川宝平行光曝光机结构简介
《曝光机要点技术》课件
机械故障表现为运动部件异常、卡滞或磨损；电路故障表现为电源故障、传感器故障或控制电路故障；软件故障表现为程序崩溃、数据传输错误或系统更新失败。解决方案包括定期维护保养、检查更换损坏部件、修复电路故障和更新软件系统等。
总结词
06
CHAPTER
曝光机维护与保养
每天使用柔软的干布擦拭曝光机表面，保持清洁。
详细描述
高精度和高分辨率的曝光机需要采用先进的曝光技术，如光学曝光、电子束曝光等，同时还需要采用精密的制造工艺，如超精密加工、纳米加工等，以确保设备的稳定性和可靠性。
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总结词：高效能和稳定性是曝光机发展的另一个重要趋势。详细描述：高效能的曝光机能够提高生产效率，降低生产成本，而高稳定性的曝光机能够保证设备的长期可靠运行，减少维护和维修成本。为了实现高效能和稳定性，需要采用先进的控制系统和精密的部件。总结词：高效的控制系统能够实现快速、准确的运动控制和精密的定位控制。详细描述：先进的控制系统能够实现快速、准确的运动控制和精密的定位控制，从而提高设备的加工效率和精度。同时，高效的控制系统还能够实现设备的自动化和智能化，进一步提高设备的生产效率和稳定性。
总结词：智能化和自动化已经成为现代曝光机的重要特征。详细描述：智能化和自动化的曝光机能够实现自动化加工、智能化检测和故障诊断等功能，从而提高设备的生产效率和可靠性。智能化和自动化的曝光机还能够减少人工干预，降低人为因素对设备精度和稳定性的影响。总结词：为了实现智能化和自动化，需要采用先进的人工智能技术和传感器技术。详细描述：先进的人工智能技术能够实现设备的自适应控制和自主学习，从而提高设备的智能化水平。传感器技术则能够实现设备的实时监测和故障预警，进一步提高设备的可靠性和稳定性。
7000平行曝光机制程原理简介解析
單 體 消 耗 增 加
誘導區 單體 消耗 區
單體耗盡區
曝光時間增加
2018/10/11
Process Engineer
通過上面的介紹可以知道,製約曝光的兩大因素就是光 與影像轉移材料的選擇 任何一種光阻劑都有自身特有的光譜吸收曲線， 而任何一種光源也有其自身的發射光譜曲線，如果某 種干膜的光譜吸收主峰能与某種光源的發射主峰相重 疊或大部分重疊，則兩者匹配良好，曝光效果最佳。
角半行平
斜射角
2018/10/11
Process Engineer
3.斜射角﹕(Declination Angle，DA)
斜射角指平行光軸線與曝光台面垂直法線之間的 夾角。真正的拋物面平行光鏡可使其斜射角為0度，但 制作困難，實際利用拋物面在焦點面內與球面曲率近 似的特性設計平行光鏡。光整合器、平行光鏡以及曝 光台面間組裝均會影響斜射角，一般而言，在曝光台 正中央可得到0度斜射角，但愈在四個角落的位置，其 平行光鏡的曲率誤差愈來愈大，斜射角也會隨之變大。
2018/10/11
Process Engineer
平行曝光機光側蝕影響
線路
平行半角
底片厚度
a
斜射角
h
間距 光阻劑 db dt da db dt da
底片
tp tr 曝光板 聚脂薄膜
2018/10/11
Process Engineer
理論計算
平行曝光機光側蝕實際計算 Dt=da+db= Tr*tan(a+b) ur + Tp*tan(a+b) up + G*tan(a+b)
十字靶監 控熒屏
板清機
一:影像轉移原理簡介基板ຫໍສະໝຸດ 壓膜后基板曝光后基板
