MEMS仪表惯性组合导航系统发展现状与趋势_蔡春龙
基于MEMS技术的微型惯性导航系统的发展现状
基于MEMS技术的微型惯性导航系统的发展现状一、本文概述随着微纳技术的快速发展，微型惯性导航系统（Micro-Inertial Navigation System, MINS）以其体积小、重量轻、功耗低等优点，在航空航天、无人驾驶、机器人导航、个人定位等众多领域展现出广阔的应用前景。
其中，基于微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS）技术的微型惯性导航系统因其实用性和成本效益，成为了当前研究的热点。
本文旨在全面概述基于MEMS技术的微型惯性导航系统的发展现状，包括其基本原理、关键技术、应用领域以及面临的挑战。
我们将简要介绍惯性导航系统的基本原理和MEMS技术的基本概念。
然后，重点分析当前MEMS微型惯性导航系统的关键技术，如微型化设计、误差补偿与校准、数据处理算法等。
接着，探讨该技术在航空航天、无人驾驶、个人定位等领域的应用现状。
我们将讨论当前微型惯性导航系统面临的挑战，如误差累积、环境适应性等问题，并展望未来的发展趋势。
通过本文的阐述，希望能够为相关领域的研究人员和技术人员提供有价值的参考，推动基于MEMS技术的微型惯性导航系统的发展和应用。
二、MEMS技术在微型惯性导航系统中的应用微型惯性导航系统（Micro-Inertial Navigation System, MINS）结合了微型机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS）技术与惯性导航原理，实现了导航系统的微型化、低功耗和高度集成化。
随着MEMS技术的快速发展，MINS在军事、航空、航天、无人驾驶以及消费电子等领域的应用越来越广泛。
MEMS加速度计和陀螺仪是MINS的核心部件，用于测量载体在三维空间中的加速度和角速度。
通过精确的测量和数据处理，它们为导航系统提供必要的导航参数。
与传统的惯性器件相比，MEMS加速度计和陀螺仪具有体积小、重量轻、功耗低和成本低的优点，非常适合用于构建微型化的惯性导航系统。
2024年惯性导航市场环境分析
2024年惯性导航市场环境分析1. 引言惯性导航是一种基于惯性传感器的导航技术，利用陀螺仪测量角速度和加速度计测量线性加速度，从而实现航位推算。
本文将对惯性导航市场的环境进行分析，包括市场规模、市场趋势、竞争格局和市场驱动因素等方面。
2. 市场规模惯性导航市场在过去几年间取得了快速增长。
根据市场研究机构的数据，2019年全球惯性导航市场规模已经达到XX亿美元，并且预计未来几年将保持较高的增长率。
这主要得益于惯性导航技术在航空、航海、军事和汽车等领域的广泛应用。
3. 市场趋势随着技术的不断发展和市场需求的增加，惯性导航市场呈现出以下几个明显的趋势：3.1 基于MEMS的惯性导航传感器的普及随着微电子技术的进步，惯性导航传感器逐渐从传统的机械式传感器转变为基于微机电系统（MEMS）的传感器。
这种传感器体积小、成本低并且能够实现集成化，大大降低了惯性导航设备的成本，推动了市场的发展。
3.2 惯性导航技术在无人驾驶领域的应用随着无人驾驶技术的快速发展，惯性导航技术在自动驾驶领域得到广泛应用。
惯性导航传感器可以提供准确的姿态和运动信息，为无人驾驶车辆提供精确定位和导航功能。
3.3 惯性导航技术在军事领域的应用扩展惯性导航技术在军事领域一直是重要的应用领域。
随着军事技术的不断发展，惯性导航技术也在精度、稳定性和耐久性方面得到了提升，满足了现代军事装备对导航定位的要求。
4. 竞争格局惯性导航市场具有一定的竞争性，主要厂商包括Honeywell、Northrop Grumman、Thales Group等。
这些公司拥有丰富的技术经验和研发实力，在产品性能、应用领域的覆盖面和市场份额上占据较大优势。
除了传统厂商，还出现了一些新兴企业，它们通过技术创新和市场细分来获得竞争优势。
例如，Inertial Labs和Xsens等公司在惯性导航市场上展现了良好的发展势头。
5. 市场驱动因素惯性导航市场的发展受到一系列因素的驱动，主要包括：5.1 技术进步和成本下降随着惯性导航技术的不断发展，传感器的性能不断提升，成本不断下降，使得更多的应用领域可以采用惯性导航技术，推动市场的增长。
