SIHI干式真空泵
干式真空泵介绍及发展现状
干式真空泵介绍及发展现状干式真空泵式指泵能从大气压下开始抽气，又能将气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵。
目前，大多数机械真空泵都是用油、水或其他流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。
随着科技发展及真空应用领域的扩大，原有的真空泵出现了两个急需解决的问题：一是泵的工作解释返流污染被抽容器，在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本;其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，是泵不能正常工作。
这时就要用到干式真空泵。
干式真空泵的应用主要有以下几个方面：1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺2.半导体刻蚀工艺，在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。
3.除半导体工艺外某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。
4.在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵。
5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。
随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。
为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。
常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。
干式螺杆真空泵质量及工作原理
干式螺杆真空泵质量及工作原理干式螺杆泵属于新型的真空泵型，其开发出来主要是为了替换传统水环真空泵、油环真空泵等其他泵型的。
因其独特的设计原理，可做到无油无水，可做耐腐蚀涂层，优良的密封设计，除了价格稍贵一点外，无论从哪一方面都将远远超过传统真空泵的性能。
如何判断干式螺杆真空泵是否合格，可以从以下几个方面判断：1、极限真空度:当然极限真空度越低越好，目前国产一般在5Pa左右，进口的在1Pa 左右。
2、震动及噪音：震动一定要小，噪音一定要小80分贝内为好。
3、若是有易腐蚀性环境中使用，最好能向厂家要一点同样涂层的样片，拿到厂里放介质溶济里做下试验，每个厂家使用的涂层或镀层配比不一样，它的性能当然也会有较大差异。
4、密封性：这个也很重要，但也只能从厂家推介说明上了解，最直接还是接入系统后通介质测定是不是有泄漏。
基本上就是以上几点来判断，第一和第二点决定了真空泵机加工水平和设计技术的水平如何，这个也将真接影响泵的使用寿命，第三和第四点也会影响其寿命，但也需要实验证明。
总的来说目前螺杆泵因为成本较高，建议还是选用进口的，欧美日韩的相对较贵，台系的其实也是不错的选择。
干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。
1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。
5、水温对真空影响小，节水达90%以上,甚至可以不耗水。
6、不耗油,无滴漏7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小8、结构简单，维护方便。
9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。
10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组与螺杆式压缩机类似，螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。
干式真空泵
干式真空泵干式真空泵产品介绍2023年止，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。
随着科学技术的进展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其构成的抽气系统显现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在很多情况下影响产品的质量、数量，加添设备的维护本钱。
其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。
对于一般的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能解决问题，而且使系统显得多而杂。
