是石英)最多包含25％的硅元素，以二氧化硅(SiO2)的形式存在，这也是半导体制造产业的基础。
2. 硅熔炼：12英寸/300毫米晶圆级，下同。
通过多步净化得到可用于半导体制造质量的硅，学名电子级硅(EGS)，平均每一百万个硅原子中最多只有一个杂质原子。
此图展示了是如何通过硅净化熔炼得到大晶体的，最后得到的就是硅锭(Ingot)。
3.单晶硅锭：整体基本呈圆柱形，重约100千克，硅纯度99.9999％。
第二阶段4. 硅锭切割：横向切割成圆形的单个硅片，也就是我们常说的晶圆(Wafer)。
顺便说，这下知道为什么晶圆都是圆形的了吧？5. 晶圆：切割出的晶圆经过抛光后变得几乎完美无瑕，表面甚至可以当镜子。
事实上，Intel自己并不生产这种晶圆，而是从第三方半导体企业那里直接购买成品，然后利用自己的生产线进一步加工，比如现在主流的45nm HKMG(高K金属栅极)。
值得一提的是，Intel公司创立之初使用的晶圆尺寸只有2英寸/50毫米。
第三阶段6. 光刻胶(Photo Resist)：图中蓝色部分就是在晶圆旋转过程中浇上去的光刻胶液体，类似制作传统胶片的那种。
晶圆旋转可以让光刻胶铺的非常薄、非常平。
光刻一：光刻胶层随后透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下，变得可溶，期间发生的化学反应类似按下机械相机快门那一刻胶片的变化。
掩模上印着预先设计好的电路图案，紫外线透过它照在光刻胶层上，就会形成微处理器的每一层电路图案。
一般来说，在晶圆上得到的电路图案是掩模上图案的四分之一。
光刻二：由此进入50-200纳米尺寸的晶体管级别。
一块晶圆上可以切割出数百个处理器，不过从这里开始把视野缩小到其中一个上，展示如何制作晶体管等部件。
晶体管相当于开关，控制着电流的方向。
现在的晶体管已经如此之小，一个针头上就能放下大约3000万个。
第四阶段7. 溶解光刻胶：光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉，清除后留下的图案和掩模上的一致。
wafer晶圆 制造原理
wafer晶圆制造原理
晶圆，即Wafer，是半导体组件“晶片”或“芯片”的基材。
其制造原理主要包含以下几个步骤：
1. 硅材料的制备：首先，从沙子中提取出高纯度的硅材料。
这一过程需要经过电弧炉的提炼、盐酸氯化以及蒸馏等步骤，最终制成高纯度的多晶硅，纯度高达%。
2. 单晶硅的制备：将多晶硅融解后，再在融液里种入籽晶，然后慢慢拉出，形成圆柱状的单晶硅晶棒。
这个过程被称为“长晶”，由于籽晶的晶面取向确定，使得硅晶棒具有一致的晶体结构。
3. 晶圆的制备：从单晶硅晶棒上切下圆形薄片，这些薄片就是晶圆。
这些薄片经过进一步的处理和加工，就可以成为芯片的基材。
4. 芯片的制造：在晶圆上，通过一系列复杂的制程，包括光罩、感光、蚀刻、金属蒸着等步骤，制造出各种微型组件和微细线路。
这些制程使得在独立的“晶粒”（Die）上完成各种微型组件及微细线路的制造。
5. 背面处理：在晶圆的背面蒸着上黄金层，作为晶粒固着（Die Attach）于脚架上的用途。
以上流程完成后，就可以得到制造芯片所需的晶圆。
建议查询相关资料了解具体流程细节或咨询芯片制作专业人士。
晶圆制程工艺流程
晶圆制程工艺流程晶圆制程工艺流程是半导体制造中非常重要的一环。
它涉及到了从晶圆材料的准备到最终产品的制备过程。
下面我将介绍一下晶圆制程工艺流程的主要步骤。
晶圆制程的第一步是准备晶圆材料。
晶圆材料通常是由硅单晶片制成，需要经过去除杂质、清洗和抛光等步骤，以确保材料的纯净度和平整度。
接下来是光刻步骤。
光刻是将设计好的电路图案转移到晶圆上的关键步骤。
首先，在晶圆表面涂上光刻胶，然后使用光刻机将光刻胶上的电路图案通过光刻掩膜投射到光刻胶上。
之后，使用化学溶剂去除未曝光的光刻胶，形成电路图案。
然后是刻蚀步骤。
刻蚀是将光刻胶上的电路图案转移到晶圆表面的关键步骤。
通过将晶圆放入刻蚀机中，使用化学气体对晶圆表面进行刻蚀，去除未被光刻胶保护的区域，从而在晶圆上形成电路结构。
接下来是沉积步骤。
沉积是在晶圆表面沉积一层薄膜，用于形成电路的不同层次。