2023年中国惯性导航行业发展趋势浅析
2023年中国惯性导航行业发展趋势浅析内容概要：目前，我国惯性导航系统应用主要表现在军用领域，市场份额为80%左右。
2022年我国惯性导航系统在军用领域的份额占76.2%，预计2023年我国惯性导航系统在军用领域的份额为74.1%，随着在民用领域范围的不断扩大，我国惯性导航系统在军用领域的份额逐渐缩小。
关键词：惯性导航市场规模、惯性导航市场竞争格局、惯性导航行业发展前景一、惯性导航行业定义及分类惯性导航是一种基于惯性测量原理的导航方法，通过测量和集成加速度和角速度等物理量，推导出航空器、船舶、车辆等运动体的位置、速度和方向信息。
它不依赖于外部参考点（如地标、卫星信号），而是完全基于内部传感器的测量数据。
惯性导航根据结构可以分为Strapdown（带下挂）惯性导航系统、Gimballed（万向架）惯性导航系统；根据应用领域可以分为航空惯性导航系统、船舶惯性导航系统、车辆惯性导航系统、惯性导航系统组合导航。
二、全球惯性导航行业分析惯性导航系统的优势在于其对外部环境的独立性，适用于各种环境，包括没有GPS信号的情况。
因此惯性导航在航空、航海、车辆导航等领域得到广泛应用，尤其是在需要高精度和短时延的场景中。
近年来，全球惯性导航市场发展快速，市场规模不断增长。
2022年全球惯性导航系统市场规模从2016年的111.66亿美元增至195.88亿美元。
美国惯性导航系统的各个细分领域均表现突出，跨国性企业众多，一定程度上巩固了美国在全球惯性导航系统的市场地位。
欧美地区是惯性导航市场的传统强国地区，但近些年随着中国国防开支增长，对装备的投入持续增加，惯性导航及控制类产品市场规模增速突出。
以中国为主的亚洲国家在惯性导航系统领域加速发展，发展后劲足。
2022年美国惯性导航系统市场规模占全球的27.74%，欧盟惯性导航系统市场规模占全球的22.42%，中国惯性导航系统市场规模占全球的20.09%。
三、国内惯性导航行业发展现状当前，我国惯性导航市场处于快速发展阶段。
惯性导航技术的新进展及其发展趋势
惯性导航技术的新进展及其发展趋势惯性导航技术是一种利用惯性传感器（如加速度计和陀螺仪）来测量和跟踪设备位置、方向和速度的技术。
它被广泛应用于航空航天、汽车导航、无人机、船舶、军事设备等众多领域。
随着科技的不断发展和创新，惯性导航技术也在不断取得新的进展，同时也呈现出了一些新的发展趋势。
一、新进展1. 惯性导航芯片的发展目前，惯性导航技术的发展主要受制于惯性导航芯片的性能和精度。
近年来，随着微电子技术和纳米技术的发展，惯性导航芯片的性能得到了极大的提升，其精度和稳定性也得到了显著的改善。
新一代的惯性导航芯片不仅体积更小、功耗更低，而且精度更高，能够更好地适应各种环境和应用场景。
2. 多模态融合技术的应用随着传感器技术的进步，多模态融合技术在惯性导航领域的应用也日益广泛。
通过将惯性传感器与其他类型的传感器（如GPS、视觉传感器、激光雷达等）进行融合，可以有效弥补惯性传感器存在的漂移和累积误差问题，提高导航系统的精度和稳定性。
3. 数据处理算法的优化随着人工智能和大数据技术的不断发展，各种先进的数据处理算法也被应用到了惯性导航技术中。
基于深度学习的惯性导航数据处理算法能够更加准确地识别和修正传感器数据中的噪声和误差，从而提高了导航系统的性能和稳定性。
二、发展趋势1. 更高精度、更高稳定性随着航空航天、自动驾驶、无人机等领域对导航精度和稳定性的要求越来越高，惯性导航技术也将朝着更高精度、更高稳定性的方向发展。
未来的惯性导航系统将会更加精准地测量和跟踪位置、方向和速度，以满足各种复杂环境下的导航需求。
2. 多传感器融合多传感器融合技术是未来惯性导航技术发展的重要趋势之一。
通过融合惯性传感器和其他类型的传感器，可以有效地提高导航系统的精度和可靠性，实现全天候、全地形的导航和定位。
3. 智能化、自适应未来的惯性导航系统将更加智能化和自适应，能够根据实际环境和应用场景自动调整参数和算法，提高系统的适应性和鲁棒性。
2023年惯性导航行业市场发展现状
2023年惯性导航行业市场发展现状惯性导航技术是指利用物体的惯性进行位置和速度测量的技术，广泛应用于航空航天、海洋、军事等领域。
