什么是洁净室
洁净室常识、定义
洁净室常识、定义(一)洁净室之定义洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以｀M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
(四)洁净室之分类1.乱流式(Turbulent Flow)：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
洁净室or无尘室培训资料
Henry Liu
声明
本培训材料提到的要求仅代表个人观点， 不作为公司必须执行的依据。
目录
洁净室（Clean Room)，也称为无尘室 洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间、房间的建设和使用方式要尽可能减少室
内引入、产生和滞留粒子，室内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制。 通俗地说，不论外面空气条件如何变化，
缺点：乱流造成的微尘粒子于 室内空间漂浮不易排出，易污 染制程产品。如果系统停止， 需要较长的洁净度恢复期
适用于ISO6~9级洁净度等级要 求的电子工业、生物医药工业 和各种工业洁净室。
适用于洁净室等级需求较高的环境使用。一般洁净等级为 Class 1-100.
型式分二种：
水平层流式：空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁回风系统回 风，尘埃随风排出室外，下流测污染较严重。
B级：ISO5（静态）ISO7（动态），指无菌配制和灌装等高风险操作A级区所处的背景区域。 C级：ISO7（静态）；ISO8（动态）；指生产无菌药品过程中重要程度较低的洁净操作区。 D级：ISO8（静态）；指生产无菌药品过程中重要程度较低的洁净操作区。
} Class1-100
Class100-100000
将乱流式及层流式复合使用
洁净隧道（Clean Tunnel)：10级区域， 工作区和维修区隔离。
洁净管道（Clean Tube)：将产品流程经 过的自动生产线包围并净化处理，产品、 作业员及环境间相互隔离（药品，食品 使用较多）。
并装局部洁净室（Clean Spot):将 10,000~100,000的区域洁净度提高到 10~1000级。
FS-209E 美国联邦标准
百级 万级 十万级 一百万级
什么是无尘室
无尘室，也称洁净室，是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。
更准确地讲，一个洁净室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用最大颗粒大小来厘定的。
低级别的洁净室通常是没有经过消毒的（如没有受控的微生物），更多的是关心空气传播的灰尘。
无尘室的定义：
空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的环境。
亦即：这个环境中的微尘粒子相当少，称之为洁净室。
洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。
作为生产设施，洁净室可以占据厂房很多位置。
无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。
以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，最后经过超高性能过滤网或过滤后，供应至Fab区。
洁净室
洁净知识洁净室定义：洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等的污染物排除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。
亦即是不论外在的空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
洁净室的空气洁净度的三种状态：■空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员；■静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无人员。
■动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。
洁净室的分类：1)工业洁净室:以非生物微粒(或称为无生命微粒)为控制对象。
主要控制非生物微粒对工作对象产生污染。
其受控环境一般保持正压,防止外界微粒进入。
它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）、宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、印刷工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
