电子束加工技术
电子束微细加工技术的发展及其应用
电子束微细加工技术的发展及其应用电子束微细加工技术随着科学技术的发展而逐渐成熟，其在加工工业领域有着广泛的应用。
本文将重点探讨电子束微细加工技术的发展历程，技术特点以及在各个领域的应用。
一、电子束微细加工技术的发展历程电子束微细加工技术可以追溯到二十世纪中期，当时美国贝尔实验室的研究人员首次将电子束用于微细加工。
当时，电子束微细加工技术还处于探索阶段，局限于单层薄膜的微细加工。
随着科学技术的发展，电子束微细加工技术经历了从单层薄膜加工到多层薄膜、集成电路、光学器件以及生物医学等领域的拓展过程。
二、电子束微细加工技术的技术特点1.高精度电子束微细加工技术的加工精度可以达到亚微米级别。
由于电子束的微小直径，因此加工精度高。
同时，电子束微细加工技术无需接触到工件表面，因此可以避免因为接触而导致的破坏。
2.高速度电子束微细加工技术的加工速度比传统机械加工技术快得多。
电子束可以在微小的空间内加工，从而提高加工效率。
3.可控性强电子束微细加工技术可以通过调整电子束的加速电压和电子束的聚焦来实现不同的加工效果。
同时，电子束微细加工技术还具有可调的深度控制功能。
三、电子束微细加工技术在各个领域的应用1.集成电路在集成电路制造领域，电子束微细加工技术可以实现极小尺寸的电路设计。
利用电子束微细加工技术可以制造出亚微米级别的电路，这对于集成电路的制造具有重要的作用。
2.生物医学电子束微细加工技术在生物医学领域的应用主要集中在生物芯片制造方面。
利用电子束微细加工技术可以制造出超薄的微处理芯片，这些芯片可以被用于感应、检测和诊断。
3.光学器件利用电子束微细加工技术可以制造出高精度的光学器件，如光纤、光阻、光学芯片等等，这些光学器件可以被应用于通讯、光电子学、测量、材料加工等领域。
4.微纳机械电子束微细加工技术在微纳机械领域具有广泛的应用。
可以利用电子束微细加工技术制造出微米级别的光学器件、电子器件和机械器件等。
在微纳机械领域，电子束微细加工技术在制造微机械设备时具有独特的优势。
电子束加工的原理特点应用
电子束加工的原理特点应用1. 原理介绍电子束加工是一种以电子束为工具，利用其高速度和高能量，对材料进行加工和改变形状的技术。
其原理基于电子束与材料相互作用时的各种效应，包括电子-材料相互碰撞、电子散射和电子热效应等。
通过控制电子束的能量、聚束和扫描方式，可以实现对材料的溶解、沉积和表面改性等加工操作。
2. 特点分析2.1 高精度加工电子束加工具有非常高的定位精度和加工精度。
由于电子束可以聚焦到非常小的区域，因此可以实现微米级别的加工精度。
同时，电子束加工过程不会产生机械接触，避免了传统机械加工过程中的磨损和变形等问题，保证了加工精度的稳定性。
2.2 无热影响区域电子束加工实现了非接触式加工，材料不受热影响区域的限制。
传统热加工方法往往会对材料造成热变形、热裂纹和残余应力等问题，而电子束加工则可以在不产生热影响的情况下进行加工操作，有效防止了材料的热损伤。
2.3 高能量密度加工电子束加工具有极高的能量密度。
电子束在与材料相互作用时，会传递给材料的能量密度非常大，可以迅速将材料加热到高温甚至熔化状态。
这种高能量密度的加工方式适用于一些特殊材料，例如高熔点金属或者难加工的高强度合金等。
2.4 灵活性和可控性高电子束加工具有非常高的灵活性和可控性。
可以通过调节电子束的能量、聚束方式和扫描路径等参数，实现对材料加工过程的精确控制。
这种灵活性和可控性使得电子束加工可以用于不同材料的加工和多种形状的制造。
3. 应用领域3.1 微电子学电子束加工在微电子学领域的应用非常广泛。
由于其高精度和高能量密度的优势，电子束可以用于微芯片的制造、电路板的加工以及微电子器件的制备等。