常见的沉积方法有化学气相沉积和物理气相沉积等。
通过这一步骤，可以在晶圆上逐层形成电路的结构。
然后是清洗步骤。
在晶圆制程中，由于各种步骤的进行，晶圆表面会有一些污染物和残留物。
因此，需要将晶圆放入清洗机中，使用化学溶液进行清洗，以确保晶圆的纯净度。
最后是封装步骤。
封装是将制备好的芯片封装成最终产品的步骤。
在封装过程中，芯片会被封装在塑料封装体中，并进行焊接和封装密封等步骤，以保护芯片并提供电气连接。
晶圆制程工艺流程是一个复杂而关键的过程，它涉及到了多个步骤，包括晶圆材料的准备、光刻、刻蚀、沉积、清洗和封装等。
每个步骤都需要精确的控制和严格的质量检测，以确保最终产品的质量和性能。
晶圆制程工艺的不断改进和创新，对于半导体行业的发展起着重要的推动作用。
wafer晶圆 制造原理
wafer晶圆制造原理引言概述：Wafer晶圆是半导体制造中不可或缺的重要组成部分。
它是半导体芯片制造的基础，具有关键的制造原理。
本文将从六个大点来详细阐述Wafer晶圆的制造原理。
正文内容：1. 晶圆材料选择：1.1 材料特性：Wafer晶圆通常采用硅材料，因为硅具有良好的半导体特性，如导电性和热传导性。
1.2 纯度要求：晶圆材料的纯度非常重要，因为杂质会影响晶圆的电性能和可靠性。
因此，晶圆材料必须经过严格的纯化过程，以确保高纯度。
2. 晶圆生长：2.1 单晶生长：晶圆的生长过程通常采用单晶生长技术，通过将熔融的硅材料缓慢冷却，使其形成单晶结构。
2.2 晶圆直径控制：晶圆直径的控制对于半导体芯片的制造非常重要。
晶圆的直径越大，可以容纳更多的芯片，从而提高生产效率。
3. 晶圆切割：3.1 晶圆切割工艺：晶圆生长后，需要进行切割成薄片，以便进行后续的加工。
切割工艺通常采用钻石刀片或激光切割技术。
3.2 切割精度：切割精度对于晶圆的质量和产量都有重要影响。
切割过程中需要控制切割角度和切割深度，以确保切割的薄片平整和精确。
4. 晶圆清洗：4.1 清洗目的：晶圆在切割过程中会产生许多杂质和污染物，需要进行清洗。
清洗的目的是去除杂质，保证晶圆的表面干净。
4.2 清洗方法：常见的清洗方法包括化学清洗和超声波清洗。
化学清洗使用化学溶液来溶解污染物，超声波清洗利用超声波震荡来去除污染物。
5. 晶圆涂覆：5.1 涂覆目的：晶圆涂覆是为了保护晶圆表面，并提供一个适合芯片制造的工作平台。
5.2 涂覆材料：常用的涂覆材料包括光刻胶和保护膜。
光刻胶用于芯片的光刻工艺，保护膜用于保护晶圆表面免受污染和损伤。
6. 晶圆检测：6.1 检测目的：晶圆检测是为了确保晶圆的质量和可靠性。
通过检测可以发现晶圆表面的缺陷和杂质。
6.2 检测方法：常用的检测方法包括光学检测和电学检测。
光学检测使用光学显微镜或显微摄像机来观察晶圆表面，电学检测使用电学测试仪器来测量晶圆的电性能。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
晶圆（Wafer）制程工藝學習晶圆（Wafer）的生产由砂即（二氧化硅）开始，经由电弧炉的提炼还原成冶炼级的硅，再经由盐酸氯化，产生三氯化硅，经蒸馏纯化后，透过慢速分解过程，制成棒状或粒状的「多晶硅」。
一般晶圆制造厂，将多晶硅融解后，再利用硅晶种慢慢拉出单晶硅晶棒。
一支85公分长，重76.6公斤的8吋硅晶棒，约需2天半时间长成。
经研磨、拋光、切片后，即成半导体之原料晶圆片。
光学显影光学显影是在光阻上经过曝光和显影的程序，把光罩上的图形转换到光阻下面的薄膜层或硅晶上。
光学显影主要包含了光阻涂布、烘烤、光罩对准、曝光和显影等程序。
小尺寸之显像分辨率，更在 IC 制程的进步上，扮演着最关键的角色。
由于光学上的需要，此段制程之照明采用偏黄色的可见光。
因此俗称此区为黄光区。
干式蚀刻技术在半导体的制程中，蚀刻被用来将某种材质自晶圆表面上移除。
干式蚀刻（又称为电浆蚀刻）是目前最常用的蚀刻方式，其以气体作为主要的蚀刻媒介，并藉由电浆能量来驱动反应。
电浆对蚀刻制程有物理性与化学性两方面的影响。
首先，电浆会将蚀刻气体分子分解，产生能够快速蚀去材料的高活性分子。
此外，电浆也会把这些化学成份离子化，使其带有电荷。
