新电子级高纯氨抽取方法
高纯氨气制取方法
氨气纯化系统装置1、前言作为一种重要的特种气体，高纯氨广泛地应用于电子、化工、冶金、钢铁等工业方面的研究和生产中。
在电子工业中，高纯氨是不可缺少的原材料之一。
它主要用于集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器和光导纤维等领域【1】。
其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。
2、国内外状况目前全球气体行业整合后仅剩下四大工业气体企业，分别是林德集团（L inde）、液化空气集团（A ir L iquide）、空气化工产品有限公司（APC I）、普莱克斯（Praxair），这些企业不仅在商贸还在吸引投资方面展开直接竞争，这使得全球4大气体企业占据了世界市场75%左右的份额【2】。
除了这四大气体公司，还有英国氧气公司(BOC)、梅塞尔集团（Messer）、日本大阳日酸(Taiyo N ippon Sanso)、日本昭和电工(SDK)、日本住友化学(Sumitomo)等气体公司，在过去的10年中，Messer和BOC已分别被AirLiquide和Linde收购了，美国Solktronic Chemicals公司以及美国光谱公司被APC I公司收购了【3】，这些公司市场上都有高纯氨的生产和销售。
为满足全球半导体行业的需要，空气化工产品有限（APCI）公司在宾夕法尼亚州Hometown 电子专用气体制造联合企业中投资数百万美元建一座新的超高纯氨蒸馏装置。
该装置生产出量较大的超高纯氨（以白氨为商标）,它的纯度在99.99996%（6.6）以上，目标纯度为99.99999+%（7.0+）,以满足半导体以及如300毫米半导体和纯屏显示器之类其它增长中的市场和纯度的预测值。
重点是加强已确立的服务以及在北美、欧洲、中国和中国台湾、韩国及日本的不少增长中的终端用途市场，如发光二极管，激光和激光二极管，光电二极管，高功率半导体晶体管以及集成电路中的新客户。
我国对氨净化、分析等的研究起步于80年代，当时为满足我国微电子工业的需要，光明化工研究设计院、北京氧气厂先后开展了电子级高纯氨的研究与生产，目前大连利德也有电子级高纯氨的销售。
电子级超纯氨纯化提取装置[实用新型专利]
![电子级超纯氨纯化提取装置[实用新型专利]](https://img.taocdn.com/s3/m/52775913fab069dc51220107.png)
专利名称：电子级超纯氨纯化提取装置专利类型：实用新型专利
发明人：吴彦敏,丁高松,金向华
申请号：CN200920235917.4
申请日：20090928
公开号：CN201520643U
公开日：
20100707
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型公开了一种电子级超纯氨纯化提取装置，液氨储槽中的原料通过液氨泵送入两个并联汽化器中的一个，汽化后再先后经除油器和吸附干燥器后除去氨中油、水后，进入精馏塔，在冷凝器中除去低沸点N、O、CH等杂质，精馏塔底连接有两只再沸器，可使回流液氨汽化，并在残留液氨中除去高沸点杂质和金属离子，氨气再经终端纯化器深度吸附除去水分，然后经第二只冷凝器得到超纯液氨盛于产品储槽，本实用新型有效地去除去了氨中的各种杂质，使得到的氨纯度达到
99.99999％。
申请人：苏州市金宏气体有限公司
地址：215131 江苏省苏州市苏埭公路78号
国籍：CN
代理机构：南京众联专利代理有限公司
代理人：周新亚
更多信息请下载全文后查看。
电子级高纯试剂生产工艺流程