同时，由于电子束加工不受材料性质的影响，可以适用于各种不同材料的加工。
3.2 航空航天电子束加工在航空航天领域的应用也非常重要。
航空航天领域对材料的高温抗性和高强度要求非常高，而电子束加工恰好可以实现对这些材料的精确加工和形状调整。
同时，由于其非接触式加工的特点，电子束可以用于对高温材料的修复和维护。
电子束加工的基本原理和工艺
电子束加工的基本原理和工艺电子束加工是一种高能电子在材料表面击穿并在其中产生高密度能量点的机械加工方法。
它通过高速电信号，将电子束以极高的速度精确定位并打入被加工物表面，然后利用束内携带的高能量来加工材料，从而达到特定的切削、钻孔、雕刻等目的。
1、电子束加工的基本原理在电子束加工制作过程中，主要依赖高速电子的作用。
当电子束击中被加工物表面时，电子会在材料内部产生多次散射，每次散射时，电子束内携带的能量会被一部分传递给材料，从而使得材料内部出现高密度的能量点，然后能量点在材料内部形成密集的气泡和微裂纹。
由此产生的热量和机械应力使材料表面裂纹，边缘尺寸和形状控制通过射线跟踪控制系统改变束的轨迹，从而实现切削等加工目的。
2、电子束加工的工艺电子束加工工艺主要有切割、钻孔、雕刻等。
其中，切割是将硬材料加工成一定形状的过程。
“即光丝”有着极高的光洁度，可制作金属薄膜、高精度模具等，被广泛应用于高技术领域。
“逐层逐点”技术则逐层逐点制作出所需物体。
钻孔是指对超硬材料、陶瓷等物料进行孔洞加工的过程。
常用加工方式有螺旋作业、径向工作等。
雕刻是指通过电子束加工在金属、陶瓷等材料表面制造出一定的纹样和图案，常用于名片制作、花卉雕刻等。
3、电子束加工的优势电子束加工主要具有以下优势：（1）不产生切削力，不给被加工材料造成切割副产物，可以实现无切削加工，不会对原材料的化学物性产生影响。
（2）其加工精度高于相同级别传统机床，可以制作出远低于毫米级别的零件。
（3）电子束加工适用于各种类型和大小的材料，以及形状和厚度的不同处理方式。
（4）工艺和加工过程对环境污染较小，无切削副产物产生，材料损失少。
电子束加工作为一种新型的加工技术，它简化了现代工业的加工流程，提高了多种高端制造业场景下的生产效率和产品品质。
未来，电子束加工领域将更好地服务于不同的工业实践需求，为人们创造一个更加美好的未来。
电子束加工技术及其应用
电子束加工技术及其应用近年来，随着科技的不断进步，各种新型加工技术也应运而生。
其中电子束加工技术受到了越来越多的重视。
电子束加工技术是一种高能量电子束辐照金属材料使其快速加热并熔化的加工方法，其具有许多优点，如加工精度高、加工速度快、不受材料硬度的影响等等。
因此，电子束加工技术在各个领域都有着广泛的应用。
电子束加工技术的基本原理是利用电子束的高能量辐照金属材料，使其表面快速升温并熔化，经过一定的冷却时间后，可形成各种复杂形状的零部件。
与传统的机械加工方式相比，电子束加工技术具有更高的加工精度和速度，同时也不会损坏材料的结构。
在工业生产中，电子束加工技术的应用非常广泛。
在航空航天领域，电子束加工技术被用于制造各种复杂的燃气涡轮和涡轮叶片等零部件，其制造精度和质量都得到了显著的提高。
在汽车制造中，电子束加工技术可用于生产发动机和变速器等关键零部件，该技术可以达到精密制造的目的，提高生产效率。
在医疗器械领域，电子束加工技术也被广泛应用，可制造各种高精度的医疗产品，如人工心脏瓣膜等。
电子束加工技术还被用于精密电子加工领域。
例如，在微电子器件制造中，电子束加工技术可以制造出非常小尺寸的芯片，从而提高电子产品的性能。
同时，电子束加工技术还可用于制造LED发光二极管等光电器件，这些器件在舞台照明、汽车照明、电视背景板等领域都有着广泛的应用。
