气体质量流量计控制器知识
质量流量控制器原理及选型教程 (1)
1. 什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter （缩写为MFM ）, 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller （缩写为MFC ）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC 自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
2. 质量流量控制器的原理是什么？质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。
质量流量控制器的剖面结构图见图1。
气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理如图2所示。
流量显示仪质量流量计分流器通道传感器入口I 调节阀驱动阀控-15V +15V 0V ~220V 电源流量显示100.0(0 ~ +5.00V)setout 放大器比较器COM 设定+5.00V内(0 ~ +5.00V)外+15V出口-15V清洗关闭0 电 平流量检测设 定质量流量 控制器图1. 质量流量控制器结构图 图2. 质量流量控制器原理图3. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？气体质量流量单位一般以sccm （Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm （Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表示。
质量流量控制器原理
质量流量控制器原理质量流量控制器是一种用于控制气体质量流量的仪器，它可以根据用户设定的质量流量值，精确地调节气体的流量，从而确保气体流量的准确性和稳定性。
本文将重点介绍质量流量控制器的原理及其工作方式。
一、质量流量控制器原理质量流量控制器的原理基于流场动态计量技术，它通过测量气体密度和瞬时流量计算气体的质量流量，然后根据设定值调节流量控制阀门的开度，从而实现质量流量的精确控制。
在质量流量控制器中，气体通过流量计进入测量腔体，测量腔体中装有传感器，可以进行压力、温度、流量、密度等参数的测量。
这些参数直接影响了气体密度的计算，而气体密度的准确计算是控制质量流量的关键。
测量系统完成数据采集后，将数据转换为质量流量值，并通过控制阀门的开度来调节气体流量，实现质量流量的精确控制。
二、质量流量控制器的工作方式质量流量控制器主要分为两个部分，即测量模块和电子控制模块。
（一）测量模块测量模块由流量计和密度计组成。
流量计可以根据气体流过流体的速度进行测量，而密度计则是利用气体压力、温度、流量等参数进行测量。
这两种仪器都非常精确，可以实时测量气体的流量和密度。
在测量模块中，流量计和密度计通过传感器与电子控制模块相连。
当气体经过流量计时，流量计产生信号并将其传输到控制模块，控制模块根据信号计算出气体的流量。
当气体经过密度计时，密度计也会产生信号并传输到控制模块，控制模块根据信号计算出气体的密度。
（二）电子控制模块电子控制模块主要由控制器、流量计控制器、密度计控制器和阀门控制器等部分组成。
电子控制模块的主要作用是接收来自测量模块的信号，并根据用户设定的质量流量值自动调节阀门的开度，从而控制气体的流量。
具体的工作流程如下：1. 用户根据需要设定目标质量流量值，并将该值输入到控制器中。
2. 测量模块中的流量计和密度计开始测量气体的流量和密度，并将测量结果传输到电子控制模块中。
3. 电子控制模块根据测量结果计算出当前的质量流量值，并将该值与用户设定的目标质量流量值进行比较。
气体质量流量控制器和流量计工作原理
气体质量流量控制器和流量计工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
左图为MFC和流量显示仪连接后的工作原理图：（将该地址复制粘贴到网叶地址栏里）控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。
满量程检测输出电压为5VDC。
气体质量流量控制器的检测范围为2~100%满刻度（量程比为50：1），流量分辨率为0.1%满刻度。
注意:气体质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。
这时，流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。
需要注意的是，一旦输出电压超过5VDC，流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。
清洗时，流量显示是不准确的，而且还可能出现流量增大、显示减小的现象，但这些不会损坏质量流量控制器。
2、气体质量流量计和气体质量流量控制器结构（将该地址复制粘贴到网叶地址栏里）气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。
增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。
3、气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。
应用对象：质量流量控制器应用系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、电池系统集成商、生化系统集成商、气体装配流水线集成商、大学实验室、气体公司、研。
气体质量流量计控制器安全操作及保养规程
