不同B注入扩散前后浓度分布曲线图(新).doc
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不同B注入扩散前后浓度分布曲线图(新) 一、B注80kev 1E15
图1 扩散前浓度分布曲线图（结深0.78um）
图2 扩散1200o C 180min时的浓度分布曲线图（结深8um）
图3扩散1200o C 1800min时的浓度分布曲线图（结深21um）
图4扩散1200o C 3600min时的浓度分布曲线图（结深28um）
图5 30kev/1e15扩散1200o C 14400min时的浓度分布曲线图（结深50um）
图6 30kev/1e15扩散1250o C 14400min时的浓度分布曲线图（结深75um）
图7 30kev/1e15扩散1350o C 14400min时的浓度分布曲线图（结深125um）二、B注80kev 1E14
图8 扩散前浓度分布曲线图（结深0.75um）
图9 扩散1200o C 180min时的浓度分布曲线图（结深7um）
图10 扩散1200o C 1800min时的浓度分布曲线图（结深18um）
图11 扩散1200o C 3600min时的浓度分布曲线图（结深25um）