曝光机要点技术模板
曝光机要点技术模板一、曝光机的基本原理和结构曝光机的工作基于光敏物质的光致变化原理。
光线照射在光敏物质上，通过化学反应，使得光敏物质的一些性质发生明显改变，从而形成影像。
曝光机的主要结构包括光源、光学系统、曝光平台和电控系统等。
光源产生光线，光学系统聚焦光线，将其传输到曝光平台上的光敏物质上。
电控系统则控制光源、光学系统和曝光平台的运行，实现曝光的精确控制。
二、曝光机的光源技术曝光机的光源有多种选择，常见的有氙灯、汞灯和LED等。
氙灯是一种高亮度、高稳定性的光源，适用于高精度的曝光需求。
汞灯则具有较高的光强度，能够满足快速曝光的要求。
近年来，LED逐渐成为曝光机的主要光源，因为其具有长寿命、低功耗、色温可调等优点。
三、曝光机的光学系统技术曝光机的光学系统是保证曝光精度的关键。
光学系统主要包括透镜组、反射镜和光学滤波器等。
透镜组负责光线的聚焦，反射镜将光线引导到曝光平台上的光敏物质上。
光学滤波器则用于剔除非目标波长的光线，提高曝光的质量和准确性。
四、曝光机的曝光平台技术曝光平台是存放光敏物质和进行曝光的区域。
曝光平台的设计需要考虑光敏物质的稳定性、适应性和曝光的平整度。
常见的曝光平台材料有玻璃、硅胶和铝合金等。
玻璃具有高硬度和耐磨性，对光线的透过性较好，适用于高精度曝光。
硅胶则具有较好的柔软性和抗震性能，适用于高速涂布和曝光。
铝合金则具有较高的强度和稳定性，适用于大尺寸的曝光平台。
五、曝光机的控制系统技术曝光机的控制系统负责光源、光学系统和曝光平台的运行和协调。
控制系统需要具备高精度的控制和自动调整功能，以保证曝光的准确性和稳定性。
常见的控制系统包括PLC系统、单片机系统和计算机控制系统等。
PLC系统具有可编程性和灵活性，适用于一些简单的曝光需求。
单片机系统则能够实现较高的速度和精度要求，适用于中等规模的曝光机。
计算机控制系统则具备较高的灵活性、精度和自动化程度，适用于大规模生产和高精度曝光。
六、曝光机的应用领域和前景曝光机主要应用于摄影、印刷、电子元器件制造等领域。
曝光机工作原理范文
曝光机工作原理范文曝光机是一种广泛应用于印刷行业中的设备，其主要功能是将原稿的图文信息通过光线的照射传输到感光材料上，以便后续的印刷加工过程。
下面将详细介绍曝光机的工作原理。
曝光机主要由光源系统、透镜系统、真空系统、感光材料固定系统和控制系统五大部分组成。
首先，光源系统是曝光机的核心部分，其作用是通过特殊的光源发出高强度的紫外线光线。
曝光机中常用的光源有氙灯、汞灯等。
这些光源能够发出特定波长的紫外线光线，这是因为感光材料对于特定波长的光线更加敏感。
光源系统还通过反射镜将发出的光线均匀地照射到感光材料上。
其次，透镜系统是用来控制和调节光线的方向和强度的。
透镜系统通常由凸透镜和凹透镜组成。
凸透镜能够将光线汇聚到一个点上，从而使得光线更加聚焦。
而凹透镜则能够将光线分散开来，从而使得光线更加均匀。
透镜系统的作用是通过优化光线的聚焦和分散效果，使得感光材料上的图文信息得以清晰地映射。
再次，真空系统是用来保持感光材料与原稿的高度贴合的。
感光材料在曝光机中需要与原稿接触，并保持稳定的位置。
真空系统通过产生一定的负压，将感光材料固定在曝光机的工作台上。
这样可以防止感光材料与原稿之间产生气泡或者位移，从而保证图文信息的准确传输。
另外，感光材料固定系统是用来固定感光材料的位置的。
感光材料通常是通过热熔胶或者螺钉固定在曝光机的工作台上。