气体质量流量计控制器安全操作及保养规程气体质量流量计控制器是广泛应用于工业、生产等领域的一种重要仪器设备，正确的使用和保养将有助于保障设备的性能和寿命。
本文旨在向您介绍气体质量流量计控制器的安全操作和保养规程，帮助您安全、有效的使用仪器设备。
安全操作规程1. 操作前准备在使用气体质量流量计控制器前，确保以下条件具备：•设备安装稳定，不易倾倒；•仪器与管道连接牢固，未出现泄漏现象；•工作电源接入正确。
2. 操作注意事项•避免使用不符合规范的气源和管路，若发现问题应及时更换或修理；•禁止在气体管路中加入腐蚀性气体或含有易燃易爆危险物质的气体；•使用前应检查仪器指示和报警灯的状态，确认仪器处于正常工作状态；•操作时应注意避免镜头受到冲击、挤压等影响，以免损坏；•操作前应先了解设备的使用方法和操作流程，避免误操作。
3. 操作后处理•操作结束后应关闭电源，并清除工作区域；•定期更换使用的气源、管路等易污染的部件，避免影响设备性能和测量精度；•不再使用时，应将仪器存储在干燥、通风良好的环境中，避免受到过度潮湿或高温等恶劣环境影响。
保养规程1. 日常维护•定期清洗设备表面及气体管路等易受污染的部位•定期检查并更换使用的气源和管路等易污染的部件•检查仪器运行状态，及时解决问题•定期进行设备的校准和维护，保证设备的工作状态准确可靠2. 常见故障处理方法一、气体质量流量计显示不准确•检查气源是否有杂质，及时清理管道；•检查仪器和管道是否存在泄漏；•检查气体流量控制器是否需要重新校准；•检查设备电源是否正常。
二、气体质量流量计操作不稳定•检查气源和管路是否稳定；•检查流量计表头的曝光是否。
在触摸屏上调节亮度；•检查仪器的接口线和电源线是否连接牢固。
总结气体质量流量计控制器是一种非常有用的仪器设备，在使用和保养时应该保证相关规程和操作方法的规范性和正确性。
正确、安全地使用和维修设备，将有助于提高设备运行效率和稳定性，减少损坏和故障的发生，同时也能最大限度保证设备的性能和寿命。
气体质量流量控制器原理
气体质量流量控制器原理气体质量流量控制器是一种用于控制气体流量的装置，通过精确检测和调节气体的质量流量，实现对气体流量的精确控制。
其主要原理是根据气体的密度、压力、温度等参数来计算气体的质量流量，并根据设定值和反馈信号来调节阀门的开度，从而控制气体的流量。
气体质量流量控制器的工作原理可以分为以下几个步骤：1. 气体检测：气体质量流量控制器通常配备有气体传感器，通过传感器可以实时检测气体的属性，如压力、温度和气体浓度等。
传感器会将检测到的气体属性转换为相应的电信号。
2. 信号处理：传感器产生的电信号被送到信号处理器中进行处理。
信号处理器会将信号进行放大、滤波和线性化等处理，以确保信号的可靠性和稳定性。
3. 质量流量计算：信号处理器将处理后的信号传递给质量流量计算器进行质量流量的计算。
质量流量计算器根据一定的计算公式，将气体的密度、压力、温度和流体状态等参数结合起来，计算得出气体的质量流量。
质量流量计算器通常采用数值计算的方法，能够实时准确地计算出气体的质量流量。
4. 控制信号生成：质量流量计算器将计算得到的质量流量值与设定值进行比较，生成控制信号。
控制信号通常是电信号，根据设定值和实际值的差异，控制信号会有不同的大小和方向，用于调节下一步的阀门开度。
5. 阀门调节：控制信号被送到阀门执行器，通过执行器调节阀门的开度，从而控制气体的流量。
阀门执行器通常是一种电动执行器，可以根据控制信号的大小对阀门进行精确的调节。
通过不断地调节阀门的开度，气体质量流量控制器能够实现对气体流量的精确控制。
6. 反馈控制：气体质量流量控制器通常还具备反馈控制功能，通过将执行器和流量计等装置的反馈信号与设定值进行比较，实时调整控制信号的大小和方向，从而更加精确地控制气体的流量。
反馈控制在控制系统中起到了重要的作用，可以稳定和优化控制系统的性能。
总结起来，气体质量流量控制器的原理是通过精确检测气体的属性并进行流量计算，通过生成的控制信号调节阀门的开度，实现对气体流量的精确控制。
质量流量控制器技术说明书
质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。
S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。
质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N）标定。
2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
数字式气体质量流量控制器工作原理
数字式气体质量流量控制器工作原理数字式气体质量流量控制器是一种高精度、高灵敏的仪表，它可以对气体进行精确的流量控制，并能够实时地监测和记录气体的流量、温度、压力等参数，是广泛应用于气体流量计量和控制的仪器之一。
那么，数字式气体质量流量控制器的工作原理是什么呢？本文将从两个方面探讨这一问题，分别是流量控制的原理和数字化的实现方式。
一、流量控制的原理流量控制是数字式气体质量流量控制器最主要的功能，其基本原理是利用增压阀、流量计和比例控制阀组成的反馈控制回路，通过比例积分控制算法精确地调节比例控制阀的开度，使得气体的流量达到预期的设定值，并保持不变。
具体来说，流量控制过程分为三个阶段：供气、检测和修正。
1. 供气阶段在这一阶段，气体从气源经过预处理设备（例如过滤、减压、降温等）进入增压器。
增压器的作用是将气体压力升高到一定程度，以保证流量计的测量精度。
当气体经过流量计时，它会产生一定的压降，流量计会将这个压降转换成一个电信号，同时将这个信号送给比例控制阀。
然后，比例控制阀根据这个信号来控制其开度，从而调节气体的流量，使得流量达到设定值。
2. 检测阶段在流量控制器的工作过程中，会不断地检测气体的流量（实际流量）和设定值（目标流量），并将它们进行比较。
如果实际流量小于设定值，那么就需要增加比例控制阀的开度；反之，则需要减小比例控制阀的开度。
