微纳笔记 提问作业答案..
纳米作业参考答案
作业
1.简述纳米材料的概念与分类。
2.纳米材料具有那些奇异特性？
3.人们发现鸽子、海豚、蝴蝶及蜜蜂等具 有回归的本领，它们是如何辨别方向的？
1.简述纳米材料的概念与分类。
①纳米材料是指材料的几何尺寸达到纳米级尺度水平， 并且具有特殊性能的材料。 20世纪80年代，纳米材料的定义为1~100nm尺度范 围内的纳米颗粒（纳米晶）和由纳米颗粒组成的薄 膜和块体。现在纳米材料的广义定义是指在三维空 间中至少有一维处于纳米尺度范围内，或由纳米基 本单元构成的材料。其性质完全不同于常规材料， 而具有特殊性。
3
最早提出纳米尺度上 科学和技术问பைடு நூலகம்的是著名 物理学家，1965年诺贝尔 奖获得者理查德· 费曼（Richard Feynman）
4.纳米科技的深远影响 (1)纳米科技将促使人类认知的革命。
首先，纳米科技的科学意义体现在：纳米尺度下的 物质世界及其特性，是人类较为陌生的领域，也是 一片新的研究疆土。 其次，由于纳米科技是对人类认知领域新疆域的开 拓，人类将承担对新理论和新发现重新学习和理解 的任务。 再次，从人类未来发展的角度看，可持续发展将是 人类社会进步的唯一选择。
C60分子的结构图
2. 简述富勒烯C60的物理和化学性质.
物理性质
C60具有很高的对称性，是最稳定富勒烯分子，由于 C60晶体 结构上的特点，使它呈现出许多特殊的物理性质。
C60为黑色粉末，密度1.65g/cm3±0.05g/cm3，熔点>700℃； 几乎不溶于水，但在一些非极性分子溶液中有较高的溶解度； C60能在不裂解情况下升华； C60的可压缩率高，这个值 是金刚石的40倍，石墨的3倍，这表明C60可能是已知固 体碳中弹性最大的，它的抗冲击能力比迄今所知的所有 粒子都要强
微纳练习题解答201最新整理3
一、简答题1.套准精度,套准容差的定义。
大约关键尺寸的多少是套准容差？套准精度是测量对准系统把版图套准到硅片上图形的能力。
套准容差描述要形成图形层和前层的最大相对位移,一般，套准容差大约是关键尺寸的三分之一。
2.信息微系统的特点是什么？低成本，能耗低，体积小，重量轻，高可靠性和批量生产，可集成并实现复杂功能。
3.微加工技术是由什么技术发展而来的，又不完全同于这种技术。
独特的微加工技术包括哪些？（1）微电子加工技术；（2）表面微制造、体硅微制造和LIGA工艺。
4.微电子的发展规律为摩尔定律，其主要内容是什么?集成电路芯片的集成度每三年提高4倍，而加工特征尺寸缩小√2倍5.单晶、多晶和非晶的特点各是什么？单晶：几乎所有的原子都占据着安排良好的规则的位置，即晶格位置；非晶：原子不具有长程有序，其中的化学键，键长和方向在一定的范围内变化；多晶：是彼此间随机取向的小单晶的聚集体，在工艺过程中，小单晶的晶胞大小和取向会时常发生变化，有时在电路工作期间也发生变化6.半导体是导电能力介于导体和绝缘体之间的物质；当受外界光和热作用时，半导体的导电能力明显变化；在纯净半导体中掺入某些杂质可以使半导体的导电能力发生数量级的变化。
7.在光滑的金属和空气界面，为什么不能激发表面等离子体波？对于光滑的金属表面，因为表面等离子体波的波矢大于光波的波矢，所以不能激发表面等离子体波。
