晶格常数的精确测定

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半导体晶圆 检测精度要求标准

半导体晶圆 检测精度要求标准

半导体晶圆检测精度要求标准半导体晶圆是制造集成电路(IC)的基础材料,其质量和精度直接影响到IC产品的性能和可靠性。

由于半导体晶圆的尺寸很小,一般为8英寸或12英寸,因此需要进行精确的检测和测试,以确保其性能达到要求。

在半导体晶圆制造过程中,有一系列检测精度要求标准应用于晶圆表面缺陷、结构和电学参数等方面的测试。

首先,晶圆的表面缺陷检测精度要求非常高。

由于晶圆用于制造芯片,因此表面的缺陷很容易导致芯片的故障。

常见的表面缺陷包括划痕、污染、氧化和颗粒等。

在检测过程中,需要使用高分辨率的显微镜或其他表面检测设备,对晶圆进行全面的检查。

检测标准要求能够清楚地识别和定位缺陷,并准确计量其尺寸和形状特征。

其次,晶圆的结构检测精度要求也很高。

晶圆的结构包括晶体取向、晶体结构和晶格常数等方面。

其中,晶体取向是指晶圆表面晶体方向组成的规律排列,晶体结构是指晶圆内部的晶粒排列和连接方式,晶格常数是指晶体中原子之间的距离。

这些结构参数对于晶圆的电学性能和工艺制程都有重要影响。

因此,结构检测需要使用高精度的显微镜、电子显微镜及X射线衍射等设备,来测量和分析晶圆的结构特征。

最后,晶圆的电学参数检测精度也是非常重要的。

半导体晶圆作为电子元件材料,其电学参数如电阻、电容和电压等十分重要。

在生产过程中,需要对晶圆进行电学参数测试,以保证其与IC设计要求一致。

电学参数测试需要使用高精度的测试设备,如测量电路、信号发生器等,并对测试结果进行精确的分析和验证。

除了上述提到的检测精度要求标准,还有其他一些检测要求需要注意。

首先,检测精度应该能够满足不同工艺要求。

由于不同的产品和工艺制程对晶圆的要求不同,因此检测标准应该具备一定的灵活性和可调整性,以适应不同产品和工艺的需求。

其次,检测精度还应具备一定的可重复性和一致性。

由于晶圆制造过程中涉及到多个工序和多个检测点,每个检测点的结果应该能够保持一致,且能够重复多次得到相同的结果。

这可以通过确保检测设备的准确度和稳定性,以及制定严格的检测流程和规范来实现。

晶胞参数的测定范文

晶胞参数的测定范文

晶胞参数的测定范文晶体学中的晶胞参数是描述晶体结构的重要参数,它包括晶胞的长度、角度、空间群和晶胞的相对位置等信息。

精确测定晶胞参数对于理解晶体结构和性质,以及实现晶体工程应用至关重要。

本文将介绍晶胞参数的测定方法及其应用。

首先,需要选择适当的单晶样品。

单晶样品是指晶体中只有一种晶体方向的晶体,它可以提供对晶胞参数的更准确测定。

可以使用晶体生长技术来获得单晶样品,比如溶液法、气相输运法等。

然后,对单晶样品进行制备,以便进行X射线衍射测量。

一般来说,需要将单晶样品切割成合适的尺寸,通常是小于1mm大小的立方体,并进行必要的精细加工,以提高测量的准确性。

接下来,进行X射线衍射测量。

X射线衍射实验通常是通过在晶体上照射X射线束,测量衍射的X射线强度和角度来得到晶体的结构信息。

衍射实验可以采用旋转法或倾斜法进行。

旋转法是固定探测器,旋转主要方向测量不同角度的衍射数据;倾斜法是固定样品,通过倾斜角度改变衍射条件,得到不同的衍射数据。

测量完成后,需要进行数据处理和分析以获取晶胞参数的数值。

这通常涉及到使用衍射数据进行峰、峰位置修正、结构因子计算等步骤。

最后,根据衍射数据和分析结果,可以推导出晶体的空间群、晶胞参数、原子位置等信息。

晶胞参数的测定在晶体学中具有广泛的应用。

它可以帮助研究人员了解晶体的结构和性质,确定其晶体学类型,探索晶体的晶体工程应用。

例如,通过测定晶胞参数,可以计算晶胞体积和密度,确定晶格常数和晶格弹性常数,了解晶体的对称性和晶胞形状等。

晶胞参数的测定对于新材料的发现、催化剂的设计、固体物理学和化学等领域的研究都有重要意义。

总之,晶胞参数的测定是理解晶体结构和性质的关键步骤之一,其中X射线衍射是最常用的测定方法之一、通过选择适当的样品、测量和分析数据,可以得到准确的晶胞参数,并对晶体进行深入研究和应用。

