14156卢瑟福背散射分析
卢瑟福背散射(RBS)在材料表征中的应用
1、运动学因子 运动学因子K
定性分析的质量分辨率 定性分析的质量分辨率： K称为运动学因子
动力学因子K在入射 角度为180o时与靶原 子质量的关系（入射 离子为粒子）。
从右图中可以看出，随着靶的原子质量 的增加，dK/dMr逐渐减小。这说明，利 用RBS测定轻元素时，其质量分辨率高； 测定重元素时，其质量分辨率低。（注 意：探测器的能量分辨率，动力学因子 都对质量分辨率有影响）。
W.K. Zhu, J.W. Mayer and M.A. Nicolet, Backscattering Spectrometry, Academic Press, 1978.
卢瑟福背散射能谱分析
RBS分析的优点： 1、提供深度信息。可以提供成分和深度的信息。一般的深度分析分 辨率为 150 Å左右；比较精细的分析包括细致的样品和探测器准直 可以达到 50 Å的分辨率 Å的分辨率。 2、比较适合于薄膜分析。RBS对于薄膜分析非常有用，可以程序化 地分析厚度在微米 纳米级的薄膜 地分析厚度在微米－纳米级的薄膜。 3、快速分析。一般情况下，RBS分析可以在10分钟左右完成。 4、高灵敏度。RBS 对于重元素非常敏感，可以精确测定单层薄膜的 信息；对于轻元素敏感度差一些。 5、计算简单。RBS能谱比较容易解释。目前各种计算和模拟软件都 比较成熟。如：RUMP、Simnra等等。 较成熟 如 等等
J.W. J W Mayer and E E. Rimini ed., ed Ion Beam Handbook for Materials Analysis, Academic Press, 1977.
4、阻止截面 阻止截面
能量损失dE/dx随着靶的元素组成和密度变化而变化，因而对于具体的靶难 以查到其dE/dx值。为此引入了阻止截面的概念。 dE/dx包括了高速的入射离子穿过其路径上原子的电子云时的能量损失，以 及在路径上与靶的原子核发生大量小角度碰撞时的能量损失 所以 d /d 及在路径上与靶的原子核发生大量小角度碰撞时的能量损失。所以，dE/dx 可以看作是入射离子通过其路径上的靶原子时所可能发生的全部能量损失 过程的一种平均值。也可以解释为暴露于离子束之下的每个靶原子独立贡 献的共同结果。 献的共同结果 假设靶的厚度为x，靶原子密度为N，则在此x厚度中损失的能量E正比于 将其 数 ： Nx，将其比例系数定义为阻止截面
卢瑟福散射实验报告
陈杨PB05210097 物理二班实验题目:卢瑟福散射实验实验目的:1.通过卢瑟福核式模型，说明α粒子散射实验，验证卢瑟福散射理论；2.并学习应用散射实验研究物质结构的方法。
实验原理:现从卢瑟福核式模型出发，先求α粒子散射中的偏转角公式，再求α粒子散射公式。
1.α粒子散射理论（1）库仑散射偏转角公式设原子核的质量为M，具有正电荷+Ze，并处于点O，而质量为m，能量为E，电荷为2e的α粒子以速度ν入射，在原子核的质量比α粒子的质量大得多的情况下，可以认为前者不会被推动，α粒子则受库仑力的作用而改变了运动的方向，偏转θ角，如图所示。
图中ν是α粒子原来的速度，b是原子核离α粒子原运动径的延长线的垂直距离，即入射粒子与原子核无作用时的最小直线距离，称为瞄准距离。
图α粒子在原子核的库仑场中路径的偏转当α粒子进入原子核库仑场时，一部分动能将改变为库仑势能。
设α粒子最初的的动能和角动量分别为E和L，由能量和动量守恒定律可知：⎪⎪⎭⎫⎝⎛++⋅=••222202241ϕπεr r m r Ze E （1）L b m mr ==••νϕ2 （2）由（1）式和（2）式可以证明α粒子的路线是双曲线，偏转角θ与瞄准距离b 有如下关系：202242Ze Ebctgπεθ= （3）设E Ze a 0242πε=，则 a bctg22=θ（4）这就是库仑散射偏转角公式。