8.磁控溅射镀膜工艺中，加磁场的主要目的是什么？将电子约束在靶材料表面附近，延长其在等离子体中运动的轨迹，提高与气体分子碰撞和电离的几率9.谐衍射光学元件的优点是什么？高衍射效率、优良的色散功能、减小微细加工的难度、独特的光学功能10.描述曝光波长与图像分辨率的关系，提高图像分辨率，有哪些方法？（1）NA = 2 r0/D, 数值孔径；K1是工艺因子：0.6～0.8（2）减小波长和K1，增加数值孔径11.什么是等离子体去胶，去胶机的目的是什么？氧气在强电场作用下电离产生的活性氧，使光刻胶氧化而成为可挥发的CO2、H2O 及其他气体而被带走；目的是去除光刻后残留的聚合物12.硅槽干法刻蚀过程中侧壁是如何被保护而不被横向刻蚀的？通过控制F/C的比例，形成聚合物，在侧壁上生成抗腐蚀膜13.折衍混合光学的特点是什么？折衍混杂的光学系统能突破传统光学系统的许多局限，在改善系统成像质量减小系统体积和质量等诸多方面表现出传统光学不可比拟的优势14.刻蚀工艺有哪两种类型？简单描述各类刻蚀工艺干法刻蚀：在气态等离子体中，通过发生物理或化学作用进行刻蚀湿法刻蚀：采用液体腐蚀剂，通过溶液和薄膜间得化学反应就能够将暴露得材料腐蚀掉15.微纳结构光学涉及三个理论领域，其中标量衍射理论适用于设计d>=10λ的微纳光学器件；矢量衍射理论适用于设计d～λ的微纳光学器件；等效介质折射理论适用于设计d<=λ/10的微纳光学器件。
微生物思考题及参考答案之欧阳道创编
微生物思考题及参考答案1.用油镜观察时应注意哪些问题？在载玻片和镜头之间加滴什么油?起什么作用？答：应该先用擦镜纸将镜头擦干净,以防上次实验的污染.操作时,先低倍再高倍.用完要擦掉油.加香柏油,作用是增加折光率,也就是增加了显微镜的分辨率.油的折光率和分辨率成反比(有公式),同时与波长成正比.2.什么是物镜的同焦现象？它在显微镜观察中有什么意义？答：在一般情况下，当物像在一种物镜中已清晰聚焦后，转动物镜转换器将其他物镜转到工作位置进行观察时，物像将保持基本准焦的状态，这种现象称为物镜的同焦。
利用这种同焦现象，可以保证在使用高倍镜或油镜等放大倍数高、工作距离短的物镜时仅用细调节器即可对物像清晰聚焦，从而避免由于使用粗调节器时可能的误操作而损坏镜头或载玻片。
3.影响显微镜分辨率的因素有哪些？答：物镜的NA值（物镜的数值孔径）与照明光源的波长.4.美蓝染色液作用时间的不同,对酵母菌死细胞数量有何影响,试分析原因答：会造成更多的死细胞，在显微镜下观察，活的是透明无色，衰老的是淡蓝色，死亡的是蓝色，如果美蓝染色液作用时间过长，会造成细胞脱水死亡并渗透染液，影响实验结果。
5.镜检时如何区分放线菌基内菌丝，气生菌丝以及孢子丝一般气生菌丝颜色较深，直生或分枝丝状，比基内菌丝粗；而基内菌丝色浅、发亮，可看到横隔膜，继而断裂成球状或杆状小体。
6.在进行细菌涂片时应注意哪些环节1、载玻片应该冷却后再涂片。
2、如果是涂布液体，可以用毛细管或接种环滴一小滴，然后轻轻抹开，一圈足够。
3、如果是涂布菌落或菌苔，应该在载玻片上先滴一滴水，再将菌落或菌苔涂布上去，接种环的尖蘸一点点即可。
4、为了节省时间，可以将干燥和热固定合并成一步。
但是应该避免高温，因为温度一高，细菌会变形。
5、染色时间视染色液种类而定。
如结晶紫只需几十秒，亚甲基蓝则需一到两分钟。
6、冲洗时，水流不能太大，而且尽量避免水流直接冲在涂片上。
7、冲洗后干燥，可以用酒精灯加热以节省时间，同样的，应该避免高温，因为温度一高，细菌会变形。
纳米作业参考答案
纳米作业参考答案纳米作业参考答案纳米技术是一种应用于材料科学、生物医学、能源等领域的前沿科技。
它的发展速度之快令人瞩目，而与之相伴的是对纳米技术的深入研究和应用的需求也越来越迫切。
在这个背景下，纳米作业成为了学生们的一项重要任务。
本文将为大家提供一份纳米作业参考答案，希望能对大家的学习和研究有所帮助。
一、纳米技术的定义和应用领域纳米技术是一种控制和操纵物质在纳米尺度下的科技。
纳米尺度是指物质的尺寸在1到100纳米之间。
纳米技术的应用领域广泛，包括材料科学、生物医学、能源等。
在材料科学领域，纳米技术可以用于制备新型材料，如纳米材料、纳米涂层等，以改善材料的性能。
