EVO-18 扫描电镜操作规程
蔡司EVO18电镜技术说明
蔡司EVO18电镜技术说明钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号:EVO 18Attachment-1/24蔡司SMT目录附件一、品牌介绍附件二、设备用途附件三、技术指标附件四、供货范围附件五、计划进度及培训附件六、环境要求附件七、质保及其它服务蔡司SMT附件一: 聚焦?CARL ZEISS世界可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。
其电子光学前身为LEO(里奥),更早叫Cambridge(剑桥)和Zeiss。
积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一: , 第一台静电式透射电镜 (1949), 第一台商业化扫描电镜 (1965), 第一台数字化扫描电镜(1985), 第一台场发射扫描电镜(1990), 第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992), 第一台具有Koehler照明的 200kV 场发射透射电镜(2003), 第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。
自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。
其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。
作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。
Carl Zeiss SMT下属的纳米技术系统部在北京，上海，广州，鞍山设有营销公司和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。
蔡司SMT附件二:设备主要用途扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，，产生各种同试样性质有关的物理信息(如二次电子，背反射电子)，然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。
EVO18技术说明
钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号：EVO 182009年6月3日目录附件一、品牌介绍附件二、设备用途附件三、技术指标附件四、供货范围及报价附件五、计划进度及培训附件六、环境要求附件七、质保及其它服务附件一：聚焦·CARL ZEISS世界可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。
其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。
积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：•第一台静电式透射电镜(1949)•第一台商业化扫描电镜(1965)•第一台数字化扫描电镜(1985)•第一台场发射扫描电镜(1990)•第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)•第一台具有Koehler照明的200kV 场发射透射电镜(2003)•第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。
自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。
其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。
作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。
Carl Zeiss SMT下属的纳米技术系统部在北京，上海，广州，鞍山设有营销公司和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。
附件二：设备主要用途扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背反射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程扫描电镜操作规程一、开机（电源开关和准备开关均为打开状态）1、开水(系统不报警方可)；2、开总电源；3、电气柜后面开关打开，将自动/手动（AUTO/MAN）开关拔到自动（AUTO）的位置，此时电炉进行加热；4、抽真空30分钟后，断开准备开关；5、开系统软件；6。
、打开主机前面面板上的电气柜开关（CONSOLE POWER），抽真空10分钟。
二、准备观测图像1、打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置；2、加高压（30KV）导电性不好的产品（20-25KV），加高压时最好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值；3、调节对比度和亮度：①调节对比度，使图像上出现一些噪声为最佳，一般情况下在60左右；②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右；4、加灯丝：顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右；5、机械对中：每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点；6、物镜光阑对中（合轴）：①选区，并挑选图像上的一个特征点；②选择放大倍数1000-2000范围；③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动；④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动最小为止；7、像散消除：选择“选区”位置，从放大倍数1000倍开始消像散，增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象；8、拍照、保存。
