_2_3_d范围内平晶平面度测量方法分析(1)
平面度怎么测量
平面度怎么测量1. 引言平面度是指一个物体的表面与一个参考平面之间的平均距离差，也可理解为物体表面的平整度。
在许多工业和制造领域中，平面度是一个重要的质量指标，对于确保产品的准确和可靠性至关重要。
为了测量和评估平面度，可以采取多种方法和工具。
本文将介绍几种常见的平面度测量方法。
2. 平面度测量方法2.1 直尺法直尺法是一种简单且常用的测量平面度的方法。
该方法要求使用一把长直尺或平板，并将其沿着待测物体的表面移动。
在移动的过程中，观察直尺与表面接触的情况。
如果直尺的各个点都与表面紧密贴合，那么可以认为该物体的平面度较好。
2.2 游标卡尺法游标卡尺法是一种更精确的平面度测量方法。
该方法需要使用一把游标卡尺，将其放置在待测物体的表面上，并在游标卡尺上移动游标丝。
在移动的过程中，观察游标丝与物体表面之间的间隙。
记录间隙的最大和最小值，通过计算这两个值之间的差值，可以得出物体表面的平面度。
游标卡尺法相对于直尺法更加精确，适用于对平面度要求较高的场合。
2.3 轮廓仪法轮廓仪是一种专门用于测量物体平面度的仪器。
轮廓仪通过使用一个移动的感应头，可以测量物体表面的高低差。
操作者将物体放置在轮廓仪上，并启动测量过程。
轮廓仪会自动记录物体表面的各个点的高度信息，并生成一个平面度测量报告。
轮廓仪法能够提供较为精确的平面度测量结果，因此广泛应用于高精度制造领域。
3. 平面度测量的注意事项在进行平面度测量时，需要注意以下几个方面：•确保测量仪器的准确性和灵敏度。
不同的测量方法和仪器具有不同的准确性和灵敏度要求，使用前应进行校准和检查。
•准备平面度测量的表面。
待测物体的表面应该清洁，并且不得有明显的凹凸不平、磨损等缺陷。
这可以提高测量的精确性和可靠性。
•选择合适的测量方法和仪器。
根据具体的测量要求和条件，选择适当的平面度测量方法和仪器。
不同的方法和仪器适用于不同的场合。
•进行多次测量并取平均值。
由于测量过程中存在一定的误差，为了提高结果的准确性，建议进行多次测量并取平均值。
平面度的测量方法及检测工具
平面度的测量方法及检测工具平面度是指工件表面与一个理想平面之间的最大距离，也是表征工件表面平整度的重要参数之一。
在工程制造中，平面度的测量和检测是非常重要的，它直接影响着工件的质量和性能。
因此，我们需要了解平面度的测量方法及相应的检测工具。
首先，我们来介绍一些常用的平面度测量方法。
最常见的方法是使用平面度测量仪器，例如平面度测量仪、平板对刀仪等。
这些仪器能够精确地测量工件表面的平整度，并且提供直观的数值结果。
另外，还可以使用光学投影仪、三坐标测量机等高精度测量设备进行平面度的测量，这些设备能够实现对工件表面的全面、快速的测量。
除了仪器设备外，还可以采用传统的平面度测量方法，例如使用平面度尺、直尺、游标卡尺等简单工具进行测量。
这些方法成本低、操作简单，适用于一些简单的工件表面平整度的测量。
在进行平面度测量时，需要注意以下几点，首先，要选择合适的测量工具和仪器，确保其精度和稳定性；其次，要对测量仪器进行校准，确保其准确性；最后，要根据工件的实际情况选择合适的测量方法，保证测量结果的准确性和可靠性。
除了测量方法外，检测工具也是平面度测量中不可或缺的一部分。
常用的检测工具包括平面度尺、平板对刀仪、游标卡尺等。
这些工具能够帮助我们快速、准确地检测工件表面的平整度，并且可以直观地判断工件表面的平面度是否符合要求。
此外，一些高精度的检测设备也在平面度检测中发挥着重要作用，例如光学投影仪、三坐标测量机等。
这些设备能够提供更加精确、全面的平面度检测结果，对于一些对平面度要求非常高的工件来说，是必不可少的检测工具。
总之，平面度的测量方法及检测工具是工程制造中不可或缺的一部分。
通过选择合适的测量方法和检测工具，我们能够准确、快速地测量和检测工件的平整度，保证工件的质量和性能。
希望本文能够对大家有所帮助，谢谢阅读！。