在生物医学领域，纳米技术可以应用于药物传递、癌症治疗等，为医学研究和治疗提供新的方法和手段。
在能源领域，纳米技术可以用于太阳能电池、燃料电池等能源装置的制备，以提高能源利用效率。
二、纳米技术的制备方法纳米技术的制备方法主要包括物理法、化学法和生物法。
物理法是利用物理手段来制备纳米材料，如溅射法、热蒸发法等。
化学法是利用化学反应来制备纳米材料，如溶胶-凝胶法、共沉淀法等。
生物法是利用生物体内的生物分子来制备纳米材料，如生物合成法、生物矿化法等。
不同的制备方法适用于不同的材料和应用，选择合适的制备方法对于纳米技术的研究和应用至关重要。
三、纳米材料的性质和应用纳米材料具有许多特殊的性质，如尺寸效应、表面效应和量子效应等。
尺寸效应是指纳米材料的性质随着尺寸的变化而发生变化，如纳米颗粒的熔点和磁性等。
表面效应是指纳米材料的性质主要由其表面所决定，如纳米薄膜的光学性质和化学反应性等。
量子效应是指纳米材料的电子结构和光学性质受到量子力学效应的影响，如纳米晶体的能带结构和荧光性质等。
基于这些特殊性质，纳米材料在材料科学、生物医学和能源等领域有着广泛的应用。
例如，纳米颗粒可用于制备新型催化剂，纳米薄膜可用于制备柔性显示器，纳米晶体可用于制备高效太阳能电池。
四、纳米技术的挑战和前景纳米技术的发展面临着许多挑战。
微纳加工作业及答案
作业一1. 在形成微机械结构的空腔或可活动的微结构过程中，先在下层薄膜上用结构材料淀积所需的各种特殊结构件，再用化学刻蚀剂将此层薄膜腐蚀掉，但不损伤微结构件，然后得到上层薄膜结构（空腔或微结构件）。
由于被去掉的下层薄膜只起分离层作用，故称其为牺牲层。
a) 淀积一层牺牲层；b) 淀积一层结构层；c) 匀胶、光刻、蚀刻，将结构层图形化；d) 淀积一层牺牲层；e) 匀胶、光刻、蚀刻，将中心部分的牺牲层图形化；f) 淀积一层结构层；g) 经过匀胶、光刻、蚀刻等流程，将结构层图形化；h) 利用腐蚀的方法去掉牺牲层，保留了结构层，得到微马达。
2. 或非门T1、T2为PMOS，当输入电平为低电平时导通。
T3、T4为NMOS，当输入电平为高电平时导通。
导通状态用√表示，非导通状态用×表示。
作业二1.对于一个NA为0.6的投影曝光系统，计算其在不同曝光波长下的理论分辨率和焦深，并作图。
设k1=0.6，k2=0.5（均为典型值）。
图中的波长范围为100nm到1000nm（DUV和可见光）。
在你画的图中，标示出曝光波长g线436nm，i线365nm，KrF 248nm，ArF 193nm。
根据这些简单计算，考虑ArF源是否可以达到0.13μm 和0.1μm级的分辨率？答：根据这些计算可知ArF (193 nm)的分辨率不能达到0.13 µm和0.1μm级。
可以采用其他先进技术,如相移掩膜、离轴照明等,ArF将有可能达到0.13µm或者0.1µm级别。
2. 一个X射线曝光系统，使用的光子能量为1keV，如果掩膜板和硅片的间隔是20μm，估算该系统所能达到的衍射限制分辨率。
答：1 keV光子能量对应的波长为X射线系统是接近式的曝光系统，所以分辨率为3. 对于157nm F2准分子激光的光学投影系统：a. 假定数值孔径是0.8，k1=0.75，使用分辨率的一级近似，估算这样的系统能达到的分辨率。
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2021年上海复旦大学微纳系统中心熊诗圣课题组招聘试题及答案
第1题：这些瀑布不为人所共知，因为人们对它们不感兴趣或者它们不够迷人, 由于它们处于边远险要之地，游客要想一睹它们的风采就显得困难重重了。
填入划横线部分最恰当的一项是().
