半导体器件原理 第六章

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半导体器件物理--薄膜晶体管(TFT) ppt课件

半导体器件物理--薄膜晶体管(TFT)  ppt课件
自热应力
BTS(bias temperature stress):VG=VD=30 V, T=55 oC;
应力作用产生缺陷态,引起C-V曲线漂移. 16 ppt课件
6. p-Si TFF的改性技术 (1)非晶硅薄膜晶化技术-----更低的温度、更大的晶粒, 进一步提高载流子迁移率. (2)除氢技术----改善稳定性. (3)采用高k栅介质----降低阈值电压和工作电压. (4)基于玻璃或塑料基底的低温工艺技术(<350 oC).
对于恒定的VDS,VGS越大,则
沟道中的可动载流子就越多,
沟道电阻就越小,ID就越大.
即栅电压控制漏电流.
对于恒定的VGS,当VDS增大时,沟道厚度从源极到漏极逐渐变 薄, 引起沟道电阻增加,导致IDS增加变缓.当VDS>VDsat时,漏极 被夹断,而后VDS增大,IDS达到饱和.
8 ppt课件
TFT的工作原理
低载流子 迁移率
稳定性和 可靠性
TFT发展过程中遭遇 的关键技术问题?
低成本、大面 积沉膜
低温高性能半 导体薄膜技术
挑战:在玻璃或塑料基底上生长出单晶半导体薄膜!
5 ppt课件
TFT的种类
按采用半导体材料不同分为: 硅基:非晶Si-TFT,多晶硅-TFT
无机TFT 化合物:CdS-TFT,CdSe-TFT 氧化物:ZnO-TFT

V
th)V
d

1 2
V
2 d
]
(V d V g V th) …….(3)
当Vd<<Vg时,(3)式简化为I d

W L
Ci (V g V th)V d
在饱和区(Vd>Vg-Vth),将Vd=Vg-Vth代入(3)式可得:

半导体物理_第六章

半导体物理_第六章

对于N型半导体材料,在小注入条件下,少数载 流子空穴的浓度将以时间常数τp0进行衰减。
τp0称为过剩少数载流子的寿命。此时多数载流 子电子和少数载流子空穴的复合率也完全相等, 即:
一般而言,过剩载流子产生率通常与电子或空 穴的浓度无关。
讨论过剩载流子产生和复合过程常用的符号
3. 产生与复合过程 (1)带与带之间的产生与复合过程:
2. 过剩载流子的产生与复合 当有外界激发条件(例如光照)存在时, 将会把价带中的一个电子激发至导带,从而产 生了一个电子-空穴对,这些额外产生出的电 子和空穴就称为过剩电子和过剩空穴。
过剩电子和过剩空穴一般是由外界激发条件 而产生的,其产生率通常记为gn'和gp',对于 导带与价带之间的直接产生过程来说,过剩电 子和过剩空穴也是成对产生的,因此有:
当有过剩载流子产生时,电子的浓度和空穴 的浓度就会高出热平衡时的浓度,即:
其中n0和p0分别是热平衡状态下导带电子和价带 空穴的浓度,δn和δp分别是过剩电子和过剩空 穴的浓度。 右图所示 就是由光 激发所引 起的过剩 电子和过 剩空穴的 产生过程
当有过剩载流子产生时,外界的激发作用就 已经打破了热平衡状态,电子和空穴的浓度也 不再满足热平衡时的条件,即:
第六章 半导体中的非平衡过剩载流子
本章学习要点: 1. 了解有关过剩载流子产生与复合的概念; 2. 掌握描述过剩载流子特性的连续性方程; 3. 学习双极输运方程,并掌握双极输运方程的 几个典型的应用实例; 4. 建立并深刻理解准费米能级的概念; 5. 了解表面效应对过剩载流子复合的影响,并 掌握其定性分析的方法。
D’和μ’分别称为双极扩散系数和双极迁移率。 根据扩散系数和迁移率之间的爱因斯坦关系,

