气体质量流量转化器系数表
质量流量控制器技术说明书
质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。
S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。
质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N）标定。
2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
流量计参数对比
天线发射微波脉冲信号，在被测物料表面产生反射，且反射的回波信号又被雷达系统所 接收。
静压式液位计是一种测量液位的压力传感器．静压式液位计（液位计）是基于所测液体 静压与该液体的高度成比例的原理，采用国外先进的隔离型扩散硅敏感元件或陶瓷电容 压力敏感传感器，将静压转换为电信号，再经过温度补偿和线性修正，转化成标准电信 号（一般为4～20mA/1～5VDC） 阿牛巴流量计是一种插入式流量测量仪表。在管道中插入一根威力巴传感器 , 当流体流 过传感器 时 , 在其前部 迎流方向 产生一个高压分布区 , 在其后部产生一个低压分布 区。传感器在高、低压区有按一定规则排列的多对 一般为三对 取压孔 , 分别测量流体 的全压力 包括静压力和平均速度压力 Pl和静压力 P2。将 P1 和 P2 分别引入差压变送 器 , 测量出差压 △P=P1-P2, △P反映流体平均速度的大小 , 以此可推算出流体的流量 。
ΔP为差压值，Pa；
ρ1为工作状况下，节流件上游处流体的密度，kg/m3；
c 为流出系数，c=实际流量/理论流量。
电磁流量计是根据法拉第电磁感应定律进行流量测量的流量计。当导体在磁场中作切割
磁力线运动时，在导体中会产生感应电势，感应电势的大小与导体在磁场中的有效长度
及导体在磁场中作垂直于磁场方向运动的速度成正比。同理，导电流体在磁场中作垂直
科里奥利质量流量计是利用流体在振动管中流动 时，产生与质量流量成正比的科里奥利 力的原理而制成的。当质量为!的质点以速度!"在管道中流动时，该管道又绕#轴作角速 度为"!的旋转运动， 则该质点除受到离心力作用外，还会受到一个称为科里奥利力F （切向力）的作用。科里奥利力的方向与速度v垂直，同时与角速度w垂直，其大小与流 速、转速以及质点的质量成正比，表示为F=-2m(v*w) 因此，通过直接或间接地测量该 力，便可以得到瞬时质 流量传感器的流通剖面类似文丘利管的型线。在入口侧安放一组螺旋型导流叶片，当流 体进入流量传感器时，导流叶片迫使流体产生剧烈的旋涡流。当流体进入扩散段时，旋 涡流受到回流的作用，开始作二次旋转，形成陀螺式的涡流进动现象。该进动频率与流 量大小成正比，不受流体物理性质和密度的影响，检测元件测得流体二次旋转进动频率 就能在较宽的流量范围内获得良好的线性度。信号经前置放大器放大、滤波、整形转换 为与流速成正比的脉冲信号，然后再与温度、压力等检测信号一起被送往微处理器进行 积算处理，最后在液晶显示屏上显示出测量结果(瞬时流量、累积流量及温度、压力数 据)。
气体质量流量转换系数简表
六氟化钨 WF6 氙气 Βιβλιοθήκη e0.0956 0.0379
13.29 5.858
0.215 1.415
设定流量=实际流量/(转换系数*2） 设定流量量程为200sccm 假设H2实际流量为20sccm，其转换系数为1.01，则其设定流量为20/(1.01*2)=9.9sccm
气体质量流量转换系数表
气 体 空气 Air 氩气 Ar 砷烷 AsH3 三溴化硼 BBr3 三氯化硼 BCl3 三氟化硼 BF3 硼 烷 B2H6 四氯化碳 CCl4 四氟化碳 CF4 甲烷 CH4 乙炔 C2H2 乙烯 C2H4 乙烷 C2H6 丙炔 C3H4 丙烯 C3H6 丙烷 C3H8 丁炔 C4H6 丁烯 C4H8 丁烷 C4H10 戊烷 C5H12 甲醇 CH3OH 乙醇 C2H6O 三氯乙烷 C2H3Cl3 氧化碳 CO 二氧化碳 CO2 氰气 C2N2 氯气 Cl2 氘气 D2 氟气 F2 四氯化锗 GeCl4 锗烷 GeH4 氢气 H2 溴化氢 HBr 氯化氢 HCl 