A.不是而是
B.不但而且
C.不是就是
D.不仅而旦
【解析】正确答案：答案A-題干是在解释这些瀑布不为人知的原因。
前后两个句子是并列关系，而旦是否定前面，肯定后面。
四个选项中，B. D项表示递进关系，C项去示选择关系，只有A项表示的是并列关系，故本题答案为A。
第2题：广义的知识可以分为()
A.概念
B.公式
C.定理
D.陈述性知识E、程序性知识
【解析】正确答案：答案D,E°
第3題：大卫体格健壮，神态坚定，左手轻推肩上的投石带，在投入战斗前的瞬间，他侧首左前方，目光如炬。
《大卫》象征着为正义事业而奋斗的力量，雕塑家在他身上
了自己炽烈的爱国主义理想。
依次填入划横线部分最恰当的一项是
( )O
A.环视赋予
B.远眺灌注
C.凝视倾注
D.注视寄狂
【解析】正确答案：答案D。
“环视”指向四周观看。
文段中大卫看的只是左前方，可排。
运动场上的微纳技术阅读题
运动场上的微纳技术阅读题
微纳技术在运动场上有哪些应用？
微纳技术在运动场上有着广泛的应用，包括但不限于以下几个
方面：
1. 运动装备，微纳技术可以被用来改善运动装备的性能，例如
运动鞋、球类、运动服等。
通过微纳技术，可以提高运动装备的轻
量化、耐磨性、抗菌性等特性，从而提升运动员的表现和舒适度。
2. 生物监测，微纳技术可以用于开发生物监测设备，例如穿戴
式智能设备、生物传感器等，可以实时监测运动员的生理参数，如
心率、血压、体温等，帮助他们更好地掌握自己的身体状况，调整
训练和比赛策略。
3. 运动场地，微纳技术也可以应用于改善运动场地的表面材料，例如人工草坪、跑道等，以提高摩擦力、减少受伤风险，同时延长
使用寿命。
4. 运动医疗，微纳技术在运动医疗领域也有着重要作用，例如
用于开发新型的药物传递系统、组织修复材料等，帮助运动员更快地康复。
总的来说，微纳技术在运动场上的应用领域非常广泛，涉及到运动装备、生物监测、运动场地和运动医疗等多个方面，为运动员和运动爱好者提供了更好的体验和保障。
微纳米题库
一、判断1、下图为各向异性刻蚀剖面。
（×）2、SU8光刻胶既可以作正光刻胶又可以作负型光刻胶。
（×）3、STM为扫描电子显微镜的缩写。
（×）4、纳米压印技术的创始人是富兰克林。
（×）5、后烘会影响有驻波效应，所以有时可以不后烘。
（√）6、常用的PMMA的玻璃化转变温度为100℃。
（×）7、显影后的AZ5214光刻胶可以采用丙酮去洗。
（×）8、PMMA的玻璃化转变温度是95~105℃。
（√）9、Poly MEMS是一种基于电活化聚合物材料的塑性MEMS技术（√）10、等离子体化学刻蚀式各向同性的。
（√）11、硅的各向异性腐蚀剖面中，对于（100）晶面的硅片，有四个（111）面与（100）面相交为50.74°。
（×）二、选择1、以下那个是光刻胶的综合指标（D ）。
A. 灵敏度B. 对比度C. 曝光宽容度D. 分辨能力2、常用的PMMA的琉璃化转变温度是（A ）。
A. 105°cB. 140°cC. 180°cD.100°c3、以下那个不属于刻蚀参数（D ）。
A. 选择比B. 均匀性C. 残留物D. 温度4、为什么研究纳米压印技术？（D ）。
A. 高分辨率B. 高产量C. 低成本D. ABC都是5、不是干法刻蚀的要求是（C ）。
A. 高的选择比B. 高的刻蚀速率C. 化学试剂的浓度D. 低的器件损伤三、填空1、按曝光方式分，光学曝光分为掩膜对准式曝光（接触式（软、硬），接近式）与投影式曝光（1:1投影，缩小投影）。
2、光刻胶按其形成图案的极性可分为正型光刻胶与负型光刻胶。
3、电子光学系统由电子透镜系统，电子偏转系统和电子枪构成。
