EDS定量分析标样

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EDS能谱检测

Z：原子序数修正因子。（电子束散射与Z有关）
A：吸收修正因子。（试样对X射线的吸收） F：荧光修正因子。（特征X射线产生二次荧光）
半定量分析
无标样定量分析
无标样定量分析是X射线显微分析的一种快速定量方法。强度比K＝IS/IStd。
表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计算，或用标样数据库给定的，适应于不同的实验条件。其计算精度不如有标样定量分析。
EDS原理及应用
12091024 吴保华
EDS
EDS可以与EPMA，SEM，TEM等组合，其中SEM－EDS组合是应用最广的显微分析仪器，EDS的发展，几乎成为SEM的表配。是微区成份分析的主要手段之一。
能谱仪：EDS (Energy Dispersive Spectrometer)
能谱的特点
Na
Cl
Ag
Thank you !
EDS检测(未镀膜）
cps/eV 4.5 4.0 3.5 3.0 Cl 2.5 2.0 1.5 1.0 0.5 0.0 0 1 2 3 keV 4 5 6 C Ca O Cl Ca
El AN
unn. C norm. C Atom. C Error (1 Sigma) K fact. Z corr. A corr. F corr. [wt.%] [wt.%] [at.%] [wt.%] ------------------------------------------------------------------------------------C 6 K-series 63.77 66.81 81.86 7.68 1.515 0.441 1.000 1.000 Cl 17 K-series 23.11 24.21 10.05 0.80 0.086 2.794 1.000 1.007 O 8 K-series 8.29 8.68 7.98 1.25 0.119 0.731 1.000 1.00 Ca 20 K-series 0.29 0.30 0.11 0.04 0.001 2.722 1.000 1.017 -------------------------------------------------------------------------------------

EDS分析的几个关键问题

检测X射线强度与能量关系的一种方法，不作为能谱仪的缩写。

WDX（wavelength dispersive x-ray spectrometry）：波谱法检测X射线强度与波长关系的一种方法。不作为波谱仪的缩写。
11
常用术语举例

1、能量分辨率 energy resolution ； 2、空间分辨率 spatial resolution ；
Incident Electrons
分析面积
Secondary Electrons Backscattered Electrons
X-rays
不同信号产生的深度和空间分辨率 Depth of signal generation and spatial resolutions
22
影响空间分辨率的因素
24
电子扩散深度随kV及试样密度变化
（标尺刻度不同）
0.4
•
3.5
Si at 5 kV
Si at 20 kV
1
0.8
Si at 10 kV
Mo at 20kV
25
INCA软件对激发体积的估算
黄色：低密度材料( 2gm per cm3 )
蓝色：高密度材料(10 gm per cm3 ) • 实线= 10 keV x-射线（元素Z小于32的K系X射线激发能均低于10 keV ） • 点线= 1 keV x-射线（轻元素K线系X射线激发能低于1 keV ） • SEM设定的加速电压不同时，图中激发体积也自动变化。 26
VPSEM（variable- pressure scanning electron microscope/ microscopy）：可变气压扫描电镜

X射线能谱仪(EDS)

入射电子束受到气体散射作用
电子能量为25KV时，通过氧气的平均自由程
环境扫描电镜的特点(一)
平均碰撞次数(m)定义三类不同的散射
Minimal Scattering Scatter <5% （ 0< m< 0.05 ）
Partial Scattering Scatter 5% to 95% （ 0.05< m< 3）
半定量分析
无标样定量分析
无标样定量分析是X射线显微分析的一种快速定量方法。强度比 K＝IS/IStd。表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计算，或用标样数据库给定的，适应于不同的实验条件。其计算精度不如有标样定量分析。
二、X射线能谱仪基本功能
EDS的分析方法－点分析
电子束（探针）固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法准确度高，用于显微结构的成份分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。
EDS的分析精度
“电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则”国家标准定量结果及允许误差对定量结果必须正确选取有效位数。EDS定量分析结果，小数点后保留一位，原始数据可以多保留一位。 EDS分析的相对误差 (含量＞20%wt）的元素，允许的相对误差 <5% (3 %wt<含量<20%wt的元素，允许的相对误差<10% (1 %wt<含量<3%wt的元素，允许的相对误差<30% (0.5%wt<含量<1%wt的元素，允许的相对误差<50%
X + e- → X+ + 2e-
环境扫描电镜的特点(二)
消除绝缘样品表面电荷积累的解释
- - - - gas
- - - - gas