本文将从市场需求、技术发展、应用领域等方面阐述惯性导航行业市场发展现状。
一、市场需求随着世界经济全球化和国际贸易的不断发展，航空、航天、海洋、军事等行业对惯性导航的需求不断增加。
尤其是在军事领域，惯性导航可以帮助军队在没有GPS等全球定位系统的情况下，实现精确导航和定位。
同时，民用领域也在逐渐增加对惯性导航的需求，例如汽车和高速列车等运动物体的运动状态测量，以及智能手机和可穿戴设备等智能手机的动作检测等。
二、技术发展随着科技的不断进步，惯性导航技术也在不断发展。
与传统的机械式惯性导航相比，MEMS 惯性导航的领域发展更为广泛。
MEMS 惯性导航是指利用微电子技术和微机械技术制造的小型化、低成本的惯性传感器。
MEMS 惯性导航具有体积小、重量轻、功耗低等特点，同时还具有高度集成化、可靠性高、环境适应性强、成本低等优势。
另外，随着人工智能和云计算等技术的发展，惯性导航技术也能够更好地实现数据处理、存储、分享等功能，从而更好地满足不同领域的需求。
三、应用领域惯性导航技术广泛应用于航空航天、海洋、军事、交通、智能穿戴等领域。
具体应用包括：1.航空航天：作为高速飞行器的重要定位和导航方式，惯性导航技术被广泛应用于导弹、卫星、飞机等领域。
2.海洋：惯性导航可以帮助海船和潜艇在没有GPS等定位系统的情况下，依靠自身的惯性测量精确的位置和速度信息。
3.军事：惯性导航技术是军事系统中的重要组成部分，可以在战争中帮助军队进行高精度导航和定位。
4.交通：惯性导航技术可以帮助车辆和高速列车等运动物体进行运动状态测量，从而实现更准确的导航和定位。
5.智能穿戴：惯性导航现在也应用于智能手机和可穿戴设备等物品的动作检测，通过这些设备可以收集到人体的位置、速度、动作等信息。
总之，惯性导航技术将随着科技的不断进步和市场需求的增加，为更广泛的领域提供更加优质的服务，而MEMS 惯性导航将成为领导市场趋势。
惯性导航技术的新进展及其发展趋势
惯性导航技术的新进展及其发展趋势摘要：在惯性导航中，陀螺仪是其中的核配件，因此我们可以将惯性当行技术的发展按照陀螺仪的研究和出现顺序将惯性导航技术分为四个发展时期从目前的情况来看，惯性技术的发展正处在第四代的发展时期，其根本目标是高精度、低成本、微型化、数字化、范围化以及高度可靠性的实现。
关键词：惯性导航技术；新应用；发展趋势引言：在惯性导航系统及其相关器件的研究和制造方面，在未来很长的一段时间里，体积小、价格低的MEMS惯性传感器且精度高和性能高的FOG必然会受到全世界相关方面的焦点和关注！特别是在进入21世纪以来，计算机技术以及其他高科技技术的高速发展和应用，捷联式惯性导航系统诞生并得到了极大的普及和应用，逐渐的替代了平台式的导航系统。
从目前的情况来看，惯性导航系统是目前全世界唯一一种可以实现导航方式完全自主化的导航系统，其可以不依赖任何的外界信息就可以充分的满足各方面的需要，未来其必将会得到更深层次的应用。
从目前的形式来看，随着对高性能自主导航系统的应用需求不断增强以及多模GNSS技术的大范围普及和应用，未来组合导航系统也会逐渐的取代纯粹的INS成为全国乃至全世界的主要导航手段之一。
1.惯性导航技术在舰船导航中的最新应用1908年3月，诞生了世界上最早的一台陀螺罗经，并第一次应用到航海领域，发展至今，陀螺仪已经有了百年之久的发展历史，目前已初步成熟。
目前来说，世界上最先进的舰船惯性导航技术主要有两种，分别为ESG导航仪以及基于RLG和FOG的惯性导航技术。
具体内容如下：首先是ESG导航仪，这种导航技术可以有效的满足类似于潜艇类高级舰船的的自主式惯性导航技术。
但是从其系统的复杂程度以及制作的成本来看，是处于相对较高的水平的，因此也导致了这种惯性导航技术的应用和普及范围相对较窄。
除此之外是基于RLG和FOG技术的惯性导航技术，这项导航技术可以在很大程度上满足大多数船舶航海导航的精确性要求，目前正逐渐的取代转子式陀螺仪。
MEMS惯性仪表技术发展趋势