（2）卢瑟福散射公式在上述库仑散射偏转公式中有一个实验中无法测量的参数b ，因此必须设法寻找一个可测量的量代替参数b 的测量。
事实上，某个α粒子与原子散射的瞄准距离可大，可小，但是大量α粒子散射都具有一定的统计规律。
由散射公式（4）可见，θ与b 有对应关系，b 大，θ就小，如图所示。
那些瞄准距离在b 到db b +之间的α粒子，经散射后必定向θ到θθd -之间的角度散出。
因此，凡通过图中所示以b 为内半径，以db b +为外半径的那个环形ds 的α粒子，必定散射到角θ到θθd -之间的一个空间圆锥体内。
RBS卢瑟福背散射-实验报告
实验报告卢瑟福背散射分析（RBS实验姓名：学号：院系：物理学系实验报告一、实验名称卢瑟福背散射分析（RBS实验二、实验目的1、了解RBS实验原理、仪器工作结构及应用；2、通过对选定的样品的实验，初步掌握RBS实验方法及谱图分析;3、学习背散射实验的操作方法。
三、RBS实验装置主要包括四个部分：1、一定能量离子束的的产生装置----加速器2、离子散射和探测的地方----靶室3、背散射离子的探测和能量分析装置4、放射源RBS图1背散射分析设备示意图1•离子源 2.加速器主体3•聚焦系统 4.磁分析器5•光栅6.靶室7•样品8.真空泵9.探测器10.前置放大器11.主放大器12.多道分析器13.输出四、实验原理当一束具有一定能量的离子入射到靶物质时，大部分离子沿入射方向穿透进去，并与靶原子电子碰撞逐渐损失其能量，只有离子束中极小部分离子与靶原子核发生大角度库仑散射而离开原来的入射方向。
入射离子与靶原子核之间的大角度库仑散射称为卢瑟福背散射（记为RBS。
用探测器对这些背散射粒子进行侧量，能获得有关靶原子的质量、含量和深度分布等信息。
入射离子与靶原子碰撞的运动学因子、散射截面和能量损失因子是背散射分析中的三个主要参数。
1、运动因子K 和质量分辨率 1）运动学因子K当一定能量（对应于一定速度）的离子射到靶上时，入射离子和靶原子发生弹性碰撞，人 射离子的部分能量传给了被撞的靶原子，它本身则被散射，散射的方向随一些参量而变化, 如图2（质心坐标系）所示•设Z i , Z 2分别为入射离子及靶原子的原子序数，m 、 M 分别为它们的原子质量，e 为单位电子电荷量，V o 为入射离子的速度，b 为碰撞参量或瞄准距离（即入 射轨迹延伸线与靶原子核的距离 ），x 为散射角•由分析力学可以推导出。
,即存在着大角度的被反弹回来的离子，如图3所示。
RBS 分析中正是这种离子，所人射离于* ff< □~~-图2弹性散射（质心坐标系）图3是实验室坐标系的背散射示意图撞后为v i 和V 2,散射角为0o 可以证明，在 m<W 的条件下，B~,x 即实际上存在着被反向 散射的离子。
课堂六_卢瑟福背散射_280505226
1、运动学因子K
定性分析的质量分辨率： K称为运动学因子
动力学因子K在入射 角度为180o时与靶原 子质量的关系（入射 离子为α粒子）。
从右图中可以看出，随着靶的原子质量的 增加，dK/dMr逐渐减小。这说明，利用 RBS测定轻元素时，其质量分辨率高；测 定重元素时，其质量分辨率低。（注意： 探测器的能量分辨率，动力学因子都对质 量分辨率有影响）。
J.W. Mayer and E. Rimini ed., Ion Beam Handbook for Materials Analysis, Academic Press, 1977.