平面度检测的方法和步骤
平面度检测的方法和步骤平面度检测是一种广泛应用于工程领域的测量方法，它用于评估一个物体表面的平整程度。
本文将介绍平面度检测的方法和步骤，并探讨其在工业生产中的重要性。
一、仪器和设备进行平面度检测需要使用特定的仪器和设备，下面是一些常用的工具：1. 平面度测量仪：包括平装和仪表两种类型。
平装采用具有平面度测定功能的平度尺进行测量，而仪表则利用电子传感器或光学系统来测量平面度。
2. 平度尺：通常由金属或玻璃制成，具有高度平整的表面，用于快速测量物体的平面度。
3. 其他辅助工具：如支撑平台、移动输送带等。
二、步骤下面是一般情况下进行平面度检测的步骤：1. 准备工作：首先，确定需要进行平面度检测的物体。
确保物体表面干净，没有杂质或损坏，以避免对测量结果的影响。
2. 安装平面度测量仪：将平面度测量仪的传感器固定在物体表面上，确保其位置准确稳定。
根据需要，可以使用支撑平台或移动输送带来调整物体的位置和姿态。
3. 进行测量：启动平面度测量仪，并按照其操作指南进行操作。
一般来说，仪器会自动扫描物体表面，并给出测量结果。
在此过程中，保持物体的稳定，避免震动和外界干扰。
4. 分析结果：得到平面度测量结果后，对其进行分析。
如果物体表面的平面度符合要求，可以进行下一步工作；如果不符合要求，则需要采取相应的措施来调整或修复。
5. 纪录和输出：将测量结果记录下来，并根据需要输出相应的报告。
有些平面度测量仪还可以将数据导出到电脑或其他设备中进行进一步处理和分析。
三、平面度检测的重要性平面度是许多工程项目中常常需要关注的一个指标。
一个平整的表面可以保证多个零件或组件之间的精确配合，从而提高产品的性能和品质。
平面度检测可以帮助找出表面平整度不达标的问题，及早调整和修复，避免后期出现更严重的质量问题。
此外，平面度检测对于某些工艺过程也是必不可少的。
例如，在制造平面密封件时，需要保证其表面平整度，以确保密封效果和防漏性能。
通过进行平面度检测，可以及时发现并解决潜在的质量问题，从而提高生产效率和产品质量。
平晶测量平面度原理
平晶测量平面度原理《平晶测量平面度原理》1. 引言你有没有想过，那些精密机械零件的表面，怎么能保证超级平整呢？就像盖房子要保证地基平平整整一样，很多工业制造里的部件表面平整度可是至关重要的。
今天，咱们就来好好唠唠平晶测量平面度这个事儿，这其中的原理可大有学问。
在这篇文章里，我会先给大家说说基本概念和理论背景，再深入讲讲它的运行机制，然后看看在生活和高级工业领域的应用，当然也少不了聊聊常见的问题和误解，最后再介绍些相关知识，再做个总结展望。
2. 核心原理2.1基本概念与理论背景平晶，简单来说，就是一块非常平的晶体。
那这个平的标准是怎么来的呢？这就得说到平面度的概念了。
平面度就是指一个平面的平整程度，就好比你看一张纸，如果它是完全平的，那平面度就非常好，如果有褶皱或者弯曲，平面度就差。
平晶测量平面度的原理基础就是光学干涉原理。
这个光学干涉原理可是有很悠久的历史了。
从早期科学家们对光的特性不断探索，发现光具有波动性，到后来慢慢发展出用干涉现象来测量微小的距离或者形状差异。
2.2运行机制与过程分析平晶测量平面度是这样一个过程。
首先，把平晶放在要测量平面度的物体表面上。
这时候，如果被测表面是完全平的，光线在平晶和被测表面之间反射后，就会形成一种均匀的干涉条纹。
这个就好比是两个完全一样的水波叠加，如果它们同步，就会形成一种很规律的图案。
如果被测表面不平呢，那么平晶和被测表面之间的空气层厚度就会不一样。
这个时候，光线反射后的干涉条纹就会出现弯曲或者变形。
就像是原本整齐的队伍里突然插进了几个不同步的人，整个队伍的整齐性就被破坏了。
通过观察这些干涉条纹的形状、弯曲程度等，就能分析出被测表面的平面度情况。
比如说，条纹弯曲得越厉害，那就说明这个地方的平面度偏差越大。
而且根据条纹弯曲的方向，还能判断出是凸起还是凹陷。
这就像看地图上的等高线一样，弯曲的等高线能告诉你哪里是山峰哪里是山谷。
