干式真空泵
干式真空泵标准

干式真空泵标准一、范围本标准规定了干式真空泵的术语和定义、型号与结构、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于干式真空泵的设计、生产、使用和检验。
二、规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
三、术语和定义干式真空泵是指一种通过机械运动使气体产生压缩,从而降低气体压力的设备。
它不依赖于任何液体的参与,因此也被称为无油真空泵。
四、型号与结构干式真空泵的型号和结构应符合相关标准的规定。
其主要由泵体、叶轮、泵盖、轴等组成。
五、技术要求1. 性能要求:干式真空泵的性能应符合相关标准的要求,包括抽气速率、极限压力等。
2. 外观要求:干式真空泵的外观应整洁,无明显划痕、毛刺等缺陷。
3. 尺寸要求:干式真空泵的主要尺寸应符合设计图纸的要求。
4. 材质要求:干式真空泵的主要部件应采用符合要求的材质制造。
5. 运转要求:干式真空泵在正常工作条件下应平稳运转,无异常声响。
6. 可靠性要求:干式真空泵应能满足规定的可靠性指标,如平均无故障时间等。
7. 能效要求:干式真空泵的能效应符合相关标准的要求。
六、试验方法1. 外观检查:采用目视法对干式真空泵的外观进行检查。
2. 尺寸测量:采用测量工具对干式真空泵的主要尺寸进行测量。
3. 性能测试:在规定条件下,对干式真空泵的性能进行测试,包括抽气速率、极限压力等。
4. 可靠性试验:在规定条件下,对干式真空泵进行长时间运行试验,以评估其可靠性。
5. 能效测试:在规定条件下,对干式真空泵的能效进行测试。
七、检验规则1. 出厂检验:每台干式真空泵在出厂前都应进行检验,确保其符合本标准的要求。
2. 型式检验:在产品研发、定型及批量生产阶段,应进行型式检验,以验证产品是否符合本标准的要求。
3. 定期检验:对于长期使用的干式真空泵,应定期进行检验,以确保其性能和可靠性。
螺杆型干式真空泵标准

螺杆型干式真空泵标准螺杆型干式真空泵是一种广泛应用于工业、科研和其他领域的真空设备。
其标准主要涉及产品设计、制造、检测和使用等方面。
以下是可能包含在螺杆型干式真空泵标准中的一些方面:产品设计和制造标准基本参数和规格:确定螺杆型干式真空泵的基本设计参数,包括流量、真空度、功率等。
材料选用:规定泵的主要部件所使用的材料,确保其具备良好的腐蚀抗性和耐磨性。
结构设计:包括螺杆结构、密封结构、冷却系统等设计要求,确保产品的结构合理、性能稳定。
安全设计:规定安全设计要求,包括过热保护、过载保护等,以确保设备在使用中的安全性。
检测与试验标准性能测试:规定螺杆型干式真空泵的性能测试方法,包括流量测试、真空度测试、功率测试等。
可靠性测试:确定对螺杆型干式真空泵进行可靠性测试的方法,以保证其在长时间使用中的稳定性。
噪音测试:确定螺杆型干式真空泵的噪音测试方法,以满足环境噪音标准。
温度测试:规定螺杆型干式真空泵在不同工况下的温度测试要求,确保其在各种环境下的可靠性。
使用与维护标准安装要求:确定螺杆型干式真空泵的安装要求,包括安装位置、电源要求等。
操作手册:提供详细的螺杆型干式真空泵操作手册,包括启动、停机、维护等方面的操作指南。
维护周期:规定螺杆型干式真空泵的维护周期和方法,以延长设备的使用寿命。
故障排除:提供故障排除流程和方法,确保在出现问题时能够迅速解决。
环保和能效标准能效要求:规定螺杆型干式真空泵的能效标准,以确保产品在使用中的高效能。
环保要求:确定螺杆型干式真空泵在制造和使用过程中的环保要求,符合相关环保法规。
废弃处理:提供废弃螺杆型干式真空泵的处理方法和环保要求。
以上只是可能包含在螺杆型干式真空泵标准中的一些方面,具体标准可能会因国家或地区而异。
在实际应用中,建议参考相应的标准文件,以确保产品设计、制造、使用等方面都符合标准的要求。
干式真空泵

