二氯二氢硅的物化性和危害及防范措施
二氯二氢硅 MSDS
化学品安全技术说明书1. 化学品1.1 名称二氯硅烷1.2 鉴别的其他方法无数据资料2. 危险性概述2.1 GHS危险性类别易燃气体 (类别 1)压力下气体 (液化气体)急性毒性, 吸入 (类别 3)皮肤腐蚀/刺激 (类别 1B)严重眼睛损伤/眼睛刺激性 (类别 1)2.2 GHS 标签要素，包括防范说明2.3 其它危害物遇水剧烈反应。
遇水剧烈反应。
3. 成分/组成信息象形图信号词危险危险声明H220 极易燃气体。
H280 内装高压气体；遇热可能爆炸。
H314 造成严重皮肤灼伤和眼损伤。
H331 吸入会中毒。
警告声明无数据资料预防措施P210 远离热源/火花/明火。
禁止吸烟。
P261 避免吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
P264 作业后彻底清洗皮肤。
P271 只能在室外或通风良好之处使用。
P280 戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
事故响应P301 + P330 + P331 如误吞咽：漱口。
不要诱导呕吐。
P303 + P361 + P353 如果皮肤（或头发）接触：立即除去∕脱掉所有沾污的衣物。
用水清洗皮肤∕淋浴。
P304 + P340 + P310 如果吸入：将受害人移至空气新鲜处并保持呼吸舒适的姿势休息。
立即呼叫解毒中心或就医。
P305 + P351 + P338 + P310 如溅入眼睛，用水小心冲洗几分钟。
如戴隐形眼镜且便于取出，取出隐形眼镜，继续冲洗。
立即呼叫解毒中心或就医。
P363 沾染的衣服清洗后方可重新使用。
P377 漏气着火：切勿灭火，除非漏气能够安全地制止。
P381 除去一切点火源，如果这么做没有危险。
储存P403 + P233 存放在通风良好的地方。
保持容器密闭。
P405 存放处须加锁。
P410 + P403 防日晒。
存放在通风良好处。
废弃处置P501 将内装物/容器送到批准的废物处理厂处理。
4. 急救措施4.1 必要的急救措施描述4.2 最重要的症状和健康影响 该物质对粘膜组织和上呼吸道、眼睛和皮肤破坏巨大。
多晶硅中二氯二氢硅反歧化地的综述
二氯二氢硅歧化反应的综述摘要：二氯二氢硅（Dichlorosilane ,简称DCS）是多晶硅行业中产生的废料之一，如何充分利用二氯二氢硅，减少污染，增加三氯氢硅的产量，是多晶硅行业中比较重要的问题之一。
本文详细综述了国内外二氯二氢硅歧化反应的有关技术，并对二氯二氢硅歧化反应的催化剂进行了详细的叙述，为今后进一步研究二氯二氢硅的歧化反应提供了理论依据。
关键词：二氯二氢硅，歧化，多晶硅英文摘要：Dichlorosilane is one of the by-products from the reaction of at least one of meatallurgical silicon and silicon tetrachloride with at least one of anhydrous hydrogen chloride and hydrogen to produce trisilane.It is important to the silicon industry how to take advantage of the dichlorosilane. This paper introduced the dispropornation of dichlorosilane to produce trichlorosilane and summarized the dispropornation catalyst. Through this paper, it provided a theoretical basis for the further research of the dichlorosilane dispropornation.二氯二氢硅(又名二氯硅烷，Dichlorosilane ，简称DCS），分子式SiH2Cl2，无色，剧毒，腐蚀性，易燃，带有刺激性的盐酸味，常温下呈液化的气体。