3. 理论与实际应用3.1日常生活中的实际应用其实在日常生活中，平晶测量平面度原理也有很多体现。
检测平面度的方法介绍
检测平面度的方法介绍平面度检测是为了评估待测工件表面的平整度、曲率或形状与要求规范的偏差程度。
平面度是指工件表面与一个理想平面之间的距离偏差，平面度检测主要应用于各种精密零件、模具等需要高度平整表面的制造工艺中。
下面将介绍几种常见的平面度检测方法。
1.触发法触发法是最常用的平面度检测方法之一、该方法使用触发式的测头，通过测量工件上各个点的高度差，来确定工件的平面度。
触发法适用于不同形状和尺寸的工件，能够准确地检测工件的平整度。
2.光栅投影法光栅投影法是一种利用光学原理的平面度检测方法。
该方法使用一束光线照射在工件表面上，光线经过工件表面反射后被聚焦到光电元件上。
通过测量光线的偏转角度或聚焦点的位置，可以确定工件表面的平整度。
3.激光干涉法激光干涉法是利用激光的干涉原理进行平面度检测的方法。
该方法使用两束相干激光束照射在工件表面上，然后检测干涉光的干涉图案。
通过分析干涉图案的变化，可以确定工件表面的平整度。
4.球技法球技法是一种基于物理原理的平面度检测方法。
该方法使用一个球形探针与工件表面接触，探针的位置变化可以通过传感器或示波器来测量。
通过记录不同位置的球心高度，就可以确定工件表面的平整度。
5.平面平行度计平面平行度计是一种专用于平面度检测的测量仪器。
平面平行度计通常由一个测量平面、一个测量头和一个数显仪表组成。
该仪器通过测量工件表面与测量平面的高度差，来判断工件表面的平整度。
6.数控测量系统数控测量系统是一种利用计算机控制进行平面度检测的自动化方法。
该系统通过将工件固定在测量台上，然后使用探测仪器进行测量。
通过计算机的控制和处理，可以实现工件表面的平整度检测。
总之，平面度检测方法丰富多样，可以根据需要选择适合的方法进行检测。
选择合适的检测方法可以提高检测效率和准确性，确保工件质量符合要求。
平面度检测方法
平面度检测方法平面度是指在一个平面上，任意两点之间的距离与该平面的距离之差的最大值。
在工程领域中，平面度是一个非常重要的参数，它直接影响着零件的质量和精度。
因此，对于工件的平面度进行准确的检测和评定是非常必要的。
本文将介绍几种常用的平面度检测方法。
一、直尺法。
直尺法是一种简单直观的平面度检测方法。
具体操作步骤如下，首先，选取一根较长的直尺，将其放置在被检测的平面上，然后用手指轻轻按压直尺的两端，观察直尺与被检测平面之间是否存在缝隙。
如果存在缝隙，则说明该平面不够平整。
这种方法操作简单，成本低，但是对操作人员的要求较高，且只能检测局部平面度。
二、游标卡尺法。
游标卡尺法是一种比较常用的平面度检测方法。
具体操作步骤如下，首先，选取一把精度较高的游标卡尺，然后将其放置在被检测的平面上，通过游标卡尺的测量范围和精度，可以准确地测量出被检测平面的平面度。
这种方法操作简便，准确度较高，适用于对平面度要求较高的工件。
三、投影仪法。
投影仪法是一种高精度的平面度检测方法。
具体操作步骤如下，首先，将被检测的平面放置在投影仪的工作台上，然后通过投影仪投射出被检测平面的轮廓，最后通过投影仪的影像测量系统，可以直观地观察到被检测平面的平面度情况。
这种方法操作简单，准确度高，适用于对平面度要求极高的工件。
四、三坐标测量法。
三坐标测量法是一种高精度、全方位的平面度检测方法。
具体操作步骤如下，首先，将被检测的平面放置在三坐标测量机的工作台上，然后通过三坐标测量机的探测系统，可以对被检测平面的平面度进行全方位、高精度的测量。
这种方法操作复杂，但是准确度极高，适用于对平面度要求非常高的工件。
综上所述，平面度是工程领域中一个非常重要的参数，对于工件的质量和精度有着直接的影响。
因此，选择合适的平面度检测方法对于保证工件的质量和精度具有非常重要的意义。
在实际工程中，可以根据具体的工件要求和实际情况选择合适的平面度检测方法，以保证工件的质量和精度要求。