4、刻蚀的方法包括化学湿法腐蚀，等离子体干法刻蚀，其他物理与化学刻蚀技术无论那种刻蚀技术，都可以用抗刻蚀比，刻蚀的方向性来考查其性能。
5、光刻胶的组成部分溶剂（85-90%）、成膜树脂（树脂型聚合物，10-15%）、光活性物质（3-5%）、添加剂（＜1%）。
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第一章1、微纳米材料的三个特性是什么?答：微尺寸效应、表面与界面效应、量子尺寸效应。
2、微纳测试的研究内容是什么，并解释其内涵答: 研究内容: 圆片级测试、管芯级测试和器件级测试。
圆片级测试：主要解决MEMS在工艺线上制造过程中微结构与设计的符合性、微结构之间以及不同批次圆片间的一致性与重复性问题；管芯级测试：主要解决封装前微器件的成品率的测试问题；器件级测试：1、检测封装的质量，进行微器件的综合性能测试；2、考核微器件的可靠性，给出可靠性指标。
3、微纳测试方法有哪两大类答：接触式测试与非接触式测试。
4、微纳测试仪器有哪几类答：光学、电子学、探针等。
5、微纳测试的特点答：1、被测量的尺度小，一般在微纳米量级；2、以非接触测量为主要手段。
第二章1、试述光学法在微纳测量技术中的意义（同自动调焦法优点）答：1、由于是非接触测量，因而对被测表面不造成破坏，可测量十分敏感或柔软的表面；2、测量速度高，能扫描整个被测表面的三维形貌，且能测量十分复杂的表面结构；3、用这种方法制成的测量仪器可用在制造加工过程中实现自动化测量。
2、可见光的波长范围答：400~760nm3、凸透镜成像的5种形式答：形式1：当物距大于2倍焦距时，则像距在1倍焦距和2倍焦距之间，成倒立、缩小的实像，物像异侧。
形式2：当物距等于2倍焦距时，则像距也在2倍焦距，成倒立、等大的实像，物像异侧。
形式3：当物距小于2倍焦距、大于1倍焦距时，则像距大于2倍焦距，成倒立、放大的实像，物像异侧。
形式4：当物距等于1倍焦距时，则不成像，成平行光射出。
形式5：当物距小于1倍焦距时，则成正立、放大的虚像，物像同侧。
4、几何光学的成像原理、波动光学的成像原理答：几何光学成像原理：1、在均匀介质中，光线直线传播；2、光的反射定律；3、光的折射定律；4、光程可逆性原理。
波动光学成像原理：1、光的干涉；2、光的衍射；3、光的偏振。
5、显微镜与望远镜的异同点答：相同点：（1）都是先成实像，后成虚像（2）他们的目镜都成正立放大虚像。
不同点：（1）显微镜的物镜成倒立放大实像；（2）望远镜的物镜成倒立缩小的实像（3）显微镜的放大倍数等于物镜放大倍数乘以目镜放大倍数，而望远镜则不是。
（4）显微镜物镜焦距小，目镜焦距大，望远镜物镜焦距大，目镜焦距小。
6、光学显微镜的分辨率是由目镜决定还是由物镜决定的，为什么答：样品上的最小分辨距离，即分辨率，实际上是由物镜来决定的。
原因：物镜中的限制圆孔直接影响着形成衍射斑的大小，而圆孔的直径直接与物镜的直径相关：物镜的数值孔径（NA ）决定着物镜中部衍射圆孔的大小。
由最小分辨率的公式：min1.220.612sin sample R NA λλα==可知，物镜的数值孔径越大，能够分辨的最小距离越短。
7、光学显微镜的放大倍数是由什么决定的答：放大倍数为物镜和目镜的放大倍数之积。
8、什么是数值孔径，如何提高显微镜的分辨率答：数值孔径：物体与物镜介质的折射率n 与物镜孔径角α的一半正弦值的乘积：sin()2N A n α=数值孔径越大，分辨率越高，因此增加数值孔径、减小波长、将物镜浸液可以提高显微镜的分辨率。
