真空泵知识大全
真空泵基础知识及选型指导
真空泵基础知识及选型指导一、基础知识1、真空的概念“真空”一词来自拉丁语“vacuum”，原意为“虚无”、“空的”。
真空是指在给定空间内低于环境大气压力的气体状态，即该空间内的气体分子密度低于该地区大气压力的气体分子密度，并不是没有物质的空间。
水环真空泵应用于低真空（105—103 Pa）领域2、真空的测量单位在真空技术中，表示处于真空状态下气体稀薄程度的量称为真空度，可用压力、分子数密度、平均自由程和形成一个单分子层的时间常数等来表征，但通常用气体的压力（剩余压力）值来表示。
气体压力越低，表示真空度越高；反之，压力越高，真空度越低。
法定的压力计量单位为帕［帕斯卡］，符号为Pa1Pa=1N.m-2 此外，还可用真空度的百分数作测量单位。
δ——真空度百分数（%）P——绝对压力（Pa）Pb-P 表示真空压力表读数，表压力（用Pe表示）真空度百分数δ（%）与压力P对照表3、单位换算1atm（标准大气压）=1013.25hPa（百帕）1mmHg（毫米汞柱）=1Torr（托）=1.333 hPa（百帕）1bar（巴）=1000 hPa（百帕）1mbar（毫巴）=1 hPa（百帕）１inHg（英寸汞柱）=25.4mmHg（毫米汞柱）=33.8 hPa（百帕）4、相关术语◇气量——水环真空泵的气量是指入口在给定真空度下，出口为大气压1013.25hPa时，单位时间通过泵人口的吸入状态下的气体容积，m3/min或m3/h 。
◇最大气量——水环真空泵的最大气量是指气量曲线上的气量最大值，m3/min或m3/h。
◇真空度（或称作压力）——水环真空泵的真空泵是指入口处在真空状态下气体的稀薄程度，以绝对压力表示，Pa、hPa、kPa。
◇极限真空度（或称作极限压力）——水环真空泵的极限真空度是指入口处气量为零时的真空度，Pa、hPa、kPa。
◇压缩比——吸入压力下气体容积与压缩后气体容积之比◇饱和蒸汽压——在给定温度下，某种物质的蒸汽与其凝聚相处于相平衡状态下的该种物质的蒸汽压力。
真空泵术语解释大全
真空泵术语解释大全如下：
1.无油干式机械真空泵：是指泵能从大气压力下开始抽气，又能
将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
2.水环真空泵：水环真空泵内装有带固定叶片的偏心转子，是将
水（液体）抛向定子壁，水（液）成与定子同心的液环，液环与转子叶片一起构成可变容积的一种旋转变容积真空泵。
3.罗茨真空泵：是指泵内装有相反方向同步旋转的叶形转子，转
子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。
真空泵常识
真空泵常识所谓真空，是指在给定的空间内，压力低于101325Pa的气体状态。
在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。
工业上有各种各样的真空泵，对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验，主要参数有：1、极限真空（通常称为真空度）：将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。
该值越小则表明越接近理论真空。
普通真空表测得的真空值（即：表压）为相对真空度，用负数表示，是指被测气体压力与大气压的差值。
2、抽气速率：在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体体积。
传统工业用真空泵体积普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和润滑机油，介质气体内会含有大量油雾。
随着仪器仪表工业的发展以及人们对环保的要求，各国的微型无油真空泵应运而生，普遍有以下规律：泵的价格和真空度指标密切相关。
真空度指标是各国生产商努力追求的主要指标，它反应了相应的机械加工、密封技术、材料科学等领域的整体实力，也是生产商获取利润的重要手段。
要提高真空度指标，就必须有更高的密封条件，因此就需要采用尺寸更精确、材料性能更优异的零部件，于是生产成本就大幅度提高了。
而且价格的增幅远远大于真空度指标的增幅。
当然，抽气速率的提高也会引起价格的攀升，但其增幅不大。
因此，选择微型真空泵时需要认真制定真空度指标，其次是抽气速率，这样才能最好地兼顾使用性能和成本。