晶胞参数的测定在材料科学、固体物理学和化学等领域具有广泛的应用前景。

面心立方晶胞的晶格常数

面心立方晶胞的晶格常数

面心立方晶胞的晶格常数-概述说明以及解释1.引言1.1 概述面心立方晶胞是固体晶体学中重要的晶胞结构之一。

其特点是在每个晶格点四个等价的晶胞共享一个晶格点,最接近的原子在晶格面的中心位置,相邻晶格面上的原子紧密堆积,形成了具有高度有序排列的晶体结构。

面心立方晶胞的晶格常数是指两个相邻晶格点之间的距离,它是研究面心立方晶胞性质和行为的重要参数。

计算面心立方晶胞的晶格常数可以通过多种方法进行。

其中一种常用的方法是通过X射线衍射技术,通过测量晶体衍射图案的间隔距离来确定晶格常数。

另一种方法是通过电子衍射技术,利用电子束穿过晶体形成的衍射图案,来计算晶格常数。

面心立方晶胞的晶格常数受到多种因素的影响。

首先,晶体组成的原子半径大小会影响晶格常数的数值。

其次,晶格常数还与晶体内部的原子相互作用力有关,不同的相互作用力会导致晶格常数的变化。

此外,温度和压力也会对晶格常数产生影响,因为温度和压力的变化会改变晶格的结构和原子之间的距离。

面心立方晶胞的晶格常数具有广泛的实际应用价值。

在材料科学领域,晶格常数的准确测量和理解对于合金、金属、半导体等材料的研究至关重要。

通过调控晶格常数,可以改变材料的物理性质和化学反应活性,从而实现材料性能的优化和应用的扩展。

总结起来,面心立方晶胞的晶格常数是描述晶体结构中两个相邻晶格点之间距离的重要参数。

其计算方法可以通过X射线衍射和电子衍射等技术,并且受到原子半径、相互作用力、温度和压力等因素的影响。

对面心立方晶胞晶格常数的深入研究和应用,将有助于材料科学的发展和应用的创新。

1.2文章结构文章结构部分的内容可以描述整篇文章的框架和布局。

它可以包括以下内容:文章结构部分:文章的结构对于读者来说非常重要,它可以帮助读者更好地理解文章的逻辑和思路。

本文将按照以下结构来呈现面心立方晶胞的晶格常数的相关内容。

首先,在引言部分,我们将对本文的主题进行概述,并介绍面心立方晶胞的背景和意义。

在该部分,我们还将对整篇文章的结构进行简要介绍,以便读者能够更好地了解文章的内容安排。

德拜相法测晶格常数实验数据处理方法分析

德拜相法测晶格常数实验数据处理方法分析

德拜相法测晶格常数实验数据处理方法分析德拜相法是确定晶体的晶格常数的一种常用实验方法。

在此方法中,通过测量晶体对入射X射线的散射角度,以及散射产生的干涉环的半径,可以得到晶格常数及晶体的结构信息。

德拜相法的实验数据处理方法可以分为以下几个步骤:1.散射角度的测量:首先要测量入射X射线与晶体平面的夹角,这可以通过旋转X射线样品架上的样品或旋转探测器来实现。

常用的测量设备包括X射线衍射仪和旋转台。

2.干涉环半径的测量:干涉环的半径对应着不同散射衍射点的位置。

为了测量干涉环半径,可以使用X射线衍射仪或者相关的影像设备。

通过测量干涉环半径的大小,可以计算出散射的散射角。

3.散射角的计算:根据入射X射线的波长和干涉环半径的大小,可以计算出散射的散射角。

根据散射角的大小,可以确定晶体的晶格常数。

4.数据处理:在实验中,通常会进行多次测量,并取平均值作为最终的结果。

此外,还需要计算测量结果的误差,并进行误差分析。

对于多晶体样品,还可能需要进行数据分析和拟合,以得到更准确的晶格常数。

在德拜相法的数据处理过程中,有几点需要注意:1.实验的准确性:在测量过程中需要注意准确测量每个参数。

例如,在测量散射角度时,应确保光束与样品平面垂直,并使用仪器进行精确测量。

2.干涉环的选择:选择适当的干涉环进行测量,通常选择明亮且较为清晰的干涉环。

