气体质量流量转换系数简表
堀场汇博隆(C)S48 300HMT流量计、流量控制器说明书
气体质量流量控制器（流量计）S48 300/HMT使用说明书(Ver.2.0)北京堀场汇博隆精密仪器有限公司目录1、概述 (1)2、术语符号 (2)3、工作原理 (5)4、技术指标 (7)5、产品安装 (8)6、使用方法和操作步骤 (16)7、数字通讯功能使用方法和操作 (18)8、通讯协议编码格式 (20)9、警告和注意 (25)10、故障判断和处理 (28)附录一：通信指令集 (31)附录二：标定和不同气体的换算 (34)1、概述本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。
不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。
由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
1.1 使用范围质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。
1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。
具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。
协议简单可靠，兼容性强，易于组网。
配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。
气体流量不因温度、压力的变化而变化。
气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。
AST10-DX使用说明书(1)
目录1.产品介绍 (2)1.1用途与特点 (2)1.2主要技术指标 (3)1.3 工作原理 (3)2.快速安装指导 (4)2.1外形及安装尺寸 (4)2.2气路接头形式 (5)2.3电缆连接插头 (5)3.功能操作详解 (6)3.1综述 (6)3.2常用操作 (6)界面说明 (6)按键操作说明 (8)功能表树形结构 (9)3.3功能操作详解 (10)3.3.1 流量设定 (10)3.3.2 启动/停止流量累积 (10)3.3.3 流量累积值清零 (11)3.3.4 流量小信号切除 (12)3.3.5 流量系数 (13)3.3.6 流量零点设置 (15)3.3.7 设备轮询地址设置 (16)3.3.8 环路输出测试 (17)3.3.9 控制模式转换 (18)3.3.10 设置输出阻尼值 (19)4.注意事项 (21)4.1 加装过滤器 (21)4.2 使用腐蚀性气体和有机溶剂气体问题 (21)4.3 安装位置问题 (21)4.4阀口密封问题 (21)4.5标定与不同气体的换算................................................................... ..215.一般异常情况判断和处理 (21)6. 保证、保修与服务 (22)6.1 产品保证和保修 (22)6.2 保修对使用的要求 (22)6.3 服务 (23)附录：气体流量转换系数表 (23)附录：通讯协议 (25)注：说明书内部的所有图片仅供参考，请以实物为准。
1.产品介绍1.1用途与特点质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
质量流量控制器技术说明书
质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。
S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。
质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N）标定。
2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
热式质量流量计原理及概述
率的变化。当使用于某一特定范围的流体时，则 A、cp 均视为常量，
则质量流量仅与绕组平均温度差成正比，如图 2 Oa 段所示。 Oa 段
为仪表正常测量范围，仪表出口处流体不带走热量，或者说带走热量
极微；超过 a 点流量增大到有部分热量被带走而呈现非线性，流量超
过 b 点则大量热量被带走。
测量管加热方式大部分产品采用两绕组或三绕组线绕电阻；除管外电
热式质量流量计原理及概述
2010-5-31 江苏瑞特仪表有限公司 编辑：潘东升 热式质量流量计（以下简称 TME）是利用传热原理，即流动中的流体与热源（流体中加热的物体或测量管外加
热体）之间热量交换关系来测量流量的仪表，过去我国习称量热式流量计。当前主要用于测量气体。 20 世纪 90 年代初期，世界范围 TMF 销售金额约占流量仪表的 8%，约 4.5 万台。国内 90 年代中期销售量估
冷却效应的插入式 TMF 国外近 10 年在环境保护和流程工业中应用发展迅速，例如；水 泥工业竖式磨粉机排放热气流量控制，煤粉燃烧过程粉/气配比控制，污水处理发生的 气体流量测量，燃料电池工厂各种气体流量测量等等。大管道用还有径向分段排列多组 检测元件组成的插入检测杆，应用于锅炉进风量控制以及烟囱烟道排气监测 SO2 和 NOX 排放总量。
热电阻丝 中间绕组加热
金氏定律的热丝热散失率表述各参量间关系，如式 2 所示。
式中 H/L -------单位长度热散失率，J/m•h; ΔT--------热丝高于自由流束的平均升高温度，K； λ --------流体的热导率，J/h•m•K; cV---------定容比热容，J/kg•k; ρ---------密度，kg/m3; U---------流体的流速，m/h; d--------热丝直径，m.