半导体物理_第六章_pn结

半导体物理_第六章_pn结

Jn dEF dx n n
qDp dEF J p p0 kT dx
电流密度与费米能级的关系 对于平衡的pn结,Jn, Jp均为零,因此,
Jp dEF dx p p
EF=常数
qDp dEF J p p0 kT dx
当电流密度一定时,载流子浓度大的地方, EF随 位置变化小,而载流子浓度小的地方, EF随位置 变化较大。
非平衡载流子的电注入:正向偏压使非平衡载流子进入半导 体的过程。
注入到p区的电子断与空穴复合,电子流不断转化 为空穴流,直到全部复合为止。
扩散电流〉漂移电流
根据电流连续性原理,通过pp’(或nn’)任何一个界 面的总电流是相等的。只是电子电流和空穴电流 的比例不同。 总电流=扩散电流+漂移电流
反向偏移下,非平衡状态 外加反向电场与内建势场方向一致。
1. pp’处注入的非平衡少数载流子浓度:
EFn Ei n p ni exp( ) k0T EFn EFP n p p p ni exp( ) k0T
2
p p ni exp(
Ei EFp k0T
)
在pp’边界处, x=-xp, qV=Efn-Efp,
qV n p ( x p ) p p ( x p ) ni exp( ) k0T
电子电势能-q V(x)由n到p不断升高 P区能带整体相对n区上移。n区能带整体相对p区下移。 直到具有统一费米能级 pn结费米能级处处相等标志pn结达到动态平衡,无扩散、 漂移电流流过。
动态平衡时
本征费米能级Ei的变化与-qV(x)一致
k0T n Dn q
k0T n Dn q
同理,空穴电流密度为:
qV x p ( ) 0 2. 加反向偏压下,如果qV>>k0T, e k0T

半导体物理学第六章解读

半导体物理学第六章解读

ND X D ND NA
1
Q=eND
Xn
2
0e
(
NDNA ND NA
)(VD
V
2 )
♦单边突变结:
XD
2
e
0
1
(VD V NB
)
2
♦势垒区主要在轻掺杂 一边
• 对p+-n结, NB代表ND • 对p-n+结, NB代表NA
xn X D
xp XD
P+-n结
3. 突变结的势垒电容
电势
图6-8
电子势能(能带)
6.1.5p-n载流子的分布 ♦ 当电势零点取x=-xp处,则有: EC (x) EC qV (x)
EV (x) EV qV ( x)
x x p , EC ( x) EC x xn , EC (x) EC qVD
♦势垒区的载流子浓度为:
EC qV ( x ) EF
• 反向偏压下的突变结势垒电容(单位面积):
1
CT A
dQ dV
2(
0eND NA
ND NA )(VD
V
)
2
CT 0
A XD
CT
(VD
1 V )1/ 2
• 几点说明:
① p-n结的势垒电容可以等效为一个平行
板电容器,势垒宽度即两平行极板的距离
② 这里求得的势垒电容, 主要适用于反向 偏置情况
xn
NAXD ND NA
, xp
ND X D ND NA
• 代入上式
VD
q
2 0
( NAND ND NA
)
X
2 D
♦则,平衡p-n结
1
XD

电力电子半导体器件(GTO)

电力电子半导体器件(GTO)
放大门极GTO
掩埋门极GTO
逆导GTO
MOS—GTO
光控GTO§6.2 特性与参数一、静态特性
1.阳极伏安特性*
减小温度影响,可在门极与阴极间并一个电阻定义:正向额定电压为90%VDRM反向额定电压为90%VRRM
毛刺电流2.通态压降特性
通态压降越小,通态损耗越小
尽量缩短缓冲电路的引线,采用快恢复二极管和无感电容。
4.dv/dt和di/dt
①dv/dt :①dv/dt :
静态dv/dt 指GTO阻断时所能承受的最大电压上升率,过高
会使GTO结电容流过较大的位移电流,使α增大,印发误导通。
结温和阳极电压越高,GTO承受静态dv/dt 能力越低;门极反偏
10.关断时间:toff为存储时间
ts与下降时间tf之和。随阳极电流增大而增大2us随阳极电流增大而增大2us可关断晶闸管的主要参数和电气特性:§6.3 GTO的缓冲电路一、缓冲电路的作用
GT0的缓冲电路除用来抑制换相过电压,限制dv/dt,
,,
,动态
均压之外,还关系到GTO的可靠开通和关断,尤其是GTO的关
②下降阶段:tfIG变化到最大值-
IGM时,P1N1P2晶体管退出饱和,N1P2N2晶体管恢复控制能力,α1、α2不断减小,内部正反馈停止。
阳极电流开始下降,电压上升,关断损耗较大。尤其在感性
负载条件下,阳极电压、电流可能同时出现最大值,此时关负载条件下,阳极电压、电流可能同时出现最大值,此时关
特点:
①α1<
α212P1N1P2管不灵敏,
N1P2N2管灵敏。
②α1+
α2略大于1;器件

