1 MEMS 技术在武器装备中的应用
MEMS应变传感器的设计与制备技术研究
MEMS应变传感器的设计与制备技术研究随着科技的不断发展，MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）技术在各个领域得到了广泛应用。
其中，MEMS应变传感器作为一种重要的微纳传感器，具有灵敏度高、尺寸小、功耗低等优点，被广泛应用于工业、医疗、军事等领域。
本文将探讨MEMS应变传感器的设计与制备技术研究。
一、MEMS应变传感器的工作原理MEMS应变传感器是通过测量材料在受力作用下产生的应变来实现对力的测量。
其工作原理基于材料的应变敏感性，当材料受到外力作用时，会发生微小的形变，进而导致电学性能的变化。
通过测量这种电学性能的变化，可以间接地得到外力的大小。
二、MEMS应变传感器的设计MEMS应变传感器的设计是整个研究的核心。
设计过程中需要考虑传感器的尺寸、灵敏度、可靠性等因素。
首先，传感器的尺寸应尽可能小，以适应微纳制造的要求。
其次，传感器的灵敏度应高，能够检测到微小的应变变化。
最后，传感器的可靠性是非常重要的，需要经受长期使用和恶劣环境的考验。
在设计过程中，需要选择合适的材料和结构。
常用的材料包括硅、聚合物等，这些材料具有良好的机械性能和电学性能。
而结构的选择则需要考虑到应变传感器的工作原理和实际应用需求。
三、MEMS应变传感器的制备技术MEMS应变传感器的制备技术是实现设计要求的关键。
常用的制备技术包括光刻、薄膜沉积、离子刻蚀等。
首先，通过光刻技术可以制备出微米级的图案，用于定义传感器的结构。
其次，薄膜沉积技术可以在基底上沉积出薄膜材料，用于构成传感器的敏感层。
最后，离子刻蚀技术可以实现对薄膜的精确加工，进一步定义传感器的结构。
制备过程中需要注意工艺参数的控制，以保证传感器的性能。
例如，薄膜的厚度、光刻的曝光时间等都会对传感器的灵敏度和可靠性产生影响。
因此，制备技术的研究和优化是非常重要的。
四、MEMS应变传感器的应用前景MEMS应变传感器的应用前景非常广阔。
在工业领域，它可以用于测量结构的变形和应力分布，从而实现对结构安全性的监测。
举例说明mems的应用及例中mems器件的原理
举例说明mems的应用及例中mems器件的原理MEMS（微机电系统）是一类集成在微米到毫米级别的机械系统和电气系统的微型器件，它们的作用是将电气信号转换成机械运动或将机械运动转换成电气信号。
这些微型器件通过在芯片上制造微小结构和微制造工艺，实现了微小化、低功耗、高灵敏度和多功能。
下面将介绍MEMS的应用及其中的器件原理。
MEMS的应用非常广泛，可以应用于汽车、医疗、航空航天、电子通信、消费电子等多个领域。
其中，一些最常见的MEMS应用包括：1.惯性感应器：MEMS加速度计和陀螺仪广泛应用于智能手机，队列追踪和姿态控制等。
通过利用惯性原理，它们可以检测设备的移动并提供相应的反馈，从而实现位置和方向的确定。
2.微波电子学：MEMS开关器，可变容器和可调谐滤波器等器件用于微波频段中，这些器件可以实现快速、准确的频率调谐，并且具有高的功率处理能力。
3.生物传感器：MEMS生物传感器可用于检测血糖、血压、呼吸和心率等，这些传感器通过检测体内细胞水平的变化，可以提供全新的医疗诊断工具。
其中，MEMS传感器是应用最广泛的一类器件。
下面将以MEMS传感器为例，介绍其原理。
MEMS传感器的原理是将待测值或物理现象转化为信号，在微机电系统中进行处理。
大多数MEMS传感器都是由感应结构和信号转换电路组成的。
其中感应结构通常采用压电、电容、电阻、温度、振动等技术，来实现感应现象和物理现象的转换。
