二次配工程规范
二次配线规范要求
⼆次配线规范要求1、基本要求：按图施⼯、连线正确。
2、⼆次线的连接（包括螺栓连接、插接、焊接等）均应牢固可靠，线束应横平 竖直，配置坚牢，层次分明，整齐美观。
同⼀合同的相同元件⾛线⽅式应⼀致。
3、⼆次线截⾯积要求：单股导线 不⼩于1.5mm多股导线 不⼩于1.0mm弱电回路 不⼩于0.5mm电流回路 不⼩于2.5mm 保护接地线 不⼩于2.5mm4、所有连接导线中间不应有接头。
5、每个电器元件的接点最多允许接2 根线。
6、每个端⼦的接线点⼀般不宜接⼆根导线，特殊情况时如果必须接两根导线，则连接必须可靠。
7、⼆次线应远离飞弧元件，并不得防碍电器的操作。
8、电流表与分流器的连线之间不得经过端⼦，其线长不得超过3 ⽶.9、电流表与电流互感器之间的连线必须经过试验端⼦。
10、⼆次线不得从母线相间穿过。
2222211、带电阻的ProfibusBus 插头的连接（适⽤于⼀根电缆的连接）仅⼀根电缆连接时，则导线与第⼀个接⼝连接推动开关置“ON”位置编织的屏蔽带准确的放置在⾦属导向装置上12、带电阻的ProfibusBus 插头的连接（适⽤于⼆根电缆的连接）连接的两根导线是在插头之内的串联推动开关置“OFF”位置编织的屏蔽带准确的放置在⾦属导向装置上13、不带电阻的ProfibusBus 插头的连接编织的屏蔽带准确的平放在⾦属导向装置上。
导向装置中的两根红绿线放置在⼑⼝式端⼦上。
绿导线：连接点A红导线：连接点B14、回拉式弹簧端⼦的联接导线的剥线长度： 10 mm导线插⼊端⼦⼝中，直到感觉到导线已插到底部。
15、抽屉中 Profibus 屏蔽电缆的连接拧紧屏蔽线⾄约15 mm 长为上；⽤线⿐⼦把导线与屏蔽压在⼀起；压过的线回折在绝缘导线外层上；⽤热缩管固定导线连接的部分。
工程范围及说明二次配
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二、施工管理要求
1、 质量管理
(1) 本节概要
a. 说明执行本契约工作之质量管理规定，确保工程之成果符合设计及规 范之质量目标。质量管理范围：成立品管组统、订定施工要领、订定 施工质量管理标准、订定检验程序、订定自主施工检查表、建立文件、 纪录管理系统。
(3) 所有送审图说须于预定之送审进度时间内完成认可手续。倘图说之送审因 承包商之延迟未按期限内完成，而致延误工期时，应由承包商负责。
(4) 凡未经业主审查认可之一切图说，承包商不得自行制造，否则业主拒绝接 受。
(5) 业主依本规范之内容，有权要求承包商提供有关之详细数据及修正数据。
(6) 送审资料虽经认可，但承包商不得藉以减轻其符合本规范要求之一切责任。
宸鸿科技(厦门)有限公司
T5‐C2 OGS 二次配工程
工程规范
宸鴻科技(廈門)
宏观工程顾问股份有限公司
2012 年 2 月 13 日
宸鴻(廈門) T5-C2 OGS 二次配工程
工程规范内容：
壹、 工程范围及施工规定 一、 工程说明 二、 施工管理要求
貳、 工程规范 一、 电气工程规范 二、 制程管路工程规范
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(工程範圍及說明) 2/10頁
壹、工程范围及施工规定
一、 工程说明
1、 工程名称：宸鸿科技(厦门)T5‐C2 OGS 二次配工程 2、 施工时程: 承包商需依以下各时程完成本工程范围所有相关系统工作，若工期
延误，需遵守采购所订扣款规定。 CTX 部分：
一般车间区域、ACDE 及供酸间一次配工程于 2012-3-15 完成，让制程设 备可以 move in，本工程(二次配)需于设备安装定位后，小型设备 3 天内 完成，大型设备 5 天内完成。
二次配线工艺标准守则
二次配线工艺守则文件号：ZH/QE-C08-02版本：A/0 受控：编制：日期：审核：日期：批准：日期：2015-3-26 发布 2015-3-26 实施文件修订记录一、目的对高低压成套开关设备和控制设备等产品中二次绝缘导线的配制，阐明其使使用工具，使用设备，工艺准备、工艺过程、工艺要求等。