《平晶检测平面度》课件
制定质量标准： 明确检测指标和 标准，确保检测 结果的准确性
培训检测人员： 提高检测人员的 专业素质和操作 技能，确保检测 过程的规范性和 准确性
定期校准设备： 确保检测设备的 准确性和稳定性， 避免因设备误差 导致的检测结果 偏差
建立质量管理体 系：建立健全的 质量管理体系， 确保检测过程的 规范化和标准化， 提高检测结果的 可靠性和可信度。
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汇报人：PPT
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课程名称：《平晶 检测平面度》
课程目标：掌握平 晶检测平面度的原 理和方法
课程内容：包括平 晶检测原理、平晶 检测方法、平晶检 测应用等
课程对象：适用于 从事平晶检测工作 的技术人员和研究 人员
介绍平晶检测 平面度的基本
概念和原理
讲解平晶检测 平面度的操作 步骤和注意事
项
提供平晶检测 平面度的实例
和案例分析
提高学员对平 晶检测平面度 的理解和应用
能力
检测工程师 质量控制人员 生产管理人员 技术研发人员 相关专业的学生和教师
引言：介绍《平晶检测平面度》的重要性和目的 理论基础：介绍平晶检测平面度的基本原理和理论 实验方法：介绍平晶检测平面度的实验方法和步骤 结果分析：分析实验结果，得出结论 结论与展望：总结实验结果，提出未来研究方向和展望 参考文献：列出参考文献，供读者参考
行度等参数
显微镜：用于 观察平晶表面
的微观结构
量具：如千分 尺、游标卡尺 等，用于测量 平晶的尺寸和
精度
温度计：用于 测量平晶的温 度，确保其在 适宜的温度下
平面度检测方法
平面度检测方法平面度是指工件表面与一个理想平面之间的最大间隙，是表征工件表面平整度和平行度的重要参数。
在工程制造中，平面度的精度要求越来越高，因此对平面度的检测也变得越来越重要。
本文将介绍几种常用的平面度检测方法，希望能为相关领域的工作者提供一些帮助。
首先，最常见的一种平面度检测方法是使用平面度测量仪。
平面度测量仪是一种专门用于测量工件平面度的仪器，它通过测量工件表面与参考平面之间的间隙来确定工件的平面度。
这种方法操作简单，精度高，适用于各种尺寸和形状的工件，因此在工程制造中得到了广泛应用。
其次，光学投影仪也是一种常用的平面度检测方法。
光学投影仪利用光学原理将工件的轮廓投影到投影屏上，通过对投影图像的测量来确定工件的平面度。
这种方法适用于各种材料的工件，并且可以实现对工件的快速、非接触式检测，因此在一些对检测速度要求较高的场合得到了广泛应用。
另外，三坐标测量机也是一种常用的平面度检测方法。
三坐标测量机通过测量工件表面上的多个点来确定工件的平面度，具有测量范围广、精度高的优点。
这种方法适用于各种复杂形状的工件，并且可以实现对工件的全面、精密的三维检测，因此在一些对检测精度要求较高的场合得到了广泛应用。
最后，还有一种常用的平面度检测方法是使用激光测量仪。
激光测量仪利用激光束在工件表面上扫描，通过对激光束的反射或散射信号进行测量来确定工件的平面度。
这种方法适用于各种材料的工件，并且可以实现对工件的快速、高精度的检测，因此在一些对检测效率和精度要求都较高的场合得到了广泛应用。
综上所述，平面度是工程制造中一个重要的质量指标，而平面度的检测方法也是工程制造中一个重要的技术环节。
不同的平面度检测方法各有其优缺点，应根据具体的工件特点和检测要求来选择合适的方法。
希望本文介绍的几种平面度检测方法能够为相关领域的工作者提供一些参考，使他们能够更好地进行平面度的检测工作。
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差方向一致，同为凸，所以F1 和F2 都取正号。 如果被检平晶的规格大于Φ100mm，F96 的值不可
用，可以使用F140 为+0.037μm，具体参照参考文献[3] 的介绍。