9.利用波动光学可以形成哪些测试仪器答：干涉仪、衍射仪、测量显微镜（劳埃德镜、迈克尔逊干涉仪、马赫-泽德干涉仪、泰曼-格林干涉仪、法布里-珀罗干涉仪等（这些列举不用写完））10、自动调焦法的优缺点答：优点：1、由于是非接触测量，因而对被测表面不造成破坏，可测量十分敏感或柔软的表面； 2、测量速度高，能扫描整个被测表面的三维形貌，且能测量十分复杂的表面结构； 3、用这种方法制成的测量仪器可用在制造加工过程中实现自动化测量。
缺点：被测物体表面的反射光能力不同，用自动调焦法测量时，对被测物体表面的光反射度有要求，通常应大于2%11、自动调焦法测量微位移的原理，与金刚石探针接触测量法相比，自动调焦法有哪些特点答：原理：自动调焦法源于CD 技术。
由红外光二极管发出的激光束，经准直镜准直后成为一束平行光，该平行光又经能实现焦距跟踪功能的扫描物镜被聚焦在被测物的表面上。
被测物表面所反射的发散光以和入射光相反的方向返回，其中一部分经分光镜分光后入射到聚焦检测器上，形成一个光点。
该光点位臵根据被测表面结构可能有3中不同情形：光点在检测器平面上、光点在检测器平面之前、光点在检测器平面之后。
由上述两种离焦信号产生一个控制电平信号，用于驱动一个动圈式马达，使扫描物镜跟随运动，直至使扫描物镜能到达聚焦位臵为止。
物镜便能始终跟随被测物表面结构的轮廓，由此产生的垂直方向的位移经一个电感式位移传感器转变成测试信号被记录下来。
特点：与金刚石探针接触测量相比，自动调焦法的光点直径要小得多，因而能获取表面的十分细微的结构特征。
由于自动测焦法是非接触测量，又是主动调节，因而较金刚石探针测量法，它响应更快，对外部振动较少敏感。
12、什么是三角法，它的用途什么，三角法测量分为哪两种答：解释：光学三角法是用一束激光经光学系统调节后照射到被测物体表面，形成一小光斑，经被测物体表面反射后的光线通过成像物镜汇聚成像在光电探测器的光接收面上。
被测点的位移信息由该光点在探测器的光接收面上所形成的像点位置决定。
当被测物体移动时，光斑相对于物镜的位置发生改变，相应的其像点在光探测器接收面上的位置也将发生改变，根据其像点位臵的变化和测量系统的结构参数可求出被测点的位移信息。
由于入射光线和反射光线构成一个三角形，所以该方法被称为光学三角法。
用途：测量被测表面的形貌分类：斜光学三角法和直光学三角法两种13、三角法测量中有哪几种检测方案答：一般有三种，位置敏感探测器（PSD）、CCD线阵探测器、差动式光电二极管。
14、影响三角法测量精度的因素有哪些答：（1）表面粗糙度的影响（2）被测表面微结构的影响（3）散斑的影响第三章1、分辨力、分辨率、放大倍数的基本概念答：分辨力：显示装臵能有效辨别的最小的示差值分辨率：样品上的最小分辨距离，指物体分辨细微结构的能力放大倍数：像与物体的尺寸的比值2、人眼、光学显微镜、透射电镜、电子扫描显微镜、探针显微镜的分辨力答：人眼晴分辩率：0.1mm以上；光学显微镜极限分辩本领是光波的半波长，可见光最短0.4um(半波长：0.2um）；透射电镜:点分辨(0.3-0.5nm),晶格分辨(0.1-0.2nm)；电子扫描显微镜:(6-10nm)；探针显微镜:原子级(0.1nm)；3、如何提高望远镜与显微镜的分辨率答：对望远镜：λ不变，尽量增大透镜孔径D，以提高分辨率。
对显微镜：主要通过减小波长来提高分辨率。
4、显微镜的光学参数：放大倍数，工作距离，景深，视场答：放大倍数：指物体经物镜、目镜两次成像后眼睛所能看到像的大小对原物体大小的比值。
是物镜的横向放大率m与目镜的角放大率α的乘积。
工作距离：就是从物镜的前表面中心到被观察标本之间的距离。
景深：当显微镜调焦于某一物平面时，如果位于其前或后的物平面仍能被观察者看清楚，则该二平面之间的距离叫做景深。
视场：从显微镜中能看到的圆形范围叫视场(又叫视野)。
5、光学显微镜有哪几部分组成答：光学显微镜由1、照明系统；2、光学放大系统；3、机械装置三部分组成。