二、范围本守则适用于公司高、低压成套开关设备和控制设备以及三箱类配电设备的辅助回路、控制回路（简称二次回路）配线和检验。
三、规范性引用文件1、《低压成套开关设备和控制设备第一部分：型式试验和部分型式试验成套设备》（GB7251.12—2013）2、《电气装置安装工程盘、柜及二次回路接线施工及验收规范》（GB50171—92）3、《低压成套开关设备和控制设备第3部分：对非专业人员可进入场地的低压成套开关设备和控制设备配电板的特殊要求》（GB 7251.3-2006）四、工具斜咀钳（140mm）、剥线钳(0.5～6㎜2)[1]、预绝缘端头压线钳（0.5～6㎜2）[2]、管形端头压线钳、裸端头压线钳(0.5～6㎜2)、触针端头压线钳、尖咀钳、一字螺丝刀[3]( 30～150㎜)、十字螺丝刀(30～150㎜)、梅花板手[4](M3～M8)、开口板手(M3～M8)、套筒板手(M4～M5)、镊子、通断指示搭灯、电烙铁（60W）、卷尺(2m)、棉纱手套、清洁用抹布。
注：[1] 带有定位装置；[2] 条件允许时应备置气动压线钳；[3] 条件允许时应备置气、电动螺丝刀；[4] 条件允许时应备置气、电动扳手。
五、材料5.1 导线参数5.1.1 绝缘导线（见表 1）表 1 绝缘导线参数5.1.2 裸铜软导线表2 裸铜软导线参数型号名称标称截面积mm2结构计算外径mm20℃时导体电阻Ω/km ≯单线总数股数×根数单线标称直径㎜铜芯镀锡铜芯TJR1 TJRX1软铜绞线镀锡软铜绞线2.5 49 7×7/0.25 2.25 7.58 7.924.0 49 7×7/0.32 2.88 4.64 —6.3 49 7×7/0.40 3.60 2.97 —TJRX2 镀锡软铜绞线4.0 126 7×18/0.20 3.00 — 4.82 6.3 196 7×28/0.20 3.72 — 3.10TZ-2 TZX-2铜编织线镀锡铜编织线4.0 —48×4/0.15———6.3 —48×6/0.15———10.0 —48×12/0.15———16.0 —48×20/0.15———TZXR-3 护套软铜绞线2.5 49 7×7/0.25 2.25 7.58 —4.0 49 7×7/0.32 2.88 4.64 —6.3 49 7×7/0.40 3.60 2.97 —5.2 端头参数(见表3)表3 常用端头参数名称型号※适用导线截面mm2螺钉口直径mm最大电流A颜色规格尺寸mm外形图L B圆形预绝缘端头RV1.25 0.5～1.5 3.2～6.5 19 红17.8～27.5 5.7～9.5 RVS2 1.5～2.5 3.2～10.5 27 蓝17.8～30.2 3.2～10.2 RVS3 2.5～4 4.3～6.5 37 黑24.5～27.9 8.0～12.0 RVS5.5 4～6 3.7～13 48 黄21.4～38.1 7.2～19.2叉形预绝缘端头SV1.25 0.5～1.5 3.2～6.5 19 红21.2 5.7～9.5 SVS2 1.5～2.5 3.2～10.5 27 蓝21.2 5.7～9.5 SVS3 2.5～4 4.3～6.5 37 黑24.8～28 8～12 SVS5.5 4～6 3.7～13 48 黄25.2～31.2 8.3～14片形预绝缘端头DBV1.25 0.5～1.5 —19 红20～28 2.3～3 DBV 1.5～2.5 —27 蓝19～28 2.3～2.8 DBV 4～6 —48 黄22.5 2.8注：※预绝缘端头的型号因生产厂家不同有所不同续表3 常用端头参数名称型号适用导线截面螺钉口直径最大电流颜色规格尺寸mm 外形图mm2mm A L B(φ)管形预绝缘端头ET1.0 1.0 ——红16～18 1.5 ET1.5 1.5 ——黑18～24 1.8 ET2.5 2.5 ——蓝18～24 2.3双线管形预绝缘端头—2×1.0 ——红15～17 2.05 —2×1.5——黑16～20 2.3 —2×2.5 ——蓝18.5～21.5 2.9圆形裸端头R1.25 