4、阻止截面ε
能量损失dE/dx随着靶的元素组成和密度变化而而变化，因而而对于具体的靶难 以查到其dE/dx值。为此引入入了阻止止截面面ε的概念。 dE/dx包括了高高速的入入射离子子穿过其路径上原子子的电子子云时的能量损失，以 及在路径上与靶的原子子核发生生大大量小小角角度碰撞时的能量损失。所以，dE/dx 可以看作是入入射离子子通过其路径上的靶原子子时所可能发生生的全部能量损失过 程的一一种平均值。也可以解释为暴露于离子子束之下的每个靶原子子独立立贡献的 共同结果。 假设靶的厚度为Δx，靶原子子密度为N，则在此Δx厚度中损失的能量ΔE正比比于 NΔx，将其比比例系数定义为阻止止截面面ε：
卢瑟福背散射能谱分析
RBS分析设备包括离子源、加速 装置、离子束筛选装置、聚焦装 置、样品室、探测器等等。 离子束产生后经过加速、筛选和 聚焦后达到样品上被散射，经过 探测器得到RBS能谱。
卢瑟福背散射能谱分析
RBS分析设备包括离子源、加速 装置、离子束筛选装置、聚焦装 置、样品室、探测器等等。 离子束产生后经过加速、筛选和 聚焦后达到样品上被散射，经过 探测器得到RBS能谱。
卢瑟福背散射沟道分析技术
E = E0 − ∫
x / cos θ 1 0
dE dx ( x ) dx in dE (x ) dx dx out
x / cos θ 2 dE dE dx ( x ) dx + ∫0 dx ( x ) dx in out
• [S ] 叫作能量损失因子
1 dE [S ] = cos θ1 dx 1 dE + cos θ 2 dx E out
E in
返 回
质量分辨
• 在K因子的推导中曾得出这样一个结论： 因子的推导中曾得出这样一个结论： 因子的推导中曾得出这样一个结论
∆M
2
M 2 ∆ E1 ≈ M 1(4 − (π - θ)2 )E 0
• 采用重离子入射 • 采用倾角入射，即增大θ1 θ2 采用倾角入射，即增大
E
out
薄靶
• 下图为薄靶的背散射图
多元素薄靶 1200 800 400 0 300 320 340 360 道数 380 400 420
计数
厚靶
沟道技术
• 带电粒子沿单晶体 的一定方向入射时， 出现新的物理现 象——离子的运动 受到晶轴或晶面原 子势的控制，相互 作用的几率与入射 方向和晶轴或晶面 的夹角有很大关系。
2
2 2 M 1 sin θ + M 1 cos θ 1 − M M2 2 E1 K= = M1 E0 1+ M2 1
运动学因子— 运动学因子—质量分析
K = 1 − 2 M 1M 2 /( M 1 + M 2 ) (1 − cos θ c )
卢瑟福散射实验
实 验 报 告实验题目：卢瑟福散射实验实验目的：通过卢瑟福核式模型，说明α粒子散射实验，验证卢瑟福散射理论；并学习应用散射实验研究物质结构的方法。
实验原理：见预习报告。
数据处理：1．确定物理0°的位置。
在不同角度下，2s 内计数，结果如下：由上述数据可知2°处为物理0°。
按RESET 清零。
2．测量散射α粒子数。
测量数据及数据处理如下表：P的平均值为：4968.051==∑=i iPP标准差1123.04)(511=-=∑=-i i n P P σA 类不确定度：050.051123.051==-n Au σP=0.95时782.t p=，故139.0050.078.2=⨯==A p u t u因此14.050.0±=P ，P=0.95。
