电子厂房洁净室设计及探讨

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电子企业洁净室工程施工

电子企业洁净室工程施工

电子企业洁净室工程施工随着电子行业的飞速发展,对洁净室工程的要求也越来越高。

洁净室工程是电子企业生产过程中至关重要的一环,它直接影响到产品的质量和产量。

本文将从洁净室工程施工的几个关键方面进行详细介绍。

一、洁净室的设计与规划洁净室的设计与规划是洁净室工程的基础。

在设计过程中,需要充分考虑企业的生产需求、产品特点和生产规模等因素。

首先,洁净室的面积应根据生产设备的尺寸和生产流程进行合理规划,确保生产过程的顺畅进行。

其次,洁净室内的布局应合理,设备摆放、管道布局和通风系统的设计都要考虑到生产效率和人员操作的便利性。

此外,洁净室的设计还要考虑到未来的扩展和升级,留有足够的空间和接口。

二、洁净室的材料选择洁净室的材料选择对保证洁净室的环境至关重要。

墙面和天花板应选择易清洁、抗菌防霉、不释放有害气体的材料,如不锈钢板、PVC板等。

地面通常采用环氧自流平地坪,具备防静电、耐磨损、易清洁等特点。

适合车间环境的材料选择能够降低细菌滋生和灰尘积累的风险,确保洁净室的洁净度。

三、洁净室的通风系统洁净室的通风系统是保证洁净室环境的关键。

通风系统的设计应确保车间内的空气质量,及时排除产生的尘埃和有害气体。

根据车间使用需求,通风系统应配备高效空气过滤器、洁净工作台、负压隔离器等设备。

同时,通风系统的设计还要考虑到节能和环保,合理配置风量和风速,减少能源消耗。

四、洁净室的设备与设施配置洁净室内需要安装各种设备和设施,以满足生产需求。

常见的设备包括洁净工作台、自动化设备、检测设备等。

这些设备的选型和安装应根据产品的特点和生产工艺进行。

此外,洁净室还应配备相应的检测设备和仪器,以确保车间内环境的洁净度和工作效率。

五、洁净室的施工管理与质量验收洁净室的施工管理对保证工程质量至关重要。

在施工过程中,应严格按照设计要求进行施工,确保材料安装的质量和工艺的合理性。

施工完成后,应进行专业的洁净度检测和质量验收,确保洁净室的环境达到设计要求。

微电子工业洁净厂房的设计探讨

微电子工业洁净厂房的设计探讨

微电子工业洁净厂房的设计探讨作者:钮维王珂来源:《科学与技术》2018年第15期摘要:随着微电子、集成电路工业的飞速发展,对洁净厂房的空气洁净度要求越来越高。

在设计过程中电气专业对配电设备及灯具的选型及安装方式要考虑空气洁净度的要求,在配电设备及灯具的布置上要与其它专业,尤其是暖通专业密切配合,做到不易积灰、不影响气流流型,保证洁净室的空气洁净度。

关键词:微电子工业;洁净技术;设计电子生产厂房,洁净车间成为其主要的生产车间。

结合某微电子厂房的空调设计,介绍洁净厂房的设计,对洁净区的温度、湿度、洁净度、正压值、运行分别进行分析。

一、洁净厂房中电气设计随着电子工业的飞速发展,洁净厂房对空气洁净度的要求越来越高,要求控制尘粒的粒径到0.1μm以下。

新的《洁净厂房设计规范》GB50073-2013中空气洁净度从4个等级增加为9个等级,即1级、2级、3级……9级。

采用暗装方式主要是考虑灰尘不易积累。

而选用大型落地式配电设备,暗装进墙内很困难,采用明装方式会积累大量灰尘。

故为了减少积灰,大型落地配电设备宜放置在非洁净区内。

洁净室内的电气管线宜采用暗敷设的方式,这样要求的目的也是为了减少灰尘的积累。

由于洁净厂房有空气洁净度的要求,各个专业的管线均采用暗敷的方式,电气专业的电缆桥架、管线在暗敷时要注意与其他各专业的协调和配合。

微电子、集成电路工业由于用电点较多、较集中,如采用配管的方式线管较多,布线较凌乱,给施工会带来不便,故采用电缆桥架配线,穿管引下至用电点是个较好的选择。

洁净厂房技术夹层或技术吊顶内的风管较多,且有纵有横,电缆桥架采用局部翻越风管的方式并不适合,故电缆桥架标高需高于风管的顶标高;当洁净厂房内设置自动喷水灭火系统时,桥架标高需同时高于风管的顶标高和自动喷水管道的最高点。