电子级高纯试剂生产工艺流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor. I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!电子级高纯试剂生产工艺流程一、准备工作阶段。
在开展电子级高纯试剂生产之前，需要做好充分的准备。
高纯氨的制造工艺
高纯氨的制造工艺说起高纯氨，这可是在很多领域都有着重要作用的宝贝！你想想，电子行业、化工行业，哪儿能离得了它？那它是怎么被制造出来的呢？这可真是个复杂又有趣的过程。
咱先来说说合成氨的原料准备。
就好比你要做一顿丰盛的大餐，得先把食材准备齐全吧？制造高纯氨也一样，得有优质的氮气和氢气。
氮气一般从空气中获取，这就像是从大海里捞鱼，得有合适的方法和设备。
氢气呢，常见的来源有天然气、煤等，通过一系列化学反应把它们“变”出来。
接下来就是合成氨的反应环节啦。
这就好像一场精彩的化学反应大派对！氮气和氢气在高温高压还有催化剂的作用下，欢快地结合在一起，生成了氨。
这个过程就像是两个人手拉手跳舞，得有合适的音乐（条件），才能跳得精彩。
可别以为生成了氨就大功告成了，这才只是个开头！接下来还得对氨进行提纯。
这就好比从一堆沙子里挑出金子，得有精细的手段。
通过各种分离和净化的技术，把杂质一点点去掉，让氨越来越纯。
在提纯过程中，温度、压力的控制那可是相当关键。
温度高了低了，压力大了小了，都可能影响到提纯的效果。
这就跟你烤蛋糕，火候掌握不好，蛋糕就可能烤糊或者没熟。
还有啊，设备的选择和维护也不能马虎。
好的设备就像是一把锋利的宝剑，能让制造过程更加顺利。
要是设备出了问题，那可就像战士上战场没了武器，干着急没办法。
另外，操作人员的技术和经验也非常重要。
他们就像是战场上的指挥官，每一个决策都关乎着最终产品的质量。
总之，高纯氨的制造工艺那是相当复杂和精细，每一个环节都不能出错。
这就像是在精心雕琢一件艺术品，只有用心、细心，才能制造出高质量的高纯氨，为各个行业提供有力的支持！你说是不是这个理儿？。
新电子级高纯氨抽取方法
新电子级高纯氨抽取方法氨气纯化系统装置1、前言作为一种重要的特种气体，高纯氨广泛地应用于电子、化工、冶金、钢铁等工业方面的研究和生产中。
在电子工业中，高纯氨是不可缺少的原材料之一。
它主要用于集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器和光导纤维等领域【1】。
其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。
2、国内外状况目前全球气体行业整合后仅剩下四大工业气体企业，分别是林德集团（linde）、液化空气集团（airliquide）、空气化工产品有限公司（apci）、普莱克斯（praxair），这些企业不仅在商贸还在吸引投资方面展开直接竞争，这使得全球4大气体企业占据了世界市场75%左右的份额【2】。
除了这四大气体公司，还有英国氧气公司（boc）、梅塞尔集团（messer）、日本大阳日酸（taiyonipponsanso）、日本昭和电工（sdk）、日本住友化学（sumitomo）等气体公司，在过去的10年中，messer和boc已分别被airliquide和linde收购了，美国solktronicchemicals公司以及美国光谱公司被apci公司收购了【3】，这些公司市场上都有高纯氨的生产和销售。
为满足全球半导体行业的需要，空气化工产品有限（apci）公司在宾夕法尼亚州hometown电子专用气体制造联合企业中投资数百万美元建一座新的超高纯氨蒸馏装置。
该装置生产出量较大的超高纯氨（以白氨为商标），它的纯度在99.99996%（6.6）以上，目标纯度为99.99999+%（7.0+），以满足半导体以及如300毫米半导体和纯屏显示器之类其它增长中的市场和纯度的预测值。
