干式真空泵
干式真空泵标准
干式真空泵标准一、范围本标准规定了干式真空泵的术语和定义、型号与结构、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于干式真空泵的设计、生产、使用和检验。
二、规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
三、术语和定义干式真空泵是指一种通过机械运动使气体产生压缩，从而降低气体压力的设备。
它不依赖于任何液体的参与，因此也被称为无油真空泵。
四、型号与结构干式真空泵的型号和结构应符合相关标准的规定。
其主要由泵体、叶轮、泵盖、轴等组成。
五、技术要求1. 性能要求：干式真空泵的性能应符合相关标准的要求，包括抽气速率、极限压力等。
2. 外观要求：干式真空泵的外观应整洁，无明显划痕、毛刺等缺陷。
3. 尺寸要求：干式真空泵的主要尺寸应符合设计图纸的要求。
4. 材质要求：干式真空泵的主要部件应采用符合要求的材质制造。
5. 运转要求：干式真空泵在正常工作条件下应平稳运转，无异常声响。
6. 可靠性要求：干式真空泵应能满足规定的可靠性指标，如平均无故障时间等。
7. 能效要求：干式真空泵的能效应符合相关标准的要求。
六、试验方法1. 外观检查：采用目视法对干式真空泵的外观进行检查。
2. 尺寸测量：采用测量工具对干式真空泵的主要尺寸进行测量。
3. 性能测试：在规定条件下，对干式真空泵的性能进行测试，包括抽气速率、极限压力等。
4. 可靠性试验：在规定条件下，对干式真空泵进行长时间运行试验，以评估其可靠性。
5. 能效测试：在规定条件下，对干式真空泵的能效进行测试。
七、检验规则1. 出厂检验：每台干式真空泵在出厂前都应进行检验，确保其符合本标准的要求。
2. 型式检验：在产品研发、定型及批量生产阶段，应进行型式检验，以验证产品是否符合本标准的要求。
3. 定期检验：对于长期使用的干式真空泵，应定期进行检验，以确保其性能和可靠性。
真空干燥箱真空泵类别
真空干燥箱的组成部分有真空泵，而且真空泵在一定程度上来说会直接影响到真空干燥箱的使用。
大家在选择真空干燥箱的时候要注意真空泵的使用类别，本次就分享真空泵的相关类别，希望对大家有所帮助。
一、干式真空泵
该真空泵也被称为无油真空泵，其特点就是可以依靠机器自身的元件来达到实验时需要的真空度，也就是说在使用的时候无污染、也可以免去保养步骤。
实验室中较常使用的是无油活塞式和耐腐蚀隔膜式两种类型。
二、非干式真空泵
非干式真空泵可以分为油式真空泵、水循环真空泵两种类型。
但是两种类型的真空泵的共同点是需要借助其他的物质诸如水和油以达到使用者理想的真空度，当然较常使用的是油式旋片泵。
三、旋片式真空泵
转子是以一定的偏心距被装在真空泵的壳内并且会与泵壳的内表面的固定面靠近。
四、滑阀式真空泵
该种真空泵在偏心转子的外部会装有一个滑阀，一般来说转子旋转时会带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动
五、定片式真空泵
该种真空泵在壳内会装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，而泵壳上会装有一个径向滑片，该滑片会始终与转子表面接触，也就是说当转子旋转时，滑片可以将泵腔分成两个可变容积。
上述就是对真空泵类别的相关介绍，但是根据不同的介质，真空泵还可以分为其他的类别。
希望大家通过本文对泵的类别能有所了解。
螺杆型干式真空泵标准
螺杆型干式真空泵标准螺杆型干式真空泵是一种广泛应用于工业、科研和其他领域的真空设备。
其标准主要涉及产品设计、制造、检测和使用等方面。
以下是可能包含在螺杆型干式真空泵标准中的一些方面：产品设计和制造标准基本参数和规格：确定螺杆型干式真空泵的基本设计参数，包括流量、真空度、功率等。
材料选用：规定泵的主要部件所使用的材料，确保其具备良好的腐蚀抗性和耐磨性。
结构设计：包括螺杆结构、密封结构、冷却系统等设计要求，确保产品的结构合理、性能稳定。
安全设计：规定安全设计要求，包括过热保护、过载保护等，以确保设备在使用中的安全性。