而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以实现理想的使用效果。
干式真空泵应用干式机械真空泵的应用是广泛的，重要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2）半导体刻蚀工艺。
在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用肯定型式的干式机械真空泵可以充足要求；4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
干式真空泵分类干式真空泵重要有下列几种形式：双圆裂片式双圆裂片式设计和目前和广泛应用的罗茨泵特别相像。
事实上，一些期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。
这种多级设计使得气体通路相当多而杂，而且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。
同时，为了实现好的真空度，对各级的间隙有特别严格的要求。
当然，这种设计由于加添了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
三叶圆裂片式三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。
这两种设计有着相同的优点和缺点。
为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的本领—下降。
sihidry干式真空泵说明手册
中石化上海高桥分公司SIHIdry螺杆干式真空泵说明手册SIHIdry螺杆干式真空泵第一部分安全说明安全说明部分描述了SIHIdry干式真空泵的操作和维护过程中需要了解和遵守的指示和警告。
泵的操作和维护人员务必掌握有关安全知识，提高自身防护以及设备防护能力。
1.1前言1、在阅读说明手册之前请不要操作设备；2、务必掌握足够的安全防护警告和使用必要的安全设备，以避免在设备安装和操作过程中的危险。
警告小心禁止威胁生命的伤害警告小心触电风险小心有毒有害介质1.2注意以上安全说明标签贴在你所购买的设备上，请勿移除、覆盖或弄脏；如果不正确遵守以上警告，有可能会导致操作人员的人身伤害。
1.3安全1.个人培训及上岗认证必须明确操作此设备人员的职责。
如果不具备必须的专业知识，必须经过卖方的培训以保证机器的安全操作。
2.不遵守安全指令的风险不遵守安全指令会对个人、环境、系统都面临一定的风险，更会导致损失。
举例来说，可能会面临如下风险：导致系统产生重大故障一些特定的维护和修复程序产生损坏让操作人员面临电气、机械以及化学危害的风险向环境释放危险物质的风险3.操作运行安全指南当吸入自燃气体时，尤其含有氧气时，需引入惰性气体。
当进料介质为化学性质不稳定的气体或蒸汽时，这些被认为是可能的危险源，额外的安全措施是需要的，以阻止聚合或过氧化氢物的形成。
当易燃、易爆、有毒和高温的气体或水蒸气作为进料介质时，要确保对环境和人没有危害。
真空系统中流量、温度、压力的参数的设置是为了安全操作，改变时需要咨询真空泵厂家系统在运行时，避免拆除部件，比如说拆除冷却液输送泵的联轴器。
泄漏的危险介质必须立即处理以避免对人员、环境造成伤害。
相应的法律法规必须遵守。
由于电气造成的风险已经排除.(详情如下：通过地方企业认证、VDE认证).4.维护、检查和安装时安全指南在开关泵时，严格安装操作守则中的条目进行。
泵系统内输送危险介质时要及时进行排出。
5.所有安全保护装置必须重新安装，在完成安装后，必须进行一次操作调试。
干式真空泵常见故障及解决办法
干式真空泵常见故障及解决办法干式真空泵需要在纯粹的容积水平上运行，且与旋片式真空泵相比，罗茨泵不具有内部压缩功能。
它能够对排气压力进行压缩。
与旋片式真空泵相比，与介质接触的所有部件都是无油的，而且，所有适用于罗茨泵的部件同样适用于干式真空泵。
干式真空泵常见故障及解决办法1、在极限压力下运行对于在最大差压下运行的罗茨泵，在对其进行冷却前，不建议将其直接置于极限压力下运行。
在极限压力下，由于真空泵转速过快，最小或零气体通过量不会通过气体或外壳表面散发任何热量。
由于温度的突然升高，转子和外壳之间的的气隙太小，泵会停止转动。
在严重情况下，这会导致真空泵完全失效。
2、不当的温度波动在罗茨泵塞仍然很热的情况下，环境温度突然大幅度下降将会造成泵壳收缩，导致泵停止转动。
如图1所示，这在极限压力下作业时会尤其重要。
因此，必须不惜一切代价避免环境温度的突变。
另外，操作人员一定要注意不要突然打开附近的百叶窗、其他门等，特别是在冬天。
另外，对于那些自立式泵，要将其放在屋檐或天蓬下，以免其受到雨淋。
如果在发生火灾时，将水直接对准泵，泵壳可能会爆炸，尤其是那些由灰口铸铁制作的壳体更容易发生爆炸。
球墨铸铁版的泵，由于其材料的较高强度，更适合于承受这样的热波动。