作)2/(sin 1~4θN曲线如下图：102030405060708090100N /100s1/[sin 4(θ/2)]N~1/[sin 4(θ/2)]曲线Linear Regression for Data7_B:Y = A + B * X Parameter Value Error------------------------------------------------------------A 6.80125 4.40716B 0.37696 0.03644------------------------------------------------------------ R SD N P------------------------------------------------------------ 0.98627 5.6309550.00193------------------------------------------------------------由上图可以看出，实验测得的5个点基本在一条直线上，斜率0.37696，因此可以认为P 近似为常数。
卢瑟福背散射分析(RBS)
d d d
2.2.2 背散射微分截面—含量分析
• 探测系统的计数与平 均截面的关系为：
N s N p N 0 dx
返 回
2.2.3能损因子—深度分析
• 背散射中入射离子与靶物质的作用过程机制图：
2.2.3能损因子—深度分析
• 在入射路程中
E E0
x / cos1 0
– ΔE与x的关系是可化简为：
dE k 1 dE x x E x dx E0 cos1 dx kE0 cos 2
表面能近似
• 则在表面能近似下能损因子S定义如下：
k 1 dE dE x x S dx E0 cos1 dx kE0 cos 2
– 说明：表面能近似适用于薄靶，靶厚一般要小 于10000埃，近似误差大概在5%左右（对于 alpha粒子）
数值积分法
• 该方法是建立在表面能近似的基础上的， 对于厚靶，进行切片处理，对每一个薄片 采用表面能近似，再进行积分，这样处理 会提高精度，
– 例：2M alpha粒子入射到Si上，厚度8000埃
2
2.2.1 运动学因子—质量分析
• 令δ=π-θ， δ为一小量，且M2>>M1，则对K因子公式 求M2的偏导数并化减得：
M 1 ( 4 2 ) E0 E1 k E0 2 M 2 M 2 M2
由上式得出要提高质量分辨率：
1.增大入射离子能量
2.利用大质量的入射离子
3.散射角尽可能大
返 回
2.2.2 背散射微分截面—含量分析
• 卢瑟福散射截面公式为： （参见下式，详细推 导参见褚圣麟《原子物理学》P12或王广厚 《粒子同固体物质的相互作用》P8和P105）
卢瑟福阿尔法粒子散射实验说明
卢瑟福阿尔法粒子散射实验说明第一部分：引言1.1 卢瑟福阿尔法粒子散射实验的重要性卢瑟福阿尔法粒子散射实验是物理学领域中具有里程碑意义的实验之一，通过这个实验，人们首次认识到了原子的内部结构和核的存在。
本文将深入探讨卢瑟福阿尔法粒子散射实验的实验过程、结果和意义，希望能够帮助读者更深入地理解这一重要的实验。
1.2 卢瑟福阿尔法粒子散射实验的背景在开始详细解释实验过程之前，我们首先需要了解卢瑟福阿尔法粒子散射实验的背景。
在20世纪初，科学家们普遍认为原子是不可分割的基本粒子，然而，这一观念在进行卢瑟福散射实验之后发生了改变。
...第六部分：个人观点和理解在本文中，我们详细讨论了卢瑟福阿尔法粒子散射实验的实验过程、结果和意义，并探讨了实验对现代物理学的影响。
通过深入的研究，我对这一实验有了更清晰的认识，也对原子结构的探索历程有了更深刻的理解。
我认为，卢瑟福阿尔法粒子散射实验是现代物理学发展历程中的关键一步，它为我们揭开了原子结构的神秘面纱，也为后来的科学研究奠定了坚实的基础。
总结：通过本文的阐述，我们了解了卢瑟福阿尔法粒子散射实验的实验背景、过程、结果和意义，深刻认识到了这一实验对原子结构研究和现代物理学发展的重要性。