干式真空泵干式真空泵是一种不需要润滑液的无油气体泵,它可以达到高真空(高达10^-8 mbar),并且可以更加可靠地处理有害物质,因为没有润滑液会污染物质。
与传统的液体环真空泵相比,干式真空泵具有更高的效率和更长的寿命。
工作原理干式真空泵以类似于压缩机的方式工作,但是没有任何液体润滑介质。
在内部,泵将气体压缩到较高的压力,然后将其排放到外部环境中。
干式真空泵还包括一个旋转机构,该机构旋转以消除速度梯度,从而在整个泵中创建一个均匀的气体流。
优点与应用干式真空泵具有许多优点,除了无需润滑液外,它还能够处理有害气体,因为在整个系统中没有液体润滑剂可以污染或吸收这些气体。
这使得它非常适合需要处理有机化学品、溶剂或高腐蚀性气体的实验和工业应用。
在半导体行业,干式真空泵也被广泛应用于制造过程中。
由于干式真空泵可以处理有害气体,同时也可以保证生产过程的重复性和稳定性,因此在这个行业和其他一些需要高度洁净环境的行业中使用。
另一个优点是,干式真空泵相对于液体环真空泵更加节能,更加环保。
由于减少了液体润滑剂的使用,可以减少对环境的影响。
此外,干式真空泵还可以降低生产和维护成本。
不足之处虽然干式真空泵具有许多优点,但是它们在某些方面可能会有限制。
例如,由于这些泵的工作原理,它们主要适用于轻质气体。
对于重型气体,它们需要更多的功率来运行,并且需要更高的维护水平以确保持续的性能。
总的来说,干式真空泵是一种可靠、高效、环保的气体泵,它在许多实验和工业应用中都得到了广泛应用。
随着技术的进步和新的应用场景的发现,它们的应用范围还将继续扩大。
干式真空泵的工作原理

干式真空泵的工作原理
干式真空泵是一种不需要润滑剂的真空泵,它通过特殊的结构和工作原理实现真空抽取。
工作原理如下:
1. 真空泵的主体部分是由叶轮和固定旋片组成的转子。
转子通过电机的驱动旋转。
2. 真空泵的转子由两片不同型号的叶轮组成,一片是前级抽气叶轮,一片是后级抽气叶轮。
这两片叶轮呈交叉排列,并且叶轮相互咬合。
3. 在转子的周围设有吸气室和排气室。
当空气进入吸气室时,由于叶轮的旋转,空气被带到叶轮之间的间隙处,然后由于离心力的作用,空气被推向叶轮的外环缘处,进入排气室。
4. 排气室中的空气进一步受到离心力的作用,从而被排出真空泵。
总结来说,干式真空泵通过旋转的叶轮和离心力的作用,将吸入的气体推向排气室,从而实现了真空抽取的作用。
同时,干式真空泵没有需要润滑剂,可以避免润滑剂对真空抽取的污染。
干式真空泵维修保养___概述说明以及解释

干式真空泵维修保养概述说明以及解释1. 引言是文章的开头部分,用于引出主题并说明文章的结构和目的。
在本篇长文中,引言部分将包括概述、文章结构和目的。
1.1 概述干式真空泵作为一种常见的工业设备,在许多行业中广泛应用。
它具有高效、清洁、低噪音等优点,可以满足各种真空需求。
然而,由于长时间使用或不当操作导致的故障,干式真空泵需要进行定期维修保养才能保持其正常运行和延长使用寿命。
1.2 文章结构本文将按照以下结构来介绍干式真空泵维修保养的相关内容:- 引言:介绍文章背景和结构。
- 干式真空泵维修保养概述:详细介绍干式真空泵及其重要性、目的和原则。
- 干式真空泵维修保养要点:深入讨论清洁和润滑、零件更换和维修技巧以及故障排除和常见问题解决方法等关键要点。
- 结论:总结干式真空泵维修保养的重要性,并提供未来发展趋势和建议。
1.3 目的本文的主要目的是为读者提供关于干式真空泵维修保养的详细说明和解释。
通过阅读本文,读者将能够了解干式真空泵的基本知识、维修保养的重要性以及如何进行有效的维护和故障处理。
此外,本文还将探讨干式真空泵未来发展的趋势,并给出相关建议,以帮助读者更好地应对干式真空泵维修保养方面的挑战。
2. 干式真空泵维修保养概述2.1 干式真空泵介绍干式真空泵是一种常用的真空设备,主要用于产生和维持高度稳定的真空环境。
相比于传统的润滑剂使用的液环真空泵,干式真空泵采用无油设计,无需添加润滑剂,减少了对环境的污染,同时降低了使用成本和维护工作量。
2.2 维修保养的重要性干式真空泵在长期使用过程中会因为各种原因导致故障和损坏,因此进行定期的维修保养是非常重要的。
正确的维修保养可以延长干式真空泵的使用寿命,提高其运行效率,并且减少潜在故障带来的经济损失。
2.3 维修保养的目的和原则维修保养的目标是确保干式真空泵能够正常运行且具有稳定可靠的性能。
其原则包括以下几点:1) 正确操作:遵守使用手册提供的操作指南及相关规范要求,确保正确操作设备。
干式真空泵