3、温度控制如果将罗茨泵以其最大差压运行，则需要在排气端安装一个温度传感器，用以防止过热及由此产生的任何损害。
这会在限定的温度时产生警报，并且当其达到最大允许气温时，将会关闭泵。
4、快速抽空在应用中，必须实现几秒钟的抽取周期，因此操作人员必须要确保罗茨泵和前级泵的比例为1：2。
保证这一比例非常的必要，因为前级泵以100 hPa压强将空气泵出占用了大部分的泵出时间，而罗茨泵只需从10 hPa起的压力就可以有效运转。
因此，前级泵尺寸必须相应地大一些才行。
5、启动泵如果使用了多级泵站或者多个并行操作的真空泵组合，那就有必要以交错的间隔来启动这些泵，最先要启动的是大气泵，这样可以避免过度的电力峰值以及保护高成本的断路器。
干式真空泵
干式真空--个人整理、总结目录干式真空泵及现状1.往复式干泵 (3)2.爪式干泵 (4)3.多级罗茨泵 (5)4.干式螺杆真空泵 (5)5.涡旋干泵 (7)6.涡轮式干泵 (8)7.分子泵 (9)干式真空泵是清洁真空获得设备的代表，在各类真空泵的市场份额中占23%，年增长率超过15%。
干式泵的主要应用领域有半导体、化工、薄膜、仪器、医药、食品等行业。
1.往复式干泵往复式干泵是往复式真空泵（又称活塞式真空泵）的一种，依靠气缸内的活塞作往复式运动来吸入和排出气体。
往复式干泵的主要特点是①结构简单，易于操作，价格便宜；②工作过程中不产生粉尘；③耐粉尘，排水蒸气压力强；④流量跨度较大。
但这种泵又具有往复式真空泵易损件多，寿命短，可靠性差，效率低等特点。
往复式干泵最常见的就是活塞干泵（Dry Piston Vacuum Pump）和无油隔膜泵（Oil-Free Diaphragm Pump）可抽除He，H2，Ar和N2等气体，可作为涡轮分子泵、低温泵的粗抽泵和前级泵使用。
活塞干泵（Dry Piston Vacuum Pump）的典型代表为莱宝（EcoDry系列）和普发（Pfeiffer XtraDry系列）。
EcoDry系列泵，流量在11m3/hr至48m3/hr之间，极限真空度为5.5Pa。
XtraDry系列泵，两级活塞泵流量为13m3/hr，极限真空度为103Pa(10mbar)，四级活塞泵流量为7.5m3/hr,极限真空度为10Pa。
主要作为气体分析泵及高真空泵的前级泵使用。
无油隔膜泵（Oil-Free Diaphragm Pump）主要有普发(Pfeiffer)的MVP系列，凯孚(KNF)的Laboport系列以及莱宝(Leybold)的DiVac系列。
此类泵主要应用在实验室及作为分子泵的前级泵使用。
实验室应用主要有旋转蒸发器(rotary evaporators)、真空干燥箱(drying chambers)、真空过滤设备(filtration units)、真空蒸馏设备(vacuum distillation configurations)、凝胶干燥(gel drying)、真空升华(sublimation)、疏散真空干燥(evacuating desiccators)、分析仪器(analysis preparation)、流体灭菌(stream sterilization)、小样本真空冷冻干燥(small sample freeze drying)及其他医疗应用。
干式真空泵的应用及前景展望
干式真空泵的应用及前景展望●干式真空泵简介无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
到目前为止，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。
随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。
其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。
对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。
而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。
●干式真空泵的优点干式真空泵使工作容积中无油，因此带来了不少益处。
首先，它增强了泵的可靠性。
干式泵不像油密封泵那样受到水蒸气或者尘粒的影响，因此它们更耐用，所需的维护工作更少。
减少用油量还意味着减少了认真处理油而花费的成本。
使用干式真空泵还使可能的污染减到最小程度，这种污染既可能出现在油里——影响了泵的性能，也可能出现在某些极端的情况下，例如在最终产品中。
要想成功地更换现有的基于油的真空泵系统，关键是要找到针对特定应用的最合适的解决方案。
为了看一下可以受益的不同类型的应用，下面介绍四种不同的工业生产过程，以及它们使用干式真空泵的主要好处有哪些。
一、在滚动喷涂行业中便于维修金属喷镀覆膜是滚动喷涂行业中一种沿用已久的加工过程，它在真空环境下使用热蒸发技术。
一层薄薄的金属层（最常见的是铝）附着在纸张、聚乙烯（PE）或其他高分子膜上，从而形成一种坚固、漂亮的包装材料，它们能防潮、防灰、隔离光线。