（a）Φ72mm（有效直径）范围内的平面度：
（b）Φ48mm（有效直径d的三分之二）范围内的 平面度：
同理，依据上述步骤可以求出J3-J4截面的平面 度，如果J1-J2截面和J3-J4截面的平面度符号相同， 取其大者为该平晶平面度。如果两截面平面度符号相 反，取二者绝对值之和为该平晶平面度。 3 平晶表面形状的凹凸判断需特别注意的问题
20 国内统一刊号 CN3
出（2/3）d范围内的平面度测量方法，本文将对此问题
进行详细分析。给出了符合现行规程要求的新测量方
法。
2 平晶有效直径d和(2/3) d范围内的平面度测量方法
2.1 标准器的选择与要求
我单位平面等厚干涉仪的型号是C4-1型，使用的
测量平晶工作面相互垂直的两截面平面度的方 法。按照截面位置与干涉条纹方向的对应关系可用以 下方法：
标准平晶和被检平晶不转动，仅调整三个支点， 使干涉条纹转动。旋转到可以测量J1-J2和J3-J4截面平 面度。具体调整方法可参照参考文献[3]。 2.4 相互垂直的两截面所对应的干涉条纹与平晶平面 度计算示例
对于单工作面平面平晶，被检的两个截面应与刻 字成45°，亦可选择任意互相垂直的截面。对于双工 作面平晶，平面度的检定应在任意互相垂直的截面上 进行。
在等厚干涉仪内平晶的实际位置如图1所示：
图1 两截面位置的选择
2.2.2 测量时读数位置的确定与计算 以J1-J2截面为例，在等厚干涉仪视场内读数位置
如图2所示。 规格为Φ80mm的被检平晶，在等厚干涉仪视场内
[5] 李春辉,王池,王东伟. 音速喷嘴法气体流量标准装置的不确定度 分析[J].计量技术，2007，3：66-68.
[6] JJG 620—1994 临界流流量计检定规程. 北京：中国计量出版 社，1994.
[7] ISO 9300:2005(E) Measurement of gas flow by means of critical flow Venturi nozzles.
符号的正负，（μm），
；
∆Fd 为标准平晶在被检平晶的有效直径d范围内的 平面度，（μm），
；
F(2/3)d =F2 - ∆F(2/3)d （5） 式中：F2为被检平晶与标准平晶在被检平晶的 （2/3）d范围内的平面度之和，计算时同样需根据凹凸 决定符号的正负，
；
∆F(2/3)d 为标准平晶在被检平晶的（2/3）d范围内的 平面度，（μm），
21 2008/4 总第206期 国内统一刊号 CN31-1424／TB
学术论文 Comprehensive Academic PRapeveierws
；
λ为钠单色灯光的波长，（μm）。 2.3 有效直径d和（2/3）d范围内的平面度测量方法
首先是环境温度控制问题，平晶平面度的大小和 表面凹凸都与温度变化密切相关。尤其是温度随时间 的变化量（例如规格为Φ80mm的一级平面平晶，要求 温度24小时变化量不超过1.5℃，1小时变化量不超过 0.2℃），不注意这一点则表面形状凹凸判断会出错， 平面度测量不准确。手动调整干涉条纹时间过长，短 时间内被测平晶局部温升过快，调整结束再恒温一段 时间后进行测量和表面形状凹凸判断，结果更可信。
（2）
其中bd 为被检平晶有效直径d范围内的弯曲量， （mm）。
（3）
ଖதb(2/3)d 为被检平晶（2/3）d范围内的弯曲量， （mm）。
平面度计算公式如下：
Fd =F1 - ∆Fd
（4）
式中：F1 为被检平晶与标准平晶在被检平晶的有
效直径d范围内的平面度之和，计算时需根据凹凸决定
参考文献
[1] 徐英华. 膜式燃气表技术手册[M]. 北京：中国计量出版社，2004. [2] 苏彦勋，梁国伟，盛健. 流量计量与测试[M]. 北京：中国计量出
版社，2007. [3] 王池. 流量测量不确定度分析[M]. 北京：中国计量出版社，2002.
[4] 段慧明，王自和. 液体流量标准装置和标准表法流量标准装置 [M]. 北京：中国计量出版社，2004.
