干式真空泵
干式真空泵标准
干式真空泵标准一、范围本标准规定了干式真空泵的术语和定义、型号与结构、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于干式真空泵的设计、生产、使用和检验。
二、规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
三、术语和定义干式真空泵是指一种通过机械运动使气体产生压缩，从而降低气体压力的设备。
它不依赖于任何液体的参与，因此也被称为无油真空泵。
四、型号与结构干式真空泵的型号和结构应符合相关标准的规定。
其主要由泵体、叶轮、泵盖、轴等组成。
五、技术要求1. 性能要求：干式真空泵的性能应符合相关标准的要求，包括抽气速率、极限压力等。
2. 外观要求：干式真空泵的外观应整洁，无明显划痕、毛刺等缺陷。
3. 尺寸要求：干式真空泵的主要尺寸应符合设计图纸的要求。
4. 材质要求：干式真空泵的主要部件应采用符合要求的材质制造。
5. 运转要求：干式真空泵在正常工作条件下应平稳运转，无异常声响。
6. 可靠性要求：干式真空泵应能满足规定的可靠性指标，如平均无故障时间等。
7. 能效要求：干式真空泵的能效应符合相关标准的要求。
六、试验方法1. 外观检查：采用目视法对干式真空泵的外观进行检查。
2. 尺寸测量：采用测量工具对干式真空泵的主要尺寸进行测量。
3. 性能测试：在规定条件下，对干式真空泵的性能进行测试，包括抽气速率、极限压力等。
4. 可靠性试验：在规定条件下，对干式真空泵进行长时间运行试验，以评估其可靠性。
5. 能效测试：在规定条件下，对干式真空泵的能效进行测试。
七、检验规则1. 出厂检验：每台干式真空泵在出厂前都应进行检验，确保其符合本标准的要求。
2. 型式检验：在产品研发、定型及批量生产阶段，应进行型式检验，以验证产品是否符合本标准的要求。
3. 定期检验：对于长期使用的干式真空泵，应定期进行检验，以确保其性能和可靠性。
螺杆干式真空泵工作原理
螺杆干式真空泵工作原理螺杆干式真空泵是一种常用的真空设备，它的工作原理是通过螺杆的旋转来实现气体的压缩和抽取，从而达到产生真空的目的。
螺杆干式真空泵主要由主机、进气口、排气口和控制系统等组成。
当泵启动时，气体从进气口进入泵内，然后被螺杆旋转压缩，并随着螺杆的运动逐渐排出泵体。
在这个过程中，螺杆和泵体之间的间隙是非常小的，因此气体能够被高效地压缩和抽取。
螺杆干式真空泵的运转过程可以分为四个阶段。
首先是进气阶段，气体通过进气口进入泵内，同时螺杆开始旋转。
在进气阶段，泵体内的气体被螺杆吸入并被压缩。
然后是压缩阶段，螺杆的旋转使气体被进一步压缩，气体的温度和压力都会上升。
接下来是排气阶段，当气体被压缩到一定程度时，排气口打开，气体被排出泵体。
最后是排气完成阶段，当气体被完全排出泵体后，泵停止运转。
螺杆干式真空泵的工作原理基于螺杆的旋转运动和气体的压缩。
螺杆的旋转使得气体被连续地压缩和抽取，从而形成真空。
相比于其他类型的真空泵，螺杆干式真空泵具有以下几个优点。
螺杆干式真空泵可以在干燥的环境下工作，不需要使用任何润滑剂。
这样可以避免润滑剂对真空系统的污染和泄漏的问题。
螺杆干式真空泵的抽取速度较快，可以快速达到所需的真空度。
这对于一些需要较高真空度的应用非常重要。
螺杆干式真空泵具有较低的振动和噪音水平，工作稳定可靠。
这使得它在一些对噪音和振动要求较高的场合得到广泛应用。
总的来说，螺杆干式真空泵是一种高效、节能、环保的真空设备。
它的工作原理简单明了，通过螺杆的旋转来实现气体的压缩和抽取。
在实际应用中，螺杆干式真空泵被广泛应用于电子、化工、医疗、冶金等领域，为各行业的生产和科研提供了可靠的技术支持。
干式真空泵
干式真空泵干式真空泵是一种不需要润滑液的无油气体泵，它可以达到高真空（高达10^-8 mbar），并且可以更加可靠地处理有害物质，因为没有润滑液会污染物质。
与传统的液体环真空泵相比，干式真空泵具有更高的效率和更长的寿命。
工作原理干式真空泵以类似于压缩机的方式工作，但是没有任何液体润滑介质。
在内部，泵将气体压缩到较高的压力，然后将其排放到外部环境中。
干式真空泵还包括一个旋转机构，该机构旋转以消除速度梯度，从而在整个泵中创建一个均匀的气体流。
优点与应用干式真空泵具有许多优点，除了无需润滑液外，它还能够处理有害气体，因为在整个系统中没有液体润滑剂可以污染或吸收这些气体。