此外,还需要对干涉环进行拟合,以获得更准确的结果。

3.数据分析方法选择:根据实验的具体情况,选择合适的数据分析方法。

常用的方法包括最小二乘法、拟合和插值方法。

选择合适的数据分析方法有助于提高数据处理的准确性和可靠性。

总结起来,德拜相法测晶格常数的实验数据处理方法主要包括测量散射角度、干涉环半径的测量、散射角的计算以及数据处理和分析。

在整个过程中,需要注意实验的准确性,并选择合适的数据分析方法,以得到准确可靠的晶格常数结果。

gaas晶格常数

gaas晶格常数

gaas晶格常数
GaAs(氮化镓砷化合物)是一种半导体材料,该材料具有极佳的电学特性,由于其具有优异的光学性能和尖端的电子特性,因此GaAs 材料受到了应用于制造高性能的半导体器件的广泛关注。

GaAs的晶格常数是控制GaAs晶体结构的基本参量,它也确定了其他物理性质,如能带结构,导电率,导热率等。

因此,研究GaAs晶格常数是非常重要的。

本文就GaAs晶格常数的研究进行了详细讨论。

GaAs晶格常数是GaAs晶体结构的核心参数,它描述了GaAs晶体结构中单元格的尺寸和形状。

一般来说,GaAs晶格常数包括晶格横向常数(a),晶格纵向常数(b),晶格厚度常数(c)和α、β、γ三个晶体晶体角。

晶格常数的数值非常重要,它直接影响着GaAs 晶体的物理性质,可用于计算GaAs晶体结构的其他参数,如GaAs晶体方向和空位密度等。

GaAs晶格常数的研究方法包括理论和实验两种,研究者们经常利用一系列的理论方法,如简化的Broyden算法、模型基础方法、精确计算等,来研究GaAs晶格常数。

研究者们也经常利用量子化学计算,来研究GaAs晶体的结构参数。

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06_第六讲_晶格常数的精确测定

06_第六讲_晶格常数的精确测定
6生的误差2将试样轴高精度地对准相机中心以消除试样偏心造成的误差3为了消除因试样吸收所产生的衍射线位移可采用利用背射衍射线和减小试样直径等措施4对于直径为1146mm或更大的相机需要精密的比长仪加以测定5为了保证衍射线的清晰度不因曝光期间内晶格热胀冷缩带来的影响在曝光时间内必须将整个相机的温度变化保持在001以内
如果令sin2θ代y,δ代x,A代α(α相当于
直线方程中α的系数),C代b,再参照正则方 程建立规则,可以列出柯亨法的正则方程
∑αsin2θ=A∑α2+C∑ αδ ∑δsin2θ=A∑αδ+C∑ δ2
y=a+bx
∑y= ∑ a+b ∑ x ∑ xy=a ∑ x+b ∑ x2
小结
熟悉点阵常数精确测定的基本原理 能用外推法和柯亨法测定常见晶体的点 阵常数
使∑Δy2为最小值的条件是
重排得: 0 a x ∑y= ∑ a+b ∑ ∑ xy=a ∑ x+b ∑ x2 为正则方程 y 2 Nhomakorabea和
y 2 b
0
通常是在sin 2θ关系上应用最小二乘法
为此,将布拉格方程平方并取对数,得: 2lgd=-lgsin2 θ+2lg(λ/2) 微分得2Δd/d=-Δsin2θ/sin2θ+2Δλ/λ 假定Δλ/λ为零,所以 2Δd/d=-Δsin2θ/sin2θ 代入Δd/d=Ksin2 ,φ=Kcos2θ得
二、求点阵常数的数学方法
(1)图解外推法 根据德拜-谢乐法中相机半径误差、底片收缩误差、试样偏心误差 的讨论可知,其综合误差为 Δ φS、R、C=( ΔS’ / S’ - ΔR/ R )+ΔXsinφcosφ/R Φ=90 °-θ, ΔΦ=-Δ θ,sin Φ =cos θ和 cos Φ =sin θ ,Δa/a=-cot θ Δθ