这是适合于食品应用领域的理想材料，因为它使产品保持新鲜，延长保存期限。
各种真空泵的详细介绍
各种真空泵的详细介绍真空泵是一种将空气或其他气体从封闭容器中抽除的设备。
它广泛应用于科学研究、工业制造、医疗设备以及高科技领域。
根据不同的原理和应用需求，真空泵可以分为多种不同类型，以下是一些常见的真空泵及其详细介绍。
1.常规真空泵常规真空泵是一种基础设备，用于较低真空度的抽气工作。
它主要分为两类：干式真空泵和液环真空泵。
干式真空泵：干式真空泵使用叶片或齿轮机构来压缩和抽除气体。
它们无需使用润滑剂，因此运行更干净。
干式真空泵适用于一般的生产和实验室应用。
液环真空泵：液环真空泵利用液体（通常是水）的旋转运动来形成真空。
它们适用于液体和粉尘含量较高的工况。
液环真空泵具有较高的抽气速度和较低的噪声水平。
2.分子泵分子泵是一种高真空泵，可提供非常低的压力。
它的工作原理是利用高速运动的气体分子和表面的碰撞，将气体抽出。
分子泵通常用于高真空科学研究和半导体制造等领域。
3.扩散泵扩散泵是一种高真空泵，通过扩散气体分子的速度差异来实现气体抽出。
它通常与其他低真空泵（如液环泵或旋片泵）结合使用，以提供更高的真空度。
扩散泵广泛用于半导体制造和真空冶金等工业领域。
4.混合泵混合泵是一种结合了旋片泵和扩散泵的真空泵。
它可以同时提供较高的抽气速度和较低的极限真空度，适用于广泛的应用领域。
5.根式泵根式泵是一种高真空泵，通过叶轮运动产生气体分子的螺旋运动，从而实现气体排放。
根式泵具有高抽气速度和干燥净化的优点，广泛应用于电子器件制造和真空冶金等领域。
6.螺杆泵螺杆泵是一种高真空泵，利用螺旋转子和固定螺纹壳体之间的间隙来抽排气体。
螺杆泵具有较高的抽气速度和较低的噪音水平，适用于高真空和半导体制造等领域。
7.陶瓷泵陶瓷泵是一种特殊的真空泵，使用陶瓷材料制成。
它们具有非常高的耐腐蚀性和超高真空能力，常用于高纯度气体制造和超高真空实验室等应用。
以上是一些常见的真空泵类型及其详细介绍。
每种真空泵都有其独特的工作原理、优点和适用范围。
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Vertical self-draining ensures that fluid flow through the pump does not accumulate. Examples include: condensate, flooded water or cleaning agents. 竖直自排放结构能保证液体通过泵时不产生滞留现象，例如：冷凝物，过多水分 或清洗剂。
With the ”top-down” delivery (inlet on top, outlet at the lowest point of the pump casing) liquid and particle carry-over from the process is possible. “从上到下”的竖直输送方式（吸气口在泵体顶部而排气口在泵体最底部）便于夹带 的液体和固体颗粒的排放。
Suction capacity 吸气量[m3/h] 250
Ultimate pressure极限压力[mbar] < 0.005
Power consumption at ultimate
pressure 极限压力下的功率消耗 2,3
[kW]
Noise level 噪音 as per DIN 同DIN标准 [dB(A)]
The Benefits of SIHIdry at a Glance 特点概述
Low Life Cycle Costs 极低的全寿命成本
• no disposal costs无额外的处理费用 - totally dry principle of operation 完全干式操作 - no gears for rotor synchronisation 转子同步，没有齿轮传动
• for tough operating conditions 恶略的操作条件 -torque monitoring 扭矩监测 -liquid flushing during operation 液体在线清洗 -cleaning without dismantling pump 无需解体泵，即可清洁
• liquid carry-over 可夹带液体 • particle carry-over 可夹带固体颗粒 • corrosive gases 腐蚀性气体 • toxic and odorous gases
有毒和刺激性气体 • and many more 等等 ...
…Our Solution 我们的解决方案
The SIHIdry is a completely dry running twin-screw pump without any lubrication or sealing fluids. Stand alone capacity ranges from 100 up to1,000 m3/h.