二氯二氢硅饱和蒸汽压
二氯二氢硅饱和蒸汽压二氯二氢硅（简称DCS）是一种常用于半导体材料制备和化学气相沉积（CVD）的硅有机化合物。
它是一种无色、易挥发的液体，在室温下具有刺激性的气味。
二氯二氢硅的化学式为SiH2Cl2，它的分子量为62.99 g/mol。
二氯二氢硅的饱和蒸汽压是指在特定温度下，液态二氯二氢硅与其蒸气相达到平衡时的气体压强。
饱和蒸汽压通常以单位面积上的压力表现，常用单位是帕斯卡（Pa）或毫米汞柱（mmHg）。
饱和蒸汽压与温度有直接的关系，通常以饱和蒸汽压-温度曲线或图表的形式表示。
二氯二氢硅的饱和蒸汽压对于很多应用是非常重要的。
特别是在半导体材料制备和化学气相沉积过程中，控制二氯二氢硅的饱和蒸汽压能够影响薄膜沉积速率、质量和均匀性。
因此，研究二氯二氢硅的饱和蒸汽压和其与温度的关系是非常有意义的。
在实验中，通常使用普朗克公式或克劳修斯克拉佩龙公式来计算二氯二氢硅的饱和蒸汽压。
普朗克公式是基于理想气体状态方程的近似，可以通过测量压力和温度的关系来求解。
克劳修斯克拉佩龙公式是基于统计力学理论的，通过分子间相互作用力来计算饱和蒸汽压。
在实际应用中，二氯二氢硅的饱和蒸汽压可以通过实验测试来确定，也可以通过现有数据表进行查找。
一些研究机构和厂家提供了多种温度下的饱和蒸汽压数据，可以作为实验和工程应用的参考。
二氯二氢硅的蒸发和沉积过程是一个复杂的动态平衡过程。
温度、压力、气体流量、反应气体组成等参数的变化都会对二氯二氢硅的蒸发和沉积过程产生影响。
因此，在实际应用中，除了需要了解二氯二氢硅的饱和蒸汽压，还需要对整个沉积过程进行细致的研究和优化。
总结起来，二氯二氢硅的饱和蒸汽压是一个重要的热力学参数，对于半导体材料制备和化学气相沉积具有重要的影响。
通过实验测试和理论计算，可以获得二氯二氢硅在不同温度下的饱和蒸汽压数据，为实验研究和工程应用提供依据。
在今后的研究和应用中，我们需要进一步深入研究二氯二氢硅的蒸发和沉积机理，优化制备过程，使其在半导体材料制备和化学气相沉积中发挥更大的作用。
二氯二氢硅冷凝温度
二氯二氢硅冷凝温度二氯二氢硅（Dichlorodihydrogensilane，简称DCDHS）是一种无色气体，常用于半导体材料的制备中。
它的冷凝温度是指在一定的压力下，DCDHS从气态转变为液态的温度。
本文将从DCDHS 的性质、应用以及冷凝温度的影响因素等方面进行探讨。
让我们来了解一下DCDHS的性质。
DCDHS的化学式为SiH2Cl2，它由一个硅原子、两个氢原子和两个氯原子组成。
由于硅原子的电负性较高，DCDHS具有一定的极性。
此外，DCDHS具有较低的沸点和较高的蒸汽压，使得它在常温下能够很容易地蒸发成气态。
DCDHS在半导体材料的制备中起着重要的作用。
它可以用作表面改性剂，通过在半导体材料的表面形成一层保护膜，提高材料的稳定性和性能。
此外，DCDHS还可以作为半导体材料的前体，通过热分解或化学反应来制备硅基材料。
这些硅基材料在半导体行业中有着广泛的应用，如光电子器件、太阳能电池等。
DCDHS的冷凝温度是指在一定的压力下，DCDHS从气态转变为液态的温度。
冷凝温度的影响因素有很多，例如压力、纯度、环境温度等。
在常温下，DCDHS处于气态，当降低温度或增加压力时，DCDHS会逐渐冷凝成液态。
冷凝温度的测定对于DCDHS的生产和应用具有重要意义。
一方面，了解DCDHS的冷凝温度可以帮助调整生产工艺，确保DCDHS的纯度和质量。
另一方面，冷凝温度还可以影响DCDHS在半导体材料制备中的应用效果，因此需要进行合理控制。
除了冷凝温度，DCDHS的物理性质也会受到温度的影响。
例如，随着温度的升高，DCDHS的蒸汽压会增大，使得DCDHS更容易从液态转变为气态。
此外，温度还会影响DCDHS的扩散性能和反应活性，从而影响硅基材料的生长速率和质量。
总结起来，DCDHS是一种重要的半导体材料前体，其冷凝温度是指在一定压力下，DCDHS从气态转变为液态的温度。
冷凝温度的测定和控制对于DCDHS的生产和应用具有重要意义。
二氯二氢硅的物化性和危害及防范措施