这样，就能不断地调节气体的流量，使其保持在目标值附近。
3. 修正阶段在实际的工作中，由于气体的温度、压力等因素的变化，会对流量计的测量精度造成一定的影响。
此时，流量控制器就需要对测量结果进行修正，以保证流量控制的精度。
具体操作是：将测量得到的流量信号与气体温度、压力等参数进行比较，然后利用修正算法调整比例控制阀的开度，从而修正测量误差。
二、数字化的实现方式除了流量控制功能外，数字式气体质量流量控制器还具有数字化的特点，即它采用了数字电路和计算机技术来实现流量控制和参数显示。
气体质量流量控制器和流量计工作原理
气体质量流量控制器和流量计工作原理气体质量流量控制器是一种用于实时控制气体流量的仪器设备。
它通常用于实验室、工业生产等领域中的气体流量控制和调节。
而流量计是用于测量和监测气体的流量的仪器设备。
下面将详细介绍气体质量流量控制器和流量计的工作原理。
1.热膜传感器：热膜传感器是气体质量流量控制器中的关键部件，它由一个薄膜状的感温器件组成。
当气体流过传感器时，传感器表面的薄膜受到热冷交换的影响，导致传感器温度发生变化。
2.热冷交换：热膜传感器的表面会通过热冷交换与气体发生热量的交换。
当气体流过传感器时，如果气体的质量流量增加，传感器表面的热量散失也会增加，导致传感器温度下降。
反之，如果气体质量流量减小，传感器温度则会上升。
3.电路反馈：气体质量流量控制器会通过电路来测量传感器的温度变化，并根据测量结果进行反馈控制。
当气体流量增加时，控制器会减小控制阀的开度，以降低气体质量流量，使传感器温度保持稳定；当气体流量减小时，控制器会增大控制阀的开度，以增加气体质量流量，使传感器温度保持稳定。
流量计的工作原理：流量计主要根据不同的测量原理可以分为多种类型，例如差压式流量计、涡街流量计、电磁流量计等。
这里以差压式流量计为例，介绍流量计的工作原理：1.差压原理：差压式流量计是基于伯努利定律和流体连续性方程的原理工作的，它通过测量流体通过流量计前后的压差来计算流量。
根据伯努利定律，当流体通过管道流动时，流体的动能、位能和压力之间存在关联关系；而流体连续性方程则说明了流入和流出相同截面的流体质量与速度之间的关系。
2.测压装置：差压式流量计中的测压装置通常由压力传感器和差压计组成。
压力传感器用于测量流体通过流量计前后的压力值，差压计用于计算由于流体通过流量计而产生的压差。
3.计算流量：根据测得的差压值和流体的密度，可以利用伯努利定律和流体连续性方程的公式来计算流体的流量。
具体的计算方法会根据差压计的类型而有所不同。
4.输出信号：流量计通常会输出经过处理的电信号，以便用户读取和使用。
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气体质量流量计控制器知识
气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM），MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM 是不具有控制气体质量流量功能的装置。
首先区分一下
MFC为Mass Flow Controller的缩写，即质量流量控制。
流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。
质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。
计算机解算出流经振管的质量流量。
不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。
安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。
质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。
由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。
质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。
测量管道内质量流量的流量测量仪表。
在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下，若仅测量体积流量，则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。
在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30%，这会使流量产生30～40%的误差。
随着自动化水平的提高，许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。
化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。
蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。
产品质量的严格控制、精确的成本核算、飞机和导弹的燃料量控制，也都需要精确的质量流量测量。
因此质量流量计是一种重要的流量测量仪表。
质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。
直接式质量流量计
直接式质量流量计有多种类型，如量热式、角动量式、陀螺式和双叶轮式等。
(1) 主要参数:
质量流量精度: ±0.002×流量±零点漂移
密度测量精度: ±0.003g/cm3
密度测量范围: 0.5~1.5g/cm3
温度测量范围: ±1°C
(2) 传感器相关数据:
环境温度: －40~60°C
介质温度: －50~200°C
防爆类型: iBⅡBT3
关联设备: 配套变送器
(3) 变送器相关数据:
工作温度: 0~60°C
相对湿度: 95%以下
电源: 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W
质量流量计常见类型
1. 容积式流量计，又称定排量流量计。
它利用机械测量元件把流体连续不断的分割成单个已知的体积部分，根据测量室逐次重复的充满和排放该体积部分流体的次数来测量流体体积流量。
2. 浮子式流量计，又称转子流量计，是变面积式流量计的一种，在一根由下向上扩大的垂直锥管中，圆形横截面的浮子的重力是由液体动力承受的，从而使浮子可以在锥管中自由的上升和下降。
3. 差圧式流量计，是根据安装于管道中流量检测件产生的差压，已知的流体的条件和检测间与管道的尺寸来计算流量的仪表。
4. 涡街流量计，在流体中安放一根非流线型游涡发生体，流体在发生体两侧交替的分离释放出两串规则地交错排列的游涡的仪表。
5. 涡轮流量计，是速度式流量计中的主要种类，它采用多叶片的转子（涡轮）感受流体平均流速，从而推导出流量或总量的仪表。
6. 超声流量计，通过检测流体流动对超声束（或超声脉冲）的作用以测量流量的仪表。
7. 电磁流量计，电磁流量计是根据法拉弟电磁感应定律制成的一种测量导电性液体的仪表。
电磁流量计有一系列优良特性,可以解决其它流量计不易应用的问题,如脏污流、腐蚀流的测量。
8. 热式流量计，热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。
它们自动地补偿和校正气体温度变化。
仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。
当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
科里奥利式流量计，其原理是利用流体在振管内流动时产生的科氏力，以直接或间接地方法测量其力而得到流体质量流量。
流量计简介
目前，国内使用最为广泛的是热式气体质量流量计。
其原理如下：
“在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。
当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。
这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。
”（附：qm=KCpA△T Cp定压比热容A测量管绕组（即加热系统）与周围环境热交换系统之间的热传导系数；K -------仪表常数）
想像一下……放置两台电热器，用一条线将两台电热器连接起来，自己坐在线的中点处交叉的直角线上，很暖和。
两台电热器发散同样的热量，你坐在离两台电热器同等距离的正中间位置，接受双方的热量，是温度最高的地方。
在这个炎热的季节，说这样的话，真是热得无法忍受啊……这时，在侧面加一个电风扇，离电风扇近的一方发散出来的热，被吹到远一点的电热器，你坐的地方也会觉得稍微凉一些。
风扇吹得越快就越凉快。
这和热式感应管中的道理一样，风扇的强度（风量）=气体的流量。
反过来，要想检测流量的话，可以说“测量一下气体流过的时候两台电热器之间移动的热量即可”
用途
1. 锅炉、裂解炉用燃料气质量流量测量控制；
2. 石油化工、采油、火炬气质量流量测量；
3. 燃烧炉用空气质量流量测量控制;燃汽轮机氢气质量流量和控制；
4. 食品加工及饮料气体质量流量和控制；
5. 水厂氯气质量流量控制；
6. 生产半导体时高纯度气体质量流量测量；
7. 催化剂、化学添加剂质量流量测量；
8. 泵的保护控制、泵密封、润滑油池泄漏检测；
9. 空调系统控制；
10. 仪表用空气、工艺空气、氮气等质量流量测量。
11. 气体分析仪，大气采样器
12. 泄露监测
13. 气体分配系统
14. 实验室气体测量
15. 医学应用
16. 燃料电池
17. 应用气体：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等绝大多数气体。
质量流量计常见问题
实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。
而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M。
N2的C值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。
CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Ar(氩)、Kr(氪)、Xe(氙)。
和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。
0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。
如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。
我觉得如果稍微了解气体的话，就会分出苗条的轻量级和大力士的重量级。
虽然有一部分例外，但一般是这样的。
假设某台MFC是用N2标定的，但是实际流过的气体是He，实际的流量比N2多。
各个厂家的He的CF值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是He气相同示数时，是N2的1.4倍流量。
反过来，如果N2流过He的MFC，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量，因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。
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氢气系统。