重点是加强已确立的服务以及在北美、欧洲、中国和中国台湾、韩国及日本的不少增长中的终端用途市场，如发光二极管，激光和激光二极管，光电二极管，高功率半导体晶体管以及集成电路中的新客户。
我国对氨净化、分析等的研究起步于80年代，当时为满足我国微电子工业的需要，光明化工研究设计院、北京氧气厂先后开展了电子级高纯氨的研究与生产，目前大连利德也有电子级高纯氨的销售。
电子级氨水的生产工艺与质量指标
电子级氨水的生产工艺与质量指标2.1 电子级氨水制法电子级氨水是用高纯氨通入高纯水中吸收，再经微孔滤膜处理即可。
电子级氨水合成的关键步骤是高纯氨的制备。
2.1.1 高纯氨制备传统方法传统高纯氨工艺主要有三种：1、工业氨经三级吸附除去油、水及部分碳氢化合物，膜压机压缩后送入精馏塔，二次精馏除去低沸点杂质，吸附器进一步除水得高纯氨。
2、工业氨用吸附法除去水，采用间歇精馏法除去低沸点杂质，得到99.999%的高纯氨。
3、工业氨经精馏、多重吸附、超滤、终端纯化得到99.9999%的高纯氨。
图2.1 几种有代表性的吸附剂暇射程度与时间的曲线吸附初期各吸附剂对NH中H0的吸附纯化程度曲线，1～7为不同试验的吸附剂。
图2.2 高纯氨生产工艺流程图1.工业级NH3；2．2’脱油干燥器；3．3’吸附器4．精馏塔；5．高纯NH3；6冷却水槽；7．过滤器；I脱油剂；II III IV干燥吸附剂表2.1 精馏提纯NH3工艺条件2.1.2 高纯氨制备其他方法武汉华灿光电有限公司的专利CN1907855提出一种直接合成高纯氨的方法，其特征在于：先对合成氨所需的两种原材料――氮气N2和氢气H2进行提纯，然后再把它们合成为氨，从而得到所需的高纯氨；或者再经过简单的分离，把其中的N2和H2分离出来，从而得到所需的高纯氨。
用这种方法获得高纯氨克服了以往提纯的困难，所以成本降低很多，高纯氨1 / 3江阴市润玛电子材料有限公司的专利CN101143728发明一种超高纯氨水的生产工艺，包括以下工艺步骤：（1）将液氨罐内的液氨输入缓冲罐；（2）缓冲罐的氨气通入第一个清洗塔中；（3）第一个清洗塔内的氨气进入第二个清洗塔内被去离子水吸收成氨水，并释放出比较纯的氨气；（4）第二个清洗塔内的氨气进入第三个清洗塔内被去离子水吸收成氨水，并释放出纯度极高的氨气；（5）第三个清洗塔纯度极高的氨气输入吸收塔后氨气被吸收塔内的去离子水大量的吸收；（6）在超净环境内，用过滤器对出吸收塔的氨水进行过滤分装得到超高纯的氨水成品。
电子化学品的提纯工艺
电子化学品的提纯工艺电子化学品的提纯工艺是一个复杂且精细的过程，旨在去除原料中的杂质，提高产品的纯度和洁净度。
以下是一些主要的电子化学品提纯工艺：1. 初步处理目的：去除原料中的大颗粒杂质和明显的污染物，以便后续的深度净化。
方法：包括过滤、沉淀、离心等。
其中，过滤是最常用的方法之一，可以通过选择不同的过滤器和滤纸，去除不同大小的颗粒杂质。
2. 深度净化有效液相色谱：一种高效的分离和纯化方法，可以有效地去除微小的杂质和污染物。
膜技术：基于膜的分离技术，通过选择不同的膜材料和膜孔径，去除不同大小的杂质和污染物。
间隙扫描：基于光学原理的分析方法，用于检测化学品中微小的杂质和污染物。
离子交换：通过交换树脂上的离子与原料中的离子，去除一些特定的离子杂质。
包括阴离子交换和阳离子交换，分别适用于去除阴离子和阳离子杂质。
例如，Tulsimer®MB-106UP是一种由核子级强酸型阳离子和强碱型阴离子预先混合的混床级离子交换树脂，专门用于超纯水系统的抛光。