质量流量计简述
质量流量计简述1.什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter(MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller (MFC), 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
2. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。
这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。
这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。
对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。
因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干SLM)即可实现。
所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
3. 什么情况下用质量流量计,什么情况下用质量流量控制器?一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。
某些测量场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。
例如，后面讲到的测量小孔直径﹑阀门泄漏量﹑工件(如毛细管)流通量等。
4. 质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？4.1 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
上海凯撒控制 230A 型气体质量流量控制器 质量流量计 使用手册说明书
CS系列230A型气体质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册2015.12目录第一部分产品说明 3.2 控制方式 (19)1.1 声明................................................... 1 3.3 调零 (19)1.2使用须知............................................ 2 3.4 软启动 .. (19)1.3安全注意事项.................................... 2 3.5 延迟 (20)1.4 概述................................................... 3 3.6 阀控制 .. (20)1.5 技术指标........................................... 3 3.7 阀类型 .. (20)1.6 标定................................................... 5 3.8 多气体多量程 .. (20)1.6.1 标准状况 ........................................ 5 3.9 累积流量 . (20)1.6.2 制造环境 ........................................ 5 3.10 报警 . (20)1.6.3 精度调节 ........................................ 5 3.11 LED指示灯 . (21)第二部分安装第四部分维护2.1 概述................................................... 5 4.1 概述 (21)2.2 打开包装........................................... 6 4.2 注意事项 . (21)2.3 机械安装........................................... 6 4.2.1介质使用要求 (21)2.3.1 概述................................................ 6 4.2.2 阀口密封问题 .. (22)2.3.2 安装................................................ 12 第五部分故障诊断2.3.2.1 1/2″VCR接头安装方法............ 12 5.1 初步检查 . (22)2.3.2.2 双卡套接头安装方法 ................. 12 5.2 故障检查 . (22)2.4 电气安装........................................... 13 第六部分保证和服务2.4.1 概述................................................ 13 6.1 七星电子有限保证 (24)2.4.2 连接................................................ 13 6.2 产品保证 . (24)2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 ........ 16 6.3 服务 (25)2.5 工作检查........................................... 19 6.4 免责声明 . (25)第三部分功能介绍附录Ⅰ (26)3.1 概述................................................... 19 附录Ⅱ (31)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER气体质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册 第一部分产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。
七星电子流量计 D07-60B中文使用手册
D07 – 60B/60BM 型质量流量控制器/流量计使 用 手 册2013 .6目录1. 用途和特点..............................1 6. 注意事项 (16)2. 主要技术指标...........................2 6.1 禁用流量介质 (16)3. 结构和工作原理........................3 6.2 使用腐蚀性气体问题 (16)3.1 结构.......................................3 6.3 阀口密封问题 (16)3.2 工作原理.................................3 6.4 阀控操作注意 (17)4. 安装和接线 ...........................4 6.5 安装位置问题 (17)4.1 外形及安装尺寸........................4 6.6 注意工作压差 (17)4.2 气路接头形式...........................9 6.7 标定和不同气体的换算 (17)4.3 连接电缆插头...........................10 6.8 D07-60B、60BM标准订单填写格式 (18)4.4 与计算机信号的连接..................117. 