2009年第3期 导 弹 与 航 天 运 载 技 术 No.3 2009 总第301期 MISSILE AND SPACE VEHCILE Sum No.301收稿日期：2008-12-20作者简介：王 巍（1964-），男，研究员，主要从事惯导仪表的研制工作 文章编号：1004-7182(2009)03-0023-06MEMS 惯性仪表技术发展趋势王 巍 ，何 胜（中国航天时代电子公司，北京，100854）摘要：近几十年来，随着微电子技术的发展和微机械加工设备的完善和精度的提高，以单晶硅、石英晶体等材料研制的各种微型惯性仪表及其系统产品相继问世，它与传统的机械式惯性仪表相比，体积大为缩小，质量大为减轻，功耗大幅度降低；采用微机械工艺，可以实现大批量生产，故价格低廉；如果采用与IC 兼容的工艺方式，配套电路还可以和微敏感结构集成一体化，MEMS 惯性仪表具有可靠性高、承载能力强和测量范围大的特点；这些是传统机械式惯性器件无法比拟的。
重点概述了近年来国内外微机电加速度计、微机电陀螺仪及其系统应用技术的发展情况，探讨了MEMS 惯性技术下一步发展趋势。
关键词： 微机电；惯性技术；陀螺仪 中图分类号：V464 文献标识码：ADevelopment of MEMS Inertial Instrument TechnologyWang Wei ，He Sheng(China Aerospace Times Electronics Corporation ，Beijing ，100854)Abstract ：During these decades, with the development of technology in micro-electronics field as well as the promotion of themicro-machine devices in performance and precision, the utilization of micro inertial instruments and their system products have been emerged. Compared with conventional machine inertial instruments, they have the advantages of small volume, extremely reduced mass and power waste. With the utilization of the micro-machining technics, these micro inertial instruments are able to be put into batch production, so their price is inexpensive. If their fabricating process is compatible with the integrated circuit, their servo electronics can be also packaged with the micro sensory chips. Micro electromechanism system (MEMS) inertial instruments have the characteristics of high reliability, great load bearing, large measurement range, which are unsurpassable by the conventional machine inertial instruments. The development status of MEMS accelerometer and MEMS gyro are summarized, as well as the application technology of these systems at home and abroad. The farther directions of MEMS inertial technology development are also discussed.Key Words ： Micro electromechanism system (MEMS); Inertial technology; Gyroscope0 引 言近20年来，尤其是近5年微机电（MEMS ）惯性仪表及其系统技术取得了高速发展。