3. 熔融结晶技术应用：熔融结晶技术是生产高纯度化工产品的重要技术，广泛应用于电子级的碳酸乙烯酯(EC)、碳酸二甲酯(DMC)、碳酸亚乙烯酯(VC)、氟代碳酸乙烯酯(FEC)、电子级磷酸、双氧水、硫酸等产品中。
特点：通过多级结晶，可以得到纯度为99.99%至99.9999%的超纯产品。
该技术具有产品纯度高、耦合吸附能力强（可将杂质控制在1ppb以内）、结晶面积大、处理能力强、结晶效率高等优点。
4. 精馏和精馏技术特点：精馏和精馏是常用的纯化方法，通过加热使化学品汽化，然后冷凝收集纯净的液体。
这种方法可以有效地去除挥发性杂质。
类型：包括常压蒸馏、真空蒸馏、分馏等。
其中，真空蒸馏适用于高沸点化学品的纯化，分馏适用于低沸点化学品的纯化。
5. 吸附和过滤方法：使用特定的吸附剂和过滤器，如活性炭、硅胶、分子筛、滤膜、滤芯等，去除微小颗粒和杂质。
6. 综合集成技术特点：提纯过程通常采用多种分离技术集成，如精馏、吸附、结晶、萃取等，以达到更高的提纯效果。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
氨气纯化系统装置1、前言作为一种重要的特种气体，高纯氨广泛地应用于电子、化工、冶金、钢铁等工业方面的研究和生产中。
在电子工业中，高纯氨是不可缺少的原材料之一。
它主要用于集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器和光导纤维等领域【1】。
其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。
2、国内外状况目前全球气体行业整合后仅剩下四大工业气体企业，分别是林德集团（ L inde）、液化空气集团（A ir L iquide）、空气化工产品有限公司（APC I）、普莱克斯（Praxair），这些企业不仅在商贸还在吸引投资方面展开直接竞争，这使得全球4大气体企业占据了世界市场75%左右的份额【2】。
除了这四大气体公司，还有英国氧气公司(BOC)、梅塞尔集团（Messer）、日本大阳日酸(Taiyo N ippon Sanso)、日本昭和电工(SDK)、日本住友化学(Sumitomo)等气体公司，在过去的10年中，Messer 和BOC 已分别被AirLiquide 和Linde 收购了，美国Solktronic Chemicals 公司以及美国光谱公司被APC I 公司收购了【3】，这些公司市场上都有高纯氨的生产和销售。
为满足全球半导体行业的需要，空气化工产品有限（APCI）公司在宾夕法尼亚州Hometown电子专用气体制造联合企业中投资数百万美元建一座新的超高纯氨蒸馏装置。
该装置生产出量较大的超高纯氨（以白氨为商标）,它的纯度在99.99996%（6.6）以上，目标纯度为99.99999+%（7.0+）,以满足半导体以及如300毫米半导体和纯屏显示器之类其它增长中的市场和纯度的预测值。
重点是加强已确立的服务以及在北美、欧洲、中国和中国台湾、韩国及日本的不少增长中的终端用途市场，如发光二极管，激光和激光二极管，光电二极管，高功率半导体晶体管以及集成电路中的新客户。
我国对氨净化、分析等的研究起步于80年代，当时为满足我国微电子工业的需要，光明化工研究设计院、北京氧气厂先后开展了电子级高纯氨的研究与生产，目前大连利德也有电子级高纯氨的销售。
但长期以来国内高纯氨主要还是依靠进口，并且是瓶装的。
日前，巨化股份参股的浙江衢州巨化昭和电子化学材料有限公司于2009年6月建成500吨／年的高纯氨生产装置，产品全部销往昭和电工的各分、子公司。
该公司由日本昭和电工株式会社、巨化股份、浙江晋巨化工有限公司共同发起设立。
我从事气体净化行业十多年，已积累了相当丰富的实践经验，客户遍及全国各地和海外市场。