考虑到防火要求,洁净室内穿线导管应采用不燃材料,一般工程设计中常采用镀锌钢管,除了埋地、埋楼板和消防管线外,也可采用氧指数在27以上的难燃PVC管。

电子车间净化工程装修方案

电子车间净化工程装修方案

电子车间净化工程装修方案一、项目背景电子车间是电子产品制造过程中非常重要的一个环节,它在生产过程中需要保持环境的洁净度和无尘状态,以确保产品的质量和可靠性。

为了满足这一需求,净化工程装修成为电子车间建设中不可或缺的一部分。

本文将围绕电子车间净化工程装修的各个方面,提出完善的装修方案。

二、净化等级要求根据电子产品制造行业的特点,电子车间的净化等级通常要求达到普通净化或超净化级别。

普通净化要求室内空气中的颗粒物浓度控制在一定的范围内,而超净化要求则更加严格,要求室内空气中的颗粒物浓度几乎为零。

三、空调系统设计1. 为了满足电子车间的净化要求,需要设计高效的空调系统。

该系统应该具有良好的过滤和排风功能,以净化室内环境,保证室内空气的洁净度。

2. 空调系统的布局应该合理,并且要有备用系统,以备系统出现故障时能够快速响应并保证车间生产的正常进行。

3. 考虑到电子产品制造过程中产生的热量,空调系统的设计应该具有良好的散热和降温功能,以确保车间内温度的稳定。

四、地面和墙面装修1. 电子车间的地面和墙面装修应该选用防尘、耐腐蚀、易清洗的材料,以方便车间的日常清洁和维护。

2. 在地面和墙面装修中,应该考虑使用防静电材料,以防止静电对电子产品的影响。

3. 同时,地面和墙面的颜色应该选择浅色系为主,以减少尘埃的显著度,从而清洁工作更加方便。

五、过滤设备的安装1. 在车间内需要安装合适的过滤设备,以过滤和清洁室内空气。

这些过滤设备应该能够有效地去除室内空气中的颗粒物和细菌等。

2. 过滤设备的选择应该能够满足车间的净化等级要求,根据需要选择不同级别的过滤器。

六、照明系统设计1. 电子车间的照明系统应该具有良好的亮度和均匀性,以确保工作人员在操作过程中能够清晰地看清细节,提高生产效率。

2. 同时,照明系统的设计应该避免出现闪烁和眩光,以减少对工作人员的不良影响。

3. 考虑到电子产品对光线的敏感性,照明系统的设计应该避免紫外线和红外线的辐射。

电子工厂施工要求与洁净室建设规范

电子工厂施工要求与洁净室建设规范

电子工厂施工要求与洁净室建设规范在现代社会中,电子工厂已成为一个不可或缺的产业。

随着科技的不断进步,电子产品的需求也越来越大,因此电子工厂的建设变得尤为重要。

而在电子工厂的建设中,洁净室的建设更是必不可少的一部分。

洁净室的建设规范对于电子产品的生产过程起到至关重要的作用。

首先,电子工厂的施工要求是非常严格的。

由于电子产品的生产对环境要求极高,因此在建设电子工厂时需要遵守一系列的规定和标准。

例如,建筑材料必须符合环保标准,以减少对工作人员和产品的污染。

此外,施工过程中需要严格控制噪音和振动,以保证生产设备的正常运行。

此外,工程质量也是电子工厂施工不可或缺的一部分,所有的施工和安装必须符合相关的施工标准,并经过严格的验收。

其次,洁净室的建设规范对于电子产品的生产至关重要。

洁净室是为了保证产品的质量而建立的一个封闭环境,内部的空气质量必须达到特定的标准。

在建设洁净室时,首先要选择合适的建筑材料和设备,以保证空气的净化效果。

其次,必须严格控制洁净室内外的空气流动和温度湿度等参数,以避免异物和污染物进入洁净室。

