蚀刻水洗作业规范(002)
槽式湿法刻蚀清洗设备安全操作及保养规程
槽式湿法刻蚀清洗设备安全操作及保养规程1. 引言槽式湿法刻蚀清洗设备被广泛应用于半导体制造和微电子技术领域，用于清洗和刻蚀微细加工的工件表面。
为了保证清洗设备的安全运行和延长设备的使用寿命，本文将介绍槽式湿法刻蚀清洗设备的安全操作和保养规程。
2. 安全操作规程2.1 设备布置与操作环境1.将清洗设备放置在平稳的地面上，并保证设备四周的通风良好。
2.设备周围应设立明显的警示标识，以提醒操作人员注意安全。
3.操作区域应保持整洁，并定期清理设备表面和周围的废料，避免积聚导致安全隐患。
4.操作设备的环境应保持干燥，避免水或其他液体进入设备内部。
2.2 操作流程和注意事项1.在操作设备之前，必须先穿戴个人防护装备，包括防护眼镜、手套和口罩等。
2.在操作设备之前，需要进行设备的预热和检查，确保设备运行正常。
3.操作人员应按照设备的操作手册和操作流程进行操作，切勿随意更改设备参数。
4.操作人员在操作过程中应保持警觉，及时发现异常情况，并及时报告和处理。
5.在设备运行期间，切勿将手指或其他物体伸入设备内部，以免造成人身伤害。
6.在设备运行期间，切勿随意拆卸设备的保护罩或其他部件，以免影响设备的正常运行。
7.定期对设备进行维护保养，包括清洁设备内部杂质、更换滤网等。
3. 设备保养规程3.1 设备清洁与维护1.每次使用设备后，应及时清理设备内部的杂质，并使用干燥的布擦拭设备表面。
2.设备每日使用结束后，应对设备进行彻底的清洁，确保设备内部和外部的清洁度。
3.定期更换设备的滤网和过滤器，避免杂质积聚导致设备故障。
4.定期检查设备的电源线、连接线等，确保电气设备的安全性能。
5.随时检查设备的密封性能，及时更换损坏的密封件，避免液体泄漏。
3.2 定期保养与维修1.按照设备的保养手册要求，定期进行设备的保养与维修工作。
2.定期检查设备的运行状态和参数，及时调整和修复异常情况。
3.定期更换设备的耗材和易损件，确保设备的正常运行和安全。
蚀刻工序作业指导书
蚀刻工序作业指导书1.0 目的建立详细的作业规范，籍以稳定品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的依据，此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。
2.0 适用范围本作业规范适用于本公司蚀刻（含去膜、退锡）工序。
3.0 职责电镀班具体负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。
4.0 作业内容4.1 作业流程4.1.1 内层（负片）蚀刻作业流程烤板→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→退膜→清洗→烘干→蚀检→转黑化工序4.1.2 镀锡板蚀刻作业流程退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→退锡→烘干→蚀检→转下工序4.1.3 镀金板蚀刻作业流程退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→酸洗→清洗烘干→蚀检→转下工序4.1.3 若外层线路使用负片菲林，其蚀刻流程同4.1.1。
4.2 蚀刻工序设备及物料清单蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、蚀刻子液、褪铅锡药水、褪膜篮、NaOH、氨水、柠檬酸、胶盆。