氟化氢 HF 碘化氢 HI 硫化氢 H2S 氦气 He 氪气 Kr 氮气 N2 氖气 Ne 氨气 NH3 一氧化氮 NO 二氧化氮 NO2 一氧化二氮 N2O 氧气 O2 三氯化磷 PCl3 磷烷 PH3 五氟化磷 PF5 三氯氧磷 POCl3 四氯化硅 SiCl4 四氟化硅 SiF4 硅烷 SiH4 二氯氢硅 SiH2Cl2 三氯氢硅 SiHCl3 六氟化硫 SF6 二氧化硫 SO2 四氯化钛 TiCl4 比热(卡/克℃) 0.24 0.125 0.1168 0.0647 0.1217 0.1779 0.502 0.1297 0.1659 0.5318 0.4049 0.3658 0.4241 0.3633 0.3659 0.399 0.3515 0.3723 0.413 0.3916 0.3277 0.3398 0.1654 0.2488 0.2017 0.2608 0.1145 1.7325 0.197 0.1072 0.1405 3.4224 0.0861 0.1911 0.3482 0.0545 0.2278 1.2418 0.0593 0.2486 0.2464 0.5005 0.2378 0.1923 0.2098 0.2196 0.1247 0.261 0.1611 0.1324 0.127 0.1692 0.3189 0.1472 0.1332 0.1588 0.1489 0.1572 密度(克/升0℃) 1.293 1.7837 3.478 11.18 5.227 3.025 1.235 6.86 3.9636 0.715 1.162 1.251 1.342 1.787 1.877 1.967 2.413 2.503 2.593 3.219 1.43 2.055 5.95 1.25 1.964 2.322 3.163 0.1798 1.695 9.565 3.418 0.0899 3.61 1.627 0.893 5.707 1.52 0.1786 3.739 1.25 0.9 0.76 1.339 2.052 1.964 1.427 6.127 1.517 5.62 6.845 7.5847 4.643 1.433 4.506 6.043 6.516 2.858 8.465 转换系数 1.001 1.407 0.673 0.378 0.43 0.508 0.441 0.307 0.428 0.719 0.581 0.597 0.48 0.421 0.398 0.348 0.322 0.293 0.255 0.217 0.583 0.391 0.278 0.999 0.737 0.451 0.858 0.997 0.93 0.267 0.569 1.01 1 1 1 0.999 0.844 1.415 1.415 1 1.415 0.719 0.976 0.741 0.709 0.992 0.358 0.691 0.302 0.302 0.284 0.348 0.599 0.412 0.34 0.264 0.687 0.206
流量测量中常用的流体参数
流量测量中常用的流体参数对工业管道流体流动规律的研究、流量测量计算以及仪表选型时，都要遇到一系列反映流体属性和流动状态的物理参数．这些参数，常用的有流体的密度、粘度、绝热指数(等熵指数)、体积压缩系数以及雷诺数、流速比(马赫数)等；这些物理参数都与温度．压力密切相关。
流量测量的一次元件的设计以及二次仪表的校验，都是在一定的压力和温度条件下进行的。
若实际工况超过设计规定的范围，即需作相应的修正。
一、流体的密度流体的密度( )是流体的重要参数之一，它表示单位体积内流体的质量。
在一般工业生产中，流体通常可视为均匀流体，流体的密度可由其质量和体积之商求出：＝（1－2）式中 m——流体的质量，kg；V——质量为m的流体所占的体积，m3密度的单位换算见表1—3。
各种流体的密度都随温度、压力改变而变化．在低压及常温下，压力变化对液体密度的影响很小，所以工程计算上往往可将液体视为不可压缩流体，即可不考虑压力变化的影响．但这只是一种近似计算。
而气体，温度、压力变化对其密度的影响较大，所以表示气体密度时，必须严格说明其所处的压力、温度状况．工业测量中，有时还用“比容”这一参数。