2)生物洁净室:以生物微粒(或称为有生命微粒)为控制对象，可分为：①一般生物洁净室:主要控制有生命微粒(如菌类，原生动物、细菌和病毒等)对工作环境及工作对象的污染。
其受控环境一般保持正压。
例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
②隔离式生物洁净室：以防止微生物(有生命的微粒)外逸为控制目的。
受控环境处于“负压”状态，即负压送风，过滤排风，一般不采用回风。
主要控制工作对象是有生命的微粒，防止其对外界和人体产生伤害。
例：细菌学、生物学、洁净实验室、生物工程（重组基因、疫苗制备）等。
洁净室的气流流型：■单向流：沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。
■地板类别：环氧树脂地板、PVC地板、高架地板或防静电地板等。
洁净室基本常识
洁净室基本常识什么是洁净室？典型的洁净室洁净室又可称作无尘室（Cleanroom），通常用作专业工业生产或科学研究的一部分，包括制造药品，集成电路，CRT，LCD，OLED和microLED显示器等。
洁净室的设计是为了保持极低水平的微粒，如灰尘，空气中的生物体，或汽化的微粒。
确切地说，洁净室有一个受控的污染水平，该水平由在指定的颗粒尺寸下每立方米的颗粒数来规定。
洁净室也可指任何给定的容纳空间，在该空间中设置了减少微粒污染和控制其他环境参数，如温度，湿度和压力。
在药学意义上，洁净室是指符合GMP无菌规范（即EU和PIC/S GMP 指南附件1以及当地卫生当局要求的其他标准和指南）中定义的GMP规范要求的房间，是将普通房间转换为洁净室所需的工程设计、制造、完成和操作控制（控制策略）的组合。
很多行业会使用无尘室，只要是小颗粒会对生产过程产生不利影响的地方都会有洁净室的身影。
它们的尺寸和复杂度各不相同，广泛应用于半导体制造，制药，生物技术，医疗设备和生命科学等行业，以及航空航天，光学，军事和能源部中常见的关键工艺制造。
洁净室的发展历程现代无尘室是由美国物理学家威利斯·惠特菲尔德发明的。
惠特菲尔德作为桑迪亚国家实验室的雇员，于1966年为无尘室设计了最初的设计方案。
在惠特菲尔德发明之前，早期的无尘室经常遇到颗粒和不可预测的气流的问题。
Whitfield设计的无尘室具有恒定的且经过严格过滤的气流来保持空间内的洁净。
硅谷的大部分集成电路制造设施由三家公司制造:MicroAire，PureAire和Key Plastics。
他们制造了层流装置，手套箱，洁净室和空气淋浴器，以及用于集成电路“湿法工艺”建造的化学罐和工作台。
这三家公司也是将特氟龙用于气枪，化学泵，洗涤器，水枪和其他集成电路生产所需设备的先驱。
William（Bill）C.McElroy Jr.曾担任三家公司的工程经理，制图室主管，QA/QC和设计师，他的设计为当时的技术增加了45项原始专利。
洁净室介绍
化学过滤器和FFU的HEPA/ULPA的安装关系举例
风向
碱化学过滤器(A) 有机化学过滤器(L) 酸化学过滤器(C) FFU用ULPA过滤器
有了HEPA、ULPA，还要进行新风的空气净化（湿度控制）
等湿升温
冷却除湿
等焓加湿
（夏季工况）
后过滤器再热盘管除源自μm以上颗粒加热空气（效率82％以上） 调整温、湿度
大气、生产中使用的化学品、
TMA、TEA、HMDS、CHA 作业人员
酞酸脂、硅氧烷、 凝缩性有机物 芳香族碳水化合物、 Condensables 脂肪族碳水化合物
大气、生产中使用的化学品、 可塑剂、硅烷、建材
掺杂性气体 H3BO3、BF3 、H3PO4 、 Dopants 磷酸脂、有机磷
大气（农药）、生产中使用的化学品、 HEPA、阻燃剂
20
10
0 0
50
100
150
200 吸附物g
活性炭是如何吸附化学物质的呢？
微孔
微孔
气流
微孔
• 活性炭的小孔组织有非常大量的内表面，约1000M2/g • 吸附发生在活性炭的内表面 • 被吸附的化学分子通过扩散进入活性炭庞大的小孔组织，抵达微孔。碰撞发生在微孔表面。 • 活性炭通过它的弱吸引力有效地抓住化学分子——物理吸附 • 活性炭表面和分子间的相互作用是较弱的，不可能留住较轻的不稳定化学分子 • 使用精制活性炭（酸、碱、有机） 来对应不同的化学气体分子——化学吸附
可吸入颗粒：
10～200mg/ M3
大气含尘计数浓度： 1.3×108个/M3
等湿升温
冷却除湿
等焓加湿
等湿升温（冬季工况）
洁净室的温度是如何控制的？
Cooling Unit 干冷盘管
洁净室的工作原理
洁净室的工作原理
洁净室是一种能够控制空气污染程度的特殊环境。
其工作原理基于以下几个方面：
1. 空气流动控制：洁净室内的空气流动是按照特定的方向和速度进行控制的。