这样可以确保感光材料在曝光过程中不会发生移动或者晃动，进而保证图文信息的准确性和清晰度。
最后，控制系统是曝光机的大脑，其主要作用是控制曝光机的各个部分协调工作。
控制系统可以设置曝光的时间、强度和定位等参数，调节曝光机的工作效果。
同时，控制系统还能够监控曝光机的工作过程，实时反馈曝光的结果和误差信息。
这样可以方便操作人员进行调试和改善。
综上所述，曝光机的工作原理是通过光源系统的照射、透镜系统的调节、真空系统的固定、感光材料固定系统的固定和控制系统的控制，将原稿的图文信息准确地传输到感光材料上。
曝光机要点技术概述
曝光机要点技术概述曝光机是一种用于制作印刷品的设备，在印刷工业中起着至关重要的作用。
它通过将光线投射到印刷版上，使其暴露出图像或文字，并进行后续的印刷加工。
下面将从曝光机的原理、种类、主要技术参数、应用领域等方面进行详细的技术概述。
一、曝光机的原理曝光机的基本原理是利用光照射到印刷版上，使光敏材料发生化学反应，形成图像或文字。
曝光机通常由曝光光源、曝光台、曝光材料以及控制系统等组成。
在曝光过程中，光源会发射出特定波长的光线照射到印刷版上，使其上的光敏材料发生化学变化，它们可以是光敏胶版、屏幕印刷网版或直接接触印刷版等。
曝光机通过控制光源的强弱、时间和曝光方式等参数，来实现图像的精确控制和调节。
二、曝光机的种类根据曝光方式的不同，曝光机可以分为直接曝光机和间接曝光机两种。
直接曝光机是将光线直接照射到印刷版上，可以快速、高效地完成曝光过程。
而间接曝光机则需要通过间接介质来传递光线，如光学镜头或光纤传输，它一般用于对印刷版进行高精度、高分辨率的曝光。
三、曝光机的主要技术参数1. 曝光能量密度：曝光机能够提供的能量密度是评估其曝光效果的重要指标。
通常以焦耳/cm²为单位来表示。
2.曝光时间：曝光机的曝光时间是指光线照射到印刷版上的时间长度。
曝光时间的长短直接影响到图像的清晰度和分辨率。
3.曝光波长：曝光机可提供的光线波长范围，这对于不同的光敏材料是非常重要的。
4.分辨率：曝光机的分辨率指的是其能够生成的最小线宽或最小点尺寸。
分辨率越高，图像越细腻。
5.灰度范围：曝光机的灰度范围指的是图像可以表示的不同灰度级别的数量。
灰度范围越大，图像显示的层次感越丰富。
四、曝光机的应用领域曝光机在印刷工业中应用广泛，特别是在平面印刷、丝网印刷、数字印刷和印刷制版等方面。
它在电子行业中也有重要的应用，如PCB印刷电路板的制作，碳膜电阻的曝光制造等。
总之，曝光机作为印刷行业的重要设备，其技术概述涵盖了曝光机的原理、种类、主要技术参数和应用领域。
曝光机概论培训资料
清洁和处理
对芯片和掩模版进行清洁 和处理，以去除表面的杂 质和尘埃。
分析结果
通过显微镜等工具分析曝 光结果，评估曝光质量和 成功率。
04
曝光机的维护和保养
日常维护
每日清洁
检查温度和湿度
每天清理曝光机表面和内部部件，保持清洁 。
确保曝光机工作在适宜的温度和湿度环境中 。
检查电路连接
检查安全防护装置
2023
曝光机概论培训资料
目录
• 曝光机概述 • 曝光机的基本结构 • 曝光机的操作流程 • 曝光机的维护和保养 • 曝光机的安全操作规范 • 曝光机的未来发展趋势
01
曝光机概述
曝光机的定义
曝光机是一种用于将掩膜（mask）上的图案转移到硅片或其 他基板上的设备。
它是一种精密的仪器，常用于微电子工业、光学制造等领域 。
服务型制造转型
未来，曝光机行业将更加注重服务型制造，通过提供整体解决方案 和增值服务来提高企业竞争力和盈利能力。
THANK YOU.