SEM扫描电镜能谱（EDS）分析技术

SEM扫描电镜能谱（EDS）分析技术来源：Labs科技⽂摘如果要分析材料微区成分元素种类与含量，往往有多种⽅法，打能谱就是我们最常⽤的⼿段。

能谱具有操作简单、分析速度快以及结果直观等特点，最重要的是其价格相⽐于⾼⼤上的电镜来说更为低廉，因此能谱也成为了⽬前电镜的标配。

今天这篇⽂章集齐了有关能谱（EDS）的各种问题，希望能给⼤家带来帮助。

Q1:能谱的缩写是EDS还是EDX？开始的时候能谱的缩写有很多，⽐如EDS，EDX，EDAX等，⼤家对此也都⼼照不宣，知道ED 就是Energy Dispersive，后⾯因为X-ray Analysis和Spectrum这⼏个词的不同⽤法，导致了缩写的不同。

⽽且相应的汉译也有很多，⽐如能量⾊散谱，能量散射谱等等。

不过，到了2004年左右，相关协会规定，EDS就是能谱或者能谱仪，EDX就是能谱学，Dispersive就不去翻译。

这样EDS就应该是⽂章⾥的正规⽤法，⽽现在有很多⽂章仍然使⽤其他说法，有约定俗成的味道，⼤家知道怎么回事就⾏了。

Q2:TEM的能谱误差⽐SEM的⼩吗？A2:因为很多⼈知道TEM的分辨率⾼，所以认为TEM所配能谱的分辨率⾼于SEM。

这可以说是⼀个⾮常错误的论断。

同样⼚家的能谱，同⼀时期的产品，⽤于TEM的分辨率通常要低于SEM⼏个eV，诚然，TEM可能会观察到更⼩的细节，但这只是能谱分析范围的精准，并不代表能谱的分辨率⾼。

SEM的样品⽐较容易制备，⽽且跟厚度关系不⼤，⼀般电⼦束深⼊样品的⾼度为⼏个微⽶，定量时可以放相应样品的标样（⽐如纯Si就⽤纯Si标样，MgO就⽤MgO标样，有很多国家级标样供选择）来做校正。

⽐较重的元素诸如很多⾦属和稀⼟元素的分析结果可以认为是定量的。

上海硅酸盐研究所的李⾹庭教授对SEM和电⼦探针的EDS分析结果做过⽐较系统的讲述，我摘抄如下：EDS分析的最低含量是0.x%（注：这个x是因元素不同⽽有所变化的。

）“电⼦探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则”国家标准，规定了EDS的定量分析的允许误差（不包括含超轻元素的试样）。