在科学研究领域，电子束加工技术也被广泛应用。
比如，在材料科学中，电子束加工技术可用于制备一些高性能材料，如金属泡沫等。
此外，该技术还可用于制备超导材料，来用于实现磁悬浮列车、核聚变等高技术项目。
在现代生产领域，高精度、高效率和高质量等特点成为了制造业趋势的主要特征。
电子束加工技术正是一种能够提供高精度加工方法的新兴技术，同时也是现代制造业不可或缺的一种重要技术手段。
总之，电子束加工技术是现代制造业中一种不可或缺的技术手段。
随着这一技术的不断发展，它将在更广泛的领域内发挥重要作用。
电子束加工技术
电子束加工技术摘要电子束的发现至今已有100多年，早在1879年Sir William Crookes发现在阴极射线管中的铂阳极因被阴极射线轰击而熔化的现象。
接着到上世纪初的1907年，Marcello Von Pirani进一步发现了电子束作为高能量密度热然的可能性，第一次用电子束做了熔化金属的实验，成功地熔炼了钽。
电子束加工它在精密微细方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。
电子束加工主要用于打孔、焊接等的精加工和电子束光刻化学加工。
关键词：电子束；原理；特点；组成；应用1引言电子束加工利用电子束的热效应可以对材料进行表面热处理、焊接、刻蚀、钻孔、熔炼，或直接使材料升华。
电子束曝光则是一种利用电子束辐射效应的加工方法。
电子束加工包括焊接、打孔、热处理、表面加工、熔炼、镀膜、物理气相沉积、雕刻以及电子束曝光等，其中电子束焊接是发展最快、应用最广泛的一种电子束加工技术。
电子束加工的特点是功率密度大，能在瞬间将能量传给工件，而且电子束的能量和位置可以用电磁场精确和迅速地调节，实现计算机控制。
因此，电子束加工技术广泛应用于制造加工的许多领域，如航空、航天、电子、汽车、核工业等，是一种重要的加工方法。
2电子束加工技术的原理电子束是在真空条件下，利用聚焦后能量极高（106~109w/cm2）的电子束，以极高的速度冲击到工件表面极小面积上，在极短的时间（几分之一微妙）内，其能量的大部分转变为热能，使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温，从而引起材料的局部熔化，被真空系统抽走。
电子束加工的基本原理是：在真空中从灼热的灯丝阴极发射出的电子，在高电压(30～200千伏)作用下被加速到很高的速度，通过电磁透镜会聚成一束高功率密度（105～109w/cm2）的电子束。
当冲击到工件时，电子束的动能立即转变成为热能，产生出极高的温度，足以使任何材料瞬时熔化、气化，从而可进行焊接、穿孔、刻槽和切割等加工。
由于电子束和气体分子碰撞时会产生能量损失和散射，因此，加工一般在真空中进行。
特种加工技术---第六章：电子束和离子束加工
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2 离子束加工在高真空环境下进行，所以污染少，特别适用于对易 氧化的金属、合金材料和高纯度半导体进行加工。
3 离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的，是一种微观 作用，宏观压力很小，所以加工应力、热变形极小，加工质量高， 适合于加工各种材料和低刚度薄壁零件。
4 与电子束加工类似，离子束加工设备费用贵、成本高，应用范围 受到一定的限制。
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4
三 电子束加工装置 一般说来，一套典型的电子束加工装置主要包括以下几个 主要组成部分
➢ 电子枪 ➢ 真空系统 ➢ 控制系统 ➢ 电源
