气体质量流量控制器中文说明
堀场汇博隆(C)S48 300HMT流量计、流量控制器说明书
气体质量流量控制器（流量计）S48 300/HMT使用说明书(Ver.2.0)北京堀场汇博隆精密仪器有限公司目录1、概述 (1)2、术语符号 (2)3、工作原理 (5)4、技术指标 (7)5、产品安装 (8)6、使用方法和操作步骤 (16)7、数字通讯功能使用方法和操作 (18)8、通讯协议编码格式 (20)9、警告和注意 (25)10、故障判断和处理 (28)附录一：通信指令集 (31)附录二：标定和不同气体的换算 (34)1、概述本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。
不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。
由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
1.1 使用范围质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。
1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。
具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。
协议简单可靠，兼容性强，易于组网。
配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。
气体流量不因温度、压力的变化而变化。
气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。
0131.气体质量流量控制器(MFC)与气体质量流量计(MFM)
气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM）MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。
MFC为Mass Flow Controller的缩写，即质量流量控制。
流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。
质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。
计算机解算出流经振管的质量流量。
不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。
安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。
质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。
由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。
质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。
测量管道内质量流量的流量测量仪表。
在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下，若仅测量体积流量，则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。
在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30％，这会使流量产生30～40％的误差。
随着自动化水平的提高，许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。
化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。
蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。
产品质量的严格控制、精确的成本核算、飞机和导弹的燃料量控制，也都需要精确的质量流量测量。
因此质量流量计是一种重要的流量测量仪表。
质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。
AST10-DX使用说明书(1)
目录1.产品介绍 (2)1.1用途与特点 (2)1.2主要技术指标 (3)1.3 工作原理 (3)2.快速安装指导 (4)2.1外形及安装尺寸 (4)2.2气路接头形式 (5)2.3电缆连接插头 (5)3.功能操作详解 (6)3.1综述 (6)3.2常用操作 (6)界面说明 (6)按键操作说明 (8)功能表树形结构 (9)3.3功能操作详解 (10)3.3.1 流量设定 (10)3.3.2 启动/停止流量累积 (10)3.3.3 流量累积值清零 (11)3.3.4 流量小信号切除 (12)3.3.5 流量系数 (13)3.3.6 流量零点设置 (15)3.3.7 设备轮询地址设置 (16)3.3.8 环路输出测试 (17)3.3.9 控制模式转换 (18)3.3.10 设置输出阻尼值 (19)4.注意事项 (21)4.1 加装过滤器 (21)4.2 使用腐蚀性气体和有机溶剂气体问题 (21)4.3 安装位置问题 (21)4.4阀口密封问题 (21)4.5标定与不同气体的换算................................................................... ..215.一般异常情况判断和处理 (21)6. 保证、保修与服务 (22)6.1 产品保证和保修 (22)6.2 保修对使用的要求 (22)6.3 服务 (23)附录：气体流量转换系数表 (23)附录：通讯协议 (25)注：说明书内部的所有图片仅供参考，请以实物为准。
1.产品介绍1.1用途与特点质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
MFC-UT系列 气体质量流量计说明书