编号：SM-ZD-85905二氯二氢硅的物化性和危害及防范措施Through the process agreement to achieve a unified action policy for different people, so as to coordinate action, reduce blindness, and make the work orderly.编制：____________________审核：____________________批准：____________________本文档下载后可任意修改二氯二氢硅的物化性和危害及防范措施简介：该方案资料适用于公司或组织通过合理化地制定计划，达成上下级或不同的人员之间形成统一的行动方针，明确执行目标，工作内容，执行方式，执行进度，从而使整体计划目标统一，行动协调，过程有条不紊。
文档可直接下载或修改，使用时请详细阅读内容。
1.别名·英文名二氯硅烷；DichIorosilane．2.用途：电子气、外延、化学气相淀积。
3.制法：(1)硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。
(2)在高温下，硅与氢及氯化氢反应，再精馏提纯。
二、理化性质分子量：101.010 熔点：-122.0℃、沸点(101.325kPa)：8.2℃、液体密度(0℃，101.325kPa)：1220kg/m 、气体密度(25℃，101.325kPa)：4.168kg/m 、相对密度(气体，空气=1，25℃，101.325kPa)：3.52·、比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2391m/kg 、气液容积比(15℃，100kPa) 290L/L 、临界温度：176.0℃、临界压力：4676kPa 、临界密度：463kg/m3、气化热(8.4℃，101.325kPa)：249.kJ/kg 、比热容(25℃，气体)：Cp=611.27J/(kg·K) 、蒸气压(-20℃)：31.4kPa 、(0℃)：81.1kPa、(20℃)：167.2kPa 、粘度(气体，20℃，101.325kPa)：0.0163mPa·s、表面张力(20℃)：11.9mN/m 、空气中可燃范围(20℃，101.325kPa)：4.1%～98.8%(体积)、自燃点：100.0℃二氯硅烷在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体。
二氯二氢硅歧化反应生成
二氯二氢硅歧化反应生成
二氯二氢硅歧化反应是一种有机硅化合物的合成方法，该反应的产物是多种不同的有机硅化合物，具体的生成产物取决于反应条件和反应物的不同。
一种常见的生成产物是二氯硅烷（R2SiCl2），其中R可以是
烷基、芳基或取代基。
例如，使用二氯二甲基硅
（(CH3)2SiCl2）作为反应物时，反应生成的产物为二氯二甲
基硅。
另一种可能的生成产物是芳基二氯硅烷（ArSiCl2），其中Ar
是芳香基团。
例如，使用苯基二氯硅烷（PhSiCl2）作为反应
物时，反应生成的产物为二苯基二氯硅。
此外，二氯二氢硅歧化反应还可以生成其他多氯硅化合物，如三氯硅烷（R3SiCl）和四氯硅烷（R4SiCl2），其中R与上述
相同。
需要注意的是，二氯二氢硅歧化反应是一种强氧化性反应，需要在适当的反应条件下进行，如在惰性气体（如氮气）保护下，以避免不必要的副反应发生。
同时，对于某些反应物，可能需要使用催化剂或添加剂来促进反应的进行。
二氯二氢硅对多晶硅生产的影响
·25·二氯二氢硅又名二氯硅烷，分子式为SiH 2Cl 2，在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体。
空气中易燃，可燃范围（20℃，101.325kPa）为4.1%~98.8%（体积）。
加热至100℃以上时会自行分解而生成盐酸、氯、氢和不定性硅。
目前在采用改良西门子法生产多晶硅过程中，二氯二氢硅是难以避免的主要副产物，对产品质量及生产成本均有着较大影响。
生产系统二氯二氢硅含量高已成为制约生产系统安全、环保、节能降耗的一个大问题。