晶圆系置于带负电的阴极之上，因此当带正电荷的离子被阴极吸引并加速向阴极方向前进时，会以垂直角度撞击到晶圆表面。
芯片制造商即是运用此特性来获得绝佳的垂直蚀刻，而后者也是干式蚀刻的重要角色。
基本上，随着所欲去除的材质与所使用的蚀刻化学物质之不同，蚀刻由下列两种模式单独或混会进行：1. 电浆内部所产生的活性反应离子与自由基在撞击晶圆表面后，将与某特定成份之表面材质起化学反应而使之气化。
如此即可将表面材质移出晶圆表面，并透过抽气动作将其排出。
2. 电浆离子可因加速而具有足够的动能来扯断薄膜的化学键，进而将晶圆表面材质分子一个个的打击或溅击（sputtering）出来。
化学气相沉积技术化学气相沉积是制造微电子组件时，被用来沉积出某种薄膜(film)的技术，所沉积出的薄膜可能是介电材料(绝缘体)(dielectrics)、导体、或半导体。
在进行化学气相沉积制程时，包含有被沉积材料之原子的气体，会被导入受到严密控制的制程反应室内。
当这些原子在受热的昌圆表面上起化学反应时，会在晶圆表面产生一层固态薄膜。
而此一化学反应通常必须使用单一或多种能量源(例如热能或无线电频率功率)。
CVD制程产生的薄膜厚度从低于0.5微米到数微米都有，不过最重要的是其厚度都必须足够均匀。
较为常见的CVD薄膜包括有：■二气化硅（通常直接称为氧化层）■氮化硅■多晶硅■耐火金属与这类金属之其硅化物可作为半导体组件绝缘体的二氧化硅薄膜与电浆氮化物介电层（plasmas nitride dielectrics）是目前CVD技术最广泛的应用。
这类薄膜材料可以在芯片内部构成三种主要的介质薄膜：内层介电层（ILD）、内金属介电层（IMD）、以及保护层。
此外、金层化学气相沉积（包括钨、铝、氮化钛、以及其它金属等）也是一种热门的CVD应用。
物理气相沉积技术如其名称所示，物理气相沉积（Physical Vapor Deposition）主要是一种物理制程而非化学制程。
此技术一般使用氩等钝气，藉由在高真空中将氩离子加速以撞击溅镀靶材后，可将靶材原子一个个溅击出来，并使被溅击出来的材质（通常为铝、钛或其合金）如雪片般沉积在晶圆表面。
制程反应室内部的高温与高真空环境，可使这些金属原子结成晶粒，再透过微影图案化（patterned）与蚀刻，来得到半导体组件所要的导电电路。
解离金属电浆（IMP）物理气相沉积技术解离金属电浆是最近发展出来的物理气相沉积技术，它是在目标区与晶圆之间，利用电浆，针对从目标区溅击出来的金属原子，在其到达晶圆之前，加以离子化。
离子化这些金属原子的目的是，让这些原子带有电价，进而使其行进方向受到控制，让这些原子得以垂直的方向往晶圆行进，就像电浆蚀刻及化学气相沉积制程。
这样做可以让这些金属原子针对极窄、极深的结构进行沟填，以形成极均匀的表层，尤其是在最底层的部份。
高温制程多晶硅（poly）通常用来形容半导体晶体管之部分结构：至于在某些半导体组件上常见的磊晶硅（epi）则是长在均匀的晶圆结晶表面上的一层纯硅结晶。
多晶硅与磊晶硅两种薄膜的应用状况虽然不同，却都是在类似的制程反应室中经高温（600℃至1200℃）沉积而得。
即使快速高温制程（Rapid Thermal Processing, RTP）之工作温度范围与多晶硅及磊晶硅制程有部分重叠，其本质差异却极大。
RTP并不用来沈积薄膜，而是用来修正薄膜性质与制程结果。
RTP将使晶圆历经极为短暂且精确控制高温处理过程，这个过程使晶圆温度在短短的10至20秒内可自室温升到1000℃。
RTP 通常用于回火制程（annealing），负责控制组件内掺质原子之均匀度。
此外RTP也可用来硅化金属，及透过高温来产生含硅化之化合物与硅化钛等。
最新的发展包括，使用快速高温制程设备在晶极重要的区域上，精确地沉积氧及氮薄膜。
离子植入技术离子植入技术可将掺质以离子型态植入半导体组件的特定区域上，以获得精确的电子特性。
这些离子必须先被加速至具有足够能量与速度，以穿透（植入）薄膜，到达预定的植入深度。
离子植入制程可对植入区内的掺质浓度加以精密控制。
基本上，此掺质浓度（剂量）系由离子束电流（离子束内之总离子数）与扫瞄率（晶圆通过离子束之次数）来控制，而离子植入之深度则由离子束能量之大小来决定。