故障判断和处理 (21)4.5 调零和外调零...........................138. 保证、保修与服务 (23)5. 使用方法和操作步骤..................148.1 产品保证和保修.. (23)5.1 质量流量控制器的操作...............148.2 保修对使用的要求.. (23)5.1.1 开机操作..............................148.3 服务.. (23)5.1.2 清洗功能..............................159. 附录.. (25)5.1.3 显示仪与计算机连接的操作......159.1 气体质量流量转换系数 (25)5.1.4 直接与计算机连接的操作.........159.2 转换系数使用说明 (27)5.1.5 阀控功能 (15)5.1.6 关机操作 (15)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第 1 页 共27页质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册1. 用途和特点质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
热式气体质量流量计使用说明书
流量积算仪出厂已设定，不许用户设置任何改动。改动请与厂家联系 。
1、 显示窗口，上窗口八位累计下四位瞬时流量 2、 测量状态下按键 5 秒进入设置菜单（在设置状态下按键 5 秒进
入下一组参数或返回）在设置状态下移动修改位 3、 在测量状态下按键 5 秒累计值清零，在设置状态下增加参数值
或改变设置类型/翻页功能 4、 在设置状态下，减小参数值或改变设置类型 5、 在设置状态下，启动修改状态或存入修改参数值 密码 1111 对应菜单参数 标定点 1-8 点为，非线性 标定点 9-16 点为，非线性 通讯地址出厂设为 1 通讯速率：19200、9600、4800、2400，出厂设为 9600 模拟输出：4-20MA、0-10MA、0-20MA，出厂设为 4-20MA 输出下限：0-9999，一般为 0 输出上限：0-9999，可对应量程的任何一段 小数点位：个 十 百 千位
101.33KPA)
工作原理：
流量计探头由一个测速传感器、一个测温传感器组成。通电后测温传感器测 得流体温度 Ta，测速传感器被加热到高于 Ta 的一定温度 Ts，电路保持△T= Ts-Ta 恒定。当流体流过探头时，从测速传感器上带走一部分热量，使 Ts 下降。电路 为保持△T 恒定，需增加对测速传感器的加热功率。设该加热功率为 P，根据 L.V.KING 定理，即流体流过测速传感器带走的热量与对测速传感器的加热功率 相对应的原理，得 P=△T×（A +B×ρv1/2）。式中 A、B 为流体的物理常数。因此， 可以通过测量加热功率 P 来测量带走这部分热量的流体的质量流量。由于带走这 部分热量的是流体的分子，所以测速传感器直接测量的是流体的质量流速ρV， 只须再乘以管道截面积就可以得到流体的质量流量。因此对于大管径的流量测 量，只需在标准管径标定装置上测定相应的质量流速，就可以测量大管径中的气 体质量流量。
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六氟化钨 WF6 氙气 Βιβλιοθήκη e0.0956 0.0379
13.29 5.858
0.215 1.415
设定流量=实际流量/(转换系数*2） 设定流量量程为200sccm 假设H2实际流量为20sccm，其转换系数为1.01，则其设定流量为20/(1.01*2)=9.9sccm
气体质量流量转换系数表
气 体 空气 Air 氩气 Ar 砷烷 AsH3 三溴化硼 BBr3 三氯化硼 BCl3 三氟化硼 BF3 硼 烷 B2H6 四氯化碳 CCl4 四氟化碳 CF4 甲烷 CH4 乙炔 C2H2 乙烯 C2H4 乙烷 C2H6 丙炔 C3H4 丙烯 C3H6 丙烷 C3H8 丁炔 C4H6 丁烯 C4H8 丁烷 C4H10 戊烷 C5H12 甲醇 CH3OH 乙醇 C2H6O 三氯乙烷 C2H3Cl3 氧化碳 CO 二氧化碳 CO2 氰气 C2N2 氯气 Cl2 氘气 D2 氟气 F2 四氯化锗 GeCl4 锗烷 GeH4 氢气 H2 溴化氢 HBr 氯化氢 HCl 氟化氢 HF 碘化氢 HI 硫化氢 H2S 氦气 He 氪气 Kr 氮气 N2 氖气 Ne 氨气 NH3 一氧化氮 NO 二氧化氮 NO2 一氧化二氮 N2O 氧气 O2 三氯化磷 PCl3 磷烷 PH3 五氟化磷 PF5 三氯氧磷 POCl3 四氯化硅 SiCl4 四氟化硅 SiF4 硅烷 SiH4 二氯氢硅 SiH2Cl2 三氯氢硅 SiHCl3 六氟化硫 SF6 二氧化硫 SO2 四氯化钛 TiCl4 比热(卡/克℃) 0.24 0.125 0.1168 0.0647 0.1217 0.1779 0.502 0.1297 0.1659 0.5318 0.4049 0.3658 0.4241 0.3633 0.3659 0.399 0.3515 0.3723 0.413 0.3916 0.3277 0.3398 0.1654 0.2488 0.2017 0.2608 0.1145 1.7325 0.197 0.1072 0.1405 3.4224 0.0861 0.1911 0.3482 0.0545 0.2278 1.2418 0.0593 0.2486 0.2464 0.5005 0.2378 0.1923 0.2098 0.2196 0.1247 0.261 0.1611 0.1324 0.127 0.1692 0.3189 0.1472 0.1332 0.1588 0.1489 0.1572 密度(克/升0℃) 1.293 1.7837 3.478 11.18 5.227 3.025 1.235 6.86 3.9636 0.715 1.162 1.251 1.342 1.787 1.877 1.967 2.413 2.503 2.593 3.219 1.43 2.055 5.95 1.25 1.964 2.322 3.163 0.1798 1.695 9.565 3.418 0.0899 3.61 1.627 0.893 5.707 1.52 0.1786 3.739 1.25 0.9 0.76 1.339 2.052 1.964 1.427 6.127 1.517 5.62 6.845 7.5847 4.643 1.433 4.506 6.043 6.516 2.858 8.465 转换系数 1.001 1.407 0.673 0.378 0.43 0.508 0.441 0.307 0.428 0.719 0.581 0.597 0.48 0.421 0.398 0.348 0.322 0.293 0.255 0.217 0.583 0.391 0.278 0.999 0.737 0.451 0.858 0.997 0.93 0.267 0.569 1.01 1 1 1 0.999 0.844 1.415 1.415 1 1.415 0.719 0.976 0.741 0.709 0.992 0.358 0.691 0.302 0.302 0.284 0.348 0.599 0.412 0.34 0.264 0.687 0.206