通常采用单向流动，即空气从洁净区域的高压区域流向非洁净区域的低压区域。
这种一向性的空气流动可以有效防止外部空气中的颗粒物进入洁净区域。
2. 过滤系统：洁净室配备有高效过滤器，能够有效地过滤空气中的微小颗粒物和微生物。
这些过滤器一般采用 HEPA（高效
颗粒空气过滤器）或 ULPA（超高效颗粒空气过滤器）技术，
能够去除空气中直径大于0.3微米的颗粒物。
3. 正压维持：洁净室通常采用正压维持，即室内空气的压力要高于室外环境。
这样可以避免外界空气通过裂缝、门缝等进入洁净室，同时也可以通过室内压力差促使空气从洁净区流向非洁净区。
4. 清洁卫生管理：洁净室内要进行定期的清洁和维护，以确保室内空气的洁净程度。
通常会采用抗静电地板、壁面覆盖材料、定期消毒等方式来控制空气中的微生物和粉尘。
通过综合运用以上原理，洁净室能够创造出一个几乎无尘、无微生物的工作环境。
它广泛应用于电子、制药、食品、航空航天等领域，以确保产品质量和工作安全。
洁净室分类及工作原理)范文
洁净室分类及工作原理一、洁净室原理(一) 洁净室的定义洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。
其功能是控制微粒（尘埃粒子）的污染。
来达到满足精密产品的生产与科学实验活动。
洁净室绝不是仅限于"洁净"，不同的行业与部门对温度、温度、照明、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能的综合整体，是集建筑装饰（与大气相对隔断的密闭装修）、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种专业技术于一体的产物，洁净室（或洁净厂房）(二) 洁净室的分类实现层流的最低风速值2.1按用途分类(可分为两大类)①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。
主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。
它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
②生物洁净室：以控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。
又可分为：A.一般生物洁净室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。
同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保持正压。
实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。
B.生物学安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。
内部要保持与大气的负压。
2.2按气流分类(按气流可分为四类)①.单向流洁净室（层流、活塞流）②.乱流净室③.辐射流（斜流）洁净室④.混合流洁净室（乱流、层流同在）(三) 单向流(层流)洁净室(又称垂直流，平行流)(1) 既气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一方向在整个室天花截面下通过的洁净室。
单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用。
迅速把室内污染排回风道。
(2) 要想实现"活塞流"的作用，最重要的是高效过滤器必须满布。
但是由于高效过滤器有边框，放置高铲过滤器也要有支架，不可能百分之百的满布。
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什么是洁净室呢？洁净实验室最主要的作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中检测、科研。
所以洁净实验室通常也叫超净实验室，洁净实验室，净化实验室等。
一、洁净实验室净化工程方案介绍：
1、类型：实验室净化工程主要包括：生物安全实验室、P2实验室、P3实验室、HIV 实验室、PCR实验室、动物实验室，无菌实验室，细胞培养室等等。
2、用途：主要用于微生物学、生物医学、生物化学、动物实验、基因重组以及生物制品等研究使用的实验室统称洁净实验室（生物安全实验室）。
3、组成：洁净实验室由主功能实验室与其它实验室及辅助功能用房组成。
4、原则：必须保证人身安全、环境安全、废弃物安全和样本安全，能长期而安全地运行，同时还需要为实验室工作人员提供一个安全、舒适、良好的工作环境。
5、方案：包括建筑布局和装修、给排水、电气设计、空气调节、气体供应、集中控制、安防、施工工艺、检测、培训等多方面内容。
二、洁净实验室建筑布局与设计原理指南：