而信号转换电路则用于转换、放大、滤波和数字化信号，从而使数据可以与其他设备通信。
以压电传感器为例，它主要由压电陶瓷、负载杆、方向夹具和输出电路组成。
当压电陶瓷受到力的作用时，它会产生电荷，从而产生电压信号。
这个信号可以通过负载杆和夹具传送到输出电路，最终转换成数字信号。
在MEMS传感器中，压电传感器广泛应用于机械和结构振动测量、气动测量、应变测量和加速度测量等。
总之，MEMS技术已经成为了多种新科技和应用的核心，这些应用不仅改善了我们的生活质量，而且为未来的技术创新提供了更广阔的空间。
微电子机械系统（MEMS）及其在军事领域的应用
微电子机械系统（MEMS）及其在军事领域的应用
金大元
【期刊名称】《通信对抗》
【年(卷),期】2007(000)004
【摘要】微电子机械系统（MEMS）技术是继微电子技术后又一项重要的新兴技术。
介绍了MEMS的基本概念和特点、MEMS的技术基础和制造技术及典型的MEMS产品，并在此基础上重点论述了MEMS在军事领域尤其是在军事电子信息系统中的应用和发展前景。
【总页数】5页(P56-60)
【作者】金大元
【作者单位】中国电子科技集团公司第三十六研究所,浙江嘉兴314033
【正文语种】中文
【中图分类】TN4
【相关文献】
1.磁性微电子机械系统(MMEMS)的应用 [J], 耿笑炎;石玉;张怀武;尉旭波
2.微电子机械系统(MEMS)技术在军用设备中的应用现状 [J], 方震华;黄慧锋
3.微电子机械系统研究领域的最新进展——IEEE MEMS 2018国际会议综述 [J], 宋宇;张海霞
4.微电子机械系统(MEMS)及其在军事领域的应用研究 [J], 张捍驰
5.微电子机械系统研究领域的最新进展——IEEE MEMS 2018国际会议综述 [J], 宋宇;张海霞;;
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MEMS技术与微型飞行器的设计
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一
组件，这种微型化、高集成度组件将有可能取代目前移动通信、相控阵天线、导引头、无线电引信
境监控、军事和民用等诸多领域的应用前景十分广阔，并正成为国防科技发展的一条新途径。
２微型飞行器
微型飞行器ＭＡＶ是借助ＭＥＭＳ技术进行开发研究的模仿飞行的微机电系统，它集ＭＥＭＳ、航空电 子、飞行力学、推进器等技术于一体。在设计指标上，微型飞行器的昂大尺寸一般不超过２０ｃｍ、质 量在几百克以下、续航时问２０～６０ｍｉｎ、航程为ｌＯｋｍ、最高巡航速度可达８０ｋｍ／ｈ、最高飞行高度 可达１５０ｍ。在作战中，可由士兵用手、弹药、无人机或飞机等部署发射或将它们送到距目标几公里 的地方发射。一次性使用的微型飞行器的价格一般在１０００美元以下。国际上很多科研机构已研制出 多种ＭＡＶ雏形，按其飞行原理分为固定翼、旋翼、扑翼三大类型，正在开发的微型飞行器项目有仿 真的苍蝇、蝙蝠等。微型飞行器的组成部件或负载主要有动力装置、导航系统、通信系统、实时成 像系统、雷达干扰系统及自毁系统等。 ２．１动力装置
均可采用对应的ＭＥＭＳ射频元器件替代．最终达到单片或混合集成的目标，其中应用最多的衄ｄｓ器 件就是单片微波集成电路（Ｍｏｎｏｌｉｔｈｉｃ Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ，简称瑚ＩＣ），它是利用
半导体制造技术，将电路中所有的有源元件（如双极型晶体管、场效应晶体管、二极管等）和无源 元件（如电阻、电容、电感、变压器和传输线、互联线等）都制作在同一块砷化镓（ＧａＡｓ）或锗化 硅（ＳｉＧｅ）半导体衬底上的微波电路”。。