检测与试验标准性能测试：规定螺杆型干式真空泵的性能测试方法，包括流量测试、真空度测试、功率测试等。
可靠性测试：确定对螺杆型干式真空泵进行可靠性测试的方法，以保证其在长时间使用中的稳定性。
噪音测试：确定螺杆型干式真空泵的噪音测试方法，以满足环境噪音标准。
温度测试：规定螺杆型干式真空泵在不同工况下的温度测试要求，确保其在各种环境下的可靠性。
使用与维护标准安装要求：确定螺杆型干式真空泵的安装要求，包括安装位置、电源要求等。
操作手册：提供详细的螺杆型干式真空泵操作手册，包括启动、停机、维护等方面的操作指南。
维护周期：规定螺杆型干式真空泵的维护周期和方法，以延长设备的使用寿命。
故障排除：提供故障排除流程和方法，确保在出现问题时能够迅速解决。
环保和能效标准能效要求：规定螺杆型干式真空泵的能效标准，以确保产品在使用中的高效能。
环保要求：确定螺杆型干式真空泵在制造和使用过程中的环保要求，符合相关环保法规。
废弃处理：提供废弃螺杆型干式真空泵的处理方法和环保要求。
以上只是可能包含在螺杆型干式真空泵标准中的一些方面，具体标准可能会因国家或地区而异。
在实际应用中，建议参考相应的标准文件，以确保产品设计、制造、使用等方面都符合标准的要求。
干式真空泵
干式真空泵干式真空泵是一种不需要润滑液的无油气体泵，它可以达到高真空（高达10^-8 mbar），并且可以更加可靠地处理有害物质，因为没有润滑液会污染物质。
与传统的液体环真空泵相比，干式真空泵具有更高的效率和更长的寿命。
工作原理干式真空泵以类似于压缩机的方式工作，但是没有任何液体润滑介质。
在内部，泵将气体压缩到较高的压力，然后将其排放到外部环境中。
干式真空泵还包括一个旋转机构，该机构旋转以消除速度梯度，从而在整个泵中创建一个均匀的气体流。
优点与应用干式真空泵具有许多优点，除了无需润滑液外，它还能够处理有害气体，因为在整个系统中没有液体润滑剂可以污染或吸收这些气体。
这使得它非常适合需要处理有机化学品、溶剂或高腐蚀性气体的实验和工业应用。
在半导体行业，干式真空泵也被广泛应用于制造过程中。
由于干式真空泵可以处理有害气体，同时也可以保证生产过程的重复性和稳定性，因此在这个行业和其他一些需要高度洁净环境的行业中使用。
另一个优点是，干式真空泵相对于液体环真空泵更加节能，更加环保。
由于减少了液体润滑剂的使用，可以减少对环境的影响。
此外，干式真空泵还可以降低生产和维护成本。
不足之处虽然干式真空泵具有许多优点，但是它们在某些方面可能会有限制。
例如，由于这些泵的工作原理，它们主要适用于轻质气体。
对于重型气体，它们需要更多的功率来运行，并且需要更高的维护水平以确保持续的性能。
总的来说，干式真空泵是一种可靠、高效、环保的气体泵，它在许多实验和工业应用中都得到了广泛应用。
随着技术的进步和新的应用场景的发现，它们的应用范围还将继续扩大。
爪型干式真空泵
爪型干式真空泵说明书目录1 爪型干式真空泵概述及特点 (2)2 爪型干式真空泵性能参数 (3)3 安装说明 (6)4 使用方法 (6)5 保养维护 (7)6 注意事项 (7)7 随机文件（见装箱单） (9)说明：爪型干式真空泵是一种高精密的机器，尽管它的各项技术性能经各行业用户长期使用证明：在正常使用下能确保长期可靠的工作，并且维护成本低。
但是，如果使用和维护不当，将导致严重的损坏。
故此我们恳请用户：使用前请仔细阅读本说明书。
1 爪型干式真空泵概述及特点1.1 爪型干式真空泵概述爪型干式真空泵利用连接在两轴上的成对的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间以及转子与隔板之间进行有间隙、无摩擦的啮合所形成的密闭腔的容积大小变化来完成吸排气过程。
爪型干式真空泵被广泛应用与半导体、光学器件、化工、核工业、薄膜、仪器、医药、生物制药和食品等领域。