检查所有电路连接是否牢固，避免接触不良 或短路。
确保曝光机的安全防护装置（如光罩）完好 无损，工作正常。
定期保养
每周保养
每周进行一次全面的检查和维护，包括清洁曝光机内部和外部，检查机械部件是否有磨损 或松动，及时进行维修或更换。
月度保养
每月对曝光机的光学系统进行检查和维护，确保光学部件的清洁和正常运行。同时检查电 气系统的工作情况，确保曝光机正常运行。
06
曝光机的未来发展趋势
技术升级
01 02
精密控制技术
随着工业制造对精度要求的提高，曝光机将进一步采用更精密的控制 技术，如高精度激光干涉仪、原子力显微镜等，以实现纳米级甚至更 精细的曝光。
曝光机工作原理
曝光机工作原理
曝光机是一种用于制作印刷品的设备，它主要通过光线的照射将图像反映到感光材料上。
曝光机的工作原理主要由以下几个步骤组成：
1. 材料准备：首先，将需要曝光的感光材料放置在机器上的曝光床上。
这些感光材料可以是光敏膜、感光胶片等。
2. 图像准备：接下来，将待曝光的图像放置在曝光机的图像台上。
图像可以是透明胶片、印刷底片等不透明材料。
需要注意的是，图像的亮度和对比度会直接影响到曝光的效果。
3. 光源照射：曝光机里内置了一个光源，通常是紫外线灯或者激光器。
当开始曝光时，光源会发出强烈的光线照射到图像上。
4. 显影：曝光后的感光材料需要进行显影处理。
这一步骤会用到显影液，它能够使曝光部分的图像逐渐显现出来。
显影液会溶解掉未曝光的部分，从而形成图像的可见部分。
5. 定影：显影后，感光材料需要进行定影处理。
定影液会中和显影液的残留物，并将感光材料中的化学物质彻底除去。
这一步骤的目的是保证图像的长期稳定性。
6. 清洗和烘干：定影后，需要对感光材料进行清洗和烘干处理，以去除残余的化学物质和水分，从而使图像更加清晰和稳定。
以上是曝光机的基本工作原理，通过光源的照射将图像反映到
感光材料上，并经过显影、定影、清洗等处理步骤，最终制作出高质量的印刷品。
曝光机概论培训资料(PPT30页)
5.平面反射鏡
平面反射鏡：關閉時，將聚焦 鏡所射入之光線，反射到下曲 鏡反射面。
6.曲鏡
曲鏡：將聚焦鏡所射入之光線， 平均反射於曝光玻璃之上，上面 之曲度可以確實的將射入之光線 由小面積之平行光線，轉換成為 大面積之平行光線。
7.光學玻璃
光學玻璃：為PCB與底片之載 體，為無色透明之光學玻璃， 使用真空方式固定PCB與底片， 安裝於上下框架之玻璃框， 一組框架共使用兩塊玻璃， 機台分為上下框架，可以提 昇機台之產速。
CBT曝光機概論
Agenda
製程概述 製程分類 感光劑種類 光源 對位系統 CBT曝光機 特殊設計 Q&A
製程概述
壓膜、曝光、顯影
曝光原理 利用紫外線(UV)
的能量，使感光油墨 中的光敏物質進行光 化學反應，而完成影 像轉移的目的。
常見PCB曝光所用UV光 源(如右圖) ,光源波 長365nm
2.鏡碗
鏡碗：將燈管所產生之光 線，反射後聚集於冷光鏡 上，鏡碗之材質為鋁合金， 內部為反射光線之鏡面。
3.冷光鏡
冷光鏡：將鏡碗所聚集之光 線，濾除其他光線後，僅反 射UV光線於聚焦鏡上，冷光 鏡之材質為耐熱玻璃，上面 鍍以特殊塗層以反射UV光。
4.聚焦鏡
聚焦鏡：將冷光鏡所反射之UV光線聚焦與 整理後，UV光穿透聚焦鏡射於曲鏡上，聚 焦鏡為多點聚焦，藉以整理所射入之UV散 射光。
CBT曝光機設備總表
5K 平行光 乾膜 製程
手動
E2002-5KMC E2002-10KMD
內層 防焊
單燈雙框雙面
E2100-5KMC E2100-5KAC