MEMS技术发展现状及发展趋势
MEMS技术发展现状及发展趋势MEMS系统在工业、信息通信、国防、航空航天、航海、医疗、生物工程、农业、环境和家庭服务等领域有着潜在的巨大应用前景，它将成为本世纪最重要的科技领域和主要的支柱技术之一。
目前对MEMS的需求产业主要来自于汽车工业、通信网络信息业、军事装备应用、生物医学工程；而按专业MEMS分四大类：生物MEMS 技术、光学、MEMS技术、射频MEMS技术、传感MEMS 技术。
L总述1.1生物MEMS技术生物MEMS系统具有微型化、集成化、成本低的特点。
功能上有获取信息量大、分析效率高、系统与外部连接少，具有实时通信、连续检测的特点。
国际上生物MEMS的研究已成为热点，在不久将为生物、分析化学分析系统带来一场重大的革新。
CardioMEMS公司采用MEMS技术制成心血管微传感器可测量动脉的压力，该传感器就像汽车里的EZPass设备（一种在高速公路入口无需停车即可完成付费的自动感应装置）一样工作，本身不带电源, 读取信息时在外面用一个感应棒启动传感器即可得到这人动脉的所有相关数据。
利用MEMS还能制作出智能型外科器械，减少手术风险和时间，缩短病人康复时间，降低治疗的费用。
Verimetra公司正在利用MEMS把现有手术器械转变成智能型手术器械，可用于多种场合，包括小手术、肿瘤、神经、牙科和胎儿心脏手术等。
药物注入是生物医学MEMS另一个可能有巨幅增长潜力的领域,MicroChipd公司正在开辟的一种药物注入系统利用了硅片或者聚合物微芯片，其上带有成千上万个微型贮液囊，里面充满药物、试剂及其它药品。
这些微芯片能够向人体注入药物，使止痛剂、荷尔蒙以及类固醇之类的注入方式发生革命性的变化。
类似这样的生物医学新进展还将催生出新型器械，如便携式掌上型透析机等。
1.2光学MEMS技术随着信息技术、光信息技术的迅猛发展，MEMS发展的又一领域是与光学结合。
即综合微电子、微机械、光电子技术等基础技术，开辟新型光器件称为微光机电系统MOEMS，它能把各种MEMS机构件与微光学器件、光波导器件、半导体激光器、光电检测器件等完整地集成在一起，形成一种全新的功能系统。
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DOI:10.13695/ki.12-1222/o3.2009.05.006第17卷第5期中国惯性技术学报V ol.17 No.5 2009年10月 Journal of Chinese Inertial Technology Oct. 2009 文章编号：1005-6734(2009)05-0562-06MEMS仪表惯性组合导航系统发展现状与趋势蔡春龙1, 刘 翼1，刘一薇2（1. 北京航天时代光电科技有限公司，北京100854；2. 航天东方红卫星有限公司，北京100094）摘要：基于MEMS仪表的惯性组合导航系统是飞行器实现轻小型化的关键配套设备之一。
针对国外MEMS惯性组合导航系统产品的实现方案与性能指标进行了综述；介绍我国在该领域的研究现状，简要分析当前存在的问题与技术瓶颈，指出我国应结合现有硅微惯性器件加工水平与理论研究成果展开有针对性的研究工作。
最后，对该领域的技术发展方向进行了分析。
关键词：微机械系统；组合导航系统；信息融合中图分类号：U666.1 文献标志码：AStatus quo and trend of inertial integratednavigation system based on MEMSCAI Chun-long1, LIU Yi1, LIU Yi-wei2(1. Beijing Aerospace Times Optical-Electronic Technology Co., Ltd., Beijing 100854, China;2. China Spacesat Co., Ltd., Beijing 100094, China)Abstract: As one of the core equipments of the miniaturization of vehicle, the inertial integrated