干式真空泵干式真空泵产品介绍2023年止,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。
随着科学技术的进展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其构成的抽气系统显现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在很多情况下影响产品的质量、数量,加添设备的维护本钱。
其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。
对于一般的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能解决问题,而且使系统显得多而杂。
而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以实现理想的使用效果。
干式真空泵应用干式机械真空泵的应用是广泛的,重要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2)半导体刻蚀工艺。
在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用肯定型式的干式机械真空泵可以充足要求;4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
干式真空泵分类干式真空泵重要有下列几种形式:双圆裂片式双圆裂片式设计和目前和广泛应用的罗茨泵特别相像。
事实上,一些期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。
这种多级设计使得气体通路相当多而杂,而且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。
同时,为了实现好的真空度,对各级的间隙有特别严格的要求。
当然,这种设计由于加添了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
三叶圆裂片式三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。
这两种设计有着相同的优点和缺点。
为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的本领—下降。
爱德华干式真空泵操作规程-概述说明以及解释

爱德华干式真空泵操作规程-概述说明以及解释1.引言1.1 概述爱德华干式真空泵是一种常用于真空工艺的设备,其主要作用是将工作室内的气体抽出,创造真空环境。
相较于传统涡轮分子泵或离心泵,爱德华干式真空泵具有更高的抽真空速度和更低的维护成本,因此在许多领域得到广泛应用。
本文将介绍爱德华干式真空泵的基本原理和结构,以及操作规程,帮助操作人员正确、安全地操作设备,保证设备的正常运行。
同时,操作规程的落实对于设备的寿命和性能也具有重要意义,因此了解并严格执行操作规程是至关重要的。
1.2文章结构1.2 文章结构本文主要分为引言、正文和结论三个部分。
在引言部分中,将概述爱德华干式真空泵的基本情况,并介绍文章的结构和目的。
在正文部分,将详细介绍爱德华干式真空泵的基本原理和结构,以及操作步骤。
最后,在结论部分将总结文章的内容,并强调操作规程对于正确操作干式真空泵的重要性。
通过本文的阐述,读者能够全面了解爱德华干式真空泵的操作规程,为实际操作提供参考。
1.3 目的:本操作规程的目的在于指导操作者正确、安全地操作爱德华干式真空泵,保证设备的高效运行和长久稳定性。
通过学习和遵守本规程,操作者能够了解干式真空泵的基本原理和结构,掌握正确的操作步骤,并且意识到操作规程的重要性。
操作者在使用干式真空泵时应遵循本规程,确保设备的正常运行,并且保障设备和人员的安全。
只有严格按照规程要求进行操作,才能最大程度地提高设备的效率和使用寿命,确保设备在工作过程中能够稳定可靠地运行。
2.正文2.1 爱德华干式真空泵的基本原理和结构:爱德华干式真空泵是一种常用于工业和实验室等领域的真空设备,其主要原理是通过机械方式将气体抽出,从而形成真空环境。
该干式真空泵不需要使用润滑油,因此可以避免油污染和润滑油蒸汽对真空系统造成的影响。
爱德华干式真空泵的主要结构包括:电机、叶片、排气室和进气室。
电机通过传动装置驱动叶片高速旋转,叶片在运转过程中不断推动气体向排气室运动,最终将气体排出系统,形成真空环境。
h1000干式真空泵的结构