此外,洁净室的清洁和维护也是至关重要的。

洁净室内的清洁工作要定期进行,以确保洁净度的稳定。

电子工厂的建设和洁净室的建设离不开科技的支持。

随着科技的不断进步,洁净室的建设也在不断改进。

比如,现在很多洁净室都采用了自动化控制系统,可以实时监测和调节洁净室的空气质量和温湿度等参数。

此外,一些新型的过滤器和净化设备也被广泛应用于洁净室的建设中,以提高洁净室的净化效果。

未来,随着科技的不断发展,电子工厂的建设和洁净室的构建将会进一步完善。

对于电子工厂来说,除了保持洁净室的建设规范外,还需要不断引进新的技术和设备,以提高生产效率和产品质量。

同时,电子工厂也应该关注环境保护,减少对环境的污染。

总之,电子工厂施工要求与洁净室建设规范是电子产品生产过程中的重要环节。

通过严格遵守施工要求和建设规范,可以保证电子产品的生产过程达到高质量的标准。

电子车间净化工程方案范本

电子车间净化工程方案范本

电子车间净化工程方案范本一、项目概述随着电子工业的迅速发展,电子车间的净化工程已成为维护生产环境和产品质量的重要一环。

净化工程的目标是通过控制空气中的颗粒物和微生物的浓度,保持车间空气质量符合生产需求,确保产品的质量和可靠性。

本净化工程方案旨在对电子车间进行净化工程设计和实施,以提高生产环境的洁净度,满足车间生产的需求。

二、项目背景电子车间是指生产和组装电子元件、电子产品的生产车间。

在这些车间中,对空气洁净度的要求非常高,因为微小的颗粒物和微生物对电子产品的生产和质量具有非常大的影响。

因此,净化工程在电子车间中具有重要的作用。

三、净化工程方案设计内容1. 空气处理系统设计在电子车间中,空气处理系统是净化工程中的核心部分。

空气处理系统的主要功能是过滤空气中的颗粒物和微生物,调节空气温湿度,保持空气洁净度符合要求。

空气处理系统的设计需要考虑车间的布局和使用需求,以确保系统的稳定性和有效性。

空气处理系统的设计包括风道系统、过滤器、换气系统等部分。

风道系统需要合理布局,以确保空气能够均匀流通到整个车间。

过滤器的选择需要根据车间的洁净度要求和空气中的颗粒物浓度来确定。

换气系统的设计需要考虑车间的使用情况和空气质量要求,以确保能够及时将车间中的污染物排出。

2. 超净室设计在电子车间中,超净室是保证电子产品生产的洁净环境的关键部分。

超净室的设计需要考虑空气洁净度、温湿度、气流速度等因素,以确保能够满足生产的要求。

超净室的设计也需要考虑人员进出和物料输送等因素,以确保超净室的洁净度不受到影响。

3. 净化设备选择净化工程中的设备选择对净化效果和能耗有着重要影响。

在空气处理系统中,需要选择合适的风机、过滤器、加热器等设备,以确保系统能够稳定、有效地工作。

在超净室中,需要选择合适的空气净化设备、洁净工作台等设备,以确保超净室能够满足生产的要求。

4. 净化工程施工净化工程的施工需要按照设计方案进行,以确保系统能够正常运行。

新形势下电子洁净厂房建筑设计的探讨分析

新形势下电子洁净厂房建筑设计的探讨分析

新形势下电子洁净厂房建筑设计的探讨分析摘要:近年来,随着科学技术的发展,电子产品生产发展很快,同一种产品需要阶段性更新换代并进行生产工艺调整,生产规模扩大,电子类工业洁净厂房的建筑平面和空间设计必须适应产品的迅速发展及扩大生产需要的灵活性,这里结合实际设计案例,分别从规划设计和厂房内部空间设计两方面浅谈设计体会。