0.5～1.5 3.2～6.5 19 —12.6～21.8 5.7～11.6 RS2 1.5～2.5 3.2～10.5 27 —12.6～21.8 6.6～13.6 RS3 2.5～4 4.3～6.5 37 —18～21.4 8～12 RS5.5 4～6 3.7～13 48 —15.7～28 7.2～19.2叉形裸端头Y1.25 0.5～1.5 3.2～6.5 19 —16 5.7～9.5 YS2 1.5～2.5 3.2～6.5 27 —16 5.7～9.5 YS3 2.5～4 4.3～6.5 37 —18.3～21.5 8～12 YS5.5 4～6 3.7～8.4 48 —19.5～24.5 8.3～145.3 端子表4 端子性能参数额定截面积mm2额定接线能力mm2额定绝缘电压V接线拉力N压线螺钉公称直径拧紧力矩NmⅠⅡ0.75 0.2～0.75500 30 M2.5 0.2 0.41.0 0.5～1.0 30～35 M3 0.25～0.3 0.5～0.61.5 0.75～1.5 30～40 M4 0.7 1.22.5 1.0～2.5 35～50 M5 0.8 2.04 1.5～4 40～60 M6 1.2～2.5 2.5～3.56 2.5～6 50～80 M8 3.5～4 注：※第Ⅰ列：适用于拧紧时不突出孔外的无头螺钉和不能用刀口宽度大于螺钉根部直径的螺丝刀拧紧的其它螺钉；第Ⅱ列：适用于用螺丝刀拧紧的螺钉和螺母。
6.化学管路二次配管施工规范
六、化学管路二次配管施工规范1.工程范围2.材料及施工标准3.施工时间4.施工规范5.PVC配管6.PFA管施工要领7.SUS配管施工要领8.信号测试一工程范围：化学管路由已安装完成之阀箱中阀的出口端将管路及讯号线安装至使用机台的入口端，以此范围之二次配管工程为主。
二材料及施工标准：1.管材：A.Model I♦化学品种类：溶剂类(IPA、EBR)♦管路材质：SUS316L BA管。
♦配管方式：单层管。
♦弯管方式：Elbow♦管径：3/4”♦接管方式：阀箱出口端：以VCR或相同之其它方式接管。
♦机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台。
B.Model II♦化学品种类：DHF,BHF,ITO-Etch 1,ITO-Etch 2,AL-Etch,Cr-Etch,TMAH♦管路材质：PFA管/ 40A C-PVC管。
♦配管方式：双层管。
♦弯管方式：直接弯管(不用Elbow)。
♦管径：内管为1” AND 3/4”PFA管。
外管为40A C-PVC管。
♦接管方式：内管：阀箱出口端：扩管式。
机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台。
外管：阀箱出口端：使用40A C-PVC SOCKET固定。
机台入口端：使用40A C-PVC SOCKET固定。
C.Model III♦化学品种类：Corrosive solvent (Stripper-1,Stripper-2)♦管路材质：SUS316L EP管。
♦配管方式：單层管。
♦弯管方式：直接弯管(不用Elbow)。
♦管径：SUS316L EP管。
♦接管方式：外管：阀箱出口端：使用Clamp固定。
机台入口端：使用40A JIS 10K Flange固定。
2.讯号：●使用机台提供之讯号：需求讯号。
●供酸系统提供之讯号：系统供酸正常讯号。
●讯号线材质：PVC 绝缘线。
●外加导线管做保护。
3.施工之标准程序：●GSMC厂务在三天前发Inform sheet 给UIS。
(整理)二次配管技术要求
工程范围及说明二次配
(3) 相关准则 有关工程用水、用电、照明、通讯、消防等之相关规定应参照自来水、电 力、照明、通讯及消防等相关法规及规范办理。
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(工程範圍及說明) 8/10頁
2、 临时设施