SEM和EDS的现代分析测试方法

SEM和EDS的现代分析测试方法SEM（扫描电子显微镜）和EDS（能量散射X射线分析）是一对常用于材料科学和地质学等领域的现代分析测试方法。

SEM利用电子束扫描样品表面，通过获取样品表面的电子信号来生成高分辨率的图像；EDS则通过分析样品表面散射的X射线能谱来确定样品元素的组成。

这两种技术的结合能够提供精确的显微结构和化学成分信息，为材料研究和质量控制提供了有力的分析手段。

SEM主要通过扫描电子束在样品表面的不同位置进行扫描，利用激发的次级电子、反射电子和主束电子回散射的电子等不同信号来获得样品表面的形貌信息。

相对于光学显微镜，SEM具有更高的分辨率和放大倍数，能够观察到更小尺寸的细节结构。

此外，SEM还可以通过选择不同的操作模式（如反射电子显微镜模式和透射电子显微镜模式）来观察不同类型的样品，如金属、陶瓷、生物样品等。

在材料科学领域，SEM常用于观察样品中的晶体结构、颗粒形貌、纤维组织等微观结构。

EDS是SEM的一个重要附属技术，它通过分析样品表面散射的X射线能谱来确定样品元素的组成。

当电子束轰击样品表面时，样品中的原子会激发出一系列特征X射线。

这些X射线的能量和强度与样品中元素的种类和含量有关。

EDS系统可以通过收集散射的X射线并对其进行能量谱分析，从而确定样品中存在的元素及其相对含量。

EDS不仅能够提供定性分析结果，还可以通过比对与标准参考谱库进行定量分析，得到精确的元素含量。

SEM-EDS组合技术具有广泛的应用范围。

在材料科学中，它可以用于研究材料的显微结构、相变、晶粒生长等问题。

例如，可以通过SEM观察金属材料中的晶粒尺寸和分布，进而对材料的力学性能和导电性能进行评估。

同时，通过使用EDS技术，还可以分析材料中微量元素的含量，进一步揭示材料的化学成分和微观特征。

总之，SEM和EDS是一对功能强大的现代分析测试方法。

它们可以提供高分辨率的显微结构和准确的化学组分信息，而且应用范围广泛，适用于材料科学、地质学、生物学和环境科学等领域的研究和应用。

三、EDS定量分析方法与分析误差

26
P/B-ZAF无标样定量分析方法
P/B-ZAF无标样定量，是不需要标样和标准物质，也不需要标样X射线强度数据库的定量分析方法，不需要测量系统校正因子（system factor calibration），是根据改进的ZAF基体校正方法、利用基本参数（FP）进行校正的定量分析方法。定量结果可为非归一化结果和归一化结果，根据“能谱法定量分析”国家标准规定，正规定量分析报告建议用归一化定量结果。
I = I0 exp(-µ/t)
特别是由于标样和试样所组成
EDS
E0
的元素种类和含量不同，对X射
线的吸收程度也不同，必须加以试样
强度I
校正。在定量分析中这是一项
主要校正。
强度I0
11
3、荧光（F）校正
X射线荧光效应 X-ray fluorescence effect
二次荧光 secondary fluorescence
9
1、原子序数（Z）校正
原子序数（Z）校正：对分析体积中所有元素的
电子背散射及阻止本领引起某一元素X射线强
度变化进行的基体校正。
特别是试样和标样的平均原子序数
X－射线入射电子束背散射电子
不同时，卢瑟福散射产生的背散射
电子数不同、电子被减速的程度不
样品
同，所以入射电子进入试样和标样
中激发X射线的电子数不同，应校正。
i
Nch d i t q c ZAFch
i
4 0
ii ii
i
br Bremsstrahlung ch characteristic radiation
论计算结果导出。 1951年提出，可分析金属、氧化物等，对平的抛光
试样从Na－U元素的相对误差为~2% 。

通过EDS定性和定量分析测出未知相的组成元素

通过EDS定性和定量分析测出未知相的组成元素《表 2》 EDS 定量分析结果 / %SFeMo0.4660.907③经固溶处理后的奥氏体不锈钢，由于在高温加热时大部分碳化物被溶解，奥氏体中饱和了大量的碳与铬，并因随后的快速冷却而固定下来，使材料有很商的耐腐蚀性。

因此应严格控制热处理工艺，固溶处理时将工件加热至高退，使碳化物充分溶解，然后迅速冷却，得到均一奥氏休组织。

固溶处理后，如果采用缓慢冷却，在冷却过程中碳化铬将沿晶界析出，从而导致材料耐腐蚀性能降低。

（中国五金商城采编）Si1.23918~21首先采用了杂色法进行σ相的鉴别。

采用碱性赤血盐水溶液(赤血盐10g+氢氧化钾10g+水100ml)，试样在该试剂中煮沸2~4min后,，铁素体呈黄色，碳化物被腐蚀，奥氏体呈光亮色，σ相由褐色变为黑色。

用上述方法将从蝶阀上切取的试样在碱性赤血盐水溶液中煮沸4min后，在显徽镜下观察，析出物保持了原形貌,，未发现明显变化。

因此决定采用热处理的方法进一步试脸分析。

①综合上述各项试验的结果，可判定蝶阀材料组织中析出相不是σ相,，故蝶阀的锈蚀现象不是由σ相引起的。

析出相1.2570.61Mn70.4632.4SEM分析SiPMn1.45CF8M蝶阀18.05《表2》EDS定量分析结果/%《表 1》化学成分分析结果 / %1.50.0240.0400.04成分2.2金相分析取样进行化学成分分析(判断是否符合标准要求)、金相组织检查、热处理工艺试验及SEM分析。

56.9082、试验结果及分析Ni材质为CF8M的不锈钢蝶阀在使用过程中出现锈蚀现象。

奥氏体不锈钢经正常热处理后，室温下组织应为奥氏体，耐蚀性能很好。

为了分析蝶阀的锈蚀原因，在其上取样进行分析。

2~316.3650.603.681成分1.50.10Mo9.71展会本网参展合作展会展会代理企业营销实战经商之道培训考试百科精彩词条热点关注百科问答人物成功案例五金访谈机电专家技术专家把脉机电技术解决方案价格钢材价格不锈钢塑料价格专题新闻专题展会专题本网活动今日风向标：毕业季又至【机电在线讯】一年一度的毕业季已然来到，大学生就业形…Cr②通过SEM观察，确认蝶阀的组织中析出相是以铬为主的碳化物，这种共晶组织沿晶界分布。