三、系统停机1、关闭加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA；2、将对比度降至最低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0；3、关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭；4、关闭主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。
SEM操作规程
EVO18 SEM/EDS操作流程
1.开机，开启电镜后面的空开，OFF灯亮。
（如果不亮，检查设备供
电及电源插头）
2.按下Standby，真空系统开始工作（机械泵、分子泵开始工作）（如
果机械泵声音异常或不工作，检查机械泵泵油和供电）
3.按下On，PC自动开启，进入Windows。
4.双击SmartSEM，EM Server启动，电镜开机自检，输入用户名及
密码
5.点击VENT放气，注意N2减压阀要小于0.03mpa，以保护EDS
探头，更换样品。
6.点击PUMP，等待真空达到工作状态（1.3 x 10-4mbar）
7.检查Gun选项卡，确认参数后，开启电子枪，检查灯丝像，并进
行调整。
8.选择合适的探头，进行样品观测，低倍找感兴趣区域，高倍观测，
并对图像进行调节。
9.对图像慢扫，进行保存
10.如果进行EDS分析，点击Remcon32，打开端口，并打开EDS电
脑Aztec软件，确认通讯正常。
11.调整电镜参数，抓取电镜图像，进行元素分析。
12.关闭电子枪，放气后取出样品，重新抽真空。
13.关闭EDS电脑，关闭电镜电脑，依次按下Standby、OFF，间隔
30s。
EVO18使用说明
Carl Zeiss SMT - Nano Technology Sy st e ms EVO® MA /LS 系列扫描电子显微镜使用说明ZEISS EVO® MA/LS系列扫描电子显微镜使用说明Contents目录Section 1. General Information 第一章综合信息 (1)1．Abstract 概要 (1)2. Important Information 重要信息 (2)3. Safety Precautions (Warnings and Cautions) 安全措施（警告和注意） (2)4. Notes about the Mains Supply 关于主电源的说明 (4)5. Use of Liquid Nitrogen 液氮的使用 (4)6. Do’s and Don’ts 可做和不可做 (6)Section 2. Basic design Principles of the SEM 第二章SEM 的基本设计原理 (7)1. Introduction 介绍 (7)2. Resolution. 分辨率 (8)3. Depth of field 景深 (9)4. Microanalysis. 微区分析 (10)5. Beam Specimen interactions. 电子束与样品的相互作用 (12)6. Detectors 探测器 (14)7. How it works 如何工作 (16)8. Specimen preparation guidance. 样品制备指南 (21)Section 3. Operation of the SEM 第三章SEM的操作 (25)1. Consider the properties of the specimen 样品性质的考虑 (25)2. Guide to SEM Operating Parameters SEM工作参数指南 (26)2.1 Conductive specimens 导电样品 (26)2.2 Non-conductive specimens 非导电样品 (27)2.3 Imaging wet samples using the Peltier coolstage 使用帕尔贴冷台观察含水样品 (29)3．Sequence Guide to Operation of the SEM SEM操作顺序指南 (31)Section 4. Operation of the SmartSEM®第四章SmartSEM®的使用 (32)1. Introduction (32)1.1. Intended use 预期用途 (32)1.2. About this software 关于本软件 (32)1.3. Safety instructions in this section 本部分中的安全指示 (32)2. Description 描述 (34)2.1. System requirements 系统要求 (34)2.2. Installation 安装 (34)2.3. Principle of operation (34)2.4. SmartSEM® user interface (UIF) SmartSEM®用户界面 (35)2.5. User access levels 用户访问级别 (37)3. First steps 第一步 (38)3.1. Switching on the SEM 开启SEM (38)3.2. Starting the SmartSEM® user interface 启动SmartSEM®用户界面 (39)3.3. Finding your way in the software 在软件中找到您的方式 (41)3.4. Obtaining the first image 获得第一幅图像 (46)3.5. Using the help functions (63)3.6. Closing the SmartSEM®software 关闭SmartSEM®软件 (68)4. Operation 操作 (69)4.1. Controlling the vacuum 控制真空 (69)4.2. Navigating the specimen 样品导航 (75)4.3. Setting SEM conditions 设置电镜条件 (89)4.4. Imaging 成像 (99)4.5. Annotating images 注释图像 (125)4.6. Working with recipes 用配方工作 (135)4.7. Saving and managing images 存储和管理图像 (142)4.8. Customising the SmartSEM®software 定义SmartSEM®软件 (149)5. Troubleshooting 故障处理 (162)5.1. Initialising the stage 初始化样品台 (163)5.2. Changing the joystick TV angle 改变操纵杆TV 角 (164)5.3. Resetting touch alarm (165)Section 5. Appendices 第五章附录 (166)1. Replacement of filament 更换灯丝 (166)2.Table of Pressure Limiting Apertures 压差光栏表 (170)3. An introduction to Macros 宏指令介绍 (171)4．Shortcuts 快捷键 (182)5．Annotation icons 注释栏图标说明 (184)Section 1. General Information 第一章综合信息1．Abstract 概要本使用说明向新用户介绍ZEISS EVO系列扫描电子显微镜（SEM）。
扫描电镜基本操作
扫描电镜基本操作扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，可以对样品表面进行扫描，获得高清晰度、高放大倍数的图像。
下面将介绍扫描电镜的基本操作流程。
1.准备工作：a.打开电镜室门，确保电镜室的温度和湿度处于适宜范围内。
b.穿戴好实验室所需的个人防护装备，如手套、护目镜和实验服等。
c.打开电镜主机的电源，等待电镜系统启动完成。
2.样品制备：a.选择适当的样品，并将其切割成小块，大小约为2-5毫米。
b.将样品固定在样品架上，并使用导电胶固定好。
c.将样品架放入样品台的样品仓中，并调整好样品的位置。
3.调节参数：a. 调节电子束对准仪（Electron Beam Alignment）：使用电子束对准仪对电子束进行调节，使其准直，并使束斑圆形对称。
b.调节电镜放大倍数：根据样品的大小和需要的分辨率，选择合适的放大倍数。
c. 调节工作距离（Working Distance）：调节样品与电子枪的距离，以获得最清晰的图像。
4.图像获取：a. 打开电子枪（Electron Gun）和电子镜（Objective Lens），调节电子束的亮度和对比度，使图像清晰可见。
b.调节扫描线圈和透镜电流，根据需要调整图像的聚焦和深度。
c.使用电子束扫描样品表面，通过检测电子的散射信号，生成图像。
d.调整扫描速率和扫描模式，以获得更多的图像细节。
5.图像处理：a.将图像转移到计算机上，进行存储和分析。
b.使用图像处理软件对图像进行增强、增加对比度、调整亮度等操作，以改善图像质量。
c.使用测量工具对图像中的尺寸、表面形貌等进行检测和分析。
6.清洁和保养：a.使用真空泵或气体吹枪等清理系统内的灰尘和杂质，以保持显微镜的清洁。
b.对电子枪和电子镜等关键部件进行定期维护和清洁，以保证其正常运行和寿命。
以上是扫描电子显微镜的基本操作流程。
在实际操作中，还需要根据具体的样品和要求进行一些细微的调整和处理。
EVO18电镜操作培训ppt课件
2、原子序数效应： 二次电子图像中包含有与原子序数有明显的 依赖关系的背散射电子图像， 因此，二次电子 图像的衬度中也包含了原子序数引起的衬度。
背散射电子像
二次电子像
表面抛光的合金
3、电场和磁场： 电压衬度：正电位——黑区，负电位——亮 区。 不同的磁场强度分布，也可以形成衬度。 4、样品充电（荷电效应） ： 导体——不产生电荷 积累，可直接观察。 非导体——局部充 电产生过强衬度，应在 表面镀导电膜。 样品表面充电引起的过强衬度
若SEM分辨能力为10nm，人眼分辨能力 为0.2mm，则
M 有效 0.2( m m) 2 104 10( nm)
第四部分 电镜样品的处理和制备
• • • • • 样品要干燥、洁净，没有挥发性和腐蚀性 物质。 不要用裸手去接触样品和样品台，含有溶 剂的样品要充分去除溶剂。 样品导电性良好。 样品在电子束照射下稳定。 样品要牢固地固定在样品台上。
• 加灯丝电流 • 真空度达到要求后，屏幕右下角的Vac会打 上绿钩 • 点击右边的Gun，选择Beam On • 灯丝电流加载完后，Gun也会打上绿钩
• 样品定位 • 选取 stage/navigation • 双击所要观测样品桩
• 调整样品台高度 • 在TV模式下调整高度
样品台目前所在的位置 选择时，样品台在泄真 空时自动下降到最低点 选择时，SEM显示的工作 距离随样品台的Z方向移 动自动进行更性。特别是磁性粉末样品 会对电子光学系统造成危害。 • 如果是铁磁性块状样品，必须尽可能减小 样品尺寸（不大于3×3mm2)，且用导电胶牢 固地固定在样品台上。 • 样品要清洗干净，表面不能有污染。 • 表面导电性不好的样品要镀导电膜。
粉未试样