(1) 本节概要 本节说明工程施工或安装所需之临时设施包括工程用水、工程用电、照明、 通讯设备及消防等之相关规定，所供应对象依契约规定构成永久性工程之 水电、照明、通讯或消防等不在本章范围内。
(2) 工作范围 a. 工程用水 除契约另有规定外，工程用水包括工地房舍、业主与承包商双方人员 之饮用、盥洗设备、工程用水与道路洒水等。 b. 工程用电 除契约另有规定外，工程用电包括业主与承包商双方工地房舍之设备 及照明、工程施工之动力设备及照明、工程工区道路照明及其他设施 等之用电。 c. 照明 除契约另有规定外，照明包括业主与承包商双方工地房舍之照明、工 程施工照明、工区道路照明及其他临时照明等。 d. 通讯设备 除契约另有规定外，通讯设备包括业主与承包商双方工务所、工地间 之联络电话、无线对讲机、传真机或数据网络等。 e. 消防 除契约另有规定外，消防包括业主与承包商双方工地房舍及工程施工 构造物、设备等之消防设施等。
c. 产品制程阶段之工作 产品设计→产品试验(含实验及检验)→生产制造→运交工地 依契约或施工规范规定提出所需项目及报表。 本阶段之工作由承包商、供货商、制造商之产品质量工程司办理 之，并依契约或施工规范规定频率取样作实验及检验。
d. 施工制程阶段之工作 工地施工→试验及检验→资料分析→绘制管制图→资料建文件
工程规范
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二次配安装规范
二次配安装规范立昂FAB-D二次配管工程主要工作界面和安装规范二次配管工程由以下几个子项目组成：电力系统，气体系统，水和排液系统，排风系统，Pump Line系统。
承包商对附件一《FAB-D二次配清单》中的所有设备进行二次配管工作。
一、电力系统1.1工作界面：1.1.1承包商负责从一楼配电柜内部空开出口至工艺设备电源进线端的电缆连接工作，包括电缆桥架的铺设。
1.1.2承包商负责从一楼配电柜内部空开出口至二楼地面插座端的电缆连接工作，包括插座的购买和安装。
1.2技术要求：1.2.1电缆桥架采用铝合金桥架加盖。
1.2.2如动力矩阵表无特殊说明，电缆两端均采用铜鼻子连接。
1.2.3电力电缆应满足以下电压降限制的要求：一楼配电柜空开出口端和工艺设备电源进线端的电压降<3%。
1.2.4插座采用符合国标的五孔插座，除非图纸上有特别要求，插座安装在镀锌槽盒上，槽盒安装在高架地板上。
1.2.5二次配采用专用电缆桥架，电缆沿专用电缆桥架敷设，出桥架后穿镀锌钢管敷设至设备。
1.2.6电缆两头及设备进线附近均需求有电气编号标签。
二、气体体系2.1工作界面：2.1.1承包商负责从大宗气体一次配开关阀出口至工艺设备气体进口端的气体管道连接工作，包括固定支架的铺设。
2.1.2承包商负责从特气VMB或VMP出口至工艺设备气体进口端的气体管道连接工作，包括固定支架的铺设以及气体加热体系。
2.1.3承包商负责气体体系的验收测试（保压，氦检，水，氧含量，颗粒）。
2.2技术要求：2.2.1气体系统材料如下：CDA采用SUS304 BA管，GN2管道采用SUS316 BA管，真空管道采用SUS304 AP管，其他气体管道均采用SUS316L EP管，双套管内管采用SUS316L EP，外管采用SUS304 AP管。
固定支架采用镀锌C型钢，镀锌拉杆和螺母。
2.2.2二次配的每路分支必须安装开关阀。
2.2.3GN2，PN2，O2和CDA二次配管路必须安装调压阀。
二次配工程规范
二次配工程规范1. 引言本文档旨在规范二次配工程的设计、施工与验收流程，以确保工程质量、安全和效果的达标。
二次配工程是指在建筑物或设备工程竣工后，进行电气、给排水、通风、空调等方面的配套工程。
本规范适用于各类建筑物或设备的二次配工程。
2. 设计要求2.1 电气设计•根据所需电气设备的功率、电流等参数，合理布置电缆线路、插座和开关，保证供电稳定和安全。
•根据建筑物的功能和需求确定照明设备的布置和灯具类型，确保照明效果和节能要求。
•合理划分电气回路，采取适当的保护措施（如保险丝、断路器等），以防止电器设备过载、短路等安全隐患。