希望本文能够帮助读者更深入地理解这一重要的实验，并对原子结构的探索历程有一定的了解。
我也希望本文能够激发读者对科学研究的兴趣，鼓励大家进一步了解和探索这一令人着迷的领域。
作者急切地期盼着读者们能够对卢瑟福阿尔法粒子散射实验产生兴趣，并对这一重要实验进行更深入的了解和探索。
接下来，我们将进一步扩展和深化关于实验过程、结果和意义的讨论，同时也会涉及到一些相关实验和理论的发展，以便更全面地了解这一实验对现代物理学的重要性。
2.1 实验过程的详细讨论在卢瑟福阿尔法粒子散射实验中，实验装置包括一个具有一定厚度和一定粒度的金属箔，以及一台阿尔法粒子发射装置和一个探测屏。
当阿尔法粒子通过金属箔时，它们会与金属原子核发生散射，然后经过一定角度后，散射的阿尔法粒子会被探测屏捕捉到。
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2 2 θ+ M 2 M 1cos 2 - M 1 sin θ 2 ) 称为背散 式中 , K = ( M1 + M2
射运动因子 , 它仅与 M 1 , M 2 和 θ有关 。靶原子质 量越重 ,散射离子能量越大 。散射离子能量差越大 , 越容易区分不同质量的靶杂质原子 。 1. 2 背散射能量损失因子 离子在贯穿样品时 , 要与靶原子电子发生非弹 性碰撞 ( 即电离和激发) 而损失其能量 。若入射束和 散射束与样品表面法线间的夹角分别为 θ 1 和θ 2 (见 图 1c) ,入射离子在靶样品表面时的能量为 E0 ,则到 达样品内一定深度 t 发生碰撞前的离子能量为 E θ t/ cos 1 d E ( ) dx ( 2) E = E0 dX 1 0 式中 ( d E/ d X ) 1 为入射离子在该靶物质中的阻止本
( d E/ d X ) 2 也可以用入射和出射路程上的平均能
量 ,即 Ei n =
(c) 背散射几何关系
1 1 ( E0 + E) 和 Eout = ( E1 + KE) 时的 2 2 ( d E/ d X ) 值作为近似来计算 。进一步近似 , 可把
Ei n和 Eout 写成 Ei n = E0 -
球表面元素成分分析至今 ,已发展成熟 ,成为一种常 规的杂质成分 、 含量及深度分布 、 膜厚度分析手段 , 在材料 、 微电子 、 薄膜物理 、 能源等领域进行交叉学 科的研究中 ,有着重要的作用 。 本文 将 对 卢 瑟 福 背 散 射 谱 学 ( Rut herford Backscattering Spect romet ry , RBS) 基本原理和它的 应用作一些介绍 [ 1～4 ] 。
由式 ( 5) 得到深度分辨率为 Δ ED Δt =
[S]
( 12)
2 卢瑟福背散射分析实验设备 、 样品和最佳
实验条件选择
2. 1 实验设备
卢瑟福背散射分析的实验设备由小型粒子加速 器、 真空靶室和粒子探测器及电子学线路组成 。单 级或串列静电加速器提供 MeV 能量的4 He 离子或 质子束 , 束斑直径 <1mm 左右 , 流强几十至几十纳 安 。靶室真空度为 10 - 4 ～ 10 - 5 Pa , 靶室中安装样 品、 样品平动及转动装置和金硅面垒型半导体探测 器 。将探测到的背散射粒子信号经前置放大器和主 放大器送到微机多道脉冲分析器记录粒子能谱 。实 验时同时用束流积分仪记录入射到样品上的束流 ( 入射离子数) 。 2. 2 样品 背散射分析的样品一般都是表面平整 、 光洁的 半导体和金属等薄膜或固体样品 。对陶瓷等绝缘材 料 ,为防止表面电荷堆积 ,应在其表面蒸镀几个至几 十纳米的导电层 ( 如 Al 膜 ) 。有机膜材料受束流轰 击后易损坏 ,分析时应尽量使用很小的束流强度做 实验 。因分析束斑较小 , 故样品大小只需 5mm × 10mm 左右就可以了 。样品 ( 包括衬底) 的厚度一般 在 0. 5 ～ 2mm 之间 , 常规的背散射分析 , 可分析的 样品深度为几百纳米至 1 微米之间 。样品架上一次