MFC-UT 系列气体质量流量计HP1:132****2805|HP2:186****5969|********************GAS MASS FLOW METER中国·山东·青岛产品规格书SPECIFICATION安装及使用前请先仔细阅读本规格书规格书中包含《产品保修卡》请保管好请遵守产品规格书里标记的警告和注意事项Datasheet MFC-UT |AUG.17 2021 | Version 1.3产品概述DescriptionM F C -U T 系列质量流量控制器（M a s s Flow Controller）是基于业内先进流量传感器芯片，结合高速数字处理技术和智能补偿算法，所开发的一款紧凑型的气体质量流量控制器产品。
该产品配备有高端电磁比例阀、航空级铝合金气路座、高精度微机电流量芯片等，对比传统的气体流量控制器，本产品采用集成化设计，使得该产品的体积大幅度缩小，可以在小体积、便携式设备中发挥更大优势，更好的适用于空间要求严格的安装场景。
产品应用Applications良好的重复性和再现性配气仪燃烧控制器质谱仪表面处理食品和制药过程控制气体分析仪产品规格Specification尺寸图DimensionDatasheet MFC-UT |AUG.17 2021 | Version 1.3参数说明环境条件电气参数通信接口（RS485）机械参数单位：mm67G 1/8OR G1/87.52618302M446安装尺寸洁净干燥无腐蚀性气体空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等(0～20, 50, 100, 200, 500) SCCM (0～1, 2, 3, 5) SLM读数误差的1%或满量程误差的0.8%，二者取最大值最低0.01SCCM ≤0.7S ±0.2%F .S ±0.5%F .S1×10 Pa·m /sec He -11310bar0~50℃10%~90%RH （无结冰，无凝露）0~1MPa -20~85℃介质要求介质种类量 程精 度分辨率响应时间重复精度线 性漏 率最大耐压工作温度工作湿度工作压力储存温度协 议设备地址最大节点数接头类型主体材质密封材质重 量供电电压功 耗启动时间预热时间接口类型通信速率RS485（默认Modbus-RTU ，可定制私有协议）1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改)250卡套：8mm、12mm、 3/8 inch ，快插：6mm ，8mm ，其它可选底座：航空铝合金，外壳：碳钢FKM氟橡胶0.35kgDC24V ， 纹波 ≤50mV ＜2.4W ＜1s ＜10ms RJ45接口4800, 9600(默认), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200,128000,230400, 256000, 460800, 500000（可通过指令或者上位机修改）Datasheet MFC-UT |AUG.17 2021 | Version 1.3产品选型Product choosing安全及保修Safety And Warranty产品用于有害气体或爆炸性气体时，须严格按照产品使用说明或咨询公司技术人员。
气体流量控制器使用方法说明书
气体流量控制器使用方法说明书一、产品概述气体流量控制器是一种用于控制气体流量的设备，广泛应用于实验室、工业生产和科研领域。
该控制器具有精确的流量调节功能，能够满足不同场景下的需求。
二、产品特点1. 精准控制：气体流量控制器采用先进的控制算法，能够精确地调节气体流量。
用户可以根据需要设置目标流量值，控制器将自动调整阀门开度以实现稳定的流量输出。
2. 多种输入接口：该控制器支持多种输入接口，包括模拟信号输入和数字信号输入。
用户可以根据实际需求选择适合的接口类型，方便接口设备的连接和使用。
3. 易操作性：气体流量控制器具有友好的操作界面，用户可以通过触摸屏或按钮进行参数设置和流量调节。
同时，设备还配备了清晰的显示屏，可以直观地显示当前的流量数值和工作状态。
4. 高稳定性：该控制器采用优质的传感器和执行机构，具有高稳定性和可靠性。
即使在不稳定的工作环境下，其控制效果也能保持稳定，不会受到外界干扰。
5. 多种保护功能：气体流量控制器具备多种安全保护功能，包括过压保护、过流保护和过热保护等。
当探测到异常情况时，控制器会自动停止工作并发出警报，以确保系统安全稳定。
三、使用步骤1. 准备工作：将气体流量控制器连接到电源，并接好相应的气体输入管道。
确保设备处于平稳的工作环境，并保持通风良好。
2. 参数设置：打开气体流量控制器的操作界面，根据实际需求设置目标流量值和其他相关参数。
在设置参数时，可以参考用户手册中的详细说明进行操作。
3. 流量调节：确认参数设置完成后，打开气体流量控制器的阀门，并开始对气体流量进行调节。
可通过触摸屏或按钮进行流量调节，也可以根据需要选择自动控制模式。
4. 监测和记录：在使用过程中，可以通过显示屏实时监测当前的流量数值，并记录下相关数据。
这有助于用户进行后续实验和分析。
5. 安全维护：在使用结束后，及时关闭气体流量控制器的阀门，并将其断开电源。
定期清洁设备，保持其正常的工作状态。
四、注意事项1. 请务必按照使用说明书进行正确操作，避免人为损坏设备或造成安全隐患。
气体质量流量控制器 MFC 流量传感器说明书
气体质量流量控制器 MFC 流量传感器产品名称气体质量流量控制器 MFC 流量传感器公司名称北京堀场汇博隆精密仪器有限公司价格8000.00/个规格参数建议零售价:¥8000.00加工定制:否品牌:HORIBAMETRON/堀场汇博隆公司地址北京市朝阳区北苑路40号23号、25号联系电话010-******** 130********产品详情提示：以下模板中任意文字及图片均可执行修改、复制、删除的操作，添加更多的图片和文字描述有助于增加产品对买家的吸引力。
产品介绍产品信息重量： 2.8kg毛重： 2.8kg 产地： 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司流量规格流量规格： （100,150,200)l/min 调节阀类型：电磁调节阀 调节阀静止状态： 常闭 准确度： ± 1.0%f.s. 线性： ±0.5%f.s.重复性精度： ±0.2%f.s.响应时间：2s（t98）产品性能简介企业介绍北京堀场汇博隆精密仪器有限公司是一支由中方经营管理，中日双方共同协作的国际化团队，是由全球顶级热式质量流量控制器（mfc）制造商——horiba stec与中国知名热式质量流量控制器(mfc)制造商——北京汇博隆仪器有限公司共同出资成立，是以研发、生产、销售热式质量流量控制器为主业的高新技术企业。