2.2 给排水设计•根据建筑物的用途和人流量确定给排水设备的规模和容量，确保正常使用和应急疏散。
•合理布置给水管线、下水管道和排污设备，保证供水和排水的正常运行。
•使用符合国家标准的给水设备和排水设备，以确保水质卫生和环境安全。
2.3 通风与空调设计•根据建筑物的结构、用途和环境条件，确定合理的通风与空调设备的安装位置和类型。
•采用符合国家标准的通风与空调设备，以提供良好的室内空气质量和舒适的室内温度、湿度。
•设计合理的通风与空调管网，确保空气流通和热量传导的效果。
3. 施工要求3.1 基础施工•根据设计要求进行电气、给排水、通风与空调的预埋工程，确保管线的铺设和隐蔽工程的合格性。
•合理安装设备的支架和固定件，保证设备的稳定性和安全性。
•执行相关施工规范，如电气布线规范、给水排水工程验收规范等。
3.2 设备安装•按照设备的安装说明和技术要求进行设备安装，确保设备的正常运行和安全性。
•进行设备的调试和试运行，排除故障和问题，确保设备的正常运转。
3.3 完工验收•根据设计要求和规范进行工程的竣工验收，确保施工质量和功能的达标。
•形成相应的竣工验收报告，记录工程各项指标、设备名称与型号、试验结果等。
•交付业主或相关管理部门，进行最终acceptance。
4. 维护与保养4.1 定期检查和维护•对二次配工程的设备进行定期巡检和维护，确保设备的正常运行和性能。
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二次配工程规范 Document number：BGCG-0857-BTDO-0089-2022中纬积体电路(宁波)新建工程气体管线二次配工程规范CONTENTS PAGES1.目的32.范围33.文件送审44.施工说明45.其他说明96.验收标准107.保固期限121.目的为使设备机台按照计划顺利装机、运转，且亦能维护Hook Up二次配管施工之品质及作业安全。
本规范如有任何疑虑依业主及总顾问公司解释为准。
2.范围2.1.制程设备气体管线Hook-up工程材料采购及管路安装；Hook-up范围，GN2、PN2、PO2、CDA自主管预留阀至机台内部接点(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由气体站氢气纯化器出口及SiH4、SiH4/N2气瓶柜出口接至机台(含VMB)，其他特殊气体自位於气体房或Subfab之气瓶柜/架至机台内部接点(含VMB/VMP)，其中必要的管线、管件及焊接所需气体，均由承包商负责提供。
GN2、PN2、PO2各支管位置及预留take-off阀尺寸及数量，请参照”FAB栋一层大宗气体二次配平面图”(图号SP-211)；各VMB/VMP位置，请参照”FAB栋一层特殊气体二次配平面图”(图号SP-212)；气体站至FAB间气体管线，请参照”气体站至FAB栋气体二次配管线平面图”(图号SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off阀至机台间所需装设之阀件，请参照”SP-2二次配管详图”(图号SP-231)；而take-off阀及VMB/VMP与机台衔接点等相关资料，请参照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。
承包商需根据该表资料，设计至机台管线之路径。
2.2.前项气体管线Hook-up工程之管路细部设计、施工图绘制、ISO图绘制(Auto 2000或以上版本图档予顾问及业主)、安装後泄漏侦测、各项不纯物量测、讯号测试、材料存放及废料清洁等杂项工程。
其中施工图及ISO图面，需依照机台用量流程图(P&ID)及机台设备外观图绘制，并配合材料明细表供业主确认。
2.3.本项工程为连工带料施工，并包含施工中所需之施工工具、施工设备、无尘服、安全防护器具、管支撑及杂项消耗等，均由承包商负责。
2.4.配合”二次配工程说明”(规范标号NS-SP001)要求所需各项杂项费用。
2.5.所有管路标示，管路标示依照”二次配工程说明”办理。