比容数是密度数的倒数，单位为m3／kg。
二、流体的粘度流体的粘度是表示流体内摩擦力的一个参数。
各种流体的粘度不同，表示流动时的阻力各异。
粘度也是温度、压力的函数．一般说来，温度上升，液体的粘度就下降，气体的粘度则上升．在工程计算上液体的粘度，只需考虑温度对它的影响，仅在压力很高的情况下才需考虑压力的影响。
水蒸气及气体的粘度与压力、温度的关系十分密切．表征流体的粘度，通常采用动力粘度( )和运动粘度(v)，有时也采用恩氏粘度(°E)．流体动力粘度的意义是，当该流体的速度梯度等于l时，接触液层间单位面积上的内摩擦力．流体的动力粘度也可理解为两个相距1m、面积各为1m2的流体层以相对速度1m／s移动时相互间的作用力，即＝（1－3）式中――单位面积上的内摩擦力，Pa；v——流体流动速度，m／s；h——两流体层之间的距离，m；——速度梯度，I / S；动力粘度的单位Pa·s是国际单位制(SI)的导出单位，是我国法定单位．它与过去习惯使用的其他单位的换算关系见表l—4．表中的单位达因·秒／厘米2(dyn·s／cm2)是厘米—克—秒单位制(c．G．s单位制)的导出单位，习惯上称泊(P)。
SC200气体质量流量控制器使用说明书
使用说明书instruction manual陕西易度智能科技有限公司Shaanxi Yidu Intelligence Technology Co., Ltd.地址：陕西省西安市经济技术开发区草滩十路1787微信公众号公司网站基于哈根-泊肃叶定律（Hagen-Poiesuille Law ）设计，该定律描述了在温度、管径等参数一定的情况下，圆管内的不可压缩流体是层流运动状态时，体积流量与压降线性相关。
通过读取层流元件两端的压差信号，计算出体积流量，再对该体积流量进行压力和温度修正，从而获得标准体积流量和质量流量。
微型计算机将测量值与设定值进行对比，根据差值自动调一、工作原理图:产品外观图1 图产品外观图2:图快插接头示意图:卡套接头：卡套接头的安装方法如下图所示，将公头螺母拧到控制器进出口处，将管子接上前卡套、后卡套和螺母，再用扳手拧紧，以保证不漏气。
注意：拧螺母时使用双扳手，一只卡住接头不动，另一只旋转螺母，否则容易引起接头松动，影响密封。
图卡套接头示意图:）VCR 接头：控制器上不直接配备VCR 接头，VCR 即可。
内容1818（０－５）Ｖ／（４－２０）ｍＡ输出＋（０－５）Ｖ／（４－２０）ｍＡ输入＋２４ＶＤＣ－２４ＶＤＣ＋空图卡套—VCR 转接图:（０－５）Ｖ／（４－２０）ｍＡ输入图:控制器显示界面（L）图:控制器显示界面（ml）其中，显示界面具体定义如下：温度：被测工质温度；压力：被测工质绝对压力，支持压力单位切换Ｋｐａ、Ｍｐａ、ＰＳＩ依次切换点击压力区域可切换压力单位；量程：控制器所测最大流量。
图:详细操作界面执行“自动校准”操作时，应确保无气体流动。
长时间在超压力或温度测量上（下）限的工况下工作，会对控制器造成不可逆损伤，导致较大测量误差。
图:高级菜单界面界面图:单一工质选择界面图:详细操作界面图:详细操作界面对洁净，必要时，须在气路中加装过滤器等。
如拆卸，需确保管路内无气体残留。
图:产品主界面图:流量设定界面图:设定方式选择界面若选择屏幕控制，在数字键盘上输入需要控制的目标流量，产品主界面“设定流量”区域显示当前设定的目标流量。
一般气体的密度和相对空气的转换系数表
转换系数
0
空气Air
0.24
1.2048
1.0000
1
氩气Ar
0.125
1.6605
1.4066
2
砷烷AsH3
0.1168
3.478
0.6690
3
三溴化硼BBr3
0.0647
11.18
0.3758
4
三氯化硼BCl3
0.1217
5.227
0.4274
5
三氟化硼BF3
0.1779
3.025
氢气H2
3.4224
0.0899
1.0040
31
溴化氢HBr
0.0861
3.61
0.9940
单一组分气体的转化系数表（续上表）：
32
氯化氢HCI
0.1911
1.627
0.9940
33
氟化氢HF
0.3482
0.893
0.9940
34
碘化氢HI
0.0545
5.707
0.9930
35
硫化氢H2S
0.2278
故障排除