MEMS的原理及应用
MEMS的原理及应用前言微机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems，MEMS）是一种将微米尺度的机械元件和微电子元件集成在一起的技术。
它结合了机械学、电子学和计算机科学等领域的知识，广泛应用于各个领域。
本文将介绍MEMS的原理及其在不同领域的应用。
MEMS的原理MEMS的核心原理是利用微米尺度的机械结构来感知和操控物理量。
这些微米尺度的结构通常由硅或其他材料制成，并且与电子元件集成在一起。
MEMS器件利用微机械结构的运动或变形来实现各种功能。
下面是一些常见的MEMS原理：1.微加工技术：MEMS器件通常是通过光刻和微加工技术制作的。
这些技术允许制造出微米级别的机械结构和电子元件。
2.机械传感器：MEMS器件中最常见的一类是机械传感器，用于感知物理量如压力、加速度、温度等。
典型的机械传感器包括压力传感器、加速度传感器和陀螺仪等。
3.微操控器件：除了传感器，MEMS还包括微操控器件，用于操控物理量如运动、振动等。
例如，微镜头用于手机的自动对焦功能就是一种微操控器件。
4.集成电子元件：最重要的一点是，MEMS器件通常与集成电子元件一起工作。
传感器通过电子元件将感知到的物理量转化为电信号，而操控器件则接收电信号并操控相应的物理量。
这种集成使得MEMS器件具有高度的智能化和自动化能力。
MEMS的应用MEMS技术在各个领域都有广泛的应用。
下面列举了几个典型的应用领域：1. 电子设备•手机：MEMS技术使得手机具备了更多的功能，如自动对焦摄像头、陀螺仪和加速度传感器等。
•智能手表：智能手表中的MEMS技术可以实现计步器、心率监测和气压计等功能。
•耳机：MEMS技术可以用于制作微型麦克风和降噪器，提高音质和通话质量。
2. 医疗领域•生物传感器：MEMS技术可以用于制作微型生物传感器，实现疾病的早期诊断和监测。
•药物传递系统：利用MEMS技术，可以制作微型药物传递系统，实现精确的药物控制和释放。
mems芯片应用场景
mems芯片应用场景随着科技的不断发展，MEMS（Micro Electro Mechanical System）芯片作为一种新型的微小机械器件，被广泛应用于各个领域。
MEMS芯片具有体积小、功耗低、集成度高、成本低等优势，因此在许多应用场景中得到了广泛的应用。
本文将针对mems芯片的应用场景进行深入探讨。
一、移动设备领域MEMS芯片在移动设备领域有着广泛的应用。
例如，加速度传感器是MEMS芯片的一种重要应用，它可以用于手机、平板电脑等设备中的智能屏幕旋转功能，可以根据设备的倾斜角度自动旋转屏幕的方向。
此外，MEMS芯片还可以用于手机的抖动感应功能，当手机发生抖动时，MEMS芯片可以感知到并自动调整镜头的位置，从而提高拍照的稳定性。
二、汽车领域MEMS芯片在汽车领域的应用也越来越广泛。
例如，汽车中的安全气囊系统中就使用了MEMS芯片的加速度传感器。
当车辆发生碰撞时，MEMS芯片可以感知到车辆的加速度变化，并通过控制系统迅速充气，保护乘客的安全。
此外，MEMS芯片还可以用于汽车的稳定控制系统、车载导航系统等，提高汽车的行驶稳定性和导航精度。
三、医疗领域MEMS芯片在医疗领域的应用也非常广泛。
例如，MEMS芯片可以用于体温计、血压计等医疗设备中，实现对人体生理参数的测量和监测。
此外，MEMS芯片还可以用于人工耳蜗、心脏起搏器等医疗器械中，实现对人体功能的辅助和恢复。
四、工业领域在工业领域，MEMS芯片也有着广泛的应用。