第6章半导体存储器

第6章半导体存储器

(a)
图6-8
(b)
3.快闪存储器(Flash Memory)
而且浮置栅一源区间的电容要比浮置栅一控制栅间的电容小得多 。 当控制栅和源极间加上电压时,大部分电压都将降在浮置栅与源极 之间的电容上。 快闪存储器的存储单元就是用这样一只单管组成的,如图6-8(b)所 示。
(a)
图6-8
(b)
半导体存储器的技术指标
存取容量:表示存储器存放二进制信息的多少。二值 信息以字的形式出现。一个字包含若干位。一个字的 位数称做字长。
例如,16位构成一个字,那么该字的字长为16位。一个存储 单元只能存放一个一位二值代码,即只能存一个0或者一个1。 这样,要存储字长为16的一个字,就需要16个存储单元。若 存储器能够存储1024个字,就得有1024×16个存储单元。 通常,用存储器的存储单元个数表示存储器的存储容量,即 存储容量表示存储器存放二进制信息的多少。存储容量应表 示为字数乘以位数。 例如,某存储器能存储1024个字 ,每个字4位,那它的存储容 量就为1024×4=4096,即该存储器有4096个存储单元。 存储器写入(存)或者读出(取)时,每次只能写入或读出 一个字。若字长为8位,每次必须选中8个存储单元。 选中哪些存储单元,由地址译码器的输出来决定。即由地址 码来决定。地址码的位数n与字数之间存在2n=字数的关系。 如果某存储器有十个地址输入端,那它就能存210=1024个字。
[例6-1]
[例6-1]
根据表6-2可以写出Y的表达式: Y7=∑(12,13,14,15) Y6=∑(8,9,10,11,14,15) Y5=∑(6,7,10,11,13,15) Y4=∑(4,5,7,9,11,12) Y3=∑(3,5,11,13) Y2=∑(2,6,10,14) Y1=0 Y0=∑(1,3,5,7,9,11,13,15 ) 根据上述表达式可画出ROM存储点阵如图6-9所示。

半导体物理与器件第六章2

半导体物理与器件第六章2

对于非本征掺杂与小注入条件的情况,对于上述非线性的 双极输运方程,我们可以利用非本征半导体材料和小注入 条件来对其进行简化和线性化处理。
根据前面的推导,双极扩散系数D’可表示为:
D' DnDp[(n0 n) ( p0 p)] Dn (n0 n) Dp ( p0 n)
考虑P型半导体材料则: p0 n0
Lp
LP
所以对厚样品可得: A ( p)0 B 0
所以:
p(x)
p0
exp(
x Lp
)
p(x)
p0
exp(
x Lp
)
△p po
该式说明非平衡载流子向内部按指数衰减
当 x=Lp时 p p0
p0 e
e
非平衡载流子的平均扩散距离为
0
Lp x
x
xp(x)dx
0
p(x)dx
x exp(
x
)dx
5.391013 s
在4τd时间后,即4ps,
可基本达到电荷平衡,即净 (0)
电荷为0,与过剩载流子寿 命(约0.1µ s)相比,该过 程非常迅速。这证明了准电
中性条件是非常容易实现的。 (0)
e

t
双极输运方程的应用
下面用双极输运方程来讨论一些具体的实例, pn结等半导体器件 所遇到的工作状态与这些例子设定的条件是相似的,是我们随后学 习pn结以及相关器件的基础
对电流方程求散度,并利用泊松方程:
J E
代入连续性方程:
d t dt
d
dt
0
该方程容易解得:
t 0et /d
d
介电常数
电导率
介质驰豫时间常数
例6.6 n型Si掺杂浓度为1016,计算该半导体的介电驰豫常数。