高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它对工作环境的清洁条件、温度参数、介质成分等均有更高的要求。
振动和噪音。
泵的抽气速率和真空度越高，振动和噪音也越大。
微型水泵常识本公司生产的一些型号微型水泵是具有自吸功能的水泵，同时具备扬程的功能，所谓的自吸就是指泵在工作的时候靠泵本身所产生的负压，将水从低的容器输送到较高的容器里（泵本身比盛水的容器高），在运作过程中不需要加引水。
真空泵简介介绍
04
真空泵的发展趋势
真空泵的发展趋势
• 真空泵是一种用于抽取气体，以创造真空环境的设备。它在多个领域都有广泛应用，例如科学研究、工业生产、医疗、电 子等领域。随着科技的进步和市场需求的不断变化，真空泵的发展趋势也在逐渐明朗。
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真空泵简介介绍
汇报人： 日期:
• 真空泵概述 • 真空泵的类型及特点 • 真空泵的应用领域 • 真空泵的发展趋势
01
真空泵概述
真空泵的定义
真空泵是一种机械装置
它用于从封闭空间中抽取气体，以创 建真空环境。
功能性强
真空泵的主要功能是排除气体，它被 广泛用于各种应用，如制造过程、科 学研究、医疗技术等。
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真空泵的类型及特点
真空泵的类型及特点
• 真空泵是一种用于创建真空环境的设备，广泛应用于各种工业 和科学领域。真空泵的主要功能是从封闭空间中抽出气体，以 创造所需的真空度。真空泵的应用范围非常广泛，包括电子、 半导体、化工、医疗、科研等领域。
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真空泵的应用领域
真空泵的应用领域
• 真空泵是一种用于创建真空环境的设备，广泛应 用于各个领域中。以下是真空泵在不同领域中的 应用。
真空泵的工作原理
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机械作用
真空泵通过机械作用，如 旋转、活塞运动或吸附作 用，将气体从封闭空间中 抽出。
吸气过程
真空泵通过吸气口将气体 吸入，并通过排气口将气 体排出，从而降低了封闭 空真空度， 真空泵可以通过密封和隔 离来保持该真空度。
真空泵的分类
机械真空泵：例如旋转叶片真空泵和 往复式真空泵，它们主要通过机械作 用来排除气体。
蒸汽喷射真空泵：它利用高速蒸汽流 来携带和排除气体，通常用于高真空 应用。
2024年真空泵培训课件
真空泵培训课件一、引言真空泵是一种广泛应用于各个领域的设备，其主要功能是抽取或压缩气体，使容器内形成真空状态。
为了更好地了解和使用真空泵，本课件将详细介绍真空泵的原理、分类、应用、操作方法及维护保养等内容。
二、真空泵的原理与分类1.真空泵原理真空泵的工作原理是通过机械或物理方法，将容器内的气体抽出或压缩，从而降低容器内的气压。
根据工作原理的不同，真空泵可分为两大类：容积式真空泵和速度式真空泵。
（1）容积式真空泵：通过改变泵腔的体积，使气体在泵腔内产生周期性的膨胀和压缩，从而达到抽气或压缩气体的目的。
常见的容积式真空泵有旋片式真空泵、滑阀式真空泵等。
（2）速度式真空泵：通过高速旋转的叶轮或叶片，使气体产生离心力，从而将气体甩出泵腔，达到抽气或压缩气体的目的。
常见的速度式真空泵有罗茨泵、涡旋泵等。
2.真空泵分类（1）旋片式真空泵：具有结构简单、体积小、重量轻、噪音低等特点，广泛应用于实验室、医疗、食品等领域。
（2）滑阀式真空泵：具有抽气速率高、抗水蒸气能力强等特点，适用于化工、制药等行业。
（3）罗茨泵：具有抽气速率高、无油压缩、维修方便等特点，适用于电子、半导体、真空镀膜等领域。
（4）涡旋泵：具有抽气速率高、结构紧凑、无油压缩等特点，适用于分析仪器、真空干燥等领域。
三、真空泵的应用1.实验室：用于真空过滤、真空干燥、真空蒸馏等实验操作。
2.医疗：用于真空采血、真空包装、真空敷料等。
3.食品：用于真空包装、真空冷却、真空干燥等。
4.化工：用于真空蒸馏、真空吸料、真空输送等。
5.电子：用于真空镀膜、真空焊接、真空封装等。
6.半导体：用于真空刻蚀、真空沉积、真空吸附等。
7.分析仪器：用于真空采样、真空分析等。