1.2 爪型干式真空泵的特点1)泵腔内不含油类等任何介质、清洁抽空，对环境无污染；2)真空度高，可达3Pa；3)结构简单，易于操作和维护，运行成本低；4)能在较高压力下长期连续工作，噪声小；5)能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含有尘埃的气体和可凝性气体（例如水蒸气、有机气体等）；6)能做气体传输泵使用，压缩比良好，可达10-105；7)转子对悬浮在泵腔内，转子对间，转子与泵腔间不接触，无摩擦，使用寿命长。
2 爪型干式真空泵性能参数2.1 2ZBW系列性能参数表一：2ZBW系列爪型干式真空泵性能参数* 噪声等级为排气口通向室外，进气口关闭下所测得；可选配件：聚四氟乙烯涂层（防腐型价格上浮5%）变频器，小车，消音器，真空表，真空计，电磁阀。
图1：2ZBW系列爪型干式真空泵抽速压力曲线图2.2 4ZBW系列性能参数表二：4ZBW系列爪型干式真空泵性能参数* 噪声等级为排气口通向室外，进气口关闭下所测得；可选配件：聚四氟乙烯涂层（防腐型价格上浮5%）变频器，小车，消音器，真空表，真空计，电磁阀。
干式真空泵生产工艺流程
干式真空泵生产工艺流程下载提示：该文档是本店铺精心编制而成的，希望大家下载后，能够帮助大家解决实际问题。
文档下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by this editor. I hope that after you download it, it can help you solve practical problems. The document can be customized and modified after downloading, please adjust and use it according to actual needs, thank you!In addition, this shop provides you with various types of practical materials, such as educational essays, diary appreciation, sentence excerpts, ancient poems, classic articles, topic composition, work summary, word parsing, copy excerpts, other materials and so on, want to know different data formats and writing methods, please pay attention!干式真空泵是一种常用于工业生产和科学研究中的重要设备，其生产工艺流程对产品质量和性能有着至关重要的影响。
干式真空泵维修保养___概述说明以及解释
干式真空泵维修保养概述说明以及解释1. 引言是文章的开头部分，用于引出主题并说明文章的结构和目的。
在本篇长文中，引言部分将包括概述、文章结构和目的。
1.1 概述干式真空泵作为一种常见的工业设备，在许多行业中广泛应用。
它具有高效、清洁、低噪音等优点，可以满足各种真空需求。
然而，由于长时间使用或不当操作导致的故障，干式真空泵需要进行定期维修保养才能保持其正常运行和延长使用寿命。
1.2 文章结构本文将按照以下结构来介绍干式真空泵维修保养的相关内容：- 引言：介绍文章背景和结构。
- 干式真空泵维修保养概述：详细介绍干式真空泵及其重要性、目的和原则。
- 干式真空泵维修保养要点：深入讨论清洁和润滑、零件更换和维修技巧以及故障排除和常见问题解决方法等关键要点。
- 结论：总结干式真空泵维修保养的重要性，并提供未来发展趋势和建议。
1.3 目的本文的主要目的是为读者提供关于干式真空泵维修保养的详细说明和解释。
通过阅读本文，读者将能够了解干式真空泵的基本知识、维修保养的重要性以及如何进行有效的维护和故障处理。
此外，本文还将探讨干式真空泵未来发展的趋势，并给出相关建议，以帮助读者更好地应对干式真空泵维修保养方面的挑战。
2. 干式真空泵维修保养概述2.1 干式真空泵介绍干式真空泵是一种常用的真空设备，主要用于产生和维持高度稳定的真空环境。