实验九用X射线测定多晶体的晶格常数

实验九用X射线测定多晶体的晶格常数

实验九用X射线测定多晶体的晶格常数X1、学习用X射线衍射作晶体分析时的基本原理和实验方法.2、掌握德拜(Debye)相法测定多晶体晶格常数.1XX射线是一种波长远比可见光小的电磁波,它是波长介于紫外线与γ射线之间的电磁波,具有能量大,波长短,穿透性强的性质,在结构分析实验中一般用波长介于0.05-0.25nm之间的X射线.实际应用的X射线管由阴极(电子源)和阳极(靶)两部分组成,在两极间加高电压使电子高速运动,到达阳极时电子具有很高的动能eU,再转换成X射线的能量。

因产生的机制不同,X射线有标识谱和连续谱之分(详见基础知识部分)一束波长为λ的X射线射到间距为d的晶体上,入射角与面族成θ角,如图9-2所示,在晶面A被原子散射,其散射波必定互相干涉,并在某特定方向形成加强的衍射线束,可以认为晶体是由一族晶面叠成的,不管各原子在晶面上如何排列,只要衍射波束在入射平面内,而且他对晶面的夹角等于入射束与晶面的夹角,则从同一晶面上各原子发出的在该方向上的衍射波位相是相同的,从图9-2中可得出,对通过M和散射的两束波在波阵面和之间的路程是相同的。

又由,,M01于入射波具有透射性,因而来自相继的晶面A和B的衍射束是相干的,当他们的光程差是波长的整数倍时得到加强而射出。

即满足关系式:2dsin,,n,(n为常数)时晶面A与B的散射波的位相一致,称为产生衍射的条件,也就是布拉格公式,它说明了X射线的基本关系。

对一波长为λ的X射线,射到间距为d的晶面族上,掠射角为θ,当满足条件n,,2dsin,时发生衍射,衍射线在晶面的的反射线方向。

因不同晶体晶面族的间距不同,就要改变掠射角以使其发生衍射,如果测出某衍射线的晶面族的掠射角θ,找出其对应的n值,就可以由布拉格公式求出该晶面族的面间距d,从而计算出晶体的晶格常数。