三EDS定量分析方法与分析误差

三EDS定量分析方法与分析误差EDS（能量色散X射线光谱）是一种常用的材料表面分析技术，它可以在纳米尺度下对材料进行元素定性和定量分析。

在EDS分析中，样品经过高电压电子轰击后，会产生X射线。

这些被产生的X射线经过分析仪器的能谱系统，可以测量出不同能量的X射线强度，从而确定样品中的元素组成。

EDS定量分析的方法主要有峰位法和峰面积法。

峰位法是根据样品中元素的峰位位置来确定其相对含量的一种方法。

在分析中，先确定不同元素的X射线峰位位置，然后测量样品的峰位，并与一组标准样品进行对比，通过计算相对峰位差来确定元素的相对含量。

峰面积法是根据样品中元素的X射线峰面积来确定其相对含量的一种方法。

在分析中，先测量样品的X射线峰面积，然后与一组标准样品进行比较，通过计算峰面积比来确定元素的相对含量。

峰面积法可以通过积分计算峰下的总计数，并考虑因素如背景计数和衰减系数，从而提高定量的准确性。

在EDS定量分析中，存在着一定的误差。

这些误差可以分为系统误差和随机误差。

系统误差主要来自于仪器和样品本身的一系列因素。

例如，EDS系统的能量响应曲线可能存在误差，而样品中的复杂结构和化学组成也可能导致分析误差。

为了尽量减小系统误差，可以通过对样品进行标定和校正来修正仪器的响应曲线，并进行多次重复测量以提高准确度。

随机误差是由于测量过程中的随机因素导致的。

例如，样品中的微小颗粒和晶体缺陷可以导致X射线的散射和吸收，从而影响测量结果。

此外，样品表面的不均匀性和仪器的稳定性也可能导致随机误差。

为了减小随机误差，可以进行多次重复测量，并取平均值来提高结果的可靠性。

为了评估EDS定量分析的准确性和可靠性，可以使用一些统计方法，如方差分析和回归分析。

方差分析可以用来确定分析结果与真实值之间的偏离程度，从而评估方法的精确性。

回归分析可以用来建立元素含量与峰位或峰面积之间的关系模型，并利用该模型来预测未知样品的元素含量。

总之，EDS定量分析方法既包括峰位法，又包括峰面积法。

EDS能谱检测解读

Z：原子序数修正因子。（电子束散射与Z有关）
A：吸收修正因子。（试样对X射线的吸收） F：荧光修正因子。（特征X射线产生二次荧光）
半定量分析
无标样定量分析
无标样定量分析是X射线显微分析的一种快速定量方法。强度比K＝IS/IStd。
表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计算，或用标样数据库给定的，适应于不同的实验条件。其计算精度不如有标样定量分析。
EDS检测(未镀膜）
cps/eV 4.5 4.0 3.5 3.0 Cl 2.5 2.0 1.5 1.0 0.5 0.0 0 1 2 3 keV 4 5 6 C Ca O Cl Ca
El AN
unn. C norm. C Atom. C Error (1 Sigma) K fact. Z corr. A corr. F corr. [wt.%] [wt.%] [at.%] [wt.%] ------------------------------------------------------------------------------------C 6 K-series 63.77 66.81 81.86 7.68 1.515 0.441 1.000 1.000 Cl 17 K-series 23.11 24.21 10.05 0.80 0.086 2.794 1.000 1.007 O 8 K-series 8.29 8.68 7.98 1.25 0.119 0.731 1.000 1.00 Ca 20 K-series 0.29 0.30 0.11 0.04 0.001 2.722 1.000 1.017 -------------------------------------------------------------------------------------