4.3 基本流程说明4.3.1 退膜：通过强碱溶解表面油墨/干膜使之退去，露出所需之铜。
4.3.2 蚀刻：在碱性强氧化剂的条件下，将线路板上之多余铜面除去。
4.3.3 退锡：去除蚀刻后图形上的抗蚀锡层。
4.3.4 酸洗：清洗金面轻微氧化，防止氧化加深。
4.4 工艺参数及操作条件4.5 工艺维护4.5.1 退膜槽配槽4.5.1.1 打开槽底排水开关和水泵，把废液抽至污水处理站，抽完后关闭水泵。
4.5.1.2 戴上长袖耐酸碱橡胶手套及防护面具，关闭排水开关，注满清水；4.5.1.3 开启电源与泵浦，对整个槽体全面喷洒5min，然后关闭电源与泵浦；4.5.1.4 打开盖板，用清洗工具彻底清洗槽内壁；4.5.1.5 打开槽底排水开关，把废液排出，并用高压水枪冲洗干净；4.5.1.6 将槽内注入3/5槽体积的清水；4.5.1.7 另用一小槽注满水，加入9kg NaOH，搅拌至完全溶解4.5.1.8 将泵浦电源打开，让水流动起來，再緩緩将NaOH溶液倒入槽内；4.5.1.9 添加完成后，循环20min，使药水达到完全搅拌均勻；4.5.1.10 通知化验人取样化验，各项管控点都在要求范围之内后方可进行生产。
蚀刻工艺流程及操作要求
蚀刻工艺流程及操作要求下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor. I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!在开始蚀刻工艺之前，需要做好准备工作。
首先，要确保蚀刻机台处于正常工作状态，检查电源、气源是否畅通，以及蚀刻液是否充足。
蚀刻机设备安全操作规程
蚀刻机设备安全操作规程1. 前言蚀刻机是一种用于制作电子器件的重要设备。
由于其工作原理和使用场景的多样化，蚀刻机在使用过程中存在一定的安全风险。
因此，为了确保操作人员的身体安全和机器设备的稳定运行，本规程将介绍蚀刻机设备的安全操作规程。
2. 环境要求蚀刻机通常需要在特定的环境下使用，因此，在使用蚀刻机前，请确保以下环境达到要求：•使用房间保持干燥：尽量减少水汽、潮湿等因素的干扰。
•使用房间通风：防止有害物质的积累。
•安装环境整洁：避免杂物阻碍机器正常运行。
3. 操作注意事项在使用蚀刻机时，请注意以下事项：3.1 设备检查在使用蚀刻机之前，请检查设备是否符合要求：•装置稳定：设备安装位置稳定，不会晃动。
•电源是否正常：注意电线的连接是否正确，并确保电线是否在室内电线管内。
3.2 使用材料蚀刻机使用的材料应该符合以下标准：•电路板尺寸：应与所选蚀刻机匹配，防止松动或卡住。
•电路板厚度：应与所选刀具尺寸匹配，防止太薄导致破损，或太厚导致钝化。
3.3 操作技巧在使用蚀刻机时，请采用以下技巧：•压力平衡：在钳夹处应用均匀的压力，保证所使用的材料紧固。
•稳准不晃：在移动蚀刻机过程中，注意保持机器的平衡和稳定。
•遵循使用期限：注意刀具使用期限，使用过期刀具可能会导致逆转或损坏，需要及时更换。
•切勿过度运转：在蚀刻机的使用过程中，注意不要过度运转，这样会导致设备的损坏和晃动。
3.4 安全防护在使用蚀刻机时，请注意以下安全防护：•佩戴个人防护装备：戴上眼镜、口罩、手套等防护装备，以保护自己。
•操作前准备：操作人员应仔细阅读用户手册，并确认无误后再进行操作。
•保持沉着冷静：在操作过程中，保持冷静，不要过度紧张。
3.5 维护保养为了保证设备的稳定运行，请注意以下维护保养项：•清洁设备：在操作完毕后，请清洁设备并妥善存放。
•定期检查：定期检查设备的运行状态和维修情况，并及时维修或更换配件。