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1 电子枪 作用：发射电子束 组成：发射阴极，控制栅极、加速阳极
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2 真空系统 真空系统的主要作用是保证电子束加工时维持1.33×10-21.33×10-4Pa的真空度，因为只有在真空中，电子才能高 速运动。此外，加工时产生的金属蒸汽会影响电子的发射 和运动，因此也需要不断地把加工中产生的金属蒸汽不断 抽走。
第六章 电子束和离子束加工
电子束加工-----Electron Beam Machining
离子束加工-----Ion Beam Machining
电子束加工主要用于打孔、焊接、切割、刻蚀、热处理和光刻 加工等方面。 离子束加工主要用于离子刻蚀、离子镀膜加工以及离子注入 加工等方面。
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1
第一节 电子束加工
3 控制系统和电源
电子束加工设备控制系统主要包括：束流聚焦控制、束流位置 控制和束流强度控制。
束流的位置控制是为了改变电子束的方向，常用电磁偏转来控制
电子束焦点的位置。
电子束加工设备对电源电压的稳压性要求较高，因为电压波动
会影响电子束聚焦的稳定性。 h
现代加工技术第7章 电子束离子束加工
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7.1.电子束加工
3 电子束加工的应用
II 加工型孔或特殊外表
切割复杂型面，切口宽度6~3 μm ，边 缘粗糙度可控制在±0.5μm ；
不仅可以加工直孔也可以加工弯孔和 立体曲面；
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7.1.电子束加工
3 电子束加工的应用
III 刻蚀
在微电子器件生产中，为了制造多层固体组件，利用电 子束对陶瓷或半导体材料可出许多微细沟槽和孔 ； 制版；
ii 蚀刻加工时，对离子入射能量、束流大小、离子 入射到工件上的角度以及工作室气压等分别控制；
iii 氩气离子蚀刻效率取决于离子能量和入射角度；
入射能量增大蚀刻效率增加；
入射角度增加蚀刻效率增加，但角度过大使有效束流减 小，40º~60º效率最高；
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7.2.离子束加工
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7.1.电子束加工
3 电子束加工的应用
IV 焊接
当高能量密度的电子束轰击焊件外表时，使焊件接头处 的金属熔融，在电子束不断轰击下，形成一个被熔融金 属环绕的毛细管状的蒸气管，如果焊件按一定速度沿接 缝与电子束作相对运动，那么接缝上的蒸气管由于电子 束的离开而重新凝固，形成焊缝 ； 焊接速度快，焊缝窄、强度好，热影响区小，变形小； 可以焊接难熔金属和化学活性高的金属； 可以焊接不同材料；
Pag.离子束加工
2 离子束加工装置
I 离子源
i 考夫曼型离子源；
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7.2.离子束加工
2 离子束加工装置
I 离子源
ii 双等离子体型离子源；
电子束微纳加工技术的研究和应用
电子束微纳加工技术的研究和应用微纳加工技术是一种新兴的制造技术，它可以制造出精度高、尺寸小、结构复杂的微纳器件。
其中，电子束微纳加工技术是一种重要的微纳加工技术。
该技术通过利用电子束的高能量和高精度控制，可以在各种材料表面上制造出纳米级或亚纳米级图案和器件。