关键词:新形势下;电子洁净厂房;建筑设计;探讨分析1、导言电子产品生产工艺技术迅猛发展,一些老的电子产品随着微型化、精密化、高可靠的要求将被淘汰,取而代之的是新产品。

以大规模集成电路的特征尺寸为例,已从微米发展到亚微米,现今正进行纳米级集成电路的研制并逐渐投入批量生产;再以TFT-LCD生产发展情况为例,近年来,我国发展迅速,多个厂家已建成或筹建第五、六代生产线。

所以,电子工业洁净厂房的建筑平面和空间设计,必须适应电子产品迅速发展和扩大生产需要的灵活性。

2、设计的指导思想在电子工业洁净厂房设计中,做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量、符合劳动卫生和环境保护要求,满足防火及疏散的要求,并根据实际情况为生产发展及工艺改进的需要预留条件,主要归纳为下面几点:1)满足工艺改造和扩大规模的需要,实现在建筑面积不增加、建筑高度不改变的情况下,进行生产工艺和生产设备的调整。

2)厂房的主体结构宜采用大空间、大跨度的柱网,以便适应产品生产工艺调整,生产规模的扩大或产品的升级换代等需要。

3)厂房内不应采用内墙承重体系,避免因承重内墙的固定不变,妨碍生产工艺或设备的调整。

4)安全出口应合理分散布置,并应设有明显的疏散标志,以利于人员的安全疏散。

5)应加强消防技术措施,完善各种危险出现的探测、报警及扑救设施。

3、电子工业洁净厂房的概况和发展趋势3.1概况洁净厂房也称无尘车间、洁净室、无尘室,是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,特别设计的房间。

洁净厂房电气设计探讨

洁净厂房电气设计探讨

洁净厂房电气设计探讨摘要:现代社会飞速发展,使得洁净厂房在洁净度方面提出更为严格的要求,为此,洁净厂房在电气设计中,应当合理把控好各方面情况,发挥设计作用保证各系统可以长期处于运行状态中。

因此,在电气设计中需要根据洁净厂房要求,保证各系统的高效性、稳定性,满足洁净厂房相关要求,必须深入了解洁净厂房电气设计要求,提高各系统设计科学性,使其可以得到有效利用。

对此,文章主要对供配电系统设计、照明系统设计、防雷及接地系统展开分析,希望可以为洁净厂房电气设计提供参考与借鉴。

关键词:洁净厂房;供配电系统;照明系统;电气设计;自动控制引言:洁净厂房,即无尘车间,主要就是在特定空间范围内,排除空气中各类污染物,包括有害空气、细菌、微粒子等,同时,也需要结合有关需求,合理控制洁净室内的各类因素,如温度、湿度、洁净度、压力、静电等内容。

如果外部环境发生变化影响到空气变化时,此时洁净厂房仍可以维持原有设定好的温湿度、洁净度,洁净室内各项性能也可以正常发挥。

但从洁净厂房实际情况看,其中包含了较多电气设备,同时生产流程较为复杂,为确保洁净厂房各系统可以正常稳定运行,必须高度重视电气设计。

一、供配电系统设计(一)供电方案在此次分析研究中,洁净厂房设有独立的35kV变电站,并且全厂计算负荷为22237.7kVA,其中设置了两台变压器,其装机容量为25MVA。

在洁净厂房中,高压冷冻机主要运用了lOkV直接供电,并且低压动力设备供电,主要由4台SCB13-2000kVA -10/0.4kV干式变压器承担。

在此次研究中划分为A车间和B车间,其中A车间设置了一个终端变电站,同时,在站内还设置了两台动力变压器SCB13-2500kVA-lOkV/0.4kV,主要作用就是满足车间内各类动力设备的用电需求,保证设备正常运行。

此外,该洁净厂房还设置了4台工艺变压器,其中SCB13-2500kVA-lOkV/0.4kV有两台,还有两台SCB13-1600kVA-lOkV/0.208kV,通过这4台工艺变压器的作用,可以更好的满足车间内各类工艺设备的用电需求。