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3
中国微束分析准化发展过程
中国微束分析标准化工作起步较早， 1984年在香山成立了全国电子探针标准样品标准化技术委员会，1995年改名为全国微束分析标准化技术委员会，主要任务是制定、审查国家微束分析的文字标准和实物标准，参与国际微束分析标准的制定和讨论。
4
ISO/TC 202
1992年由国际标准化组织（ISO)投票同意中国提出的成立国际微束分析技术委员会：ISO/TC 202,秘书处在中国，主席由中国人担任。现在世界有188个TC，基本都在美国、英国、德国和日本等发达国家。中国只有这一个TC，对中国的标准化工作及标准化工作的国际地位提高起了重要作用。现在ISO/TC 202每年组织、召开一次国际会议，负责制定、讨论国际标准。
19
标样应用现状
1.许多EPMA、SEM－EDS实验室无标样或少标样。有的单位只有一个Co标样。2.有人不知道什么是标样，不能把随仪器带来的样品作标样，成分准确可靠的样品也不是标样。 3.不用或不会用标样。要根据样品的组成、含量、结构等选择标样。没有标样的定量不是真正的定量。虽然EDS无标样定量数据对许多分析要求，已经可以接受，但现在还无国家标准，计量认证报告等不被承认。不知那里有标样。
5
实验室认证、认可的条件
1、SEM、EPMA、EDS等仪器必须经过权威部门的检定，一般2－3年检定一次，过检定期的仪器，测试的数据无效。至今EDS无检定规程，只作为其他仪器的一个附件。 2、必须有项目分析的标准方法 3、必须有标准样品 4、人员素质，经考核有上岗证 5、实验室环境符合要求
6
标准分析方法
9
现有的标准方法
84年成立标委会以来,共发布文字标准27 项，其中TEM: 4项，其余是 EPMA/SEM/EDS分析标准。包括仪器检定规程、定量分析方法、样品及标样制备方法等.与能谱定量分析方法有关的独立标准：“通则”、黄金制品成分分析及镀层厚度分析等，EDS独立标准相对比较少，但WDS分析的标准大都说明EDS 可参照执行。
EDS定量分析标样、标准方法及分析误差
摘自“中国科学院上海硅酸盐研究所李香庭先生” 摘编人:Zjx@
1
我所EDS使用概况
现有牛津能谱仪6台，其中INCA Energy 4台。 EPMA定量分析通常也用EDS，当分析的元素含量低、分析准确度要求高（如计量认证报告）或者元素有峰重叠时，才考虑用WDS分析。我们近两次参加的国家实验室认可委举行的 WDS、EDS定量分析的比对实验中,也是用EDS 分析的，都已通过考核。我们认为牛津公司的 INCA Energy 界面友好、定量结果准确度高 (XPP定量分析程序）。
10
全国微束标委员会制定的国家标准
1. GB/T4930-93 电子探针分析标准样品通用技术条件 14595-FDIS 2. GB/T15074-94 电子探针定量分析方法通则 224893. GB/T15075-94 电子探针分析仪的检定方法 4. GB/T15244-2002 玻璃的电子探针定量分析方法 5. GB/T15245-2002 稀土氧化物的电子探针定量分析方法 6. GB/T15246-2002 硫化物矿物的电子探针定量分析方法
27
XPP定量修正方法
XPP法类似于PRZ方法。深度分布函φ(ρz)积分表达式包含原子序数和吸收效应，通过蒙特卡洛模拟计算。该方法对吸收严重的试样，例如重元素与轻元素存在于同一试样的定量分析时，定量结果明显好于其他方法。由Heinrich 提供的1400个合金试样，及Bastin提供的750 个轻元素试样进行定量结果表明，所有元素的标准偏差均优于 ZAF 及 PRZ方法。INCA Energy只有XPP定量分析程序。
26
总量误差
EPMA和EDS的定量分析误差习惯上用总量误差、准确度、标准偏差、相对误差等表示。不同试样及不同条件定量分析时误差不同，一般情况下，WDS定量分析总量误差为1％－3％。不同类型试样的定量分析方法,国家标准都规定了允许误差。例如玻璃的总量误差为±3%; 稀土氧化物总量误差为±2%；黄金制品金含量的准确度优于2%。EDS定量分析误差稍大，特别是有峰重叠及元素含量低的试样，EDS分析结果不如WDS.
7
国际标准
是指国际标准化组织（ISO）、国际电工委员会（IEC）和国际电信联盟（ITU)制定的标准，以及国际标准化组织确认并公布的其它国际组织制定的标准。我国许多产品质量低的原因是执行的标准水平太低。现在要向国际标准靠拢。国家现在非常重视采标工作：等同采用或修改采用。
8
标准的选择
选用标准的顺序：国际、国家、行业、地方标准。无上述标准时，可选用有知名度的技术组织或有关科技文献，或杂志上发表的方法并经实验室主管确认。使用非标准方法时应证得委托方同意，并形成文件。
7.
GB/T15247-94 分析方法 8. GB/T14593-93 析方法
碳钢和低合金钢中碳的电子探针定量山羊绒、绵羊毛及其混合纤维定量分