学术论文 Comprehensive Academic PRapeveierws
(2/3)d范围内平晶平面度测量方法分析
宫美望 范军华/青岛市计量测试所
在JJG28-2000 平晶检定规程中，对平晶有效直径d范围内的平面度和（2/3） d范围内的平面度均有规定的要求。但该规程附录D 中的计算公式和图示并不是平 晶有效直径d范围内的平面度测量方法，且没有给出（2/3）d范围内的平面度测量方 法，该文将对此问题进行分析，最后给出了符合现行规程要求的新测量方法，补充 了计算公式。 关键词 平晶；有效直径；平面度
Abstract：The JJG28-2000 verification regulation are specified the optical flat flatness in the effective diameter range and (2/3)d range.The formula is given for calculating the flatness in the optical flat diameter range in Appendix D,but did not give the measurement method of flatness in the effective diameter range and the (2/3)d range,in this paper we carefully analyze this question,the final a new measurement method is given,and a formula for calculating added. Keywords：optical flat; equal thickness interferometer; equal inclination interferometer; effective diameter; flatness
度计算．工业计量,2007(5)：8-11．
Analysis of the measurement method of the
optical flat flatness in the (2/3)d range
Gong Meiwang, Fan Junhua (Qingdao Institute of Measurement and Testing)
1 引言 在JJG28-2000 平晶检定规程中，规格小于或等
于Φ60mm的一级平面平晶，仅对有效直径d范围内的
平面度有规定的要求。对于其余平晶有效直径d范围 内的平面度和（2/3）d范围内的平面度均有规定的要 求。但是该规程附录D 中的计算公式和图示中没有给
5 小结 音速喷嘴式燃气表校验装置是采用多个喷嘴并
光源是钠单色灯。标准平晶规格是Φ150mm的二等平
晶， 2006年上级部门的检定数据为表1所示。
表1 标准平晶的检定数据
位置（mm） （1-2）截面 （μm） （3-4）截面 （μm）
-70
0
0
-48
+0.029
+0.027
0
+0.037
+0.033
+48
+0.019
+0.017
+70
0
0
按照检定规程的要求，需要计算标准平晶在 Φ96mm范围内的平面度，参照参考文献[3]可求出F96的 值为+0.013μm，标准平晶的（1-2）和（3-4）截面表 面形状均为凸，符号为正，符合检定规程的要求。 2.2 测量截面位置的确定方法与测量时读数位置的确 定与计算 2.2.1 测量截面位置的确定方法
F1和F2的正负号，使平晶平面度计算更为准确。本例
判断为凸。
（3）计算有效直径（Φ72mm）范围内的平面度
和三分之二有效直径（Φ48mm）范围内的平面度
将表2的测量数据代入公式（4）和公式（5）。钠
单色灯光波长取0.5893μm；F96 的值取+0.013μm；由 于中心（2/3）d的表面偏差方向与有效直径d范围内偏
注：视场内的干涉条纹图像相对平晶实际位置旋转了180度
图2 读数位置的选择
规格为Φ80mm的被检平晶，有效直径Φ72mm， (2/3)d为Φ48mm，则上述1/10和2/5的计算方法如下：
（80-72）/80=0.1
（80-48）/80=0.4
（1）
其中a为干涉条纹间距，（mm）。 过直径处干涉条纹最大弯曲量的求解公式：
联，所以组合后的不确定度为
由于大多数情况下装置内使用的音速喷嘴的不确 定度是相同的，因而其合成不确定度总是等于单个喷 嘴使用时的不确定度。但对于不同流量、不同不确定 度的喷嘴组合，装置的合成不确定度总是大于喷嘴中 的最小不确定度。
音速喷嘴式燃气表校验装置利用音速喷嘴的优点 实现多台燃气表同时检测，大大提高了检测的工作效 率，但在检测过程中要特别注意装置中台位差不同对 检测结果的影响。
22 国内统一刊号 CN31-1424／TB 2008/4 总第206期
调整出3条干涉条纹。干涉条纹间距a在1.2mm左右， 此时Φ80mm平晶在视场内的像实测直径为Φ4.8mm左 右。
读取e1点数据时，首先将微分螺杆旋转到J3-J4方
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向，距被测平晶在视场内像的边缘约1/10半径处的位置 读数。读取e2点数据时，则需在距被测平晶视场内像的 边缘约2/5半径处的位置读数。读取e3和e4点数据时可在 图2所示位置直接读数。