可同时安装上好几个样品 ,不必破坏靶室真空 ,只需 移动样品架 ,就可对这些样品逐一进行分析 。 2. 3 最佳实验条件选择 做背散射分析时 ,为得到好的质量分辨率 、 深度 分辨率和探测灵敏度 ,需对探测角度 、 离子种类和能 量等进行合理选择 。从 K 值和σ 公式可知 , 在 θ = 180° 附近测量散射粒子最为有利 , 这时 9 K/ 9θ 小 , σ变化小 ,可增大探测立体角 Ω 来提高探测效率 。 一般 θ选 165° 或 170° 角度 ,Ω 为几个毫环面度 。 由式 ( 1) 得到质量分辨率为 Δ M 2 = (Δ E1 / E0 ) ・
收稿日期 :2000210225
( a) 离子与靶原子的弹性碰撞
( b) 背散射谱仪系统
・41 ・
国庆 : 卢瑟福背散射分析
ΔE = [
K dE ( ) θ cos 1 dX
E0
+
1 dE ( ) θ cos 2 dX
KE0
] t = [ S0 ] t ( 5)
式中 [ S 0 ] 称为背散射能量损失因子 。这样 , RBS 谱 上能量与深度之间具有线性关系 。 ( d E/ d X ) 1 和
( d K/ d M 2 )
- 1
,如果 Δ E1 等于探测器系统的能量分
( M 1 + M 2 ) 3 Δ ED 4 M 1 ( M 2 - M 1 ) E0 M 2 Δ ED 4 M 1 E0
2
辨率 Δ ED ,且 θ= 180° ,于是 ΔM 2 =
( 10) ( 11)
当 M 2 µ 1 时 ΔM 2 =
∫
0
θ t/ cos 1
(
dE ) dx + dX 1
∫
0
θ t/ cos 2
(
dE ) d x ( 4) dX 2
Δ E 与深度有关 。所以离子背散射分析可获得样品 中原子的深度分布和薄膜厚度信息 。对于深度 ( 或 膜厚度 ) 小于几百纳米的样品分析 , ( d E/ d X ) 1 和 ( d E/ d X ) 2 可视为常数 。用能量为 E0 时的 ( d E/ d X ) E0 替代 ( d E/ d X ) 1 , 用 KE0 时的 ( d E/ d X ) KE0 替 代 ( d E/ d X ) 2 ,即采用表面能量近似来计算 。于是 Δ E 可写成
离子发生背散射的几率 , 可用卢瑟福散射截面 公式计算
2 4 Z2 1 Z2 e
θ+ cos
σ=
M1 )2 1 - ( sinθ M2
2
4 E2 sin4θ
M1 )2 1 - ( sinθ M2
( 6)
∫
式中 Z1 , Z2 — — — 入射离子和靶原子的原子序数 e— — — 电子电荷 σ— — — 微分散射截面 ,cm2 Z2 越大 ,σ越大 , 因此离子背散射对轻基体中的重 杂质分析较为灵敏 。 1. 4 背散射产额和能谱 如果用束流积分仪测定的入射离子数为 Q , 探 测器对样品所张的立体角为 Ω ,样品单位面积上的 原子数为 N t ,则在散射角度 θ方向 ,被探测器所记 录的散射粒子计数 ( 产额) A 为 ( 7) A = Qσ N tΩ 若一单位面积上含有等量的 O , Si ,Cu ,Ag 和 Au 原 子的薄样品 , 其背散射能谱 ( 横坐标为散射离子能 量 ,纵坐标为产额计数 ) 为五个分裂的小峰 。根据 K 因子公式和σ 公式 , 与重元素 Au 发生背散射后 的能量最大 , 计数最多 ; 与 O 散射后的离子能量最 小 ,计数最少 。由于探测器系统固有的能量分辨率 影响 ,从这薄样品上各元素散射的离子能谱呈高斯 型分布的小峰 。 对于有一定厚度的样品 ,背散射能谱呈矩形状 。 谱的高能侧 ( 前沿半高处) 为对应于从样品表面散射 的离子能量 KE0 ,低能侧 ( 后沿半高处 ) 对应于从样 品后表面 ( 或一定深度处) 散射后到达探测器的能量