用一定波长的X射线标识普照射多晶体,用固定底片记录衍射线,得出衍射图象(h,k,l)与入射X射线成符合布拉格的方法叫德拜法。

利用电子衍射测量晶格常数的实验操作指南

利用电子衍射测量晶格常数的实验操作指南

利用电子衍射测量晶格常数的实验操作指南引言:晶体学是物质结构研究的基础,而衍射实验是晶体学研究的重要手段之一。

本文旨在为读者提供一份详细的实验操作指南,帮助读者了解如何利用电子衍射实验测量晶格常数。

第一部分:实验准备在进行电子衍射实验之前,需要做一些实验准备工作。

首先,检查仪器设备的完好性,并确保电子衍射仪的位置调整准确。

接下来,准备好待测晶体样品,并仔细清洁样品表面,以确保准确的实验结果。

第二部分:实验步骤1. 将待测晶体样品放置在电子衍射仪的样品台上,并使用夹子固定好。

2. 调整电子束的强度和聚焦度,确保电子束的稳定性和清晰度。

3. 选择合适的衍射模式,可以通过调整入射角度和衍射器角度来实现。

注意,选择合适的衍射模式对于测量晶格常数至关重要。

4. 打开衍射仪的检测系统,并调整探测器的位置和参数,以获得清晰的衍射图样。

5. 进行定标操作,即测量出衍射图样中多个峰的位置并计算其对应的衍射角度。

根据衍射角度和已知衍射方程,可以得到晶格常数的近似值。

6. 对衍射图样进行仔细的分析,确定主要的衍射峰并测量其对应的衍射角度。

注意,衍射图样可能会存在一些弱衍射峰,需要排除它们对测量结果的干扰。

7. 根据已知的衍射方程和测得的衍射角度,计算晶格常数的准确值。

同时,利用多个不同晶面的衍射峰,可以对晶体结构的对称性和取向进行进一步分析。

第三部分:实验注意事项1. 在进行电子衍射实验时,要保持实验环境的稳定性,尽量避免因外界干扰导致的误差。

2. 注意电子束的聚焦度和强度,过高或过低都可能对实验结果产生影响。

3. 在进行衍射图样分析时,要尽量排除一些杂散或弱衍射峰的干扰,以提高实验结果的准确性。

4. 注意记录实验数据的准确性,并进行合理的数据处理和分析,以获得可靠的实验结果。

结论:通过电子衍射实验,我们可以准确测量晶格常数,并对晶体的结构和性质进行详细分析。

本文详细介绍了电子衍射实验的操作指南,希望能够对读者理解和掌握电子衍射实验提供帮助。

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晶格常数的精确测定① 为什么要精确测定晶格常数? ② 造成晶格常数误差的原因有哪些? ③ 用哪些衍射线计算晶格常数误差较小?为什么? ④ 如何获得精确的晶格常数?晶格常数的精确测定1. 晶格常数精确测定的原理; 2. 衍射仪法的主要误差来源; 3. 外推法精确测定晶格常数; 4. 精确测定晶格常数应用举例;1.晶格常数精确测定的原理• 点阵常数是晶体物质的重要参量,它随物质的化学成分和 外界条件(温度和压力)而发生变化。

• 在金属与合金材料的研究过程中所涉及到的许多理论和实 际应用问题,诸如,晶体物质的键合能、密度、热膨胀、 固溶体类型、固溶度、固态相变、宏观应力等,都与点阵 常数变化密切相关。

• 所以可通过点阵常数的变化揭示上述问题的物理本质及变 化规律。

但是,在这些过程中,点阵常数的变化一般都是 很小的(约为 10-4Å 数量级),因此必须对点阵常数进行 精密测定。

1.晶格常数精确测定的原理Sialon的结构图 1. SiO2–Si3N4–Al2O3–AlN等温截面图(1700 ℃ )¾α-Sialon: MxSi12-(m+n) Alm+n OnN16-n 等轴晶系,硬度高 ¾β-Sialon:Si6-ZAlZOZN8-Z,0<z<4.2 六方晶系 ,强度高,韧性好 ¾O‘-Sialon :Si2-xAlxO1+x N2-x(0<x≤0.3) 抗氧化性优异1.晶格常数精确测定的原理2θ: 26.512°/100; 20.076 °/76; 37.051 °/501.晶格常数精确测定的原理如何分辨Si2N2O和O′-Sialon?Si2N2O; 2θ: 26.512°/100; 20.076 °/76; 37.051 °/50 O′-Sialon , 2θ: 26.461°/100; 19.956 °/73; 37.020 °/731.晶格常数精确测定的原理1.晶格常数精确测定的原理1.晶格常数精确测定的原理a=λ2sin θH 2 + K 2 + L21.晶格常数精确测定的原理外推法精确测定晶格常数的基本原理• 将布拉格公式λ=2dsinθ微分,得 衍射仪法Δλ = 2Δd sin θ + 2d cosθ ⋅ ΔθΔλ Δd = + ctgθ ⋅ Δθ d λΔλ=0Δd = −ctgθ ⋅ Δθ d¾当θ接近 90°, ctgθ趋向 0 ,由 θ的误差产生的d值误差趋向于0。

¾从a 0值的精度变化曲线也可以看出,当θ趋于90°时,由Δθ引起的误差趋于0。

1.晶格常数精确测定的原理高角度线的选用因此,在实际工作中,应选择合理的辐射,使衍射图中θ>60°的区域内尽可能出现较多的强度较高的衍射线,尤其是最后一条衍射线的θ应尽可能接近90 °,只有这样,点阵参数才能测量精确。