相比于传统的润滑剂使用的液环真空泵，干式真空泵采用无油设计，无需添加润滑剂，减少了对环境的污染，同时降低了使用成本和维护工作量。
2.2 维修保养的重要性干式真空泵在长期使用过程中会因为各种原因导致故障和损坏，因此进行定期的维修保养是非常重要的。
正确的维修保养可以延长干式真空泵的使用寿命，提高其运行效率，并且减少潜在故障带来的经济损失。
2.3 维修保养的目的和原则维修保养的目标是确保干式真空泵能够正常运行且具有稳定可靠的性能。
其原则包括以下几点：1) 正确操作：遵守使用手册提供的操作指南及相关规范要求，确保正确操作设备。
干式真空泵操作规程
干式真空泵操作规程
《干式真空泵操作规程》
一、使用前检查
1. 检查电源是否接好，接地是否良好。
2. 检查密封圈是否完好，有无破损或老化。
二、操作步骤
1. 打开干式真空泵前先打开对应的阀门，并关闭与其他设备的连接。
2. 开始操作前，先将泵内部部件用洁净的酒精擦拭干净。
3. 打开主电源开关，启动泵。
4. 观察真空泵的运行状态，如有异常声音或震动应停止运行检查原因。
5. 当真空泵正常运行后，逐步打开相应的阀门，将空气逐渐抽空。
同时保持观察真空度表的读数，确保泵运行正常。
6. 当需要停止操作时，先关闭阀门，并等待真空泵停止后再关闭主电源开关。
三、维护保养
1. 每次操作结束后，必须清洁泵体，特别是排气口和滤网。
2. 定期更换滤网，并检查密封圈的完好情况，如有破损应尽快更换。
3. 定期对泵进行检查和保养，确保其正常运行。
四、安全注意事项
1. 操作人员应穿戴好防护用具，避免与运行中的设备直接接触。
2. 在操作过程中，严禁使用金属工具靠近泵体。
3. 操作人员应具备一定的专业知识和操作经验，严禁未经培训的人员擅自操作。
4. 在操作时如遇到泵体异常震动或噪音过大的情况，应立即停止操作并检查原因。
以上就是关于《干式真空泵操作规程》的相关内容，希望能帮助操作人员正确、安全地进行操作。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
1.6.2
驱动联结器操作
DP80 和 DP160 泵都有一个活动的驱动联结器，以便在泵马达和泵转子之间产生传动。 请参见图 20。联结器轴 （16）安装在泵轴杆 （17）上，驱动轴 （5）安装在马达轴杆 （7）上。 活动的驱动联结器短销 （18）安装在联结器轴上，紧挨着驱动轴上的驱动爪 （4） 。
Falcon08061/09-2003
Drystar 化学干式真空泵
i
节 4 4.1 4.2 4.3 4.4 4.4.1 4.4.2 5 5.1 5.2 5.3 5.4 5.5 5.6 5.7 5.8 5.9 5.9.1 5.9.2 5.9.3 5.10 5.10.1 5.10.2 5.10.3 5.11 5.11.1 5.11.2 5.11.3 5.11.4 5.11.5 5.12 5.13 5.14 5.15 5.15.1 5.15.2 5.15.3 5.15.4 5.15.5 5.15.6 5.15.7
标题 将泵马达和联结器箱重新装到泵上 （无马达移动架） 将泵马达和联结器箱重新装到泵上 （有马达移动架） 重新润滑发动机轴承 简介 常规需求 重新润滑间隔 更换发动机轴承 查找故障 存储和丢弃 存储 丢弃 维修、备件和附件 简介 维修 备件和维护工具箱 发动机轴承工具箱 附件 购买选件
页码 68 69 71 71 71 72 73 74 74 74 74 75 75 75 75 79 80 80
页码 32 33 33 34 35 35 38 39 39 39 41 41 43 43 45 47 50 50 50 51 51 51 51 52 54 54 54 56 58 58 58 60 60 60 61 61 66 66 66 67 67
ii
Drystar 化学干式真空泵
节 5.15.8 5.15.9 5.16 5.16.1 5.16.2 5.16.3 5.17 5.18 6 6.1 6.2 7 7.1 7.2 7.3 7.4 7.5 7.6