四、真空泵的操作方法1.开机操作（1）检查真空泵及附件是否完好，连接管道是否牢固。
（2）打开电源开关，启动真空泵。
（3）观察真空泵的运行状态，确保正常工作。
2.关机操作（1）关闭真空泵的电源开关。
（2）关闭真空泵的进气阀门。
真空泵培训资料课件
调试与试运行
完成安装后进行调试和试运行 ，检查真空泵的性能参数是否
满足要求。
验收与交付
完成调试和试运行后，进行验 收并交付使用，同时提供相关
操作和维护培训。
真空泵安全与环保
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真空泵的安全操作规程
启动前检查
确保真空泵的润滑油、冷却水 、密封液等充足，检查电源、
管道连接等是否正常。
启动操作
按照规定的顺序启动真空泵， 注意泵内气体排出情况，及时 调整。
漏油
可能是由于密封件老化、损坏或安装 不当等原因引起。应检查密封件，如 有需要应更换密封件，并确保安装正 确。
真空泵性能参数与
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选型
真空泵的性能参数
抽气速率
表示真空泵在单位时间 内能抽走的空气流量， 是衡量真空泵性能的重
要参数。
极限真空度
指在一定条件下，真空 泵所能达到的最低压力 ，反映真空泵的抽气能
真空泵培训资料课件
汇报人：任老师 2023-12-30
目录
• 真空泵基础知识 • 真空泵操作与维护 • 真空泵性能参数与选型 • 真空泵安全与环保 • 真空泵案例分析
真空泵基础知识
01
真空泵的定义与分类
总结词
了解真空泵的定义和分类是掌握其工作原理和应用的基础。
详细描述
真空泵是一种能够将密闭容器中的气体抽出，使其内部形成 负压的装置。根据工作原理和应用的不同，真空泵有多种分 类，如干式螺杆真空泵、水环式真空泵、旋片式真空泵等。
总结词
了解真空泵的应用领域有助于更好地选择和使用适合特定需求的真空泵。
详细描述
真空泵广泛应用于多个领域，如化工、制药、食品、电子、环保等。在化工和制药领域，真空泵用于各种反应釜 的负压操作；在食品工业中，真空泵用于包装机械的负压吸附和物料输送；在电子工业中，真空泵用于制造和加 工过程中的气体抽除；在环保领域，真空泵用于废气处理和烟尘排放控制等。
真空泵培训课件
域。
02
真空泵结构与工作原理
真空泵主要部件介绍
进气口
进气口是真空泵的入 口，与大气相通，允 许气体进入泵内。
叶轮
叶轮是真空泵的核心 部件，它快速旋转， 将气体从进气口吸入 ，并排向排气口。
排气口
排气口是真空泵的出 口，将经过压缩的气 体排出泵外。
温度过高
可能是由于真空泵内部热量控制不当 、冷却系统故障等原因导致。应检查 真空泵的冷却系统，确保冷却效果良 好。
可能是由于轴承磨损、齿轮啮合不良 等原因导致。应检查轴承和齿轮的磨 损情况，及时更换磨损严重的部件。
预防性维护保养建议
建立定期维护保养制度
01
制定详细的维护保养计划，并按照计划进行维护保养。
定期更换易损件
如真空泵的密封件、轴承等易损件，应定期更换，以保证真空泵的 正常运行。
保持真空泵的清洁
定期清理真空泵内部的灰尘和杂质，防止对真空泵造成损害。
常见故障原因分析及排除方法
真空度不足
可能是由于真空泵内部泄漏、过滤器 堵塞等原因导致。应检查真空泵的密 封件和过滤器，及时更换损坏的部件 。
噪音过大
泵体
泵体是真空泵的支撑 结构，它支撑着叶轮 、轴承和密封件。
轴承和密封件
轴承用于支撑叶轮， 密封件用于防止气体 泄漏。
真空泵工作原理详解
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03
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吸气过程
当叶轮旋转时，叶片带动气体 运动，使气体从进气口进入泵
内。
压缩过程
叶轮将气体压缩，使其压力升 高。
排气管路
经过压缩的气体通过排气管路 排出泵外。
THANKS
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真空泵日常维护知识培训
降低压力到规定值
2) 与设备要求的流量相比，风机流量太 将多余气体放到大气中 大，因而压力增大 或降低鼓风机转速 7.电机超载 3) 进口过滤堵塞，出口管道障碍或堵塞 清除障碍物
(4) 转动部件相碰和磨擦(卡住)