这使得它非常适合需要处理有机化学品、溶剂或高腐蚀性气体的实验和工业应用。
在半导体行业，干式真空泵也被广泛应用于制造过程中。
由于干式真空泵可以处理有害气体，同时也可以保证生产过程的重复性和稳定性，因此在这个行业和其他一些需要高度洁净环境的行业中使用。
另一个优点是，干式真空泵相对于液体环真空泵更加节能，更加环保。
由于减少了液体润滑剂的使用，可以减少对环境的影响。
此外，干式真空泵还可以降低生产和维护成本。
不足之处虽然干式真空泵具有许多优点，但是它们在某些方面可能会有限制。
例如，由于这些泵的工作原理，它们主要适用于轻质气体。
对于重型气体，它们需要更多的功率来运行，并且需要更高的维护水平以确保持续的性能。
总的来说，干式真空泵是一种可靠、高效、环保的气体泵，它在许多实验和工业应用中都得到了广泛应用。
随着技术的进步和新的应用场景的发现，它们的应用范围还将继续扩大。
干式真空泵的工作原理
干式真空泵的工作原理
干式真空泵是一种不需要润滑剂的真空泵，它通过特殊的结构和工作原理实现真空抽取。
工作原理如下：
1. 真空泵的主体部分是由叶轮和固定旋片组成的转子。
转子通过电机的驱动旋转。
2. 真空泵的转子由两片不同型号的叶轮组成，一片是前级抽气叶轮，一片是后级抽气叶轮。
这两片叶轮呈交叉排列，并且叶轮相互咬合。
3. 在转子的周围设有吸气室和排气室。
当空气进入吸气室时，由于叶轮的旋转，空气被带到叶轮之间的间隙处，然后由于离心力的作用，空气被推向叶轮的外环缘处，进入排气室。
4. 排气室中的空气进一步受到离心力的作用，从而被排出真空泵。
总结来说，干式真空泵通过旋转的叶轮和离心力的作用，将吸入的气体推向排气室，从而实现了真空抽取的作用。
同时，干式真空泵没有需要润滑剂，可以避免润滑剂对真空抽取的污染。
干式真空泵生产工艺流程
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干式真空泵操作规程
干式真空泵操作规程
《干式真空泵操作规程》
一、使用前检查
1. 检查电源是否接好，接地是否良好。
2. 检查密封圈是否完好，有无破损或老化。
二、操作步骤
1. 打开干式真空泵前先打开对应的阀门，并关闭与其他设备的连接。
2. 开始操作前，先将泵内部部件用洁净的酒精擦拭干净。
3. 打开主电源开关，启动泵。
4. 观察真空泵的运行状态，如有异常声音或震动应停止运行检查原因。
5. 当真空泵正常运行后，逐步打开相应的阀门，将空气逐渐抽空。
同时保持观察真空度表的读数，确保泵运行正常。
6. 当需要停止操作时，先关闭阀门，并等待真空泵停止后再关闭主电源开关。
三、维护保养
1. 每次操作结束后，必须清洁泵体，特别是排气口和滤网。
2. 定期更换滤网，并检查密封圈的完好情况，如有破损应尽快更换。
3. 定期对泵进行检查和保养，确保其正常运行。
四、安全注意事项
1. 操作人员应穿戴好防护用具，避免与运行中的设备直接接触。
2. 在操作过程中，严禁使用金属工具靠近泵体。
3. 操作人员应具备一定的专业知识和操作经验，严禁未经培训的人员擅自操作。
4. 在操作时如遇到泵体异常震动或噪音过大的情况，应立即停止操作并检查原因。
以上就是关于《干式真空泵操作规程》的相关内容，希望能帮助操作人员正确、安全地进行操作。
干式真空泵
干式真空泵干式真空泵产品介绍2023年止，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。
随着科学技术的进展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其构成的抽气系统显现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在很多情况下影响产品的质量、数量，加添设备的维护本钱。
其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。
对于一般的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能解决问题，而且使系统显得多而杂。
而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以实现理想的使用效果。
干式真空泵应用干式机械真空泵的应用是广泛的，重要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2）半导体刻蚀工艺。