4. 总结蚀刻机是一种用于制作电子器件的重要设备，为了保证操作人员和设备的安全，需要遵循一定的操作规程。
蚀刻安全注意事项
蚀刻安全注意事项
1. 提前评估材料的安全性：在进行蚀刻之前，需要对蚀刻材料进行评估，确保其不会产生有毒气体或有害物质。
2. 使用适当的个人防护装备：在进行蚀刻操作时，应佩戴适当的个人防护装备，如防护手套、防护眼镜和口罩，以防止腐蚀剂溅到皮肤、眼睛或呼吸道。
3. 在通风良好的环境中进行蚀刻：蚀刻过程中产生的腐蚀剂蒸气有可能对人体健康造成危害，因此应在通风良好的环境中进行蚀刻操作，或者在操作区域设置合适的排气设备。
4. 尽量避免直接接触腐蚀剂：在操作过程中，尽量避免直接接触腐蚀剂。
如果不慎溅到皮肤上，应立即使用大量清水冲洗，并及时就医。
5. 正确处理蚀刻废液：蚀刻废液是有害废物，应当按照法律法规的要求进行正确的处理和处置，以保护环境。
6. 严格控制蚀刻时间和温度：蚀刻过久或温度过高可能导致不良的蚀刻效果，甚至材料损坏，因此应严格控制蚀刻时间和温度。
7. 小心操作：在进行蚀刻操作时要小心谨慎，避免因操作不当引起事故或材料破坏。
8. 定期检查腐蚀设备和器材：定期检查腐蚀设备和器材的工作状态，及时修理或更换损坏的部件，以确保蚀刻操作的安全性。
9. 储存和使用蚀刻剂时要密封保存：蚀刻剂是有毒化学品，应储存在防火防爆的容器中，放置在儿童无法接触的地方。
10. 接受专业培训：如果没有足够的蚀刻操作经验，应接受专业培训，了解蚀刻的原理、操作规程和安全注意事项，以保证操作的安全性。
蚀刻线岗位操作指引规范标准
6.9在每班生产前必须通知化验室分析药水及测量各药水缸温度。
6.10蚀刻线生产时显影必须自检，蚀刻后必须抽检。
6.11生产线药水添加时必须有领代班、主管或工程师在场确认，防止意外事件发生。
蚀刻线岗位操作规
制作单位：
文件编号：
生效日期：
版本号：
总页数：第4页 共6页
5.4接板
5.4.1戴棉手套或指套双手对角拿板,将板平整的放绿板上，注意拿板位置尽量拿板边缘。
5.4.2将生产板与绿胶片摆放整齐。
5.4.3连续生产时，一旦发现出板不连续必须立即查看蚀刻机是否在卡板。如果出现卡板，立即按下红色的急停按扭，由领班或储干轻轻取出所卡之板，如取出所卡之板需拿出输送轮、轴时，要由领班或储干拿出，并做好记号，按原位装回，不得调乱位置。
0.2mm厚的钢片
0.4-0.7 m/min
0.5 m/min
压力水洗
压 力
0.8-1.2 kg/cm2
1.0 kg/cm2
1次/班
去 膜〔600+600〕L
氢氧化钠
3-5%
4%
25kg
1次/4天
1次/班
上压力
0.8-1.4 kg/cm2
1.1 kg/cm2
下压力
1.0-1.6 kg/cm2
1.3 kg/cm2
带阻焊桥的产品
32℃
0.9-1.1m/min
CO32-8-15g/L
蚀刻线岗位操作规
制作单位：
文件编号：
生效日期：
版本号：
总页数：第2页 共6页
蚀刻作业指引
工作指引 蚀刻作业指引 制表： 日期： 2009.3.5 审核： 日期： 2009.3.5
文件编号 版本 生效日期 页次 批准： 日期：
EDI-010
液泵有无松动、 确定无异常后方可 日期： 2009.3.5 审核： 日期： 2009.3.5
文件编号 版本 生效日期 页次 批准： 日期：
EDI-010
②.将产品放入蚀刻机传送带上，两盘并排（特殊产品除外）。 4.3.3.产品上清洗架： ①.产品蚀刻后，将产品放入清洗夹具上，待清洗。
5.參考文件 5.1《蚀刻机作业指导书》 6.記錄 6.1《蚀刻药水测量记录》
生产前先空转设备23分钟观看传动链条传动齿轮行辘主传动接头液泵有无松动腐蚀转动不畅振动等异常现象