半导体物理第六章3

半导体物理第六章3

§6.3 单边突变结一、零偏置状态下的突变结1、势垒区的电荷密度在pn 结势垒区中,在耗尽层近似以及杂质完全电离的情况下,空间电荷区中的电荷全部由电离施主和电离受主组成。

其中靠近n 区一侧的电荷密度完全由施主浓度决定,靠近p 区一侧的电荷密度完全由受主浓度所决定。

对突变结来说,n 区有均匀施主杂质浓度N D ,p 区有均匀受主杂质浓度N A ,若正负空间电荷区的宽度分别为x n 和x p ,且取交界面为x=0,如图6-10所示,则势垒区的总宽度X D = x n + x p ,而正负空间电荷区的电荷密度分别为ρ(x )=-qN A (-x p < x < 0) ρ(x )=qN D (0< x < x n )为满足电中性条件,势垒区内正负电荷总量须相等,即qN A x p =qN D x n =QQ 就是势垒区单位面积上积累的空间电荷数。

此关系表明,势垒区正负空间电荷区的宽度与其杂质浓度成反比,势垒区主要在杂质浓度低的一边扩展。

2、势垒区的电场突变结势垒区内的泊松方程为)0()(0212<<-=x x qN dxx V d p r Aεε)0()(0222n r D x x qN dx x V d <<-=εε式中V 1(x)、V 2(x)分别是负、正空间电荷区中各点的电势。

为了了解pn 结两边电场随x 变化的情况,将以上两式分别从-x p 到x 和从x n 到x 积分一次,并注意到E =–d V /d x ,即得)()()(011p r Ap x x qN x E x E +-=--εε)()()(022n r Dn x x qN x E x E -=-εε因为电场集中在势垒区内,势垒区外电场为零,即E 1(-x p )=0 E 2(x n )=0,所以,由以上两式知pn 结两侧的电场分布分别为)0()()(01<<-+-=x x x x qN x E p p r Aεε)0()()(02n n r Dx x x x qN x E <<-=εε以上两式表明,在零偏置状态下的突变结势垒区中,电场强度是位置x 的线性函数。