在微纳电子学、生物医学、光电子、纳米材料等领域中具有广泛的应用前景。
一、电子束微纳加工技术的原理电子束微纳加工技术是一种在真空环境下利用电子束对物质表面进行微纳加工的技术，它主要基于电子与物质相互作用的原理。
在电子束微纳加工过程中，电子束在经过调控电磁场的作用后，射向物质表面。
当电子束与物质表面相遇时，会发生电子-物质相互作用，从而对物质表面进行微纳加工。
具体来说，这种加工方式可以通过调整电子束的加速电压、束斑直径、束流密度、扫描速度等参数来完成。
二、电子束微纳加工技术的优势电子束微纳加工技术具有许多优势。
首先，电子束微纳加工技术具有极高的加工精度和分辨率。
相比较于传统的微纳加工技术，电子束微纳加工技术可以达到更高的加工精度和分辨率。
其次，电子束微纳加工技术具有较高的加工效率。
在电子束微纳加工的过程中，一次性可以对很多个表面进行加工，因此可以实现大规模的微纳加工。
此外，电子束微纳加工技术可以加工多种材料，包括金属、半导体、陶瓷等，因而在材料加工领域具有极大的应用前景。
三、电子束微纳加工技术的应用随着人们对微纳加工技术的需求越来越大，电子束微纳加工技术也得到了广泛的应用。
在微纳电子学领域中，电子束微纳加工技术被用于生产高精度微机电系统（MEMS）器件和纳米器件。
通过利用该技术，制造出的器件可以具有更高的精度和更好的功能。
在生物医学领域中，电子束微纳加工技术可以用于制造高灵敏、高分辨的生物芯片和生物传感器。
在纳米材料领域中，电子束微纳加工技术可以用于制造复杂的纳米结构体，以及制备金属纳米颗粒和纳米线。
总之，电子束微纳加工技术具有优异的加工精度和效率，因此在各个领域中都有着广泛的应用前景。
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所谓电磁透镜，实际上是电磁线圈，通电后它产生 的轴向磁场与电子束中心线平行，径向磁场则与中 心线垂直。根据左手定则，电子束在前进运动中切 割径向磁场时产生圆周运动，而在圆周运动时在轴 向磁场中又将产生径向运动，所以实际上每个电子
三 加工装置
电子束控制系统
的合成运动为一半径愈来愈小的空间螺旋线而聚焦 交于一点。根据电子光学的原理，为了消除像差和 获得更细的焦点，常进行二次聚焦。
电源 电子束加工对电源电压的稳定性要求较高，常 用稳压设备，这是因为电子束聚焦以及阴极的发射 强度与电压波动有密切关系。
三 加工装置
加工装置结构示意图
三 加工装置
加工装置实物示意图
四 加工特点
电子束加工的特点是： (1)功率密度高 电子束能够极其微细地聚焦(束径可 达微米级)，且在微小面积上可达到很大的功率密度， 因此在轰击点处的瞬时温度高达数千度高温足以使 任何材料熔化或气化。由此可知，电子束可用来加 工任何材料的微孔或窄缝、半导体电路等，是一种 精密微细加工方法。 (2)工件变形小 电子束的瞬时热能是作用在极微小 面积上，所以加工部位的热影响区很小，在加工过 程中无机械力作用，故加工后不产生受力变形；此 外电子束加工也不存在工具消耗问题。所以它的加 工精度高、表面质量也好。
二 加工原理
电子束热加工
高功率密度照射时，电子束中心部分的饱和温度远 远超过蒸发温度，使材料从电子束的入口处排除出 去，并有效地向深度方向加工，这就是电了束打孔 加工。高功率密度电子束除打孔、切槽外，在集成 电路薄膜元件制作中。利用蒸发可获得高纯度的沉 积薄膜。
二 加工原理
电子束热加工
高功率密度照射时，电子束中心部分的饱和温度远 远超过蒸发温度，使材料从电子束的入口处排除出 去，并有效地向深度方向加工，这就是电了束打孔 加工。高功率密度电子束除打孔、切槽外，在集成 电路薄膜元件制作中。利用蒸发可获得高纯度的沉 积薄膜。