•测量误差分为偶然误差和系统误差两类。

•偶然误差没有一定的规律,永远不可能完全消除,只能通过仔细地多次重复测量将其降到最小限度。

•系统误差是由实验条件决定的,它以某种函数关系作规律性的变化,因此可以选用适当的数学处理方法将其消除。

综合上述四种误差可以得到φ角的总误差为:在背反射区,θ接近90°时,φ很小,可近似地认为:sinφ≅φ,cosφ≅1,于是有:在同一张底片中,括号中的各项均属恒定量,可以用常数K表示.衍射仪法的主要误差利用衍射仪精确测定点阵常数的系统误差在处理方法上可分为两类:¾一类是不能利用外推函数消除的误差;¾另一类是可以利用外推函数消涂(或部分消除)的误差。

¾测角仪机械零点(即2θ=0°位置)的调整误差;¾2θ/θ角的2:1驱动匹配误差;¾计数测量系统滞后的误差;¾折射校正;¾温度校正;不能利用外推函数消除的误差衍射仪法衍射仪法利用外推函数可以消除(或部分消除)的误差•(1)试样表面离轴误差;•(2)平板试样的误差;•(3)试样透明度误差;•(4)轴向发散误差;1)试样表面离轴误差由于试样表面不平整或安装不到位,使试样表面离开测角仪中心轴(或聚焦圆)一定距离S ,衍射峰发生位移。

由此而引起的峰位角误差为:2. 精确测定晶格常数的主要误差来源衍射仪法聚焦圆试样表面不与聚焦圆相切2)平板试样的误差衍射仪法按测角仪聚焦原理的要求,试样表面应为与聚焦圆曲率相同的曲面。

采用平板试样时,除了与聚焦圆相切的中心点外,都不满足聚焦条件。

当一束水平发散角为α的X射线投射到平板试样时,衍射线发生一定程度的散焦和位移。

由此而引起的峰位角误差为:3)试样透明度误差衍射仪法由于X射线具有较强的穿透能力,随吸收系数μ的减小,穿透深度增加。

因此,试样表层物质都可能参加衍射。

在这种情况下,试样表层内物质的衍射线,与离轴误差类似,不满足聚焦条件,使衍射线位移。

由此而引起的峰位角误差为:¾在测角仪光路中采用双梭拉光阑,限制了沿测角仪轴向的发散度。

但由于梭拉光阑的片间距和长度有限,仍然存在一定的轴向发散度。

这种轴向发散度也会导致峰位移,由此而引起的峰位角误差为: 2. 精确测定晶格常数的主要误差来源衍射仪法式中δ1和δ2分别为入射线和衍射线光路的有效轴向发散角(梭拉光阑片间距/沿光路方向的片长)。

4) 轴向发散误差d cot d θθΔΔ=−3. 外推法精确测定晶格常数衍射仪法图解外推法德拜-谢乐衍射几何常用的外推法有以下几种:•1.衍射角θ外推法• 2. cos 2θ外推法a = a 0±Δa = a 0±bf(θ)b 为包括a 0在内的常数.211cos sin θθθ⎛⎞+⎜⎟⎝⎠3. 函数外推法a = a 0±Δa = a 0±bcos 2θa = a 0±Δa = a 0±b 211cos sin θθθ⎛⎞+⎜⎟⎝⎠1)衍射角θ外推法¾凯特曼(Kettmann)提出,用d(或)直接对θ作图,外推到θ=90º。

这一方法的缺点是d (或a)与θ不是直线关系。

立方黄铜Cu9A14的点阵常数对衍射角θ的外推¾左图示出的是立方γ黄铜结构的Cu9A14点阵常数a随衍射角θ的变化。

图中所示只能根据a随θ关系的光滑曲线外推到90º,因此难以获得准确的点阵常数。

但凯特曼外推法是其他图解外推法的前导,他首创了用外推到90º的方法来消除系统误差。

¾在给定的实验条件下,D 与E 均为常数。

当吸收误差接近于0时,与cos 2θ成比例,可用cos 2θ作为外推函数。

布雷德利和杰伊分析了德拜-谢乐照相法的各种系统误差,提出了该法。

对于立方晶系,可有2cos a E D a θθΔ⎛⎞=+⎜⎟⎝⎠式中:D 为偏心流移常数,E 为吸收流移常数。

2)cos 2θ外推法左图示出的是Cu 9A 14的与cos 2θ的关系。

从左图可见,当θ>60°时,存在着很好的直线关系。

黄铜Cu 9A14的点阵常数a 对cos 2θ的外推2)cos2θ外推法¾应用布雷德利和杰伊的外推法要得到好的结果,必须有足够多的θ>60°分布均匀的明锐衍射线。