工作指引 蚀刻作业指引 制表： 日期： 2009.3.5 审核： 日期： 2009.3.5
文件编号 版本 生效日期 页次 批准： 日期：
EDI-010
1.目的：规范蚀刻作业，确保蚀刻作业的质量与安全。 2.范围：蚀刻生产小组 3.职责： 3.1作业前准备：作业安全措施的准备。 3.2蚀刻药水调配：根据产品的蚀刻要求，调配出符合生产要求的蚀刻药水。 3.3蚀刻作业：机器参数，产品输入，清洗上架。 4.作业内容： 4.1 作业前准备： 4.1.1、防护用品的准备：蚀刻作业人员要戴防护眼镜、耳塞、手套、口罩，穿水鞋。 4.2 蚀刻药水调配：(蚀刻液缸的总容积：900 L） ① 药水成份：三氯化铁、水、盐酸 ② 成份含量： 三氯化铁：320 kg 水： 510 kg 盐酸: 17 L ③ 药水浓度：39±1° ④Fe3+含量标准：110~130g/L ⑤ 药水温度：42±1° 4.3 蚀刻作业： 4.3.1.蚀刻机作业参数： ① 过热保护器设定温度为:48℃; ② 2米蚀刻段喷淋压力：2.5-3.O KGF; ③ 泵洗及酸洗喷淋压力:1.5-2.O KGF; ④ 循环水洗喷淋压力：1.5-2.O KGF; ⑤ 清水洗喷淋压力:1.5-2.0 KGF; ⑥ 蚀刻机传送速度: Run = 0.6 ~ 15.0 （ 根据产品加工要求而定） 4.3.2.产品输入： ①.生产前先空转设备2-3分钟,观看传动链条、传动齿轮、行辘、主传动接头、液泵有无松动 腐蚀、转动不畅、振动等异常现象；喷嘴水形有无改变；确定无异常后方可正常作业 (比例：38%) (比例：60%） （比例：2% ）
环保银蚀刻液工艺操作规范
Q/YS.816环保银蚀刻液
Q/YS.816环保银蚀刻液可用于银镍合金、银铜合金以及纯银的砂面处理，处理后板面有均匀而平整的砂面。
本剂对油墨没有影响，可用于花纹蚀刻处理。
使用方法：
1、原液使用，不须加水，操作温度可以是25℃-60℃，温度越高，速度越快。
2、将银板浸泡在银砂面剂中。
搅拌药水，使药水与银充分均匀反应；或者也可以用摇床，使药水来回动运，使银板砂面速度加快。
但不能超声波，以免破坏（感光）油墨。
3、浸泡时间为1-2分钟，随后水洗，烘干。
注意事项：
1、有腐蚀性，不与皮肤接触。
2、要用塑料容器盛装，不能用金属器皿盛装。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
10)清洗投料时ITO面朝上，大角在右下，材料之间间距保持在400mm以上。
3.2 Film蚀刻作业顺序
1)根据《工程流程卡》确认来料的型号和数量，
2）蚀刻Film一般需两个人完成，一个副手一个蚀刻作业。
受控文件管制章
文件类别
作业规范
版号
V1.0
文件编号
YZ-WI-002
制定部门
生产部
生效日期
2009年10月29日
蚀刻水洗作业规范
拟制
审核
批准
日期
日期
日期
修订内容记录
页数
原文内容
修订结果
修订原因
版号
修订日期
修订者
批准者
受控文件管制章
文件类别
作业规范
文件编号
YZ-WI-002
版号
V1.0
文件名称
蚀刻水洗作业规范
图1图2图3
3.3材料蚀刻首件需测试其绝缘阻抗，蚀刻完毕后填写流程卡和材料一起流入下工序。
受控文件管制章
文件类别
作业规范
文件编号
YZ-WI-002
版号
V1.0
文件名称
蚀刻水洗作业规范
页次
4/4
生效日期
2009年10月29日
4.注意事项
1)配制前,所用容器、工具必须洁净干燥,每次使用完毕,应立即清洗。
蚀刻线纯水每天作业前更换一次槽液并清洗水槽.