公司经营层和整个国际化团队坚持"群策群力，持续发展，立足国内，走向世界"的企业总体发展方向。
力循"中外结合，品质为本"的经营理念，努力在人才、技术、生产、工艺、质量、市场、服务等各个方面引入和完善现代企业经营管理机制，以适应全球经济一体化的市场竞争，为加速我国相关产业的不断发展贡献一份力量。
企业证书购买须知1、货源说明厂家一手货源，公司生产周期短、产品品质有保证2、关于尺码与使用手册里尺寸一致，以收到实物为准3、关于颜色本店产品均为实物拍摄， 与实物平铺图最为接近，收到实物与图片颜色不一致的，可能与电脑显示器的色彩对比度和色温等因素有关4、关于客服如您的提问未能及时回复，可能是因为咨询量过大或系统故障5、关于售后6、关于发货合作快递 中通、德邦本产品的建议零售价是¥8000.00，加工定制是否，品牌是HORIBAMETRON/堀场汇博隆，型号是S4828，类型是质量流量计，测量范围是12（m3/h），精度等级是1.0%，适用介质是气体，工作压力是3（MPa ），工作温度是5~45（℃），产品属性是仪器仪表。
MIC20说明书
(MIC系列)气体质量流量计/控制器使用手册北京杰易斯科技有限公司目录1.用途和特点 (3)2.主要技术指标 (4)3.结构工作原理 (5)4.安装和接线 (7)5.使用方法和操作步骤 (12)6.注意事项 (14)7.气体质量流量转换系数 (15)8.保证、保修与服务 (18)气体质量流量控制器/流量计技术说明书1、用途和特点气体质量流量控制器（Mass Flow Controller）/气体质量流量计(Mass Flow Meter)可以对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。
对产品性能和生产工艺的不断改进，质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等（可以使用在高压及真空系统）特点。
操作使用方便，可任意位置安装，配合流量显示仪或其他流量控制器显示仪使用，也可直接同计算机实现RS-232各和RS-485连接，非常方便的实现自动控制。
它也可以作为气体质量流量计使用。
注意：本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。
质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为:SCCM(标准毫升/分);SLM(标准升/分)标准状态规定为:温度---273.15K(0℃);气压—-101325Pa(760mm Hg)F.S(Full Scale):满量程值2、主要技术指标:基本型号MIC20满量程流量范围(N2)SCCM0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM0～1,2,3,5,10,15,20,30精度(％F.S)±1(≤15SLM)±2(＞15SLM)控制阀动作型式常闭式线性(％F.S.)±1(≤15SLM)±2(＞15SLM)重复精度(％F.S.)±0.2响应时间(sec)≤1流量输出信号0-+5V流量设定信号0-+5V电器接头DB15pin(接头)工作环境温度(℃)5～45工作压差(MPa)0.05～0.5漏率SCCSHe1×10-8最大耐压3MPa介质接触材质316L不锈钢和密封材料密封材料氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯,金属密封接头尺寸VCR1/4”Swagelok1/8”、1/4”或φ3、φ6mm电源要求+15V,50mA;-15V,200mA 重量 1.2KG3.结构工作原理图一气体质量流量控制器的工作原理气体质量流量控制器由传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。
上海凯撒控制 230A 型气体质量流量控制器 质量流量计 使用手册说明书
CS系列230A型气体质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册2015.12目录第一部分产品说明 3.2 控制方式 (19)1.1 声明................................................... 1 3.3 调零 (19)1.2使用须知............................................ 2 3.4 软启动 .. (19)1.3安全注意事项.................................... 2 3.5 延迟 (20)1.4 概述................................................... 3 3.6 阀控制 .. (20)1.5 技术指标........................................... 3 3.7 阀类型 .. (20)1.6 标定................................................... 5 3.8 多气体多量程 .. (20)1.6.1 标准状况 ........................................ 5 3.9 累积流量 . (20)1.6.2 制造环境 ........................................ 5 3.10 报警 . (20)1.6.3 精度调节 ........................................ 5 3.11 LED指示灯 . (21)第二部分安装第四部分维护2.1 概述................................................... 5 4.1 概述 (21)2.2 打开包装........................................... 6 4.2 注意事项 . (21)2.3 机械安装........................................... 6 4.2.1介质使用要求 (21)2.3.1 概述................................................ 6 4.2.2 阀口密封问题 .. (22)2.3.2 安装................................................ 12 第五部分故障诊断2.3.2.1 1/2″VCR接头安装方法............ 