Dry running vacuum pumps for general industrial Applications
干式真空泵在通用行业中的应用
Dry running vacuum pumps are used increasingly for a range of applications within the general industries sector. These vacuum pumps are an integral part of the process and must satisfy a range of demanding requirements. These include: 干式真空泵在通用行业领域的应用范围越来越广。这些真空泵可作为工艺流程的
Extremely Versatile… 便于使用…
For installation 便于安装 Position the pump on an even base 固定于水平底 Connect cooling water, process piping and power supply. Switch on. and it is fully operational 连接好冷却水、工艺管路和电源，打开启动开即可操作。
1000
m3/h
100
10
SIHIdry V250
SIHIdry V400
1
0.0001
0.001
0.01
0.1
1
10
100
1000
Suction Pressure 入口压力[mbar]
Performance range SIHIdry S–Version S系列SIHIdry 性能曲线
1000
m3/h
54
V400
SIHIdry S160 S400
400
160
< 0.001 < 0.01
400 < 0.01
2.5
3.5
7.0
54
54
64
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
S630 S1000 600 1000 < 0.01 < 0.01
10.0
18.0
70
74
SIHIdry simple, dry and reliable 简单,可靠,完全干式运行
Reliable Operation…操作可靠
For dust laden processes 含较多粉尘的工艺: Generous clearances between the spindles and casing permit the ability to handle particles. 转子和泵体之间充裕的间隙，使之具有处理固体颗粒的能 力。 For corrosive processes 含腐蚀性介质的工艺: Optimised internal temperatures allow the machine to accommodate corrosive gases. 最优化的内部温度控制，使设备可适合腐蚀性气体介质。
• offering the flexibility required for batch process operations 适用于有批次操作的机动性要求
• low life-cycle costs. 极低的寿命周期成本 SIHIdry meets the need for a simple, robust and reliable vacuum pump that can handle liquid and solid carry-over as well as rapidly changing operating conditions. SIHIdry是一种结构简单、高效、安全可靠和耐用的适合各种需求的真空设备，可 处理各种夹带液体和固体颗粒介质以及不断变化的操作条件.
In operation 操作: The SIHIdry is completely dry and therefore does not generate any waste disposal costs. Energy requirements are minimised by simply adjusting the rotational speed in order to match the required volumetric flow-rate. 完全干式运行的SIHIdry无任何废液处理费用。能量需求也极低，只需简单地调整转 速以满足不同体积流量的要求。
一个整体单元，同时必须满足一系列极其严格的要求；它们的特点包括： • minimising the disposal costs of any service liquid 最小的工作液处理成本
• providing uncontaminated vacuum, that is free from lubricant and service liquid 因为不使用润滑油和工作液，所以可提供完全洁净的真空
Combining with Roots blowers provides much higher capacities. SIHIdry真空泵完全干运行，两个螺杆间无任何润滑油或密封液。标准单台泵吸气 量从100到1000 m3/h，与罗茨泵结合可以达到更高的能力。 The pump is ideally designed for industrial applications. 完美的设计适用于多种行业的应用要求.
• low energy costs 低能量消耗 - reduced power consumption 降低功率消耗
• wear free 无磨损 - non contacting rotors 无接触转子 - no mechanical shaft seals 无机械轴封 - electronic rotor synchronization 电气同步 - no rotor coatings 转子没有涂层
Quiet 运行安静
• no gear box 无齿轮箱
Robust and Reliable 高效可靠
• for wet processes湿气处理 - no stagnant areas in pump casing 泵腔内无滞留死角 -liquid carry-over / flushing capability 液体夹带冲洗功能
• for particle handling 处理固体颗粒 - top-down flow 从上到下输送 - wide clearances 宽的间隙 - open screw geometry 开式螺杆外形
SIHIdry Range 吸气范围
Performance range SIHIdry V– Version V系列SIHIdry 性能曲线
SIHIdry – Dry running vacuum pumps for general industries SIHIdry – 用于通用行业的干式真空泵