IPX100³…þ¾’Êø’±Ð Manor Royal, Crawley, West Sussex RH10 2LW, UK 电话：+44 (0) 1293 528844 传真：+44 (0) 1293 533453
1
目录
节 1 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6 1.6.1 1.6.2 1.6.3 1.7 1.8 1.9 1.10 2 2.1 2.2 2.3 2.4 2.5 2.6 3 3.1 3.2 3.3 3.4 3.5 3.6 3.6.1 3.6.2 3.6.3 3.7 3.8 3.9 3.10 3.10.1 3.10.2 3.11 3.12 3.12.1 3.12.2 3.12.3 标题 简介 范围和定义 Drystar 泵 气体系统 温度控制系统 压力安全阀 （仅 DP250 和 DP400） 传动操作 简介 驱动联结器操作 转矩限制器操作 泵固定架 防火型和标准型的泵 附件 购买选件 技术数据 一般 维修 温度控制系统 冷却液类型 润滑系统 依据 BS 5345 的区域分类 安装 安全 打开和检查包装箱 确定泵的位置 检查冷却液液位 检查变速箱油位 电气连接 简介 连接泵马达电源 连接热保护自动开关 检查泵旋转方向 连接冷却水供应 轴封处清洗氮供应的连接 连接泵入口及泵出口 将泵连接到工艺系统 连接泵出口 对安装的系统进行泄漏测试 泵的试运转 调节热保护自动开关 （如果需要） 试运转步骤 调节 TCV （温度调节控制阀） 页码 1 1 2 2 2 3 3 3 3 6 6 7 7 7 8 8 9 9 11 11 12 14 14 14 15 16 16 18 18 18 21 23 24 24 26 26 27 28 28 28 30 31
标题 操作 启动泵 泵预热 关闭泵 检查和重置转矩限制器 （仅适合带有转矩限制器的泵） 检查转矩限制器 重置转矩限制器 维护 安全 维护计划 检查变速箱油位并加油 （如果需要） 取出入口过滤器 检查管路和连接管 检查压力安全阀并更换铰链短销、 口盖和 'O' 形圈 （如果需要） ：仅 DP250 和 DP400 更换变速箱油并清洁油位视窗 重新润滑转子轴承 检查冷却液液位并填注冷却液 （如果需要） 向泵中重新填注 BOC Edwards 冷却液 向泵中填注其它冷却液 检查冷却液泄漏 用清洁液清洗泵 简介 清洗已经运行的泵 清洗停滞的泵 清洁冷却系统 排出冷却系统中的冷却液 清洁冷却水过滤器 清洁冷却水流量指示器 清洁热交换器 准备操作泵 泵的大修 更换压力安全阀 （仅 DP250 和 DP400） 检查转矩限制器 更换泵马达和驱动联结器短销 降低泵马达和联结器箱 （无马达移动架） 降低泵马达和联结器箱 （有马达移动架） 从泵马达上取下联结器箱 更换驱动联结器短销 取下驱动轴并装到新的泵马达上 （无转矩限制器的泵） 取下转矩限制器并装到新的泵马达上 （带有转矩限制器的泵） 将联结器箱装到新的泵马达上
表
表 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 标题 满负载和空负载额定电流 技术数据 可换用的冷却液 部件一览表 TCV 设置 维护计划 推荐重新润滑鞋子轴承的频率 必需的发动机轴承重新润滑油量 发动机轴承重新润滑间隔 查找故障 发动机轴承工具箱项目编号 页码 10 10 11 15 31 40 47 71 72 74 79
小心 - 有触电危险。
小心 - 高温表面。
本手册中使用的单位符合 SI 国际测量单位系统。
Drystar 化学干式真空泵
1
注意： 阅读以下各节时请参照图 1。
1.2
Drystar 泵
Drystar 泵是一种稳固可靠的干式真空泵，是专门为化学和制药工业而设计的。 此泵垂 直安装在固定架 (6) 上；这种配置可确保工艺气体中的液体顺利地从泵中排出。 此泵是一个正向排气的三级旋转泵，此泵有数对相互咬合的转子 （安装在共同的轴杆 上） ，这些转子通过调速齿轮来保持正确的相位关系。 调速齿轮和邻近的双排向心止推 滚珠轴承均为油润滑。
!