1 二氯二氢硅的来源二氯二氢硅的制备工艺主要有歧化法、合成法和氢化法[1]。
在多晶硅生产过程中，三氯氢硅合成、三氯氢硅还原和四氯化硅氢化三个工序均满足二氯二氢硅产生条件，因此这三个工序均有二氯二氢硅的产生。
1.1 三氯氢硅还原工序产生还原工序主要原理为将高纯度的三氯氢硅和氢气按一定量比例混合后送入还原炉，以硅芯为载体，在1080~1100℃下通过化学气相沉积反应生成。
三氯氢硅还原主要进行如下的反应（1）：SiHCl 3+H 2→Si+3HCl （1）2SiHCl 3→Si+2HCl+SiCl 4 （2）当温度小于950℃时，可能发生如下反应：2SiHCl 3+H 2→HCl+SiH 2Cl 2 （3）SiHCl 3→SiCl 4+SiH 2Cl 2 （4）当温度小于260℃~280℃时，还伴随反应（5）：Si+2HCl →SiH 2Cl 2 （5）在改良西门子法生产多晶硅过程中，还原工序主要符合歧化法和氢化法生产二氯二氢硅工艺原理，且在生产过程中符合反应的温度范围较宽，从进料至停炉过程均会产生二氯二氢硅。
还原炉在停炉时温度均会低于280℃，如果炉内残留有生产的无定型硅，符合合成法生产二氯二氢硅制备条件，仍然会与氯化氢生成二氯二氢硅，但在还原工序产生的二氯二氢硅主要以三氯氢硅裂解过程同步产生，尤其还原炉尾气从底盘排除过程，稳定均低于950℃。
SiH2Cl2理化
二氯二氢硅SiH2Cl21.别名·英文名二氯硅烷；DichIorosilane．2.用途电子气、外延、化学气相淀积。
3.制法(1)硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。
(2)在高温下，硅与氢及氯化氢反应，再精馏提纯。
4.理化性质分子量：101.010熔点：-122.0℃沸点(101.325kPa)：8.2℃液体密度(25℃，101.325kPa)：1220kg/m3气体密度(25℃，101.325kPa)：4.168kg/m3相对密度(气体，空气=1，25℃，101.325kPa)：3.52·比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2391m3/kg气液容积比(15℃，100kPa)：290L/L临界温度：176.0℃临界压力：4676kPa临界密度：463kg/m3压缩系数：气化热(8.4℃，101.325kPa)：249.kJ/kg比热容(25℃，气体)：Cp=611.27J/(kg·K)蒸气压(-20℃)：31.4kPa(0℃)：81.1kPa(20℃)：167.2kPa粘度(气体，20℃，101.325kPa)：0.0163mPa·s表面张力(20℃)：11.9mN/m空气中可燃范围(20℃，101.325kPa)： 4.1%～98.8%(体积)自燃点：100.0℃二氯硅烷在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体。
空气中易燃，100℃以上能自燃，燃烧氧化后生成氯化氢和氧化硅。
加热至100℃以上时会自行分解而生成盐酸、氯、氢和不定性硅。
施以强烈撞击时也会自行分解。
在湿空气中产生腐蚀性烟雾。
遇水水解生成盐酸和聚硅氧烷(SiH2O)4。
可溶于苯、醚和四氯化碳。
与碱、乙醇、丙酮起反应。
即使接触小量卤素或其它氧化剂也会发生激烈反应。
与三烷基胺、吡啶形成加成化合物。
与三氟化锑反应生成氟硅烷。
5.毒性有毒气体范围：>0.25ppm嗅觉浓度：～1ppm刺激性浓度：～10ppm最高容许浓度：0.5ppm(2mg/m3)二氯硅烷的毒作用主要是由它在湿空气中的水解产物氯化氢引起的。
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二氯二氢硅的物化性和危
害及防范措施
Through the process agreeme nt to achieve a uni fied action policy for differe nt people, so as to coord in ate acti on, reduce bli ndn ess, and make the work orderly.