在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用肯定型式的干式机械真空泵可以充足要求；4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
干式真空泵分类干式真空泵重要有下列几种形式：双圆裂片式双圆裂片式设计和目前和广泛应用的罗茨泵特别相像。
事实上，一些期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。
这种多级设计使得气体通路相当多而杂，而且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。
同时，为了实现好的真空度，对各级的间隙有特别严格的要求。
当然，这种设计由于加添了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
三叶圆裂片式三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。
这两种设计有着相同的优点和缺点。
为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的本领—下降。
干式真空泵工作原理
干式真空泵工作原理
干式真空泵是一种主要用于制造高真空环境的机械设备。
它的工作原理可以简单地概括为：使用机械力将气体从排气口中吸入真空泵，然后将气体排出真空泵。
干式真空泵的主要组件是叶片和旋转部件。
叶片是由不同材料制成的，如合金钢或不锈钢。
旋转部件则由电机驱动，并且通常使用磁悬浮技术使其旋转。
当电机启动时，旋转部件开始转动。
这导致空气和其他气体被吸入真空泵中。
一旦到达泵体中心，这些气体遭受叶片的冲击，并被压缩。
当气体压缩到一定程度时，会到达排气口并被排出真空泵。
这样，真空泵通过不断旋转，吸入和排出气体来建立高真空环境。
干式真空泵的工作原理还有一些细节需要注意。
例如，当气体被压缩到非常高的压力时，就需要额外的激励来移动叶片以克服气体的压力。
这个激励通常是由一个附加的泵或其他类型的装置提供的。
干式真空泵的应用非常广泛。
它们被用于制造电子设备、光学仪器和半导体器件等领域。
在这些应用中，干式真空泵可以有效地移除气体，减少污染和杂质，并帮助提高产品质量和性能。
总的来说，干式真空泵是一种非常重要的工具，在现代高技术制造中起到了至关重要的作用。
如果您需要制造高品质的产品或建立高真空环境，那么干式真空泵是一个必不可少的设备。
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干式真空--个人整理、总结目录干式真空泵及现状1.往复式干泵 (3)2.爪式干泵 (4)3.多级罗茨泵 (5)4.干式螺杆真空泵 (5)5.涡旋干泵 (7)6.涡轮式干泵 (8)7.分子泵 (9)干式真空泵是清洁真空获得设备的代表，在各类真空泵的市场份额中占23%，年增长率超过15%。
干式泵的主要应用领域有半导体、化工、薄膜、仪器、医药、食品等行业。
1.往复式干泵往复式干泵是往复式真空泵（又称活塞式真空泵）的一种，依靠气缸内的活塞作往复式运动来吸入和排出气体。
往复式干泵的主要特点是①结构简单，易于操作，价格便宜；②工作过程中不产生粉尘；③耐粉尘，排水蒸气压力强；④流量跨度较大。
但这种泵又具有往复式真空泵易损件多，寿命短，可靠性差，效率低等特点。
往复式干泵最常见的就是活塞干泵（Dry Piston Vacuum Pump）和无油隔膜泵（Oil-Free Diaphragm Pump）可抽除He，H2，Ar和N2等气体，可作为涡轮分子泵、低温泵的粗抽泵和前级泵使用。
活塞干泵（Dry Piston Vacuum Pump）的典型代表为莱宝（EcoDry系列）和普发（Pfeiffer XtraDry系列）。
EcoDry系列泵，流量在11m3/hr至48m3/hr之间，极限真空度为5.5Pa。
XtraDry系列泵，两级活塞泵流量为13m3/hr，极限真空度为103Pa(10mbar)，四级活塞泵流量为7.5m3/hr,极限真空度为10Pa。
主要作为气体分析泵及高真空泵的前级泵使用。