12 5.1 初步检查 . (22)2.3.2.2 双卡套接头安装方法 ................. 12 5.2 故障检查 . (22)2.4 电气安装........................................... 13 第六部分保证和服务2.4.1 概述................................................ 13 6.1 七星电子有限保证 (24)2.4.2 连接................................................ 13 6.2 产品保证 . (24)2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 ........ 16 6.3 服务 (25)2.5 工作检查........................................... 19 6.4 免责声明 . (25)第三部分功能介绍附录Ⅰ (26)3.1 概述................................................... 19 附录Ⅱ (31)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER气体质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册 第一部分产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。
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Industry(PVD, CVD, Reactor, etc) •Semiconductor Industry •Component Leak Detection •Research and Development •High pressure Industry •Optical Fiber •Fuel Cell •Reactor System •Gas mixing System •Laboratory
1×10-9atm·cc/sec
2~100% for max range
Model M3030A ▶
Mass Flow Controller
www.line-tech.co.kr 7
Thermal Mass Flow Meter and Controller
Mass Flow Meters
Features •Accuracy at Low Flow •Fast Response •No Leakage •Connection Compactible •High stable removeable sensor •Corrosion resistance Value •Excellent Linerity •Excellent long term Stability •Modular design •Wide pressure Range available
www.line-tech.co.kr 3
LINE TECH MASS FLOW METER / CONTROLLER
MASS FLOW CONTROLLER SFECIFICATIONS
MODEL
M3030V M3030A M3050V M3050A M3100V M3100A
FULL SCALE N2 (slpm)
0~50
≤2
0~5 Vdc or 4~20mA +15~28Vdc 5~1300
0~50
≤2
0~5 Vdc +15~28Vdc 5~1300
0~50
≤2
0~5 Vdc or 4~20mA +15~28Vdc 5~1300
0~50
≤2
0~5 Vdc +15~28Vdc 30~1000
0~50
≤2
0~5 Vdc or 4~20mA +15~28Vdc 30~1000
Model M2030V ▶
Mass Flow Meter
M2030V
M2030A
10sccm ~ 30slpm
≤2 sec
±1% FS
±0.25% FS
0~5Vdc
0~5Vdc or
4~20mA
+15 ~ +28Vdc, 350mA
≦90 bar
0~50 ℃
1×10-9atm·cc/sec
2~100% for max range
Model M2030A ▶
Mass Flow Meter
8 www.line-tech.co.kr
Mass Flow Controllers
Features
•Accuracy at Low Flow •Fast Response •No Leakage •Connection Compactible •High stable removeable sensor •Corrosion resistance Value •Excellent Linerity •Excellent long term Stability •Modular design •Wide pressure Range available •Compact Flow Control System
0~50
ORDERING INFORMATION
MODEL
M3030 M3100 M2030 M2100
IN/OUT SIGNAL
V : 0~5 Vdc A : 4~20 mA
FITTING SIZE
2:1/8 inc 4:1/4 inc 6:3/8 inc
FITTING TYPE
A : A-LOCK V : VCRMALE
Thermal Mass Flow Meter and Controller
Line-Tech Mass flow Controller is used widely in the Semiconductor industry as well as many Others. Transducers are designed to be rugged, easy-to-use and economical.