2.6.所有管路防震固定支撑架之安装定位。
2.7.高架地板开孔及收边之工程发包、请款，切割区域管理。
2.8.气体站至FAB间管线所需管桥由业主提供，承包商需负责依业主指示规划气体管线路径，并负责安装所需管夹等固定装置。
3.文件送审前2周提送设计文件及相关管件及标示实体供审核；送审图面则需在业主提出意见後3天内修改并再次送审。
2. 所有送审文件必须以中文或英文书写；英文送审文件需附中文说明。
3. 所有竣工阶段需提送之文件均需检附电子档4.施工说明4.1.一般说明4.1.1.承包商应於施工前提送施工程序书及管路测试程序书，经审核通过後，方可据以施工。
4.1.2.承揽商需於工作场所设置工程负责人，需有相关工程经历三年以上，其工作职责为：4.1.2.1.施工进度控制。
4.1.2.2.施工人员管理及安排。
4.1.2.3.材料数量管制。
4.1.2.4.现场会勘放样。
4.1.2.5.参与承揽商沟通协调会议4.1.3.承揽商需於工作场所设置品管负责人，需有相关工作经历三年以上，其阶层与工程负责人同等，其工作职责为：4.1.3.1.施工品质控制。
4.1.3.2.施工完工品质验收。
4.1.3.3.施工验收报告汇总。
4.1.3.4.原料进厂自主检查。
4.1.4.承揽商需於工作场所设置物管负责人，需有相关工作经历一年以上，其工作职责为：4.1.4.1.材料数量管理。
4.1.4.2.进厂料件验收。
4.1.5.承揽商需於工作场所设置工安卫负责人，需有相关工作经历一年以上，其阶层与工程负责人同等，其工作职责为：4.1.5.1.现场安全卫生工作监督。
4.1.5.2.参与承揽商安全卫生协调会议。
4.1.5.3.承揽商施工人员安全卫生训练。
4.1.6.施工人员数组，依工程数量适时增加人员，但在工程期限内最低需保留三组，每组人员最少三人，每组至少有一人有焊接执照，并由一资深组长带领，所有进厂施工之人员必须经过认可且通过工安检定之人员。
4.1.7.品管人员数组，依工程数量适时增加人员，但在工程期限内最低需保留一组，每组人员最少二人，由一资深组长带领，但不可由品管负责人担任。
4.1.8.承揽商有任何人员调动需经过认可，且业主相关之人员有权提出异议要求更换，承揽商不得有异议。
4.2.材料说明4.2.1.气体管线之分类及其材质要求如下表规定办理。
4.2.2.各类管线、管件及仪表厂牌，请依下表规定办理，承包商应以一次配选用厂牌为优先考量，如欲选用非下表规定之厂牌，需经过业主审核同意後使得选用。
注： 1. Cl 2、NF 3等气体需选用VIM+VAR 钢材。
4.2.3. VMB/VMP 设备4.2.3.1. 承包商需负责设计及提供特殊气体供应所需VMB 及VMP ，其安装数量及位置请参照”附件二 Specialty Gas VMB list ”及相关图面指示办理；经过VMB/VMP 後管线则直接接至使用点。
4.2.3.2. VMB 及VMP 所需安装各项阀件及仪表请参照”VMB/VMP 示意图”(图号SP-230)指示办理。
承包商於每种气体之VMB/VMP ，均需於进气主管路预留3/8”隔膜阀(氢气为1/2”)以供未来扩充用。
4.2.3.3.VMB需具备差压计以检视排气之正常与否。
4.2.3.4.VMB须具备紧急关断功能，且紧急关断需能於现场及远端控制。
4.2.3.5.所有仪电设备之组装与测试需根据NFPA 70，National Electrical Code。
4.2.3.6.得标商应於现场进行VMB/VMP之功能测试，现场测试其氦测漏率应≦1×10-9atm-cc/sec。
4.2.3.7.各VMB所需气体侦测器由业主提供，承包商需负责安装及连结各项控制线路。
4.2.3.8.VMB内所有阀件与管件均需以VCR形式衔接。
4.2.4.承包商於每批材料进厂时，需检附原厂检验及测试报告，若为国外进口品则需附进出口文件；所有材料须经业主对於外观、洁净度进行检验，合格後方能进厂；如有需要也要将所有材料样品交由公证单位检验，费用由承包商负担，如检验未达标准造成延误之後果，由承包商负责。