一般气体的密度和相对空气的转换系数表
目前实验室还不能按照用户实际使用的气体标定质量流量，通常根据用户实际使用气体的流量转化成空气的流量后进行标定。用户在使用时，直接输出显示的是实际使用气体的质量流量或体积流量。
不同气体的换算是通过转换系数进行的，单一组分气体的转化系数可查表。如下表：
气体
比热(卡/克℃)
二氧化氮NO2
0.1923
2.052
0.7366
43
一氧化二氮N2O
98
1.964
氢气氮气流量计流量转换系数
氢气氮气流量计流量转换系数【主题】氢气氮气流量计流量转换系数【概念简介】氢气和氮气是广泛应用于工业生产、实验室研究和能源领域中的两种重要气体。
在许多应用中，准确测量氢气和氮气的流量是至关重要的。
而氢气氮气流量计则是一种专门用于测量这两种气体流量的设备。
在气体流体学中，流量转换系数是一个重要的指标，用于确定气体的实际流量和流量计的输出信号之间的关系。
本文将深入探讨氢气氮气流量计流量转换系数的相关概念、原理和应用实例，帮助读者全面理解其作用和影响因素。
【1. 氢气与氮气的特性】1.1 氢气的特性氢气是最轻的元素，具有很高的燃烧性和热值，是广泛用于能源产业的重要燃料。
由于其轻质性质，氢气在实验室研究和其他科学领域中也有广泛的应用。
然而，由于其高燃烧性和易泄露的特性，对氢气进行精确的流量测量变得尤为重要。
1.2 氮气的特性氮气是大气中最丰富的气体之一，在工业生产和实验室研究中扮演着多种角色。
氮气具有较高的稳定性和不可燃性，常用于保护性气氛、气氛调节和气体供应等方面。
虽然氮气相对于氢气而言具有较低的危险性，但精确的氮气流量测量依然是确保生产和研究质量的关键。
【2. 氢气氮气流量计的工作原理】氢气氮气流量计是一种基于物理原理测量气体流量的设备。
其原理基于滑动风门的运动和差压传感器的测量。
当气体通过滑动风门时，风门的位置会随气体流量的变化而调整。
差压传感器通过测量两侧风门间压差的变化，将其转换为电信号输出。
根据预先确定的气体性质和流体力学原理，计算出流量转换系数，从而得到实际气体流量的数据。
【3. 流量转换系数的重要性】3.1 测量精度的关键参数流量转换系数是氢气氮气流量计中的一个重要参数，直接影响到流量计的测量精度。
通过准确地确定和校准流量转换系数，可以提高流量计的准确性和可靠性，保证实际流量的精确测量。
3.2 对流量计输出的修正氢气和氮气在压力、温度和流速等方面的特性存在差异，因此传感器的输出信号需要经过修正，以获得准确的实际流量数据。
气体质量流量转换表
0.1405 3.4224 0.0861 0.1911 0.3482 0.0545 0.2278 1.2418 0..0593 0.2486 0.2464 0.5005 0.2378 0.1923 0.2098 0.2196 0.1247 0.261 0.1611 0.1324 0.127 0.1692 0.3189 0.1472 0.1332 0.1588 0.1489 0.1572 0.0956 0.0379
0.441 0.307
0.1659
3.9636
0.428
0.5318 0.4049 0.3658
0.715 1.162 1.251
0.719 0.581 0.598
2 4 CH 乙烷 2 6 CH 丙炔 3 4 CH 丙烯 3 6 CH 丙烷 3 8 CH 丁炔 C 4H 6 丁烯 C 4H 8 丁烷 C4H10 戊烷 C5H12 甲醇 CH3OH 乙醇 C 2H 6 O 三氯 乙烷 3 3 3 C H Cl 一氧 化碳 CO 二氧 化碳 2 CO 氰气 C 2N 2 氯气 Cl2 氘气 D2 氟气 F2 四氯 化锗 GeCl4
比热( 比热(卡/克℃) 0.24 0.125 0.1168 0.0647
密度( 密度(克/升 0℃) 1.293 1.7837 3.478 11.18
转换系数 1.006 1.415 0.673 0.378
0.1217
5.227
0.43
0.1779
3.025
0.508
0.502 0.1297
1.235 6.86
0.2488
1.25
1.00
0.2017
1.964
0.737
0.2608 0.1145 1.7325 0.197 0.1072