电子厂房洁净工程方案

电子厂房洁净工程方案

电子厂房洁净工程方案引言随着科技的不断发展,电子产品在我们生活中所占的比重越来越大。

而电子产品的生产离不开一个洁净的生产环境。

因此,洁净工程对于电子厂房来说是非常重要的一部分。

本文将围绕电子厂房洁净工程展开详细的方案设计和实施计划。

一、洁净工程概述洁净工程是指通过不同的技术手段,将环境中的污染物尽量降低到较低水平的工程。

在电子厂房中,洁净工程的主要目的是防止外部污染物的进入,保证生产环境的洁净度,提高生产效率和产品质量。

在实际应用中,洁净工程主要包括空调系统、洁净室、过滤器、洁净设备等。

二、洁净工程设计原则1.符合相关标准规定:洁净工程的设计应符合国家相关标准和规定,保证生产环境的洁净度和安全性。

2.合理布局:根据生产流程和工艺要求,合理布局洁净室和洁净设备,保证生产流畅不受影响。

3.选材节能:选择符合洁净环境要求的建筑材料和设备,提高能源利用效率。

4.可维护性:洁净设备应容易维护和清洁,保证设备正常运转。

5.系统集成:各洁净设备之间应根据工艺要求进行集成,保证整个洁净工程系统的协调运行。

三、洁净工程方案设计1.洁净室设计(1)洁净室分类:根据生产需求和洁净度要求,电子厂房的洁净室可以分为一级、二级、三级和其他级别。

(2)洁净室布局:根据生产流程和工艺要求,合理设置洁净室的位置和大小,保证生产流畅。

(3)洁净室装修:使用符合洁净环境标准的建筑材料,进行合理的装修设计,保证洁净室的洁净度和安全性。

2.空调系统设计(1)空调系统选型:根据洁净室的面积和洁净度要求,选择适合的空调设备,保证室内空气的洁净度和温湿度稳定。

(2)空调系统布局:合理设置空调设备的位置和数量,进行合理布局,保证整个厂房内的空气流通和循环。

(3)空调系统调节:对空调系统进行定期调节和维护,保持系统的高效运行,保证洁净室内空气的洁净度和稳定性。

3.过滤器设计(1)过滤器选择:根据生产环境和洁净度要求,选择适合的过滤器类型和规格,保证室内空气中的微粒物质得到有效过滤。

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培训 , G/ F 165 3. 0
21 ±2 —
100k < 65
— 18. 3 390 1200
— 10000
20
换衣间 ,1/ F 生产线 ,1/ F 运输间 ,1/ F
285
2950
150
3. 0 21 ±2