¾如果在这范围的衍射线数目不够,或分布不均匀的话,则可同时使用Kα和Kβ辐射(不用滤波片);¾或更换入射线的波长,或用合金作为X射线的阳极靶,以提高点阵常数测量的准确度,其准确度为二万分之一。

没有足够多的θ>60°的衍射线怎么办?很难!!函数外推法¾如果德拜-谢乐照相机中的主要误差是试样的吸收误差,其他误差可略而不计。

X 射线源的强度分布是指数函数形式exp(-k 2x 2),则211cos sin θθθ⎛⎞+⎜⎟⎝⎠22cos cos 2sin a E a θθθθ⎛⎞Δ=+⎜⎟⎝⎠其线性范围可以到很低的衍射角范围。

实际应用上,几乎一切角度的衍射线都可以被采用。

该图示出的是Cu 9A 14不同吸收系数试样,点阵常数对函数外推的结果。

¾上面的实验点(a)是直径小(即吸收系数小)的试样的结果。

¾下面的实验点(b)则是直径大(即吸收系数大)的试样的结果,它们分别落在两条直线上,其斜率(相应于不同的吸收系数)虽然不同,但是外推到θ=90°的点阵常数基本相同,分别为8.7042Å和8.7040Å。

¾对于不同吸收误差的试样,点阵常数测量的精确度可达五万分之一。

(a)小直径试样;(b)大直径试样立方γ黄铜Cu 9A14的点阵常数a 对函数外推法211cos sin θθθ⎛⎞+⎜⎟⎝⎠非立方晶系晶体点阵常数的精确测定¾对于非立方晶系的晶体,所要测定的点阵常数不止一个。

在单斜和三斜晶系中,除了晶胞边a,b,c外,还含有轴间的夹角β或α,β,γ。

¾在一般的情况下,难以用粉末法精确测量单斜和三斜晶系物质的点阵常数。

这是因为点阵常数测定所需要的高角度衍射线,由于衍射花样的复杂性,而难以单一地标定高角度衍射线的面指数。

在这种情况下,只能应用系统误差比较大,面指数确定的低角度衍射线,因而点阵常数精确度较低。

¾对于四方、六角晶系以及晶体结构不十分复杂的正交晶系,衍射线的面指数能够正确标定的晶体,同样可以用图解法、最小二乘方法,流移常数法和线对法等求解精确的点阵常数。

图解外推法精确测定四方或六角晶系的点阵常数¾如果在θ=30º~90º范围内能够观察到足够多的(hk0)和(00l)衍射线,则可以用前面对于立方晶系所用的外推函数,如cos 2θ等分别进行外推至=90º,以求得精确的点阵常数a 与c 。

¾如果在θ=30º~90º范围内可观察到一组(hk0)的衍射线,但只观察到少量可靠的(00l )衍射线,则可先应用(hk0)衍射线,选择适当的外推函数,用外推法先求得准确的值,而后利用下式,根据外推求点阵常数的外推斜率,求得点阵常数c 的斜率,并通过(00l )实验点,外推求c 值。

即点阵常数c 的外推斜率等于外推求a 时直线的斜率乘以c /a 的比值。

3. 外推法精确测定晶格常数2222222sin 22a h k l d a c λλθ⎡⎤⎛⎞⎛⎞⎛⎞==++⎢⎥⎜⎟⎜⎟⎜⎟⎝⎠⎝⎠⎝⎠⎢⎥⎣⎦小结:精确测定晶格常数的一般步骤1.正确选择实验条件,获取精确的粉末衍射图;2.对衍射图上的衍射线进行标定(指标化);3.选择高角度(θ≥60°)的衍射线计算其对应的d值;4.根据算出的d值和衍射指数计算晶格常数a0,(b,c);5.计算对应的cos2θ;6.根据求得的(a0,cos2θ)数据作a-cos2θ图,并用直线拟合外推使之与a轴相交,此交点为修正的晶格常数。

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