立即停机，检查原因
(5) 油位太高 将油位调到正确位置 (6) 窄B型皮带过热，振动过大,皮带轮 检查皮带张力，换成大 过小 直径的皮带轮
真空泵知识学习
一.真空泵知识学习
1 2 真空泵的基础知识 工作原理及结构说明
3
4
故障分析及处理
日常维护及保养
一.真空泵基础知识
• 真空泵的工作目的: 排出气体，获得真空。 • 真空泵的分类方法： 利用获得真空的原理方法 或用途进行分类。
一.真空泵基础知识
一.真空泵基础知识
一.真空泵基础知识
二.水环真空泵工作原理及结构说明
2.1水环真空泵日常监控：
在运行中，应时常观察如下情况： 1.供电电压和轴功率（电流）是否正常,机组的轴承温升是否正常，轴承温升不超 过35℃，实测温度最高应不超过75℃。电机、减速机轴承温升按电机、减速机 安装使用说明书。 2.液环真空泵的供水量是否正常，如果是轴封外供水，检查轴封供水是否正常。 注意：液环真空泵的前轴承由一个圆柱滚子轴承承担径抽载荷，后轴承由两个圆锥 滚子轴承组合承担径向和轴向载荷，所以液环真空泵在运转时，后轴承体的 测量温度会高于前轴承体的温度。 3.适当压紧填料，松紧度可通过填料压盖的螺栓来调节。轴封处允许有滴漏。填料 长时间使用后不能进一步调整时，应更换新的填料，更换时，应移出旧填料， 并清洗填料函。装填料时，填料切口位置应错开90°。 注意:停车一段时间后,因填料干涸,如果盘车时发现转子比较难转动,需松开填料压 盖,然后向填料喷一些机油,则能够使转子容易转动。 4.当用水作工作液时，尽可能使用软水。若不能满足，要定期清除水垢。如停泵后， 叶轮因水垢卡死，应充以10%草酸浸泡约30分钟，或用6%的盐酸快速冲洗，然后用 清水冲洗干净。如水垢较厚，要作解体清除。 注意：不要让清洗酸液接触到皮肤或溅入眼睛，必须穿戴相关的防护用品。
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Vacuum Pump Introduction
Vacuum Pump Classifies
Dry Pump---------------------- Oil Pump ---------------------- CRYO Pump------------------ Turbo Pump------------------- Diffusion Pump--------------- The Comparison of Pump--
机械 Pump
Oil Pump Turbo Pump Diffusion Pump
非机械 Pump
用油做介质 冷却、扩散
用冷媒做介质 冷却、吸附
CRYO Pump
Fewer moving parts Higher Reliability Less complexity High speed
The Working Principle
氣體從中間進入的優點：
1.縮短了氣體通過pump的路徑，減少了particle的沉積
2.減少了進口与出口壓差對軸的影響，減小徑向扭矩
The Function Description
Cold Head能防止油蒸气回流至Chamber
Fore line管路中的Buffer防止油蒸气被Pump抽走 油挡板和冷凝井使用都是为了进一步防止油蒸气 回流至真空系统 加Pump油时，最好由前级口灌入，也可由进气
口添加，须避免最顶部之喷嘴罩杯被油沾湿，否则
潤滑
降溫 密封
The Pumping Procedure
1 吸入
Hale Waihona Puke 3 过压2 压缩4 排气
CRYO Pump
The Working Principle
CRYO Pump為高真空pump，應該和低真空pump配合使用， 工作前真空度應該達到10-2mbar ，否則無法工作。 當吸附氣體飽和后，要做regeneration ，即將高溫N2通入使凝結 的氣體釋放而排出pump。
cooling water 冷却，冷却后的高压he由管路送至PUMP ，在cylinder
中膨胀，气体膨胀时会降温，因此丛周围吸收大量热量，使 80° Karray及15° K分别降温至80° K及15° K （-193° C,-258° C）。膨胀后的 he压力约80psi ，再经管路回至compressor中。 当气体分子撞击此低温的array时，会凝结于array上，而达到减少空 间中气体分子数量。事实上气体分子并未离开chamber ，只是被保留 在PUMP上。