注:不足规定时间,浓度不足可添加。
10)一个月没生产,则槽液需排放,不能留在槽中。
11)纯水每次开机前及连续工作每3.5-4.0小时需测试,混床电阻率≧1MΩ,纯水PH=6.5-7.0方可生产。
12）蚀刻房无关人员严禁进入，不相关的物品禁止带入。
13)任何产品不允许在蚀刻房停留超过半个小时。
b.碱液流量要适中
受控文件管制章
文件类别
作业规范
文件编号
YZ-WI-002
版号
V1.0
文件名称
蚀刻水洗作业规范
页次
2/4
生效日期
2009年10月29日
3)超声波（Glass）
材料
浓度
侵泡时间
(分)
超声波能量
备注
Glass
纯水
3
5格
4)水洗
材料
第一槽(水压及速度)
第二槽(水压及速度)
第二槽(水压及速度)
5）右手垂直将Film取出,先在清洗槽-1上停留几秒（如图3），然后分别在水洗槽-1与水洗槽-2中间至少停留至少15秒，然后放入超声波槽中。
6)过超声时间到将Fim垂直取出依次放入水洗槽-3，水洗槽-4中各30秒，然后放入清洗机中清洗。
7)清洗投料时ITO面朝上，大角在左上，材料之间间距保持在400mm以上
页次
1/4
生效日期
2009年10月29日
一.目的：规范工艺,确保蚀刻产品品质
二.范围：ITO蚀刻
三.定义：
四.权责：蚀刻作业员严格按本规范操作
五.作业内容：
1.生产设备的设定
1.1.生产设备
导电膜蚀刻及除油墨设备生产线分酸蚀、水洗、退膜、检查、超声波纯水清洗、强风吹干六段。酸蚀、碱蚀段带水洗部分。蚀刻线设备分别用于蚀刻ITO Film及ITO Glass。蚀刻线酸蚀段分一槽，ITO Film、ITO Glass酸蚀刻仅使用第一槽酸槽，碱蚀段分一槽,ITO Film、ITO Glass碱洗使用第三槽,各主要参数见下表。
2)工作桌面保持清洁、整齐。
3)使用完的试剂,必须立即将瓶盖拧紧,避光放于阴凉处。
4)配制溶液,所需用水必须采用纯水,溶液配制完后用塑料勺加入槽中。
5)溶液配制必须在通风处进行,操作人员需配戴耐酸、碱手套、口罩、防护眼镜及穿雨鞋。
6)配制酸液时,不能将水注入酸中,否则极易产生爆炸。
7)酸、碱不慎沾到皮肤上,应立即用水清洗。
8)每次生产前,酸液、碱液的浓度必须测试。连续生产时,每3.5-4.0小时需测试槽中酸、碱液浓度,若浓度不足,需添加。当生产量大,应适当增加测试频率,以确保溶液浓度在要求范围内。
9)碱液:每工作24小时换一次槽液并清洗碱槽;
酸液:每工作1个月换一次槽液并清洗酸槽;
水洗机纯水、自来水每工作周换一次槽液并清洗水槽.