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6.2.1 内建夹断电压、夹断电压和漏源饱 和电压
VGS
VGS
单边n沟JFET
单边p沟JFET
近似为单边突变结,设沟道宽度为a,热平衡时的耗尽层 宽度为h,内建电势为Vbi,外加栅源电压VGS,内建夹断电
压Vpo,夹断电压Vp
6.2.1 内建夹断电压、夹断电压和漏源饱和电压
空间电荷区宽度为: 1 2 s (Vbi VGS ) 2 h[ ] eN d 在阈值点, h a , p n结 的 总 电 势 称 为 内 建 断 夹电 压 , 用V po 表 示 2 sV po 1 a [ ]2 eN d 2 eN d a V po 2 s 把 形 成 沟 道 夹 断 所 加栅 的源 电 压 称 为 夹 断 电 压 ( 阈 电) 压VP Vbi V p VPo n沟 耗 尽 型 JFET , 夹 断 电 压 是 负 值 , 此 因VPO Vbi
漏电流同时决定于栅源电
压和漏源电压 饱和区: 漏电流与漏源电压无关, 只决定于栅源电压
6.1.2 MESFET的基本工作原理
MESFET ( Metal-Semiconductor FET ) 是 一 种 由
Schottky 势垒栅极构成的场效应晶体管,适用于高频 应 用 , 如 工 作 频 率 超 过 5GHz 的 放 大 器 和 振 荡 电 路 中。可以作为分立器件,也可以做成集成芯片, GaAs-MESFET是微波集成电路的核心。
ID存在,且仍由导电沟道区电特性决定
6.1.1pn-JFET
漏源I-V特性定性分析
击穿区:(VDS大到漏栅结的雪崩击穿电压 )
6.1.1pn-JFET
漏源I-V特性定性分析
2、 VGS<0的情况:(1)器件偏置特点(VDS=0)
零偏栅压
小反偏栅压
VGS<0
漏(源)栅结已经反偏 ; 耗尽层厚度大于VGS =0的情况; 有效沟道电阻增加。
6.1.1 pn-JFET
沟道随VGS变化情况 (VDS很小时)
为分析JFET的基本工作原理,首先假设
一个标准的偏置条件。VG≤0:pn结是零
偏或反偏。
VD≥0:确保n区电子从源端流向漏端。
通过系统改变电压来分析器件内发生的变
化。
1.
ID-VDS特性曲线随VGS的变化会有什么变化?
(1)VGS=0,顶部和底部的p+n结处于热平衡,沟道宽度
如果把半绝缘衬底用本征材料,其能带如图所示。因为
在沟道与衬底之间,沟道与金属栅之间存在势垒,电子 将被束缚在沟道中。
MESFET分为耗尽型(D- MESFET)和增强型(E- MESFET)
耗尽型: VG=0时,沟道 没有完全耗尽
VG=0时,沟道已完全耗尽,必须加一个正向偏压, 以减少耗尽层宽度,增加沟道电流
(2) ID—VDS关系
VDS较小: 线性区
VDS增大: VDS较大: 增加到正好使漏 端处沟道横截面 积 =0 夹断点:沟道横 截面积正好=0
过渡区
6.1.1pn-JFET
漏源I-V特性定性分析
不断增大漏电压,直到靠近漏端附近的顶部和底部的耗尽
区最终连接到一起,此时沟道完全耗尽,这一条件称为 “夹断”,所对应的漏电压称为“夹断电压”。 饱和区:( VDS 在沟道夹断基础上增加)
6.1.1pn-JFET
(2) I D — V DS关系
漏源I-V特性定性分析
特点:a. 电流随电压变化趋势,基本过程相同, b. 电流相对值减小。 c. 夹断电压变小,VDS(sat: VGS<0)<VDS(sat: VGS=0) d. 击穿电压变小,BVDS(sat: VGS<0)<BVDS (sat:VGS=0)
6.1.1pn-JFET
VGS足够小 3、
漏源I-V特性定性分析
VGS
VGS ↓= VP使上下耗尽层将沟道区填满, 沟道从源到漏 I D =0 ,器件截止。 彻底夹断,
结论:栅结反偏压可改变耗尽层大小,从而控制漏电流大小。
6.1.1pn-JFET
非饱和区:
漏源I-V特性定性分析
N沟耗尽型JFET的输出特性:
增强型:电压摆幅小,因为所加正压不能太高, 否则从电流从栅极走掉了
第六章:结型场效应晶体管
6.1 JFET概念 6.2 器件的特性 6.3 非理想因素 6.4 等效电路和频率限制 6.5 高电子迁移率晶体管
6.2 器件的特性
6.2.1 内建夹断电压、夹断电压和漏源饱和电压
最宽,漏端加一个小的VDS,就形成漏电流。
VGS=0
(2)栅极加负偏压VGS<0时,顶部和底部的p+n结都处于反
偏,增加了耗尽层宽度,而使沟道的宽度变窄,沟道电阻变 大,使ID-VD曲线中线性部分的斜率变小。 栅极加负偏 压VGS<0
(3)对于较大的负偏压VG,即使VD=0,也可能使整个沟道