3. 0 21 ±2 60 ±5
3. 0 21 ±2

100k
10k
100k
< 65
(1) 室外设计参数 夏季空调干球温度 33. 5 ℃;空调湿
工及验收规范》(J GJ 71 - 90) 而定 ,这些规范与国际通行联邦 球温度 27. 7 ℃;相对湿度 83 % ;室外风速 1. 8m/ s。冬季空调
标准 209 E 是一致的 。即以每单位体积空气中大于等于 0. 温度 5 ℃;相对湿度 70 % ;室外风速 2. 4m/ s。
有 10k 级以上的洁净度 ,局部工作台甚至要求 100 或 10 级 。 笔者有幸参与该园区厂房洁净室的设计工作 ,并在工作
中积累了一定的经验 ,现以其中一座建筑面积约 10 000m2 的厂房 (Al PLAN T) 为例 ,浅谈电子厂房洁净室设计工作中 该注意的问题 。
安利科技园平面见图 1 。
二 、结束语
洁净室厂房空调系统设计本质上虽同于民用空调系统 , 但是也有自己的特点 。
1. 洁净厂房的室内设备发热量和人员发热量一般较大 , 约占总设计冷负荷的 80 %左右 ,相对而言围护结构的耗冷量 较小 。整个系统主要表现为制冷工况 ,即使在冬季 。厂房概
算夏季冷负荷指标平均一般在 350~550W/ m2 ,视局部发热 源而定 。局部发热量较大的区域甚至要设置冷盘管 (DR Y CO IL) ,通过冷辐射消除负荷 。
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图 1 安利科技园平面图
洁净室是随着现代工业的发展 ,对实验 、研究和生产的
根据业主提供的气象参数和生产工艺的要求 ,室内外的
环境要求越来越高而出现的 ,目前国内的洁净厂房级别的划 参数如下 :
分基本根据《洁净厂房设计规范》( GBJ 73 - 84) 和《洁净室施
火分区 ,事故通风采用每小时 15~20 次 。不同等级的洁净
8. 设备工程应与土建 、装饰等其余工种密切配合 、协调 ,
室的静压差不小于 4. 9Pa ,洁净室与室外压差不小于 9. 8Pa 。 才能保证洁净室成功的运行 。
回风口应设置烟感器 ,天花应布置有温感器 ,并与集中控制
9. Al PLAN T 已于 1998 年年初建成竣工 。在调试过程
产办公为主 ,四台菱合冷却塔置于冷冻机房的屋面 ,冷却水 到设定的参数状态 ,再通过高效过滤器送入工作区域 。
泵和冷冻水泵均置于主机房中 。此外洁净室内也配备了相
6. 制冷系统的原理图见图 6 。
表1
房间名称 换衣间 , G/ F PQC , G/ F CR , G/ F 洗衣房 , G/ F
2. 洁净厂房要维持一定的洁净度 ,必须保持一定的换气 量 。国家设计标准中对于洁净室的换气次数是这样规定的 : 1k 级不小于 50 次 ,一般取值为 80n/ h ;10k 级不小于 25 次 ,
一般取值为 30~40n/ h ;100k 级不小于 15 次 ,一般取 20n/ h ;
洁净空调系统方案具有一般系统所不同的特点 ,由于系
含局部 100 级工作台的洁净室 。1/ F 主要以组装为主要功 统循环风量较大 ,室内为满足上述室内设计参数 ,减少空调
能 ,包括 10k 级 、100k 级的洁净室 。
设备对室内洁净度的影响 ,保证室内正压的实现 ,从而优选
一 、Al 厂房的洁净空调设计方案
[ 参考文献 ] [ 1 ] 许钟麟. 洁净室设计[ M ] . 北京. 地震出版社 ,1988
室的空气品质控制已经到了非常严格的地步 ,选用设备的运
[ 收稿日期 ]1999 - 04 - 11
面积 ,m2
210
1820
220
45
吊顶高度 ,m
3. 0
2. 5
2. 5
3. 0
设计温度 , ℃
21 ±2
21 ±2
21 ±2
21 ±2
室内相对湿度 , %