入口處擋片吸附水泡，裏面的特殊氣體吸附（成液態狀）。
CRYO pump 需要接一个compressor通压缩的He。
Principle Diagram
The Function Description
Compressor 将he气压缩至约230psi ，并将因气体压缩而产生的高温由
80° Karray用以吸附H2O、碳氢化合物等易凝结的气体， 15° Karray则 用以吸附N2、O2、Ar、CO2、CO等气体。至于需要更低温度才凝结的
气体，如H2、He、Ne等则使用活性碳（active charcoal）吸附。
当array吸附太多气体后其效率会明显降低，此时须做REGEN。
Principle Diagram
The Turbo Pump Protection
The damage factors
外物：高速旋转的rotor若有外物掉入，会严重毁坏
rotor ，因此在入口处均有一金属网防止异物。 突然vent：运转时突然有大量的气体进入，会撞击轴承 会造成Turbo Pump的寿命缩短，一般Turbo Pump ，可承 受30至50 次此情况。同时， Turbo Pump还有UPS蓄电 池保护。 Turbo Pump不能即停，会影响rotor和叶片，影响Pump寿命。
Diffusion Pump
The Working Principle
真空油被加热之后，获得极高的热能 分子由喷嘴处向下喷射，且与周围气体分子碰
撞，由动量转移
通过外接低真空pump将聚集在出口处的气体 分子带走 由此导致入口处与出口处因气体分子数浓度不 同而产生扩散现象
Principle Diagram
3 7
9
14 17 20
Dry Pump
The Principle
Dry Pump是最基本的真空pump，它是利用螺杆原理來工作的，它
主要的特点是可以从大气压下直接开始抽气,所以可以单独使用。 一般真空度要求不高（E-3torr以下），如CVD及furnace仅使用dry pump即可。
The Characteristic
Regeneration Procedure
Purge
Vacuum controller: AUTO 切 MANUAL Turn off ion gauge Turn off power 通入热的N2
After 4 hours to roughing
Regeneration Procedure
The Function Description
Dry pump用在chamber由大氣壓下直接抽真空，可以維持進出口 壓差105倍。 Dry pump有電源（電源使馬達帶動螺杆式轉子轉動)。
N2 purge(稀釋防止particle沉積在間隙内），而 且N2形成气帘防止
rotor润滑油进入，产生污染。 N2可以调整Ballast来选择性调整N2流量。 Cooling water(防止溫度過高使pump無法運轉)。
易造成蒸气回流
The Comparison of Pumps
Classifies Pump Name
Root’S Pump
Principle
压缩、扩散 压缩、扩散 压缩、扩散
Range 可达10-3torr 可达10-3torr 可达10-5torr 可达10-5torr 可达10-8torr
Ppracticality Diagram
Oil Pump
The Characteristic
Oil temperature controlled有很長的lifetime Oil pump中oil的品質對pump有很大影響，油品好， pump抽气能力強，使用時間長。
The Oil Function
The Working Principle
由多級葉片組成，高速馬達驅動着Rotor，当气体分子因为扩散进
入pump，将会受到rotor撞击而向后极加速前进。 The characteristic of the Turbo pump
间隙很小，很容易堵塞
间隙不一样长，从上注下， 间隙逐渐变小
rotor
Roughing
Close N2 valve Open valve (if blow 50mtorr)
Chilling Down
通入He进行chilling ， until T=10± 5k (利用冷冻原理，用compressor进行chilling ，循环使用)
Turbo Pump