1、洁净室的建筑布局和净化空调系统有密切关系，净化空调系统既要服从建筑总体布局，建筑布局也要符合净化空调系统的原则，才能充分发挥相关功能的作用。
2、净化空调的设计者不仅要了解建筑布局以考虑系统的布置，而且要给建筑布局提出建议，使其符合洁净室原理。
1、洁净实验室的平面布局
洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。
2、洁净实验室的平面布置方式：
（1）外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，有的在外廊内设值班采暖，外窗必须是双层密封窗。
（2）内廊式：洁净室设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度级别一般都较高，甚至和洁净室同级。
（3）两端式：洁净区设在一边，另一边设准洁净和辅助用房。
（4）核心式：为了节约用地、缩短管线，可以洁净区为核心，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来，这种方式避开室外气候对洁净区的影响，减少了冷热能耗，利于节能。
3、人身净化路线
（1）为了在操作中尽量减少人活动产生的污染，人员在进入洁净区之前，必须更换洁净服并风淋、洗澡、消毒。
这些措施即“人身净化”简称“人净”。
（2）人净用房中更换洁净服的房间应予送风，并对入口侧等其它房间保持正压，对厕所、淋浴保持少许正压，而厕所、淋浴应保持负压。
4、物料净化路线
（1）各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理，简称“物净”。
（2）物料净化路线与人净路线应分开，如果物料与人员只能在同一处进入洁净室，也必须分门而入，物料并先经过粗净化处理。
（3）对于生产流水线不强的场合在物料路线中间可设中间库。
（4）如果生产流水线很强，则采用直通式物料路线，有时还需要在直通路线中间设多次净化、传递设施。
（5）在系统设计上，物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒，所以相对洁净区应保持负压或零压，如果污染危险性大则对入口方向也要保持负压设计。
5、管线组织
洁净室的管线非常复杂，所以对这些管线均采用隐蔽组织方式。
具体隐蔽组织方式有以下几种。
（1）顶部技术夹层：在这种夹层内一般因送、回风管的断面最大，故作为夹层内首先考虑的对象。
一般将其安排在夹层的最上方，其下安排电气管线。
如果这种夹层的底板可承受一定重量时，可以在上面设置过滤器及排风设备等。
（2）房间技术夹层：这种方式和只有顶部夹层相比，可以减少夹层的布线与高度，可以省去回风管道返回上夹层所需的技术夹道。
在下夹道内还可设回风机动力设备配电等，某层洁净室的上夹道可以兼做上一层的下夹道。
公司介绍：
南京博森科技有限公司坐落于六朝古都—南京，公司致力于智慧实验室、恒温恒湿、生物安全、空气洁净、医用手术室、净化厂房、智能化系统、实验室仪器设备、网络中心机房、气候模拟环境、焓差室、非标准环境及系统节能等领域的规划与建设，以高精度、高质量、高可靠性为标准，引领科技进步为目标，注重节能环保，是集整体规划、设计、安装及运行维护等全方位为一体的高科技企业。
公司拥有由教授、高级工程师、工程师、技术人员等组成的技术研发、专业设计及工程技术团队，在精度控制、自动化控制等领域领先业界，且拥有具备一级、二级建造师资格的施工管理团队，炼就了一支技术精湛、作风过硬的施工队伍，在长期的实践中积累了丰富的设计、施工经验。
南京博森科技长期坚持不转包、不挂靠的原则，完全采用公司统一管理标准的施工队伍，为项目的品质控制、过程管理奠定了坚实的基础。
公司资质：
公司专利：
经营理念：
协同敬业>真诚合作、恪尽职守、终身学习、开拓创新诚信服务>信守承诺、客户至上、一丝不苟、铸造品牌以人为本>创造利润、实现自我、健康生活、回报社会追求卓越>永不满足、打造经典、做精做强、尽善尽美服务范围：
>环境系统：
整体实验室系统规划与建设
恒温恒湿系统规划与建设
生物安全系统规划与建设
空气洁净系统规划与建设
医院手术室规划与建设
洁净厂房规划与建设
智能化系统规划与建设
仪器设备规划配置
网络中心机房系统规划与建设
气候模拟环境系统规划与建设
非标准环境系统规划与建设（高温、高湿、低温、低湿）系统节能规划与建设
>系统设计专业划分：
电气及智能化
空气调节及净化
装饰、装修
通风控制及环保处理
生物安全及实验室环境安全
防火、防腐、降噪、减震及屏蔽
特种气体、压缩空气输送系统
软水及纯水输送系统
实验室家具及通风柜
实验室废水、废气、废液处理
售后服务：
售后服务部拥有丰富设备测试经验和专业技能的高级技术人员，可熟练操作精密空调、中央空调等专业设备的安装、调试以及维护等工作，在工程调试服务方面具有突出优势。
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