60 ±5
60 ±5

洁净级别
10k
1k (100)
1k
10k
噪音值 ,dB
< 65
< 65
< 65
< 65
室内人员 ,人

620
40

冷负荷 ,RT
空气品质恶劣 ,多了又造成新风负荷过大 。一般说来 ,新风 量值在如下最大值中选取 :
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图 6 空调水系统模式图
(1) 乱流洁净室总风量的 10 %~ 30 % ,层流洁净室的 行工况直接关系到室内温湿度的变化 ,因而也直接关系到电
2 %~4 % ;
子产品质量和效益 。本工程室内的装饰材料大都从新加坡
5μm 的尘粒数目为测试衡量标准 。
(2) 室内设计参数 室内干球温度 21 ±2 ℃;室内相对湿
Al PLAN T 主要为计算机硬盘读写磁头的组装 、检测厂 度 60 ±5 %。
房 ,是整个安利科技园中最先建设的工程 。厂房分为 G/ F、1/ F
2. 空调设计方案
两层 , G/ F 主要以 PQC、培训等功能为主 ,包括 10k 级 、1k 级
图 3 G/ F 层洁净空调平面图
3. 空调 、制冷机房的设置
应的风淋室 、传递窗 、余压阀和疏散门 。
制冷机房设在 1/ F ,内置 5 台开利 30 HR - 250 往复式冷
4. 净化空调系统设计工况统计结果见表 1 。
水机组 ,4 用 1 备 。G/ F、1/ F 每层均设有空气处理机房 ,共
采用低速送风的全空气系统 (见图 2~3) ,同时系统负荷中设 备发热量占有较大比重 ,系统 24 小时运行 ,相对而言 ,冷负
1. 设计参数
荷比较恒定 ,因而选择易于维修 、保养的设备 。
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图 2 1/ F 平面洁净空调平面图
100 级已经达到层流室的要求 ,一般取值在 300~400n/ h 左 右 。所以 ,大风量 、小冷量是洁净室设计的一个特点 ,通常通 过在空气处理单元中加旁通阀解决这个问题 ,而对于 100 级 的洁净室 ,因为循环风量太大 ,无法用太大的送风机 ,则通过
在天花板中均布带风机高效过滤器 ( FFU) 解决这个问题 。 3. 洁净室新风量的取值也是非常重要的 ,少了会使室内
< 65
< 65

1000

31
429
16. 6
383
510
390
160030000Fra bibliotek600

13000

18000
354000
9300
21
40
21
小计 5845
868
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图 4 10 K/ 100 K 洁净室运行模式图
图 5 100 级/ 1 K 洁净室运行模式图
5. A1 PLAN T 洁净室的送风原理见图 4~5 。
计 23 台约克 YSM 型空气处理单元 。洗衣房 、发电机房 、高
室外新风经碳滤器后进入 AHU 的混合段与室内大量回
低压配电间 、压缩空气机组 、纯水房置于 G/ F 层 ,1/ F 层以生 风混合 ,而后经初 、中效过滤器 ,盘管与旁通去湿后 ,空气达
广东东莞安利科技园 (见图 1) 是广东省最大的引进外资 的开发区 ,若干跨国公司将此地建设成电子类产品原材料的 供应站和生产基地 ,主要生产电脑硬盘读写磁头等器件产 品 ,产品供应 IBM 、SEA GA TE 等驰名世界的厂家 。这种磁 头的生产需要环境的洁净度标准非常高 ,因为颗粒直径为 5μm 的粉尘都可能造成电极的击穿 ,一般厂房洁净室要求具
系统接驳 。
中 ,除湿度控制出现一些问题外 ,其余参数如温度 、断面气流
5. 高效过滤器 ( HEPA FIL TER) 的分布应尽可能均匀 , 速度 、空气尘粒测试等均达到设计要求 。后改用超声波加湿
不应有气流死角和气流短路 ,工作台顶端应保持满布或几乎 控制后 ,现已运行良好 ,投入使用 。
满布高效过滤器 。 6. 应选用高质量的建筑设备 、建筑装饰产品 ,因为洁净
电子厂房洁净室设计及探讨
[ 摘 要 ] 结合具体的工程实例 ,阐述了工业洁净厂房通风空调系统设计的一些要求 。概括介绍了安利科技园 厂房的空气品质调节和冷水系统 ,同时对这一领域的项目作出总结 。
[ 关键词 ] 洁净厂房 ; 通风空调 ; 空气品质调节 ; 设计 [ 中图分类号 ] [ 文献标识码 ] [ 文章编号 ]
(2) 补偿室内排风和保证室内 正 压 ( 一 般 不 小 于 5 ~ 和韩国进口 ,保证了系统的正常运转 。
10 Pa) ;
7. 由于系统对温湿度控制要求的严格 ,洁净系统的自动
(3) 保证不小于 40m3/ 人 (可适度放低) 。
控制水准要求也非常高 ,本工程全套自控系统由江森公司设
4. 系统设计中 ,应考虑事故排风量 ,并应划分相应的防 计 。
24
288
51
9. 3
冷指标 ,W/ m2
401
556
812
728
新风量 ,m3/ h
1200
18600
4800
1050
排气量 ,m3/ h

5000
4000
1000
循环风量 ,m3/ h
19000
190000
24000
4500
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