• 用溶剂或水将粉末超声分散后滴在盖玻片 上，然后将盖玻片固定在样品台上。 • 也可用碳导电胶带固定粉末，并将胶带上 表面与样品台用导电胶连通。 • 样品粘好后，用吸耳球用力将未固定牢固 的粉末吹走，以免污染电镜。 • 镀导电膜。
蔡司EVO18扫描电镜操作规程
蔡司E V O18扫描电子显微镜操作规程为保证人员安全和设备安全，扫描电镜操作人员必须经过培训并且严格按照操作规程进行操作，蔡司EVO 18扫描电镜的操作分为三大部分：一、准备工作检查实验室电源、温度和湿度等环境条件，并准备好所需实验材料；二、实验过程实验过程主要包括设备开机、待机、待机重启和关机四个部分：（一）、开机操作:1、打开墙上空气开关；2、启动UPS：打开UPS电池开关，按前面面板上ON键，至两个绿灯亮；3、按下电镜黄灯：机械泵打开，分子泵、潘宁计、离子泵顺序自动启动；4、按下绿灯：计算机自动启动；5、打开SmartSEM软件，输入用户名system以及密码；6、检查真空读数，等待几分钟至System vacuum<1.2×10-4mBar，真空就绪；7、检查灯丝设置，开启扫描电镜灯丝；8、检查灯丝像和光阑对中；9、观察样品，从低倍到高倍对样品进行观察和拍摄图片。
（二）、待机步骤：1、关闭灯丝；2、打开TV，降下样品台，注意样品台是否会碰到探头；3、关闭SmartSEM软件，包括关用户界面和EM Server；4、关闭电脑；5、关能谱控制器及能谱电脑；6、按下黄灯，电子光学系统、样品台、检测系统关闭，灯丝与真空系统继续工作。
（三）、待机重启步骤：1、按下绿灯，电脑自动启动；2、启动SmartSEM软件，输入用户名System以及密码；3、检查真空读数；4、换样或加高压观察样品。
（四）、关机步骤：1、关灯丝；2、打开TV，降下样品台；注意样品台是否会碰到探头；3、关SmartSEM软件；包括关用户界面和EM Server；4、关电脑；5、关能谱，包括能谱控制器及能谱电脑；6、按下黄灯，电子光学系统、样品台、检测系统关闭；7、按下红灯；真空系统关闭；8、必要时，关UPS；9、必要时，关总空气开关。
三、注意事项1、操作过程中一定注意样品和设备探头的工作距离，以防碰到探头；2、长时间不使用电镜时，每周至少保持抽真空两次，保持机器内真空度。
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ZEISS EVO-18 扫描电镜操作规程
1、将控制面板灯从红色的“OFF”依次按到—黄色的“STANDBY”—
绿色的“ON”按钮。
2、打开计算机，进入“”“SmartSEM User Interface”操作系统，屏幕上会
出现一个“EM Server”状态栏，不用动等他自动运行。
然后会出现一个“用户名和密码”，选择填写用户名为“system”即可，密码没有。
这样就进入了操作软件，点击屏幕上方的“TV”模式，可以看到样品室的状态。
3、然后进行样品制备，将样品通过导电胶粘到设备标准样品台上粘牢。
样品高
度严格要求在20mm以内，同一批样品高度尽量统一，最大高度差不能超过5mm。
样品最大长度和宽度不能超过样品台直径20mm。
4、首先将氮气瓶的总阀门逆时针打开，减压阀不动，在操作软件右侧
“SEM control”界面，点击“Vaccum”按钮，再点击“Vent”进行放气，等样品室门有明显缝隙能够打开的时候，将氮气瓶总阀门顺时针关上，将样品台背面的卡槽和样品室内的卡槽对应上，装上样品台。
将样品室门关紧用手按住，同时点击“Vaccum”按钮中的“Pump”进行抽真空。
等待真空值达到“System Vaccum=3.00e-005mbar”以上。
5、然后点击“SEM control”界面内点击“Gun”按钮，选择“Beam State”下拉
框为“Beam On”将灯丝电压和电流自动升到固定值。
升好后，在“TV”模式下，将样品调到适当高度，点击“Stage Navigation”根据样品地图点击相应位置，找到想要看的样品位于中心位置。
然后再点击“TV”将切换到“SEM”
扫描模式，在“SEM control”界面内点击“Scanning”按钮，将“Noise Reducion”
下面的两个下拉框，分别选择为“End Frame”和“Line Avg”。
一般N=20，进行样品观察。
这时再看屏幕右下角的“WD”值，“WD=8.5~12mm”为最佳，如果不在这个范围，通过“TV”模式再进行调节。
6、样品观察时，有几个键务必记住，界面全屏切换“Shift+F3”；观察区域移动
至中心位置“Ctrl+Tab”；小区域聚焦框健“Reduced”；粗细调焦转换健“Tab”。
操作面板上有“放大按钮”和“调焦距”按钮需要熟练操作。
7、样品观察结束后，进行第“5”步操作，然后点击“SEM control”界面内点
击“Gun”按钮，选择“Beam State”下拉框为“Shut Down”将灯丝电压和电流自动降为零。
等几分钟后再进行第“4”步操作，将样品室放气，取样品，再抽真空。
等真空度抽到“System Vaccum=3.00e-005mbar”以上时，将软件程序退出，关闭“EM Server”状态栏。
关掉计算机。
进行能谱测试的计算机
也关机。
最后进行第“1”步操作，将控制面板灯从绿色的“ON”按钮—依次按到黄色的“STANDBY”, 再等几分钟，—按红色的“OFF”。
8、有需要对样品进行能谱测试的时候，需要在第“2”步操作时，也打开能谱计
算机，点击桌面上的“INCA”软件，输入密码为“INCA”，进入界面。
同时在扫描电镜计算机上进入“Smart SEM User Interface”操作系统时，有“Remcon 32”的对话框出现，点击绿色的对号，出现黄色字符串，代表两台机器已经连上，可以进行能谱测试了。
然后在能谱软件程序里，进行相应的分析测试。
做能谱时，要求工作距离在调好聚焦情况下在10-15mm之间，高低样品差距较大的尤其要注意高度调节。
进行能谱分析时，I-probe 数值拉动到700-800PA 即可，一定不能超过1nA。
做完能谱分析后将电流再调回扫描状态下的数值，50-100PA。