(5)电子束加工需要一套价格昂贵的．专用设备， 加工成本高。
五应用
电子束加工按功率密度的能量注入时间的不同，主 要应用于：
（1）打孔 （2）焊接 （3）蚀刻 （4）热处理
五应用
电子束的应用范围对应的不同电 子束功率密度及能量注入时间
五应用
打孔
电子束打孔已在生产中实际应用。目前，电子束打 孔的最小直径已达1 μm 。孔径在0．5～0．9mm时， 其最大孔深已超过10mm，即孔深径比大于15:1。打 孔的速度主要取决于板厚和孔径，通常每秒可加工 几十至几万个孔，而且有时还可以改变孔径。 在
二 加工原理
根据电子束产生的效应：
（1）电子束热加工
（2）电子束非热加工两种
二 加工原理
电子束热加工
二 加工原理
电子束热加工
图示为利用电子束热效应进行的各种加工。
低功率密度时，电子束中心部分的饱和温度存熔化温 度附近，这时熔化坑较大，可作电子束熔凝处理。
中等功率密度照射时，出现熔化、汽化和蒸发，可用 于电子束焊接。
束流位置控制是为了改变电子束的方向，可用电磁 偏转来控制电子束焦点的位置。如果是偏转电压或 电流按一定程序变化，电子束焦点变按预订的轨迹 运动
束流强度控制通过加在阴极上的负高压（50-150kv） 来实现
三 加工装置
工作台系统
工作台位移控制是为了在加工过程中控制工作台的 位置。因为电子束的偏转距离只能在数毫米之内， 过大将增加像差和影响线性，因此在大面积加工时， 需要用伺服电动机控制工作台移动。一般情况下， 电子束的偏转与工作台的纵横向移动是相互配合使 用的。
1949年，德国首次利用电子束在厚度为0．5mm的 不锈钢板上加工出直径为60．2mm的小孔。开辟了 电子束在材料加工领域的新天地。
1957年法国原子能委员会萨克莱核子研究中心研制 成功世界上第一台用于生产的电子束焊接机，其优 良的焊接质量引起人们广泛重视。
电子束加工
简介
20世纪60年代初期，人们已经成功地将电子束打孔、 铣切、焊接、镀膜和熔炼等工艺技术应用到各工业 部门中，促进了尖端技术的发展。
二 加工原理
三 加工装置
四大系统
电子枪系统
1
抽真空系统
2
电子束控制系统
3
工作台系统（ 电源系统4
三 加工装置
各系统作用
电子束加工装置是由以下几个部分组成的
（1）电子枪系统 用来发射高速电子流并加以初步 聚焦
（2）真空系统 保证真空室内需要的真空度 （3）控制系统 控制电子束的大小和方向 （4）工作台系统 电子束的偏转（或移动），只能 在数毫米范围之内，移动过大则降低加工精度，故
四 加工特点
(3) 电子束的强度、位置、聚焦进行直接控制 位置 控制的准确度可达0．1微米左右，强度和束斑的大 小控制误差也易达到1％以下。通过磁场或电场几乎 可以无惯性，无功率的控制电子束，便于采用计算 机控制，实现加工过程自动化。 (4) 真空环境下加工点不受杂质污染 加工点处能保 持原来材料的纯度。适合于加工易氧化的金属及合 金材料，特别是要求纯度极高的半导体材料。
（2）生产率极高，其他加工方法无可比拟。
（3）能加工各种异形孔(槽)、斜度孔、锥孔，以及 弯孔等。
五应用
打孔
五应用
打孔
五应用
焊接
电子束焊接(Electron Beam Welding)是利用电子束作 为热源的一种焊接工艺。
喷气发动机燃烧室罩、机翼的吸附屏、化纤喷丝头、
人造革透气孔、塑料上的孔，不但用电子束来加工， 而且效率高。
五应用
打孔
例一：
喷气发动机燃烧室罩孔。某喷气发动机燃烧室罩， 其材料为钢CrNiCoMoW，厚度1.1mm。共有3478个 直径为0．8lmm的圆孔分布在外侧球面上，孔径公 差±0.03mm，所有孔中心轴与零件底面垂直。用 K12一Q11P型电子束打孔机加工，零件置于真空室中， 安装在夹具上作连续转动。加工时以200ms的单脉冲 方式工作，脉冲频率1Hz