Line Tech | www.line-tech.co.kr
2 www.line-tech.co.kr
1997. 3 1997. 5 1998. 1 2001. 4 2002. 2 2002. 6 2003. 3 2003. 4 2004. 10 2006. 2 2007. 10 2008. 3 2008. 7
Model M3050V ▶
Mass Flow Controller
M3050V
M3050A
25 slpm~50 slpm
≤2 sec (option : ≤1 sec)
±1% FS
±0.25% FS
0~5Vdc
0~5Vdc or
4~20mA
+15 ~ +28Vdc, 350mA
≦90 bar
0~50 ℃
0.010~30 0.010~30
25~50 25~50 30~125 30~125
ACCURACY (% FS)
≤1.0 ≤1.0 ≤1.0 ≤1.0 ≤1.0 ≤1.0
REPEATABLLITY(%)
RESPONSE TIME (sec)
±0.25
≤2
±0.25
≤2
±0.25
≤2
±0.25
≤2
±0.25
Model M2050V ▶
Mass Flow Meter
M2050V
M2050A
25 slpm ~ 50 slpm
≤2 sec
±1% FS
±0.25% FS
0~5Vdc
0~5Vdc or
4~20mA
+15 ~ +28Vdc, 350mA
≦90 bar
0~50 ℃
1×10-9atm·cc/sec
2~100% for max range
Model M3030V ▶
Mass Flow Controller
M3030V
M3030A
10sccm ~ 30slpm
≤2 sec (option : ≤1 sec)
±1% FS
±0.25% FS
0~5Vdc
0~5Vdc or
4~20mA
+15 ~ +28Vdc, 350mA
≦90 bar
0~50 ℃
OPERATING PRESSURE RANGE (psia) 5~1300 5~1300 5~1300 5~1300 30~1000 30~1000
OPERATING TEMP. (。C) 0~50 0~50 0~50 0~50 0~50 0~50
MASS FLOW METER SFECIFICATIONS
MODEL
FULL SCALE N2 (slpm)
ACCURACY (% FS) NhomakorabeaREPEATABLLITY(%)
RESPONSE TIME (sec)
IN/OUT SIGNAL (Vdc/mA)
SUPPLY VOLTAGE OPERATINGPRESSURE
(Vdc)
RANGE (psia)
OPERATING TEMP. (。C)
≤2
±0.25
≤2
IN/OUT SIGNAL (Vdc/mA) 0~5 Vdc
0~5 Vdc or 4~20mA 0~5 Vdc
0~5 Vdc or 4~20mA 0~5 Vdc
0~5 Vdc or 4~20mA
SUPPLY VOLTAGE (Vdc)
+15~28Vdc +15~28Vdc +15~28Vdc +15~28Vdc +15~28Vdc +15~28Vdc
Advantage •Mass Flow Measurement •No Temperature or Pressure Corrections
Required •Compact Flow Control System •Highly Accurate •Wide pressure range available. (95bar) •High Response. Time •High Repeatability ▼ Measurement Technigue Gas flow is divided at constantrate by a laminar folw bypass. Gas molecules traveling through the sensor Carry heat downstream creating a differential temperature between the RTDS. The difference in temperature between the RTDs is propotional to the mass flow rate.