Keywords : Rut herford backscattering ; Surface layer analysis ; Thin film analysis
卢瑟福背散射分析是固体表面层和薄膜的简 便、 定量 、 可靠 、 非破坏性分析方法 ,是诸多的离子束 分析技术中应用最为广泛的一种微分析技术 。从
第 38 卷第 1 期 2002 年 1 月
) PTCA ( PAR T A : PH YSICAL TESTIN G
理化检验2物理分册
Vol. 38 No. 1 Jan. 2002
表面分析技术专题讲座
卢瑟福背散射分析
赵国庆
( 复旦大学现代物理研究所 , 上海 200433)
摘 要 : 对卢瑟福背散射分析的基本原理作了概要的介绍 。论述了背散射分析的最佳实验条
1 基本原理
卢瑟福背散射分析的原理很简单 。一束 MeV 能量的离子 ( 通常用4 He 离子 ) 入射到靶样品上 , 与 靶原子 ( 原子核) 发生弹性碰撞 ( 见图 1a) ,其中有部 分离子从背向散射出来 。用半导体探测器测量这些 背散射离子的能量 ,就可确定靶原子的质量 ,以及发 生碰撞的靶原子在样品中所处的深度位置 ; 从散射
领 ,它是离子能量的函数 。在 t 深度处 , 能量为 E 的离子与靶原子发生背散射后 , 其能量为 KE 。这 些背散射离子贯穿样品时 , 同样要经受能量损失 。 在 θ方向穿出样品表面时的能量 E1 为
E1 = KE -
∫
0
θ t/ cos 2
(
dE ) dx dX 2
( 3)
式中 ( d E/ d X ) 2 为出射离子在靶物质中的阻止本 领 。因此 ,探测器所测到的从样品表面发生背散射 的离子能量 KE0 和从 t 深度处发生背散射的离子 能量 E1 之间的差异Δ E = KE0 - E1 。 ΔE = K
RU THERFORD BAC KSCA T TERIN G ANAL YSIS
ZHAO Guo2qing
( Institute of Modern Physics , Fudan University , Shanghai 200433 , China)
Abstract : The essential principle of Rut herford backscattering analysis is explained briefly. The optimization con2
[S E ] ( ) δ( KE) = S KE δE1 S ( E1 ) ( 9)
式中 δE1 为能谱中每一道所对应的能量 , 称道宽 , 一般为几个 keV ; S ( KE) 和 S ( E1 ) 分别为能量 KE 和 E1 的离子在样品中的阻止本领 ; [ S ( E) ] 为离子 能量 E 时的背散射能量损失因子 。 H ( E1 ) 与 N 有 关 ,因此 ,卢瑟福背散射分析可给出元素深度分布信 息 。同样 ,由于探测器固有能量分辨率 、 入射束的固 有能散和出射束在样品中的能量歧离效应 ( 能量损 失的统计涨落 ) 影响 , 厚样品 RBS 能谱的前沿和后 沿谱线不是很陡了 。对于无限厚样品 , RBS 谱的低 能侧一直连续延伸到最低道数处 , 随着深度的增加 入射粒子能量逐渐降低 ,散射截面增大 ,因而谱高度 逐渐增高 。背散射谱的形状和深度分布都可用计算 机程序模拟和分析得到 [ 5 ] 。