例如，MEMS芯片可以用于工业机器人中的姿态传感器，实现对机器人姿态的感知和控制。
此外，MEMS芯片还可以用于工业自动化设备中的压力传感器、流量计等，实现对工业过程参数的测量和控制。
五、环境监测领域MEMS芯片在环境监测领域也有着重要的应用。
例如，MEMS芯片可以用于空气质量监测设备中的气体传感器，实时监测环境中的各种有害气体浓度。
此外，MEMS芯片还可以用于水质监测设备中的PH传感器、溶解氧传感器等，实现对水质的监测和分析。
信息化装备在现代战争中的运用例子
信息化装备在现代战争中的运用例子信息化装备在现代战争中的运用已经成为军事技术的重要组成部分。
信息化装备的运用可以提高军队的作战效能，增强作战指挥能力，提高战场态势感知能力，增强战争决策能力，提高作战力量的整体效能。
下面将列举10个信息化装备在现代战争中的运用例子。
1. 卫星通信：卫星通信是现代战争中不可或缺的信息化装备之一。
通过卫星通信系统，指挥员可以实时获取战场信息，指挥部与前线指挥部之间可以实现远程通信。
这样可以大大提高指挥决策的速度和准确性。
2. 无人机：无人机是信息化战争的重要组成部分。
无人机可以用于侦察、目标识别、目标打击等任务。
无人机可以携带各种传感器和武器，通过无人机的使用，可以提高作战的灵活性和隐蔽性。
3. 人工智能：人工智能在现代战争中的应用越来越广泛。
通过人工智能技术，可以实现自动化的目标识别和打击，提高作战的效率和准确性。
人工智能还可以用于战争模拟和决策支持系统等方面，帮助指挥员制定更科学的战略方案。
4. 网络战：网络战是信息化战争的重要组成部分。
通过网络战，可以进行网络攻击、网络防御和网络侦察等任务。
网络战的目的是破坏敌方的网络系统，干扰敌方的指挥和控制，提高我方的作战效能。
5. 光电侦察系统：光电侦察系统可以通过红外、激光和电视等传感器，实时获取战场上的图像和视频信息。
通过光电侦察系统，可以提高侦察的效率和准确性，为指挥员提供更全面的战场情报。
6. 导航系统：导航系统是现代战争中必不可少的信息化装备。
通过导航系统，可以实现战斗部队的定位和导航，提高作战的精确度和协同能力。
导航系统可以使用GPS、北斗和伽利略等卫星定位系统，提供高精度的定位信息。
7. 雷达系统：雷达系统是现代战争中重要的信息化装备之一。
雷达系统可以实现对空中和地面目标的探测和跟踪，提供目标的位置、速度和高度等信息。
通过雷达系统，可以实现对目标的实时监控，为指挥员提供更全面的战场态势感知能力。
8. 通信系统：通信系统是现代战争中必不可少的信息化装备之一。
军事装备信息化的研究与应用
军事装备信息化的研究与应用军事领域是一个技术要求极高的领域，因为它面临着战争等极为复杂的环境。
在过去的几十年里，随着信息技术的快速发展，军事装备也在不断升级换代。
信息化已经成为了军事装备的必需品，其研究和应用对于提高战场效率、保障安全、提高军队作战能力等方面都发挥了很大的作用。
一、军事装备信息化的发展随着信息技术的迅速发展，装备的信息化水平也不断提升。
将传感器、通信、计算机等技术应用到军事装备中，实现信息的采集、处理、传输和显示。
这些技术可以让作战过程更加智能化、迅速化和精确化。
二、军事装备信息化的应用1.军事作战指挥军事作战指挥是军队作战行动中的关键环节，信息技术的应用可以让指挥更加迅速、准确。
比如，利用信息化技术可以实现战场指挥自动化，通过自动化和信息化的手段实现远程指挥。
基于作战环境模拟技术，实现指挥训练和决策培训。
2.装备现代化改造军事现代化改造需要借助信息化技术，提高军事装备的软硬件协同能力。
在装备现代化改造过程中，需要对传感器、通信、处理器、显示器等部件进行升级换代。