6、激光扫描显微镜有哪两种工作模式答：1、自聚焦扫描方式，2、共焦扫描方式。
7、简述共聚焦扫描显微镜的基本原理，并说明如何产生一副完整的图像答：原理：利用聚焦的激光束在样品表面扫描，同时利用光电检测器件接收样品的反射光（或透射光），样品结构的变化使反射光（或投射光）强度改变因而是光电检测器件的输出电流改变，经信号处理，同步显示在计算机屏幕上。
如何产生一副完整的图像：利用放置在光源后的照明针孔和放置在检测器前的探测针孔实现点照明和点探测，来自光源的光通过照明针孔发射出的光聚焦在样品焦平面的某个点上，该点所发射的荧光成像在探测针孔上，该点以外的任何发射光均被探测针孔阻挡。
照明针孔与探测针孔对被照射点或被探测点来说是共轭的，因此被探测点即共焦点，被探测点所在的平面即共焦平面。
计算机以像点的方式将被探测点显示在计算机屏幕上，为了产生一副完整的图像，由光路中的扫描系统在样品焦平面上扫描，从而产生一副完整的共焦图像。
8、共聚焦显微镜的优点答：（1）采用了共聚焦原理，几乎完全排除了杂散光的影响，可获高清晰度、高分辨率的图像。
（2）高放大倍数、高分辨力（3）制样简单，与普通偏光显微镜相同，无需扫描电镜所要求的专门制样技术。
（4）具有一定深度的穿透力，可进行分层扫描，获得不同穿透深度的图像及三位重组立体图像。
（5）三位定量测定。
9、电子束与固体表面作用会产生哪些信号，这些信号有什么用途答：可产生二次电子、背散射电子、俄歇电子、荧光、非弹性散射电子、透射电子、绕散射电子、X射线等信号。
用途：将这些信号用探测器收集起来，并转换为电流信号，再送到显像管就可转变为图像。
由于从样品表面散射或发射的电子与样品表面的固有特性有直接关系，所以能得到样品表面结构的信息。
10、电子显微镜有哪两种答：透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）11、透射电子显微镜与光学显微镜有哪些异同点答：相同点：透射电子显微镜是利用电子的波动性来观察固体材料内部的各种缺陷和直接观察原子结构的仪器。
尽管复杂得多，它在原理上基本模拟了光学显微镜的光路设计，简单化地可将其看成放大倍率高得多的成像仪器。
不同点：1、一般光学显微镜放大倍数在数十倍到数百倍，特殊可到数千倍。
而透射电镜的放大倍数在数千倍至一百万倍之间，有些甚至可达数百万倍或千万倍；2、透射电子显微镜是以波长很短的电子束做照明源，而普通光学显微镜采用全视场均匀照明。
12、根据加速电压的大小，透射电子显微镜可以分为哪几种，其加速电压为多少？答：（1）一般TEM。
最常用的是100KV电镜。
（2）高压TEM。
目前常用的是200KV电镜。
（3）超高压TEM。
目前已有500KV、1000KV和3000KV的超高压TEM。
13、透射电子显微镜有哪几部分组成答：透射电镜一般是由电子光学部分、真空系统和供电系统三大部分组成。
14、透射电子显微镜的样品分为哪两种，对样品有什么要求答：间接样品和直接样品；要求：（1）供TEM分析的样品必须对电子束是透明的，通常样品观察区域的厚度以控制在约100~200nm为宜。
（2）所制得的样品还必须具有代表性以真实反映所分析材料的某些特征。
因此，样品制备时不可影响这些特征，如已产生影响则必须知道影响的方式和程度。
15、扫描电子显微镜的工作原理答：是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与样品表面结构有关，次级电子由探测器收集，信号经放大用来调制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。