通过自主研发，氨气指标序号检验项目单位测试结果1 处理氨气能力Nm3/h 422 出口压力Mpa 0.23 氧含量ppm 0.94 产品气露点℃ -705 H2 ppm 16 CO ppm 0.87 N2 ppm 0.58 产品气纯度% 99.999检验结果符合电子工业气体高纯氨GB/T14601-93规定的技术要求。
3、技术原理生产高纯氨的基本原理是是以工业一等品液氨(液氨等级划分见表2)为原料，利用各种纯化净化手段生产高纯氨。
采用的纯化方法视工业氨中所含杂质的种类、数量、性质和其最终所要达到的纯度而定。
一般氨中杂质的种类和数量主要有：油份、烃类、H20、02、Ar、N2、H2、CO 和CO2等。
表2 液氨等级划分标准指标名称指标优等品一等品合格品氨含量% ≥ 99.9 99.8 99.6残留物含量% ≤ 0.1（重量法） 0.2 0.4水分% ≤ 0.1 —————————油含量mg/kg ≤ 5（重量量）—————————2（红外光谱法）铁含量mg/kg ≤ 1 —————————注：液体无水氨的纯化应符合GB536-88的标准。
4、高纯氨生产的技术内容4.1工作原理一级氨被送到氨槽，氨槽里的液氨通过重力作用流向电加热汽化器，控制电加热汽化器水浴的温度给液氨加热，液氨汽化后又返回氨槽给氨槽增压，保证系统有恒定的压力，满足工艺要求。
增压后的氨气进入活性炭过滤器，主要脱除油类和有机气体杂质，随后进入尘埃过滤器以除去氨气中固体颗粒，进而进入电加热汽化器以保证系统有恒定的操作压力，随后进入氨蒸馏塔以除去氨气中的低沸点气体，随后通过减压进入除氧干燥器以除去氨气中的微量水分，最后进入缓冲罐储存以备用户使用。
4.2关键技术内容在确定氨气纯化系统装置的设计路线时，原料中的杂质种类、杂质含量是确定氨气纯化工艺的重要因素，在设计过程中我们也充分考虑了这些因素。
4.2.1突破氨循环电加热汽化器的设计技术难题目前市场上氨用电加热汽化器均采用裂管和盘管圆桶式，圆上装有5-15只电加热管,电加热管加热水后汽化氨，这种氨用电加热汽化器均为不防爆加热，总结起来缺点如下：A、目前电加热汽化器为不防爆,由于氨为易燃、易爆物品,因此不防爆安全有很大问题。
B、如原电加热汽化器采用防爆.由于圆桶式的加热汽化器采用5-15只加热装置.如每只都需要防爆.造价比现有增加200%以上。
C、现有汽化器无水位显示,如缺水可能会造成干烧等现象，加热系统容易出现问题。
针对以上缺点我公司的科研小组成员深入研究，探索了一套可行性技术方案，最终解决此缺陷，确立此本实用新型氨循环电加热汽化器，本实用新型涉及液氨转变气态氨，提供液氨循环动力。
具体优点如下：A、由于本司研制生产的电加热汽化器加热点比较少，因此全部采用防爆妥善解决安全问题。
B、新型电加热汽化器有水位显示，高度均比以前短，可以从顶部进行拆卸清理长时间使用而产生的水垢。
C、由于结构紧凑、体积小、维修、维护方便，造价低等优点，采用电加热水来使氨汽化，因此传热效率高、汽化效率高、汽化能力强。
此氨用电加热汽化器主要利用特制高效率电加热器加热筒体内的水，被加热的水加热紧凑式换热管内的液氨，采用先进的水温控制系统，工作时气化量极其稳定，出口温度可根据实际状况调整。
已申请专利，主要流程如下：液氨从进氨口进入汽化器，在汽化器内部进入S型盘管，目的是增加管程表面的传热面积。
排污口在底部，在上部装一只溢水口，测温系统采用铂电阻，控温采用温控仪。
加热装置使用U 型蛔热棒，分布均匀合理，并在表面加防爆接线罩，符合安全规范。
4.2.2突破氨蒸馏塔的设计技术难题在液氨进行首次除杂设计时用何种方法何种设备至关重要，我公司自行设计的氨蒸馏塔是整个氨气纯化工艺的核心部件，主要是除去氨中的低沸点杂质，如N2、CO、O2、CH4、H2等，设备设有压力表口、压力变送器口、安全阀口、气氨出口、气氨进口、废气放空口、冷冻水进口、排污口、液位计口等。