比如，将远程瞄准和控制系统应用到激光导弹上，使军机可以以远的距离对地面目标进行攻击。
3.后勤保障军队作战时后续的运输保障十分重要，可以利用信息化技术提升后勤保障效率。
比如，建立后勤保障信息系统，通过该系统实现物资调度、运输、流动控制等。
此外，军事物资采购也可以借助互联网等信息平台进行统一协调，提高核算效率。
4.军事安全在网络时代，信息安全保护不可或缺。
对于传感器等设备的数据，需要加密处理；对于通信过程，需要使用安全算法进行保护。
此外，针对军事装备的控制系统也需要建立相应的安全保护体系。
三、军事装备信息化研究的展望随着军事装备信息化的不断发展，未来将会出现一些新的技术和应用场景。
比如，人工智能技术将会应用到军事装备的作战指挥、控制等领域；五代移动通信技术将会体现在装备的监控、调度等方面。
总的来说，军事装备信息化的未来将更加高效、便捷和智能化。
MEMS在军事领域中的应用前景
MEMS在军事领域中的应用前景微机电系统（MEMS）在国民经济、科研和国防上应用甚广，文中较详细地说明MEMS在军事领域中的惯性测量器件、测控技术和信息管理上的多种应用。
表明MEMS在加速国防现代化有着重要的应用前景及其极端重要作用。
微机电系统（MEMS）是一门新兴学科, 在国民经济和科学研究的众多领域应用甚广, 在国防科技中也有着广阔的应用前景。
信息技术在未来战争中有着重要的地位：未来战争中指挥中心、武器系统、甚至士兵本人将使用不同层次的（军事）信息系统, 使部队作战时情况明, 战斗力强, 并能迅速的控制战场; 这是推动MEMS技术在军事领域中应用的动力。
欧、美和日本均把MEMS作为高科技放在优先发展的地位, 并得到国防部门的大力支持。
MEMS产品在信息采集, 军事设施监控, 改进武器系统、指挥系统和后勤保障体系, 尤其在国防科技研究领域大有用武之地。
本文介绍MEMS产品在军事领域应用的若干实例, 以展示其应用前景。
可以相信, 随着MEMS研究的深入开展, 其产品对于国防技术的现代化有着十分重要的作用。
1惯性测量器件的应用采用微机械加工技术已研制成加速度传感器和陀螺仪等惯性测量器件, 前者发展比较成熟, 作为民品已大量生产, 主要用在汽车上, 预计到2000年, 年销售额可达25亿美元。
陀螺仪的制造比加速度传感器复杂, 其性能正在不断提高。
军事上对惯性测量元件要求很苛刻, 从而促进了MEMS陀螺仪的加速发展。
1. 1弹的安全保险与引爆装置弹药在贮运过程中要求安全保险, 在战斗中又能可靠引爆, 不能出现“哑弹”。
哑弹战时会延误战机, 而战后哑弹的排除既费时, 费钱, 又十分危险。
在大规模战争中, 投弹量可达天文数字, 如果哑弹仅占1～2%, 其数量也是相当可观的, 因此, 确保各类弹可靠引爆是国防科技中一个非常重要的课题。
MEMS加速度传感器可用于弹的引爆, 可大幅度提高引爆的可靠性及贮存的安全性。
战场智能化技术的研究与应用
战场智能化技术的研究与应用随着时代的进步，人类在武器技术方面取得了巨大的进步。
战场上的武器已经不再仅仅是简单的火药武器，而是具有智能化特性的高科技武器。
这些智能化武器可以通过现代化的技术手段来实现各种高精度操作，提高作战效率和行动效果。
本文将探讨战场智能化技术的研究与应用。
一、战场智能化武器概述智能化武器是指具有人工智能（AI）和机器学习（ML）等高级技术能力的武器系统。
它们利用计算机、网络和数据处理等现代化技术手段来实现各种预测和决策功能，从而对制导、通讯、目标识别、控制和攻击等武器要素进行优化。
目前在智能化武器应用方面，各国已经进行了相当长时间的努力来实现其最优化的效果，继续取得成功和创新。
智能化武器的特点是具有智能化控制系统。