都处于耗尽状态。当VD=0,使整个沟道完全耗尽的栅电压
调制(影响)下面半导体的电 导,从而实现AB两端的电流控 制。
场效应:半导体电导被垂直于半
导体表面的电场调制的现象。
特点:多子器件,单极型晶体管
6.1.1 pn-JFET基本工作原理
1952年,Shockley首次提出并分析了结型场效应晶体
管。
在JFET中所加的栅电压改变了 pn结耗尽层宽度,耗
管的工作电流仅由多数载流子输运,故又称之为“单 极型(场效应)晶体管”。
JFET可分为两类:
Pn结场效应晶体管(pn JFET),pn结制成;
金属-半导体结型场效应晶体管(MESFET),肖特基
势垒整流接触结制成。
所用知识:半导体材料、PN结、肖特基势垒二极管
第六章:结型场效应晶体管
6.1 JFET概念 6.2 器件的特性 6.3 非理想因素 6.4 等效电路和频率限制 6.5 高电子迁移率晶体管
内建夹断电压、夹断电压和漏源饱和电压
对 于p沟JFET 2 s (Vbi VGS ) 1 h[ ]2 eN a 在阈值点, h a , n p结 的 总 电 势 称 为 内 建 断 夹电 压 , 用V po 表 示 2 sV po 1 a [ ]2 eN a eN a a 2 V po 2 s 把 形 成 沟 道 夹 断 所 加栅 的源 电 压 称 为 夹 断 电 压 (阈电压) VP Vbi V p VPo或VP VPO Vbi P沟 耗 尽 型 JFET , 夹 断 电 压 是 正 值 。
6.1.2 MESFET的基本工作原理
肖特基势垒代替PN结
耗尽型:
当在栅源极之间加一个反偏 电压时,金属栅极下面产生 一个空间电荷区,用以调制 沟道电导。如果所加负压足 够大,空间电荷区就扩散到 衬底,这种情况称为夹断。
耗尽型:加负压耗尽层扩展到夹断(正压情况不行)
6.1.2 MESFET的基本工作原理
内建夹断电压、夹断电压和漏源饱和电压
2 s (Vbi VGS 源端的耗尽层宽的: h1 [ ] eN d 2 s (Vbi VDS VGS 1 漏端的耗尽层宽的: h2 [ ]2 eN d 当h2 a时 , 沟 道 夹 断 在 漏 端 生 发, 这 时 对 应 的 漏源 电 压V 用 (sat )表 示 DS 1 2 s (Vbi VDS ( sat ) VGS 2 a [ ] eN d ea 2 N d 也可表示为: Vbi VDS ( sat ) VGS VPO 2 s VDS ( sat ) VPO (Vbi VGS )当VGS〉VP时 , 此 式 将 失 去 意 义 对 于p沟JFET , 则 有 : VDS ( sat ) VPO (Vbi VGS )
(3)当VD增加到零点几伏以上时,由于从沟道电阻逐渐增大,ID-VD 曲线的斜率将
会减小。
(4)不断增大漏电压,直到靠近
漏 端附近的顶部和底部的耗尽区最 终连接到一起,此时沟道完全耗尽, 这一条件称为“夹断”,所对应的 漏电压称为“夹断电压VDsat” (5) 当VD>VDsat后,随VD的增加, ID基本保持不变,达到饱和
在N型半导体硅 片的两侧各制造 一个PN结,形 成两个PN结夹 着一个N型沟道 的结构。P区即 为栅极,N型硅 的一端是漏极, 另一端是源极。
G-栅极(基极) S-源极(发射极) D-漏极(集电极)
JFET的基本结构(n沟道结型场效应管)
6.1.1 pn-JFET基本工作原理
漏源I-V特性定性分析
6.2.1 内建夹断电压、夹断电压和漏源饱和电压
分析栅极和漏极同时加电压的情况:
由于漏端电压的作用,沟道中不同位置的电压
不同,所以耗尽层的宽度随沟道中的位置而不
同。
内建夹断电压、夹断电压和漏源饱和电压 栅极和漏极同时加上电压: 耗尽层的宽度随在沟道中的 位置不同而不同
N沟pn JFET器件的基本几何结构图
漏源电压在沟道 区产生电场,使 多子从源极流向 漏极。
对称n沟pn结JFET的横截面图
6.1.1 pn-JFET基本工作原理 与MOSFET比较
ID的形成:(n沟耗尽型)
如果源极接地,并在漏极加上一个小的正电压,则在漏源之
间就产生了一个漏电流ID。
两边夹 厚度几~十 几微米 对称n沟pn结JFET的横截面 结型:大于107Ω,绝缘栅:109~1015Ω。
6.1 JFET概念内容
6.1.1 pn JFET基本工作原理
6.1.2 MESFET基本工作原理
结型场效应管分类: pn JFET MESFET
JFET基本概念
场效应现象20世纪20年代和30年
代被发现,文献记载如图所示的 晶体管结构,是第一个被提出来 的固态晶体管。
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