有了压力安全阀，泵就可以在压力从大气压降到 10 mbar (1 x 103 Pa) 的情况下提供恒定 的泵速，注意：转矩限制器只能保护泵机械装置。
1.6.1
简介
DP250 和 DP400 泵都有一个转矩限制器。 DP80 和 DP160 泵都有一个驱动联结器， 而且 在购买这些泵时，可以要求在泵上安装转矩限制器 （参见第 1.10 节） 。 有关驱动联结 器操作的说明，请参见第 1.6.2 节，有关转矩限制器操作的说明，请参见第 1.6.3 节。
项目编号
A702-51-900 A702-53-901 A702-53-925 A704-51-900 A704-53-901 A704-53-925 A705-51-900 A705-53-901 A705-53-925 A706-51-900 A706-53-901 A706-53-925
Drystar 是 BOC group plc 的注册商标。
iv
Drystar 化学干式真空泵
1
1.1
简介
范围和定义
本手册提供 BOC Edwards Drystar DP80、DP160、DP250 和 DP400 化学干式真空泵的安 装、操作和维护说明。 您必须按照本手册中的说明来使用 Drystar 泵。 请在安装和操作泵之前阅读本手册。 “警告”和 “小心”说明是强调指出的重要安全 信息；您必须遵守这些说明。 下面定义了 “警告”和 “小心” 。 警告 在不遵守说明会导致人员伤亡的地方给出警告。 小心 在不遵守说明会导致本设备、关联设备或工艺损坏的地方提示小心。 本泵上带有下列 IEC 警告标签： 小心 - 参见附带的文档。
A705-51-846 K版
使用手册
Drystar® DP80、 DP160、 DP250 和 DP400
化学干式真空泵
说明
Drystar DP80， 380/400/415 V， 50 Hz，标准型 Drystar DP80， 380/400 V， 50 Hz，防火型 Drystar DP80， 415 V， 50 Hz，防火型 Drystar DP160， 380/400/415 V， 50 Hz，标准型 Drystar DP160， 380/400 V， 50 Hz，防火型 Drystar DP160， 415 V， 50 Hz，防火型 Drystar DP250， 380/400/415 V， 50 Hz，标准型 Drystar DP250， 380/400 V， 50 Hz，防火型 Drystar DP250， 415 V， 50 Hz，防火型 Drystar DP400， 380/400/415 V， 50 Hz，标准型 Drystar DP400， 380/400 V， 50 Hz，防火型 Drystar DP400， 415 V， 50 Hz，防火型
2
Drystar 化学干式真空泵
1.5
压力安全阀 （仅 DP250 和 DP400）
DP250 和 DP400 泵有一个压力安全阀 （26） ，安装在泵出口和泵最后一级之间的管道 中。该阀在通常情况下因自身重量而闭合，但当泵入口压力发生变化时会打开，如下所 述：
!
当 DP250 上的泵入口压力达到或超过 300 mbar (3 x 104 Pa)， 或者当 DP400 上的泵入口 压力达到或超过 200 mbar (2.0 x 104 Pa) 时，级间压力迫使该阀打开。 这样，工艺气 体就直接从第二级达到泵出口，而不用在泵的第三级进行压缩。 当泵入口压力低于上述值时，级间压力较低，该阀处于闭合状态。 工艺气体通过泵 的所有级；也就是说工艺气体先在第三级被压缩，然后才到达泵出口。
1.3
气体系统
清洗管 (17) 对轴封进行氮清洗。此氮清洗可以 ：确保在泵运行期间轴封保持正压力；防 止腐蚀性或毒性工艺气体进入泵的变速箱；防止泵油对工艺气体的污染；防止碎片损 坏轴封。 还可以使用附件工具箱来对泵进行末级气锁和入口清洗。请参见第 7 节。