编制：____________________ 审核：____________________ 批准：____________________
二氯二氢硅的物化性和危害及防范
措施
简介：该方案资料适用于公司或组织通过合理化地制定计划，达成上下级或不同的人员
之间形成统一的行动方针，明确执行目标，工作内容，执行方式，执行进度，从而使整
体计划目标统一，行动协调，过程有条不紊。
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1. 别名•英文名
二氯硅烷；Dichlorosilane .
2. 用途：
电子气、外延、化学气相淀积。
3. 制法：
(1)硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。
(2)在高温下，硅与氢及氯化氢反应，再精馏提纯。
二、理化性质
分子量：101.010 熔点：-122.0 C 、沸点(101.325kPa) : 8.2 C、液体密度(0 C, 101.325kPa):
1220kg/m 、气体密度(25 C, 101.325kPa) : 4.168kg/m 、
相对密度(气体，空气=1 , 25 C, 101.325kPa) : 3.52 •、比容(21.1 C, 101.325kPa) : 0.2391m/kg 、气液容积比(15 C,
100kPa) 290L/L 、临界温度：176.0 C、临界压力：
4676kPa 、临界密度：463kg/m3
、气化热(8.4 C, 101.325kPa) : 249.kJ/kg 、比热容
(25 C，气体)：Cp=611.27J/(kg K)、蒸气压(-20 C ): 31.4kPa、(0
C )：81.1kPa
、(20 C ): 167.2kPa、粘度(气体，20 C, 101.325kPa):
0.0163mPa s
、表面张力(20 C): 11.9mN/m 、空气中可燃范围(20 C, 101.325kPa) : 4.1% 〜98.8%(体积)、自燃点：100.0 C 二氯硅烷在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀
性的无色有毒气体。
空气中易燃，100 C以上能自燃，燃烧
氧化后生成氯化氢和氧化硅。
加热至100 C以上时会自行分
解而生成盐酸、氯、氢和不定性硅。
施以强烈撞击时也会自行分解。
在湿空气中产生腐蚀性烟雾。
遇水水解生成盐酸和聚硅氧烷(SiH2O)4。
可溶于苯、醚和四氯化碳。
与碱、乙醇、丙酮起反应。
即使接触小量卤素或其它氧
化剂也会发生激烈反应。
与三烷基胺、吡啶形成加成化合物。
与三氟化锑反应生成氟硅烷。
三、毒性
有毒气体范围：>0.25ppm 、嗅觉浓度：〜1ppm -
刺激性浓度：〜10ppm 、最高容许浓度：0.5ppm(2mg/m)
二氯硅烷的毒作用主要是由它在湿空气中的水解产物氯化氢引起的。
因此，人吸入后激烈刺激呼吸道，引起呛咳、呼吸道发炎、喉痉挛和肺水肿。
触到眼睛可引起流泪并导致眼灼伤。
接触皮肤可引起化学烧伤。
液态二氯硅烷也可引起冷烧伤。
四、安全防护
可把二氯硅烷看作火源，禁止在任何火灾危险区存放钢瓶或敷设二氯硅烷的管道。
气体用钢瓶贮装，钢瓶要存放在阴凉干燥通风的室外或强制通风的室内，要远离氧化剂、火源和热源。
设备管道等使用前须脱水和密封。
可用氦探漏器、
氨或本身的窒息性气味来检漏。
所有设备管道要接地。
设备或装置暂时不用或延长停产时间时，应把二氯硅烷放出来，充入干燥的惰性气体。
有水分时二氯硅烷呈强酸性，腐蚀性极强。
对无水二氯硅烷可用铁、
低合金钢、镍钢、铜镍合金、镍、海帕伦、蒙乃尔、银、金、铂、钽。
不能用铝、铝合金、铜硅合金、黄铜等。