3)蚀刻作业员戴好耐酸碱手套和防水鞋。
4)副手从待蚀刻区网车双手按拿取Film动作要求取出Film放在待蚀刻平台上，ITO面朝上。
5)蚀刻作业员双手从待蚀刻平台取Film（ITO面朝上，大角在左下）放入清洗槽-1中然后松开左手，右手提住让Film没入酸液中，让Film保持垂直。
注：右手拿Film时不要太紧，在不影响蚀刻前提下尽量靠边，绝对不能进入印刷有效区
2.溶液配制
2.1.酸液
1)Film蚀刻线：酸液配制方法:
配制比例: HCL盐酸(36-38%): H2O (纯水)
1:2
2) Glass蚀刻线酸液配制方法:
配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水)
100 : 100
3)酸液的注意事项:
a.不能将水加入酸中,否则极易爆炸。
b.HCL、不慎沾到皮肤上,应立即用水冲洗。
4)将整栏玻璃垂直放入清洗槽-1中，玻璃需完全放入酸液中，记录其时间。
5）蚀刻时间到将玻璃取出，放在清洗槽-1边缘至少20秒让酸液滴干净(如图2)。
6)将整栏玻璃垂直放入水洗槽-1中，30秒后拿出，再放入清洗槽-2中过碱。
7)等脱膜时间到，将玻璃拿出放在清洗槽-2边缘至少20秒让碱液滴干净。
8)将玻璃放入水洗槽-2中，30秒后拿出，然后将玻璃放入超声波槽中。
Glass
1.2(kg/cm2)；20档
1.2(kg/cm2)；20档
1.2(kg/cm2)；20档
Film
0.7~0.8(kg/cm2)；10档
0.7~0.8(kg/cm2)；10档
0.7~0.8(kg/cm2)；10档
1.2.到设定温度后(约30分钟),测试酸液及碱液的浓度,在规定范围内可进行生产。
1)酸洗
表一、蚀刻线酸槽的参数的设置（ITO Film蚀刻）
类别
温度
浓度(N)
浸泡时间（秒）
Film
30-35
6.50-6.70
4秒
表二、蚀刻线酸槽参数的设置（ITO Glass蚀刻）
类别
温度
浓度(N)
浸泡时间(分)
Glass
30-35
6.40-7.0
2分
a.蚀刻线酸液的设置温度、酸液的浓度随时间而调节。酸液的浓度每四个小时检测一次（具体时间：上午8：00-9：30、下午13：30-14：00，生产中参照实测浓度的变化去调整时间。并配合碱段同时测试电阻。电阻用万用表仪器测试，绝缘阻抗符合规格要求为标准。
b)整个过程中,需不停搅拌,尽可能不让氢氧化钠沉淀结块。
c)搅拌速度适中,不宜过快，防止液体飞溅。
2.3.纯水
1启排水阀及进水阀正洗水质电阻率(即混床电阻率)≧1MΩcm(1μs/cm),方可生产.
受控文件管制章
文件类别
作业规范
文件编号
c.酸加入水中,速度不能快,必须慢慢加入。
d.整个过程在通风良好的环境中进行,并必须配带耐酸、碱手套、戴口罩及防护眼镜.
2.2.碱液
1)配制比例:
氢氧化钠:纯水
NaOH (g) : H2O (ml)
(分析纯)
2 : 50 (约2.0%)
注意:
a)先将固体氢氧化钠(NaOH)尽量捣碎,再用适量纯水溶解。
YZ-WI-002
版号
V1.0
文件名称
蚀刻水洗作业规范
页次
3/4
生效日期
2009年10月29日
3.蚀刻作业顺序
3.1玻璃蚀刻作业顺序
1)根据《工程流程卡》确认来料的型号和数量，
2）戴好耐酸碱手套和防水鞋。
3)从待蚀刻区双手拿住栏具两边提取整栏玻璃（如图1）
注：装蚀刻玻璃的栏具必须是能耐酸的朔料栏具。
b.酸液量要适中；
c.酸液的浓度和酸槽时间参数的设定由于受到设备条件的限制，并非理想状态；
d.使用过程中以实际品质检验为准
2)碱洗(Glass)
表三碱槽的参数设置
材料
碱液浓度
侵泡时间
(秒)
设置
温度
备注
Glass
0.72-1.16N
50s
35±5℃
a.浸泡时间,随碱液的浓度调节。以将材料上之耐酸油墨洗脱干净为原则。时间要与酸泡相配,比酸洗相同或稍快