无油隔膜泵（Oil-Free Diaphragm Pump）主要有普发(Pfeiffer)的MVP系列，凯孚(KNF)的Laboport系列以及莱宝(Leybold)的DiVac系列。
此类泵主要应用在实验室及作为分子泵的前级泵使用。
实验室应用主要有旋转蒸发器(rotary evaporators)、真空干燥箱(drying chambers)、真空过滤设备(filtration units)、真空蒸馏设备(vacuum distillation configurations)、凝胶干燥(gel drying)、真空升华(sublimation)、疏散真空干燥(evacuating desiccators)、分析仪器(analysis preparation)、流体灭菌(stream sterilization)、小样本真空冷冻干燥(small sample freeze drying)及其他医疗应用。
作前级泵主要有质谱分析仪(Mass Spectrum Analysis)、ICP_MS测试仪、清罐仪及电子加速器等。
普发的 MVP系列无油隔膜泵流量在3L/min至160L/min之间，两极泵的极限真空度为3mbar，四级泵极限真空泵能达到0.5mbar。
莱宝的DiVac系列无油隔膜泵主要是实验室应用，流量有10L/min、20L/min和35L/min，单级泵极限真空为100mbar，双级极限真空为8mbar。
德国凯孚是专业生产无油隔膜泵的厂商，产品主要分为OEM、LAB两个系列，产品以微、小流量产品为主，单级极限真空可达100mbar，两级可达3mbar，四级极限真空达到0.5mbar。
2.爪式干泵爪式干泵是一种变容积式真空泵，通过转子对同步反方向旋转来产生容积变化实现吸气和排气的过程，从而实现抽真空（压缩）的目的。
目前国内外企业均有使用螺旋结构爪泵和反爪结构爪泵的原理。
爪式干泵的特点：①泵腔内无润滑油介质；②可直排大气，也可与罗茨真空泵及分子泵组成无油真空机组；③可抽除溶蚀性、可凝性及易燃易暴气体，如酒精、氧气等；④不产生工业废水，可实现零排放。
但这种泵对粉尘的容忍能力较差，泵在整个工作过程中，都需要通冷却水。
目前爪式干泵有一级、两级、三级和四级，国产的基本为两级（非标）和三级泵，主要应用领域是生物制药行业（溶剂回收、蒸馏、换热器散热装置）、化工行业以及真空干燥等。
四级泵国外典型厂商为Leybold、Edwards。
达到1Pa左右。
目前在我们爪式泵的最主要应用为生物制药和化工领域用，大多数为三级爪式泵，常见流量在10m3/hr 至540m3/hr。
3.多级罗茨泵罗茨干泵同样是容积式真空泵的一种，其原理与罗茨鼓风机相似，由转子不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间内，再经排气口排出。
这种泵中、大型泵居多，在化学工业与半导体工业有较多应用，它可在恶劣（含较多粉尘）的条件下进行抽空作业。
由于罗茨泵转子的压缩比较低，所以这种干式泵都必须多级串联（一般是5至6级），才能将压缩后的气体直接排到大气中。
这种泵在高压段压缩时，会产生较多的热量，故而多采用气体冷却方式散热，故称这种泵为风冷式多级罗茨泵。
罗茨干泵（泵组）特点：①在较宽的压强范围内有较大的抽速；②起动快，能立即工作；③对被抽气体中含有灰尘和水蒸气不敏感；④振动小，噪音在78至93dB(A),转子动平衡条件较好；⑤可长时间运行，机械摩擦损失较小，寿命长；⑥可抽除腐蚀性和有毒性的气体。
目前应用的罗茨泵的真空度多在0.01mbar至10mbar之间，其极限真空度能达到0.001mbar(0.1Pa)，流量在1500L/min至20000L/min（90m3/hr至1200m3/hr）之间，主要应用在冶金、镀膜、真空干燥、太阳能光伏设备、半导体行业等领域，主要是工业级的应用。
典型生产厂家：Stokes、Alcaltel、Edwards等。
4.干式螺杆真空泵螺杆真空泵有螺杆式、螺旋式和复合式三种结构，利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油。
螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点。
干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。
德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。