h1000干式真空泵的结构
H1000干式真空泵的结构主要包括以下几个部分:
泵壳:干式真空泵的泵壳通常采用铸铁或不锈钢材料制成,用于支撑和保护整个泵的工作部件。
叶轮:干式真空泵的叶轮通常采用优质铸铁或不锈钢材料制成,具有较高的机械强度和耐腐蚀性。
叶轮的形状和尺寸根据不同的型号和用途而有所不同,但通常都是经过精密加工和平衡校正的,以确保泵在高速旋转时具有良好的稳定性和可靠性。
轴承:干式真空泵的轴承通常采用滚动轴承或滑动轴承,用于支撑叶轮并保持其稳定旋转。
滚动轴承具有较低的摩擦阻力,使用寿命长,适用于高速旋转;而滑动轴承则具有较大的承载能力和较高的稳定性,适用于重载和高转速的工况。
气缸:干式真空泵的气缸通常采用铸铁或不锈钢材料制成,用于形成泵的工作腔室。
气缸的形状和尺寸根据不同的型号和用途而有所不同,但通常都是经过精密加工和表面处理的,以确保气缸内表面具有良好的光洁度和耐腐蚀性。
密封垫:干式真空泵的密封垫通常采用耐高温、耐腐蚀的材料制成,如石墨、氟橡胶等。
密封垫的作用是防止气体泄漏和灰尘进入泵内,同时减少摩擦和磨损。
排气口和排气管道:干式真空泵的排气口和排气管道通常采用优质不锈钢材料制成,用于将泵内排出的气体引导到指定的位置。
排气
管道的设计需要考虑流阻、耐压和耐腐蚀等因素,以确保气体的顺畅排出。
以上是H1000干式真空泵的基本结构组成,不同型号和用途的干式真空泵可能还具有其他特殊结构和功能。
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DP系列干式螺杆真空泵
威海智德真空科技有限公司主要供应设备:
※ DP系列干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、水环真空泵、大型复杂真空机组。
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电①③五六③①贰壹⑧⑨③丛经理欢迎咨询选购。
DP系列干式螺杆真空泵
性能特点:
1、工作腔内无任何介质,可获得清洁真空。
2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层,可适应恶劣工况。
3、气体在泵内无压缩,适宜抽取可凝性气体。
4、单台泵可从大气抽至1Pa,真空系统可大大简化。
5、水温对真空影响小,节水达90%以上,甚至可以不耗水。
6、不耗油,无滴漏。
7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小。
8、结构简单,维护方便。
9、被抽气体直接排出泵体,不污染水,无环保压力,气体回收更便捷。
10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。
抽速曲线:
工作原理:
干式螺杆真空泵,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。
它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。
JZJD系列干式真空机组
结构及特点:
JZJD系列干式真空机组是由常规罗茨真空、干式螺杆真空泵以及阀门、机架、电器控制箱组成的,其中干式螺杆真空泵作为前级真空泵,在达到罗茨真空泵启动压力时,由真空规头及压力变送器控制罗茨真空泵的启停。
由于罗茨真空泵及干式螺杆真空泵运转部件均不接触,因此整机具备运转平稳,噪音低,结构紧凑占地面积小等优点。
性能特点:
1:JZJD系列干式真空机组抽气范围广(280-4320m³/h),真空度高(极限压力可达0.01Pa)2:即使在高真空下依然能保持较大的抽速,满足客户对高真空、大抽速的要求。
3:罗茨真空泵与干式螺杆真空泵可根据抽速比,搭配各种组合方案,有效降低能源消耗,达到最佳性价比。
机组型号意义:
双罗茨螺杆真空机组单罗茨螺杆真空机组
例1:JZJD1200-4.2 (ZJ1200/ ZJ300/DP430) 例2:JZJD600-5(ZJ600/DP430)J—机组(汉字拼音ji 的第一个字母)J—机组(汉字拼音ji 的第一个字母)ZJ—罗茨真空泵ZJ—罗茨真空泵
D—干式螺杆真空泵(前级泵)D—干式螺杆真空泵(前级泵)1200—主泵抽速(抽速L/S)600—主泵抽速(抽速L/S)
4—中间泵与主泵抽速比5—主泵与前级泵抽速比
2—中间泵与前级泵抽速比
注:DP430为干式螺杆真空泵,抽速为120L/S
典型应用/案例
石油、化工、生物制药领域油气、溶剂回收
电子、真空镀膜、航空、核工业领域纺织、冶金等行业
石油、化工、生物制药领域
比传统加工工艺的真空度更高,能够在正常工作运转情况下不间断排除从泵进气口进入的液体,完全解决了容积脱除和工作液的排除问题,可获得最干净的真空,实现中间容剂的回收。
具体应用:干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、工厂普通真空。
油气、溶剂回收
由于泵腔内无油无水,对所抽气体介质无污染,因此在油气、溶剂回收等方面拥有无可比拟的优势
具体应用:油气回收、溶剂回收。
电子、真空镀膜、航空、核工业领域
能够抽除普通空气,易燃易爆气体、腐蚀性气体,尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。
具体应用:真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。
纺织、冶金等行业
在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵,比其他类型真空泵效率更高、无污染、更节能。
具体应用:真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。