除油除杂后的氨气进入氨蒸馏塔，氨蒸馏塔顶部设有塔顶冷凝器，塔底设有再沸器，塔体内装有波纹填料，塔底由再沸器供热，在精馏塔中同时多次进行部分汽化、部分冷凝，气液两相在塔内实现传热传质分离。
塔顶富集的低沸点组分经放空管连续排出。
高纯氨集中于塔内釜底经过再沸器加热可实现气相连续收集，为后续工艺源源不断提供高纯氨气。
4.2.3突破除氧除水一体化的技术难题氨气纯化系统装置中的除氧除水一体化设备的设计原理是物理法与化学法相结合的除杂方法。
本套设备与传统的除氧除水分别用两个设备进行除杂是有区别的，在设计的过程中，我们的专家研究小组经过多次设计、试验、再修改设计、再试验，不断的技术完善，最终确立了我们公司独创的除氧除水一体化设备。
本套设备即在传统的除氧器上进行了创新，在塔体设计的时候进行了分层套筒设计，即目标氨气形成M 型线路在塔体运行，先后把氧气和水分一次性除掉，塔体的除氧剂和除水剂也都具有再生功能，在塔体套筒内安装有加热棒，加热吸附剂使其再生，再生时再生气运行方向与正常生产气运行方向刚好相反，既节约了成本，又使设备简约化，同时也简化了工艺。
4.3本套氨气纯化系统装置技术先进性4.3.1纯化技术:对应用于半导体领域的高纯气体纯度要求极高,特别是影响半导体材料生长的氧、水以及其它杂质含量必须达到ppm-ppb 级.我们针对原料气体的杂质含量、理化性质,以高效吸附和高效精馏为主要纯化方法，重点选择选择性好、吸附容量大、纯化深度高的新型吸附剂、高性能催化剂，具有吸附和催化两种功能，杂质脱除达到使用要求。
本工艺特别宜于规模化生产。
4.3.2净化技术:为了使高纯超净氨达到预期的纯度和洁净度,对与气体接触的所有设备、容器、管路的材质进行预处理,做到无表面吸附、无表面化学反应、无粒子脱落、无死体积、密封性能好。
在净化系统中,选择捕集效率高,孔径小的高效过滤器,极大降低产品中的尘埃粒子,达到产品超纯洁净。
4.3.3分析检测技术:ppb 级或ppt(10-9～10-12)级气体杂质、金属离子及尘埃粒子的检测是研制开发高纯氨必须解决的技术关键,痕量杂质的检测基于建立可靠的分析方法和先进的检测仪器。
我们在引进了国外先进的分析仪器基础上,选用ppb～ppt 级杂质分析方法。
特别是水和金属杂质的分析,无论在线还是抽检都做到数据重复性、准确性，为保证产品质量提供技术保障。
4.3.4产业化生产技术:采用吸附、精馏、超滤组合纯化技术,更易于进行大流量高纯氨纯化处理；采用具有创新性的工艺过程和操作条件,对吸附剂再生技术进行改进。
吸附剂再生完成后,采用特殊反吹技术,作为下一吸附周期的过渡,使吸附剂恢复到最高活性,可以连续稳定地生产高纯氨产品。
4.4氨气纯化系统装置已实现工业化生产高纯氨产品作为半导体技术的关键材料,主要是美国、日本等公司生产和销售。
纯度可以达到99.999%以上，生产规模为年产数千吨级。
本公司研制和开发的高纯氨(99.999%)生产设备,其技术指标与进口产品相当，于2008年6月在建成的年产能力270吨的高纯氨连续生产装置已投入使用，在国内多个厂家也有设备在投入使用，2010年预计会实现年产1000吨的高纯氨连续生产装置的生产，以此标志着高纯氨生产设备实现了工业化生产。
高纯氨(99.999%)是半导体技术发展引发的必然需求产品。
应用领域包括半导体照明、液晶显示、太阳能电池以及大规模集成电路制造。
国际、国内都有巨大的潜在市场,目前只有欧美发达国家可以生产,其生产能力远远满足不了日益发展的光电子产业需求,我们提供的氨气纯化系统设备无论在价格上还是在技术服务上都有明显的优势。
__。