目前国内与国外的螺杆技术还存在较大差距，技术还没有真正成熟，因此国内企业只能生产卧式螺杆泵，质量较好的螺杆也基本都依赖进口，我国上海、北京、山东有不少企业生产干式螺杆泵，其极限真空度理论上能达到1Pa左右，但实际应用中极限真空都在10Pa以上。
国外生产干式螺杆泵的企业主要有德国莱宝(Leybold)、德国普旭(Busch)、德国里奇乐(Rietschle)、美国希赫(SIHI)等，且希赫能生产立式干式螺杆泵。
主流干式螺杆泵的流量基本在2500L/min至25000L/min（150m3/hr至1500m3/hr）之间，主要适合于工业级的应用，比如：真空镀膜、离子刻蚀、真空干燥、真空蒸馏、分子蒸馏、化学（制药）溶剂回收、太阳能光伏设备等。
德国莱宝Leybold公司在2002年底正式推出的SREWLINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵，它是一种全新的设计，是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题，如粉尘、焦油等。
此泵也是采用变螺距转子，有内压缩过程，泵腔内无轴承和密封，大大降低了故障率，泵腔内没有内部阀门，因而耐粉尘和焦油能力强，此泵的螺杆采用内部中空冷却，可以降低转子温度和热变形，螺杆寿命长。
德国普旭Busch公司的COBRAN系列螺杆泵，制程工艺最理想的真空泵，特别适用于化工和制药行业的各工艺流程。
德国里奇乐Rietschle的VSA/VSB系列，VSA系为等螺距转子，性能稳定。
VSB系列是变螺距转子设计（非线型齿形设计），同其他几家一样，通过内压缩来改变泵的功耗和排气温件优选Viton材料，在有特殊要求的情况下选择PTFE或者添加有PTFE的密封件。
动态密封元件在真空泵吸入侧用双密封唇；真空泵排气侧用简单的带有防止气体外溢的密封圈，以防止固体物质进入泵内。
5.涡旋干泵涡旋干泵是涡旋式真空泵的一种，由一个固定的浙开线涡旋盘和一个呈偏心回旋平动的渐开线运动涡旋盘组成可变容积腔的真空泵，其独特设计，使其成为当今世界上最节能的真空泵。
涡旋的概念已相当久远，20世纪初世界上就已经有了涡旋技术的专利。
但由于当时技术水平的限制，涡旋机构制造不出来，涡旋的概念也就被淡忘了。
1973年涡旋机构被重新提起并制造出第一台模型机构，使这项技术实际应用成为可能。
涡旋机构的可靠性高、运行平稳、噪音极低、节省能源等潜力和巨大优势马上引起了冰箱行业的重视和迫切需求，大受行业领先者青睐，迅速被投入工业化应用。
今天涡旋技术已经由初期的应用在压缩机行业推广到真空泵制造业，实现了全无油、运行更平稳、噪音更低、更加节省能源的涡旋清洁真空获得技术的实用化。
人们应用涡旋概念与原理制造出了对真空应用仪器设备和环境没有污染，并且抽速、寿命、能耗等指标均优于普通油泵的单级、双级涡旋无油真空泵系列产品。
传统涡旋压缩技术，为保证产品运行过程中，动定涡卷之间不直接接触，同时又要保证气密隙大，泄漏率高，从而造成气体重复压缩，直接影响产品可靠性及使用寿命。
传统涡卷结构，动定涡卷之间采用动涡卷顶端密封的方式，而采用PTFE条密封，使得密封件与定涡卷之间始终存在一定的摩擦，导致其维修周期较短，可靠性较差，未能充分发挥涡旋压缩技术的优势。
再者摩擦会使PTFE材料的密封件磨损产生粉末，在空气洁净度要求高的领域无法适用。
该技术的代表有Iwata(日本岩田)、Varian(瓦里安)、Edwards(爱德华兹)等，其单级真空度最高能达到1Pa。
浮动式涡旋压缩技术，通过精细的力平衡（气体压力与推力之间的平衡），使得涡卷盘在无油或微没的条件下，始终保持适当的接触，使之达到完全密封状态而又将摩擦损失最小化，从而直接提高了产品的压缩效率，可靠性及使用寿命。
浮动式涡旋结构，不采用动涡卷顶端密封结构，无PTFE密封磨屑，成为最理想的洁净真空获得设备。
浮动式涡旋压缩技术，采用动定涡卷之间自补给设计结构，从而解决其他设计结构因产品正常运行磨损，而导致抽气速率及真空度逐步降低的问题，使其能量效率和容积效率在整个使用寿命期间，呈现逐步提高直至完全磨合状态，直至轴承等易损件需要维修为止，大幅度延长了产品的维护周期，降低了使用成本。
该技术为思科涡旋科技（杭州）有限公司23年来对涡旋技术的专注及研究的结果，单级产品的最高极限真空度能达到0.1Pa，双级更是能达到0.01Pa。