化学机械研磨技术化学机械研磨技术（Chemical Mechanical Polishing, CMP）兼其有研磨性物质的机械式研磨与酸碱溶液的化学式研磨两种作用，可以使晶圆表面达到全面性的平坦化，以利后续薄膜沉积之进行。
在CMP制程的硬设备中，研磨头被用来将晶圆压在研磨垫上并带动晶圆旋转，至于研磨垫则以相反的方向旋转。
在进行研磨时，由研磨颗粒所构成的研浆会被置于晶圆与研磨垫间。
影响CMP制程的变量包括有：研磨头所施的压力与晶圆的平坦度、晶圆与研磨垫的旋转速度、研浆与研磨颗粒的化学成份、温度、以及研磨垫的材质与磨损性等等。
制程监控在下个制程阶段中，半导体商用CD-SEM来量测芯片内次微米电路之微距，以确保制程之正确性。
一般而言，只有在微影图案（photolithographic patterning）与后续之蚀刻制程执行后，才会进行微距的量测。
光罩检测（Retical Inspection）光罩是高精密度的石英平板，是用来制作晶圆上电子电路图像，以利集成电路的制作。
光罩必须是完美无缺，才能呈现完整的电路图像，否则不完整的图像会被复制到晶圆上。
光罩检测机台则是结合影像扫描技术与先进的影像处理技术，捕捉图像上的缺失。
当晶圆从一个制程往下个制程进行时，图案晶圆检测系统可用来检测出晶圆上是否有瑕疵包括有微尘粒子、断线、短路、以及其它各式各样的问题。
此外，对已印有电路图案的图案晶圆成品而言，则需要进行深次微米范围之瑕疵检测。
一般来说，图案晶圆检测系统系以白光或雷射光来照射晶圆表面。
再由一或多组侦测器接收自晶圆表面绕射出来的光线，并将该影像交由高功能软件进行底层图案消除，以辨识并发现瑕疵。
切割晶圆经过所有的制程处理及测试后，切割成壹颗颗的IC。
举例来说：以0.2 微米制程技术生产，每片八吋晶圆上可制作近六百颗以上的64M DRAM。
封装制程处理的最后一道手续，通常还包含了打线的过程。
以金线连接芯片与导线架的线路，再封装绝缘的塑料或陶瓷外壳，并测试IC功能是否正常。
由于切割与封装所需技术层面比较不高，因此常成为一般业者用以介入半导体工业之切入点。
300mm为协助晶圆制造厂克服300mm晶圆生产的挑战，应用材料提供了业界最完整的解决方案。
不但拥有种类齐全的300mm晶圆制造系统，提供最好的服务与支持组织，还掌握先进制程与制程整合的技术经验；从降低风险、增加成效，加速量产时程，到协助达成最大生产力，将营运成本减到最低等，以满足晶圆制造厂所有的需求。
应用材料的300mm全方位解决方案，完整的产品线为：高温处理及离子植入设备(Thermal Processes and Implant)介质化学气相沉积(DCVD：Dielectric Chemical Vapor Deposition)金属沉积(Metal Deposition)蚀刻(Etch)化学机械研磨(CMP：Chemical Mechanical Polishing)检视与量测(Inspection & Metrology)制造执行系统(MES：Manufacturing Execution System)服务与支持(Service & Support)铜制程技术在传统铝金属导线无法突破瓶颈之情况下，经过多年的研究发展，铜导线已经开始成为半导体材料的主流，由于铜的电阻值比铝还小，因此可在较小的面积上承载较大的电流，让厂商得以生产速度更快、电路更密集，且效能可提升约30-40％的芯片。
亦由于铜的抗电子迁移（electro-migration）能力比铝好，因此可减轻其电移作用，提高芯片的可靠度。
在半导体制程设备供货商中，只有应用材料公司能提供完整的铜制程全方位解决方案与技术，包括薄膜沉积、蚀刻、电化学电镀及化学机械研磨等。
应用材料公司的铜制程全方位解决方案在半导体组件中制造铜导线，牵涉不仅是铜的沉积，还需要一系列完整的制程步骤，并加以仔细规划，以便发挥最大的效能。
应用材料公司为发展铜制程相关技术，已与重要客户合作多年，具有丰富的经验；此外在半导体制程设备所有供货商中，也只有应用材料公司能够提供铜导线结构的完整制程技术，包括薄膜沉积、蚀刻、电化学电镀及化学机械研磨等。
（此文档部分内容来源于网络，如有侵权请告知删除，文档可自行编辑修改内容，供参考，感谢您的配合和支持）。