这种系统是依据机器自主决策的机制，通过基于当地环境、脱机/实时数据、人工情境感知、预测和推理等分析环节，进行环境监测、数据处理、干预操作、命中精度、反馈判断和自我升级等复杂功能，从而增加武器的成功概率、生存概率和适应性。
因此，智能化武器的使用可以最大限度地减少人员伤亡，增加战场操作的效率和成功率。
例如，智能化炮弹可以对目标进行更加精确的攻击，提高打击效果，减少死伤者数目。
二、智能化武器的技术手段智能化武器利用了计算机技术和网络技术等现代技术手段来实现自主控制和精度攻击。
其中主要运用的技术如下：1. 传感器技术。
通过传感器可以实现目标的识别、跟踪和打击等功能。
智能化武器可以通过光电、红外、毫米波、雷达等传感技术，实现对地面、海上、空中等三个维度的覆盖。
智能化武器可以通过传感器技术进行目标识别、状态判定和攻击等操作，从而提高打击精度和成功率。
2. 通讯协议技术。
智能化武器需要通过通讯协议与其它智能化武器和战场指挥调度系统及时、准确地交换信息。
因此，通信协议技术的完善是智能化武器高效可靠运作的必要保证。
通讯协议技术能够确保传输速率、数据的可靠性和安全性，在信息传递方面有着重要作用。
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1 MEMS 技术在武器装备中的应用
武器装备是MEMS技术的最早应用,对推动MEMS技术的进步起到了很大作用。
大量采用MEMS器件,以改进武器性能,已成为美国发展新型高科技武器装备的方向。
美国和西方国家为了掌握现代战争的主动权，大力发展战场侦察传感器、智能军用机器人等以增加武器效能，军用武器装备的小型化是重要的发展趋势。
根据美国DARPA公布的资料,MEMS在武器装备中的主要应用领域包括:用于武器制导和个人导航的惯性导航组合,单兵携带、战场实时监测、毒气以及细菌检测和救护等,武器安全、保险、引信和无人值守分布式传感器,炮弹弹道修正、子母弹开仓控制，超小型、超低功率无线通讯信号处理、小型分析仪器,高密度、低功耗的大量数据存储器件,敌友识别系统、显示和光纤开关的集成微光学机械器件等方面。
3.1.1基于MEMS 技术的传感器在通用武器装备中的应用
各国为了适应军用武器装备的小型化这一发展的需要，采用的主要方法是利用MEMS技术制造的传感器和微系统。
早在20世纪80年代。
美国就认为世界已进入传感器时代。
日本也将传感器技术列为十大技术之首。
我国将传感器技术列为国家八五重点科技攻关项目，建成了“传感器技术国家重点实验室”、“微纳米国家重点实验室”、“国家传感器工程中心”等研究开发基地。
而且MEMS、MOEMS等研究项目也列入了国家高新技术发展重点。
传感器产业已被国内外公认为是具有发展前途的高技术产业。
传感器技术是现代科技的前沿技术，许多国家已将传感器技术列为与通信技术和计算机技术同等重要的位置。
称之为信息技术的三大支柱之一。
目前敏感元器件与传感器在工业部门的应用普及率已被国际社会作为衡量一个国家智能化、数字化、网络化的重要标志。
因此，传感器技术作为一种与现代科学密切相关的新兴学科正得到空前迅速的发展。
并且在相当多的领域被越来越广泛的利用。
传感器是指那些对被测对象的某一确定的信息具有感受(或响应)与检出功能，并使之按照一定规律转换成与之对应的可输出信号的元器件或装置的总称传感器一般被认为由敏感元件、转换元件、测量电路三部分组成，有时还需外加辅助电源。
传感器可以直接接触被测对象。
也可以不接触。
通常对传感器设定了许多技术要求，有一些是对所有类型传感器都适用的。
也有只对特定类型传感器适用的特殊要求。