navigation systembased on MEMS has significant meaning to both the aerospace industry and the construction of national defense.Firstly, the system solution and performance specification of foreign latest products are summarized. Then the statusquo of Chinese development is introduced. The problems and technological bottlenecks at present are analyzed. It isalso pointed out that some pertinent research should be made based on the present manufacturing level of Chinesemicro-silicon inertial sensors and existing theoretical achievements. Finally, the future development direction of thetechniques in this field is analyzed.Key words: MEMS; inertial integrated navigation system; filter; information fusion微机械惯性测量单元（Micro-Electronic Mechanical System Inertial Measurement Unit，MEMS-IMU）作为第三代惯性测量组件，与第一代机械转子陀螺惯性测量组件、第二代光电陀螺惯性测量组件相比，具有体积小、重量轻、功耗少、成本低、集成化程度高等优点，拥有更广阔的工程应用前景，尤其对于微小型运载体的导航、制导与姿态控制具有重要意义，已被多个国家列为未来惯性导航系统的重点发展方向之一。
但从目前国内外微机械惯性测量器件的研制现状来看，由于受到加工工艺、选材等因素的限制，MEMS-IMU在精度以及稳定性等方面与前两代惯性测量组件相比仍然存在较大差距，同时受限于惯导系统固有的导航误差随时间积累问题，微惯性导航系统尚不具备独立完成导航定位任务的能力。
因此，基于MEMS-IMU的组合导航方案是解决上述问题的一条有效途径。
目前，MEMS-IMU组合导航系统已经在民用和军用领域得到了广泛认可。
民用方面，具有导航定位功能的汽车、精细农业用机械与车辆、用于农药喷洒与林区防火的无人飞机等已部分装配该类型组合导航系统；军用方面，欧美发达国家已成功将其应用于战术制导武器、微小型无人侦查飞机、卫星探测、航天器导航等领域。
我国在该领域的研究工作起步较晚，目前正处于从原理样机研制向工程应用过渡阶段，国内各科研院所与高校正在加紧进行该领域的技术攻关工作。
收稿日期：2009-07-24；修回日期：2009-09-03作者简介：蔡春龙（1967—），男，研究员，研究方向为光纤陀螺捷联惯性导航系统。
E-mail：cai_chun_long@第5期 蔡春龙等：MEMS 仪表惯性组合导航系统发展现状与趋势 563本文首先综述国外MEMS-IMU 组合导航系统产品的开发现状，介绍国内在该领域的研究情况，概述组合导航系统信息融合算法，最后对该领域未来的发展趋势进行了分析。
1 国外发展现状西方国家尤其是美国在MEMS 惯性器件以及微型导航系统技术方面处于世界领先地位。
美国国防部高级研究计划署（DARPA ）以及其他政府部门在MEMS 的军事和商业应用方面进行战略性投入的资金每年都在1亿美元以上，并且逐年增加。
许多著名惯性器件研究机构及公司，已经在该领域实现了较高精度的工程化产品，典型产品按精度可以作如下分类。
1.1 低精度产品1）美国J. F. Lehman & Company 公司作为世界第二大防卫公司的英国BAE 系统公司已将其惯性器件业务出售给美国J. F. Lehman & Company 公司，后者重组该部门后成立了大西洋惯性系统项目部，继续开展惯性器件产品的研发与生产工作。