11
17751-DIS 9. GB/T15617-2002 硅酸盐矿物的电子探针定量分析方法 10. GB/T15616-95 金属及合金电子探针定量分析方法 11. GB/T16594-94 微米级长度的扫描电镜测量方法 12. GB/T 17359-98 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则 13. GB/T17360-98 钢中低含量Si、Mn的电子探针定量分析方法 14. GB/T17361-98 沉积岩中自生粘土矿物扫描电子显微镜及 X射线能谱鉴定方法
12
15. GB/T17632-98 黄金饰品的扫描电镜X射线能谱分析方法 16. GB/T17363-98 黄金制品的电子探针定量测定方法 17. GB/T17364-98 黄金制品中金含量的无损定量分析方法 18. GB/T17365-98 金属与合金电子探针定量分析样品的制备方法 19. GB/T17366-98 矿物岩石的电子探针分析试析方法 21 GB/T17507-98 电子显微镜-X射线能谱分析生物薄标样通用技术条件（TEM) 22 GB/T17722-99 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法 23 GB/T17723-99 黄金制品镀层成分的X射线能谱测量方法 24 GB/T 18295-2001 油气储层砂岩样品扫描电子显微镜分析方法 25 GB/T 18735-2002 分析电镜（AEM/EDS）纳米薄标样通用规范(TEM) 26 GB/T18873-2002 生物薄试样的透射电子显微镜-X射线能谱定量分析通则（TEM） 27 GB/T18907-2002 透射电子显微镜选区电子衍射分析方法 (TEM)
标准分析方法是技术发展的总结，是保证分析准确度所必须的技术文件，有国际、国家标准、行业标准、地方标准等。计量认证(CMA)、实验室认可(CNAL)及 ISO9000等认证时，首先检查标准样品及标准方法。所分析检测的项目，必须有相应的标准检测方法。要根据标准方法进行分析，要采用有效的国家标准。标准方法使用的有效期一般为5年，超过5年的标准方法应检查是否已重新修改，是否继续有效。
2
微束分析标准化
微束分析(TEM、SEM、EPMA分析等）标准化工作在国际贸易、产品测试及科研等过程中起重要作用，要保证测试数据的有效、数据的国际互认，必须通过相关认证。如果单位未通过认证，其报告无法律效力。打官司、成果鉴定等都要计量认证报告。要通过认证，必须有项目分析的标准方法和标准样品。微束标准化工作现在已经引起各单位的重视。中国标准化管理委员负责全国的标准化工作，对微束标委会工作很重视。
28
不同定量方法标准偏差
INCA XPP is the most accurate quantitation available - and gives much better light element performance Quantitation error (Std. Dev.) 0.3 0.25
23
定量结果的误差表示方法
总量误差、标准偏差、准确度、精度等。这些误差概念及定义有些混乱，按 JJF1001-98国家标准对几种误差的定义如下：测量误差：测量结果与被测量真值之差。测量误差可以用绝对误差表示，也可以用相对误差表示。
24
相对误差：测量误差除以被测量的真值。由于真值不能确定，实际上用的是约定真值。测量精密度(Precision of measurement)：表示测量结果中随机误差大小的程度。测量精密度是指在规定条件下对被测量进行多次测量时，所得结果之间符合的程度。测量精密度可简称为精度。
17
标样种类
仪器检定及定量分析、分辨率检测等使用的标样，现有微束实物标样约140个. 标样种类：金属及合金、矿物、稀土、氧化物、单晶、超轻元素及分辨率标样。
18
纯金属标样
对纯金属（贵金属除外）国内和国外还没有标样。如果是从微束分析标委会购买的纯金属，可以由微束分析标委会出证明，说明国家现在不设纯金属标样，只有研究标样，认证时给予认可。
20
定量结果及允许误差
定量结果由计算机自动打印，不同仪器打印结果中小数点后保留的位数不同，必须正确选取有效位数。对WDS定量结果，小数点后保留两位数。EDS定量分析结果，小数点后保留一位。WDS检测极限一般为0.01%－0.05%，低于0.01%的分析值应有分析方法的补充说明。EDS 检测极限一般为0.X%.
25
测量正确度（correctness of measurement）: 表示测量结果中系统误差大小的程度。测量正确度反应了在规定条件下，测量结果中所有系统误差的综合。理论上对已定系统误差可用修正值来消除，对未定系统误差可用不确定度来估计。测量准确度：表示测量结果与被测量的（约定）真值之间的一致程度。测量准确度反应了测量结果中系统误差与随机误差的综合；准确度又称精确度。