可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、天然橡胶、玻璃、瓷料、石墨等。
但是在二氯硅烷可能燃烧的地方避免使用可燃性材料。
当发生火灾时，首先要关闭气瓶阀，断绝气源。
灭火时，如果用水，则产生大量氯化氢，如果用碱性粉末，则产生氢气，因此这两者都不可用。
可以用二氧化碳和砂子。
废气可用水或苛性钾等碱液吸收，可以用相应的吸附剂吸附，也可以在严格控制下燃烧。
氮气
本品为无色无臭气体，化学性质不活泼，不燃，常温下和锂能直接反应，炽热时与镁、钙、锶、钡、氧和氢直接化合，微溶于水、乙醇。
本品用于合成氨，制硝酸、氰化物、炸药等，作为惰性气体可用于填充灯泡和高温计。
也用作物质保护剂、冷冻剂。
对人体的危害
本品侵入人体的途径为吸入。
空气中氮气含量过高，使吸入氧气分压下降，引起缺氧窒息。
吸入氮气浓度不太高时，患者最初感胸闷、气短、疲软无力；继而有烦躁不安、极度兴奋、舌L跑、叫喊、神情恍惚、步态不稳，称之为“氮酩酊”，可进入昏睡或昏迷状态。
吸入高浓度，患者可迅速
昏迷、因呼吸和心跳停止而死亡。
潜水员深潜时，可发生氮的麻醉作用；若从高压环境下过快转入常压环境，体内会形成氮气气泡，压迫神经、血管或造成微血管阻塞，发生“减压病”。
急救措施
吸入本品后，迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅，如呼吸困难，给输氧。
如呼吸心跳停止，立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。
就医。
防护措施
本品生产过程密闭操作，提供良好的自然通风条件。
呼吸系统防护：一般不需特殊防护。
当作业场所空气中氧气浓度低于18 %时，必须佩戴空气呼吸器、氧气呼吸器或长管面具。
眼睛防护：一般不需特殊防护。
身体防护：穿一般作业工作服。
手防护：戴一般作业防护手套。
其他防护：避免高浓度吸入。
进入罐、限制性空间或其他高浓度区作业，须有人监护。
消防措施
本品一般储存于高压容器内，若遇高热，容器内压增大，
有开裂和爆炸的危险。
灭火方法为，本品不燃，要尽可能将容器从火场移至空旷处。
喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。
泄漏应急处理
迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。
建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般企业管理工作服。
尽可能切断泄漏源。
合理通风，加速扩散。
漏气容器妥善处理，修复、检验后再用。
储运措施
本品储存于阴凉、通风的库房。
远离火种、热源。
防止
日光直晒及雨淋水湿。
库温不宜超过30 C。
储区应备有泄漏应急处理设备。
本品采用钢瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。
钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护拦板，并用三角木垫卡牢，防止滚动＜严禁与易燃物或可燃物等混装混运。
夏季应早晚运输，防止
日光曝晒。
铁路运输时要禁止溜放。
包装：钢瓶内贮存，瓶外漆成黑色，用黄色标明“氮气”。
钢瓶阀门应罩安全帽，瓶身应有防震胶圈。
养护
入库验收：核对品名，检查钢瓶有效期限钢印，检查
阀门是否漏气。
堆码苫垫：用专用木架直立设置，平放时阀门在同一方向，垛底高10厘米至15厘米，堆码1层至4层，垛距80厘米，墙距、柱距40厘米。
在库检查：每日交接班各检查一次，每季度检查一次
并称重。
温湿度管理：库温度不超过30 C。
安全作业：钢瓶不得摔、震、撞击或在地面滚动。
保管期限：1年。