內層 外層
雙燈雙框雙面 E2100-7KMD
內層
CBT-810
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川宝平行光E2100-5KAC型曝光机
1、自动对位抽真空：
该曝光机上下框架玻璃无需malay膜，都是将每个框架的上下玻璃的内面贴上菲林底片（双面曝光），再将贴好干膜的板放在四个可稍微移动的顶针上，当框架下端的CCD自动对焦时，若有稍微对不正靶标，则这四个顶针会根据当前靶标进行稍微自动移动对标，待靶标对好后，即可抽真空达到400mmHg后，进入曝光。
2、曝光（约30S完成，线径和线距可小到3mil左右）：
曝光之前必须先预灯后，再点亮5KW的葫芦形水银灯，保持该灯常亮（使用额定时间为800-1000小时），有的可延长至1500-2000小时。
曝光框架进入曝光室后，将对进入的框架先进行上板面曝光，即：曝光室内的遮光反光玻璃（该玻璃下面反光，上面不透光，可用酒精擦拭）向一侧移动，将经过灯室内的冷反光镜玻璃（极其贵重，不能用酒精擦拭）反射的强UV光线、透过镜片直接射到曝光室内的上凹镜玻璃上（该玻璃镀有一层特殊薄膜，不能用酒精擦拭，只能用经无尘纸过滤后的压缩气进行清洁或确认无水汽的压缩气清洁），经过该上凹镜玻璃的折射得到一束平行光、并射到框架的上菲林面和上板面进行平行光曝光。
进入曝光室的框架的上板面曝光完成后，则曝光室内的遮光反光玻璃（该玻璃下面反光，上面不透光，可用酒精擦拭）将返回到原中心位置，并将经过灯室内的冷反光镜玻璃反射过来的强UV光线、再进行反射到曝光室内的下凹镜玻璃上（该玻璃镀有一层特殊薄膜，不能用酒精擦拭，只能用经无尘纸过滤后的压缩气进行清洁或确认无水汽的压缩气清洁），经过该下凹镜玻璃的折射得到一束平行光、并射到框架的下菲林面和下板面进行平行光曝光。
3、平行光曝光机附件（真空泵、冷水机、冷冻水盘管与风机、冷冻水盘管）：
附件一：真空泵箱内置2台真空泵，一台供上框用，另一台供下框用；每台真空泵的上面有一个小螺杆可上下移动作调真空度用（可调用为350-400mmHg，最大可调为650 mmHg，但只能调用到500 mmHg以下，否则为造成框架玻璃被吸破裂），一般情况维护时只对进气过滤芯用压缩气吹干净即可，必要时可给于更换。
附件二：冷水机的水箱内可加45L可饮用的纯净水（一定不能加其它不合格的水源，避免损坏冷冻水铜质盘管）。
附件三（冷冻水盘管与风机）：送风机的风量吹过冷水机上端的冻冻循环水盘管后，经上部的一个百叶窗进入曝光室，可对曝光室内的起到恒温恒湿作用；恒温时，冷冻水盘管内水的循环受盘管上的电磁阀控制（此电磁阀则受曝光机前面的温控器控制，常设定为18℃-22℃），电磁阀开启时则冷冻水循环、吹过风则为冷风，否则则是常温风。
恒湿时，盘管下面的三个加热器发热而加湿（反之，致冷时则是除湿），此加热器受冷水机内湿度控制器控制，常设为50%-60%。
机内的冷冻循环水盘：盘管下端的6个小风扇、可将经过冷冻水循环盘管的冷风吹进灯室，对整个灯室起到降温作用（盘管内冷冻水的循环受管道上的电磁阀控制，电磁阀受曝光机前端的温控器控制，常设温度为35℃-45、灯反光罩、灯管三个部位进行灯的局部降温，且三个鼓风机都加装了气压检测表，当气压低于70Pa时，则操作屏则会出现风量异常报警。
℃），请注意：灯室内另有三个小型鼓风机可将室内的冷空气分别吹到灯头
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