电子束的偏转与工作台的纵横向移动是相互配合使 用的。
（电源系统 供给稳压电源及高压电源）
三 加工装置
加工装置示意图
三 加工装置
电子枪系统
如图6-2所示，电子枪是用来发 射高速电子流，完成电子的预 聚焦和强度控制的装置。 工作过程是：加热的发射阴极3 发射出电子束，电子束在阳极 光栅较阴极为正的高电压下加 速，当速度达到2/3光速时通过
五应用
打孔
例三：
电子束加工在人造革上的应用。现在人造革已很普
及，但人造革透气性很差，穿着很不舒服。用电子
束在人造革上打孔可以达到相当好的效果。如以天 然革穿着的舒适度为100，微孔聚氨酯革只有55，而 用电子束打孔的PVC革可达85。电子束打孔成本比 天然革成本低，可替代天然革。加工时，用一组钨 杆将电子枪产生的单个电子束分割为200个孔，效率 非常高。因为对孔型无严格要求，人造革在滚筒上 旋转时，电子束无须随之转动。如1.5mm厚革加工 时，脉冲频率为25Hz，打孔速率为5 000／s，滚筒 转速为6r／min。
二 加工原理
电子束非热加工
其工作原理如图5.11所示。该类工艺方法广泛应用于集成 电路、微电子器件、集成光学器件、表面声波器件的制作， 也适用于某些精密机械零件的制造。通常是在材料上涂覆 一层电子胶（称为掩膜），用电子束曝光后，经过显影处 理，形成满足一定要求的掩膜图形，而后进行不同后置工 艺处理，达到加工要求，其槽线尺寸可达微米级
五应用
打孔
例二：
零件材料为钴基耐热合金，厚度4.3—6.3mm。共有 11766个直径为0.81mm的化纤喷丝头通孔，孔径公 差±0.03mm。零件置于真空室中，安装在夹具上作 连续转动。加工时以16ms的单脉冲方式工作，脉冲 频率5Hz。打孔过程中电子束随工件同步偏转，每打 一个孔，电子束跳回原位。加工一件只需要40min， 而用电火花加工则需要30h，用激光加工也要3h才 能完成，而且公差要优于激光加工
（1）大连理工大学三束材料改性国家重点实验室， 采用电子束对材料表面进行照射，研究其对材料表 面的改性。
郝胜志等以纯铝材为基础研究材料，深入研究不同 参数的脉冲电子束轰击处理对试样显微结构和力学 性能的影响规律，进而获得强流脉冲电子束表面改 性的一些微观物理机制。
电子束加工
简介
吴爱民等以H13和D2模具钢为基材，通过脉冲电子 束直接淬火和电子束表面合金化等方法进行表面改 性处理试验。
电子束加工
王国庆
电子束加工
一 二 三 四 五 六
简介 加工原理
加工装置 加工特点 应用 发展前景
要点概览
电子束加工
简介
电子束加工（Electron Beam Machining，简称EBM) 是利用能量密度很高的高速电子流，在一定真空度 的加工舱中使工件材料熔化、蒸发和汽化而去除的 高能束加工。
五应用
打孔
图8.6所示 电子束加工 的喷丝头异型孔截面的 一些实例
如图8.7所示 利用磁场对电 子束方向进行偏转，控制合 适的曲率半径，从而得到所 需的弯孔或弯缝
五应用
打孔
电子束打孔的主要特点概括如下： （1）可以加工出各种金属和非金属材料。但加工玻 璃、陶瓷、宝石等脆性材料时，由于在加工部位的 附近有很大的温差，容易引起变形甚至破裂，所以 在加工前或加工时，需用电阻炉或电子束进行预热。
扫描电子束曝光机研制成功并在20世纪70年代进入 市场，使得制造掩膜或器件所能达到的最小线宽已 小于0.5μm。
目前电子束加工技术在核工业、航空宇航工业、精 密加工业及重型机械等工业部门应用。世界上电子 束加工技术较先进的家是德国、日本、美国以及法 国等
电子束加工
简介
在中国的发展：
我国自20世纪60年代初期开始研究电子束加工工艺， 经过多年的实践，在该领域也取得了一定成果。