针对传感器的工作原理和结构在不同场合均需要的基本要求是：高灵敏度、抗干扰的稳定性、线性、容易调节、高精度、高可靠性、无迟滞性、工作寿命长、可重复性、抗老化、高响应速率、抗环境影响、互换性、低成本、宽测量范围、小尺寸、重量轻和高强度、宽工作范围等。
在军事方面的应用传感器技术在军用电子系统的运用促进了武器、作战指挥、控制、监视和通信方面的智能化。
传感器在远方导弹系统、战场监视系统、防空系统、雷达系统等方面，都有广泛的应用，是提高军事战斗力的重要因素。
MEMS 是未来武器中最精华部份，从1962 年第一个硅微型压力传感器的问世开创了MEMS 技术先河，并一直是推动MEMS 技术不断进步的动力，同时，MEMS 技术的应用又使传感器性能提高了几个数量级，现在已形成产品和正在研究中的微型传感器有：压力、力、力矩、加速度、速度、位置、流量、电量、磁场、温度、气体成分、湿度、pH 值、离子能度、微陀螺、触角传感器以及无线网络传感器。
国外已抢先将上述传感器应用于导弹和导弹发射系统、智能武器系统中。
美国国防部高级计划研究局设有MEMS 研究室，正在重点推进MEMS 传感器的研究计划，其中包括：小型
惯性测量装置、微全分析系统（μ- TASSystem）、RF 传感器、网络传感器、无人值守传感器等。
研制出的MEMS 加速度计能承受火炮发射时产生的近10.5gn的冲击力，可以为制导导弹提供一种经济的制导系统。
据美国国防部军械处的报告透露，在1991年海湾战争中共空投导弹1700万发，炮射导弹1380万发，其中哑弹率占5%，分别为85万发和69万发，大量的哑弹率的出现削弱了军事行动的效果，未爆弹药引起14起伤亡事故。
采用上述装置预计可以使导弹的可靠性、性能及服务时间提高5～10倍，哑弹的数量减少一个数量级。
据报道MEMS 惯性传感器用于灵巧弹头和钻地弹头中，其抗震能力足以使其能够做到弹头钻入地下后，仍能对其进行制导、控制并引爆。
MEMS 技术可用于开发一种成本低、体积小、功耗低（mW级）的个人导航器件。
这种器件根据初始全球定位系统（global ositioning system GPS）基准更改个人位置，从而达到增强GPS 功能的目的。
当GPS 受到无线电干扰时，这种MEMS 器件还可提供连续导航数据。
DARPA 支持开发了一种运动探测部件，它是具有一定灵敏度和稳定性的个人惯性定位装置所必需的。
以MEMS 为基础的惯性跟踪器可以扩充现有的GPS 系统，提供个人定位信息。
真正的全球卫星定位（GPS）今后将不仅用于航空、航海，而且，对于汽车、行人也将成为现实可行。
GPS若用于汽车，由于地面上存在的各种障碍物，可能出现暂时盲区，但只要在车上装上微型惯性测量单元（micro inertial measurement unit MIMU），即可以间隙性地进行自动导航，走出盲区后再以GPS进行校正。
美国CISDraper实验室开发的火炮，由GPS 和MEMS 传感器构成的测试制导系统，价值3 万美元的导弹中包括陀螺和加速度计的费用为1000美元，如果采用MEMS 器件只需20美元。
法国经过18个月的实验以后，于2000年由BAE系统公司成功地开发了直接打击目标的中程制导导弹应用的MEMS传感器。
MEMS轮胎压力传感器已经用在美国军队装甲运兵车的轮胎中。
分布式战场微型传感器网络系统是可以准确地探测与查明敌人的作战部署与军队调动的新型探测装置，这种微型机电系统在布设、耐久和易损性等方面有明显的优点。
在战况信息传递方面，已开发出机载传感器和通信用的微功率源和微通信元件。
这些器件将形成覆盖范围广，且完全自主控制的传感器网络，这些新型微系统芯片将使战斗机和无人驾驶侦察机具有地形识别、通信和其他扩展功能。