最新产品SiNA V 型组合导航系统（如图1所示）采用MIMU/GPS 紧耦合方案，定位误差小于10 m ，速度误差小于0.1 m/s ，可耐受20000g 的冲击，陀螺测量范围可达±14000 (°)/s 。
目前，SiNA V 型组合导航系统已被英国国防部确立为下一代战术制导武器与无人机的首选导航系统。
2）美国模拟器件公司（Analog Devices ）AD 公司发布的ADIS16400/16405型组合导航系统采用MIMU/磁强计组合导航方案，是一种完全自主式的组合导航系统，具有抗干扰能力强、可靠性高等优点，系统定位误差小于10 m ，内部结构框图如图2所示。
3）美国GNC 公司GNC 公司生产的UNCUN1型组合导航系统（如图3所示）采用MIMU/GPS 松组合方式，定位误差小于15 m ，在广域增强系统可用情况下定位误差小于3 m ，速度误差小于0.2 m/s 。
1.2 中高精度产品1）美国角斗士技术公司（Gladiator Technologies ）GT 公司生产的陆标系列（LandMark Family）组合导航系统（如图4所示）采用MIMU/GPS 组合导航方案，具有功耗低、精度高、功能全等特点，定位误差小于2.5 m 。
LandMark 20 eXT 型产品还同时支持差分GPS 、广域增强系统等功能。
564 中国惯性技术学报 第17卷2）美国克尔斯博科技公司（Crossbow Technology ）Crossbow 公司生产的NA V440型组合导航系统采用MIMU/GPS/磁强计组合导航方案，系统装配了高稳定性的硅微机械陀螺仪，采用复杂环境密封形式，定位误差小于2.5 m ，水平速度误差小于0.4 m/s ，垂直速度误差小于0.5 m/s ，主要应用于无人飞机控制、陆地车辆导航、平台稳定控制等领域。
系统外观如图5所示。
3）美国云帽技术公司（Cloud Cap Technology ）CCT 公司生产的短笛系列（Piccolo Family ）自动驾驶仪（如图6所示）采用MIMU/GPS 松组合方案，支持磁强计、激光高度计等辅助导航设备的即插即用功能。
研制中的领航员型组合导航系统采用MIMU/GPS 松组合方案，采用碳纤维材料封装，相比早期产品重量更轻、体积更小。
凭借雄厚的工业基础与科研实力，欧美各国在硅微惯性器件的理论研究、原理样机开发以及工程应用等方面已经取得了长足的发展。
美国Honeywell 公司生产的硅微机械陀螺实验室精度已经突破0.01 (°)/h ，工程应用精度实现0.1 (°)/h 。
与此同时，在相关产业及需求的带动下，基于MEMS 技术的组合导航系统的研制工作也已取得丰硕成果，并有多种产品在航天器上得到应用。
2 国内发展现状我国在MEMS 惯性技术领域的研究工作始于20世纪80年代末期，在跟踪国外先进技术的基础上，经过20余年的努力，已经在理论研究、原理样机开发等方面取得一定成果，初步具备工业生产能力，但与国外同类器件相比，在仪表精度、稳定性等指标方面仍然存在较大差距，在工程化研制、生产与应用方面尚处于起步阶段。
国内清华大学、北京航空航天大学、哈尔滨工业大学以及北京航天时代光电科技有限公司等单位都对基于MEMS 技术的组合导航系统展开了大量有针对性的研究工作，并取得一定成果，为今后的进一步发展奠定了基础。
2.1 MIMU/GPS 组合导航方案北京航天时代光电科技有限公司针对某型无人机的应用特点，采用MIMU/GPS 松组合方案，用低成本硅微MEMS 陀螺仪与加速度计实现了在GPS 信号可用或短时丢失情况下的导航定位功能，组合定位误差小于15 m ，速度误差小于0.6 m/s。
2.2 MIMU/GPS/磁强计组合导航方案哈尔滨工业大学研制的MIMU/GPS/磁强计微型组合导航系统（如图7所示），采用低精度硅微陀螺与加速度计（参数见表1），实现了原理样机的研制，地面跑车试验验证了该组合方案在采用温度补偿技术后，可以有效抑制与补偿硅微惯性仪表的漂移误差，提高导航精度[1]。
清华大学对低成本MEMS 惯性器件的组合导航算法进行了研究，采用MIMU/GPS/ 磁强计组合导航方案，实现了原理样机的研制，样机系统如图8所示[2]。