4.2.5.所有二次配工程所需材料，备料时间需於机台Move-in前一个月完成，且须有足够的安全库存量。
4.2.6.无共用管架处之独立配管管路support由承包商负责，support/clamps/screws/nuts材质应为SUS 304之材质，承包商需经过计算後，提送标准图送审。
4.3.施工规范4.3.1.预制作业4.3.1.1.於机台move in前三十天进行现场会勘，承包商依会勘结果绘制电脑施工图。
4.3.1.2.move in前二十五天进行套图会议，确认各管线之高程及路径。
4.3.1.3.高纯度管件需在Class 1,000或更佳的环境内进行焊接，承包商需在现场提供临时之无尘作业环境，所有管线或管件之预制作业应在该无尘环境中进行。
4.3.1.4.承包商需提供QC仪器厂商最近三个月内之校正报告，测试报告及校正资料需负责工程师核可方可使用。
4.3.2.安装作业4.3.2.1.GN2、PN2、PO2、CDA等管线接至机台前，需装设隔膜阀、调压器、压力表及过滤器，详细安装数量及位置请参照”SP-2二次配管详图”(图号SP-231)指示办理。
4.3.2.2.所有焊接机具须能提供给十组以上人员同时使用；QC机具须能提供给三组以上人员同时使用，QC机具应至少包括氦测漏机、Particlecounter及露点侦测机。
4.3.2.3.承包商进行管线支撑设计，应至少每 m即设计一组支撑，并於施作前，提送相关设计资料、图面，供业主审阅核准；如遇现场需求，承包商得视实际状况增加支撑数量。
4.3.2.4.切管作业：a)管径15 A以下，可以用手动切断器；管径15 A以上，需使用电动管车刀切断，不能使用一般锯弓。
切管完後，管壁内外皆有毛边，须用刮刀铲除毛边。
b)管件预作处理前(切管或组管)，须持续以吹净。
GN24.3.2.5.弯管作业：1/2”以下配管采弯管配管，若因现场因素无法执行，则一律使用Elbow施工；弯管需使用合适之弯管器，不可使用手弯。
4.3.2.6.焊接作业：a)承包商需於每日工程开始前於现场制作二份各种不同管径之标准焊道样品，以供未来现场Test Piece目视检察比对之标准。
b)承包商需於下列时机，当场施作TestPiece，不可先行施作，并须纪录焊接参数，经QA/QC人员检验确认合格後，施工承商才能开始施工。
1.每日焊接开始前及结束後。
2.改变管径大小、钨棒更换、焊接程式变更後。
3.焊接工作中断超过一小时或变更电源後。
4.任何有缺陷之焊接情况发生後。
c)本次气体管线二次配工程均采用自动轨道氩焊(auto-orbital TIG)技术施工。
5.其他说明5.1.依业主之厂务单位提出之需求作为施工依据。
5.2.配合业主系统运转之需求施工，若发生赶工情形，须配合加班或增派人力，以如期完工。
5.3.管线冲净所需任何装备及各项安全必须之设施装备，均由承包商自行负责提供。
5.4.Hook up时，机台已有定位位置但尚未定位时，气体配管承商需先配置高架地板下方，待Move in机台定位後即马上配管连上机台。
5.5.需购买一台2瓶式的气瓶架供应He。
该气瓶柜须具有auto-switch和auto-purge功能，依据气体压力、钢瓶重量及气体性质自动切换钢瓶，其采用两段式，第一段警告，第二段自动切换。
控制盘面显示讯号包含气体供应状况、气瓶重量、压力显示、all alarm及running status等功能；控制系统采用可程式化逻辑控制(PLC)，能自动及手动控制并能与气体侦测系统(Gas Detection System)相容；所有管线衔接应为自动焊接及VCR gasket Compression Seals；气瓶架歧管阀件上应有Gasket Filter及After Filter；得标商应於现场进行气瓶架之功能测试，现场测试其氦测漏率应≦1X10-9atm-cc/sec。
5.6.承包商需提供气体站内SiH4房之防爆照明灯具、室内空调设施(房间尺寸 m，温度控制范围15~25℃，气瓶柜排气量需与系统承包商确认)，及该房间之排气系统。