高温大压力传感器研究现状与发展趋势
压力控制技术的国内外研究现状
压力控制技术：研究现状与应用展望1. 压力传感器技术国内外的压力传感器技术都已发展到一定水平，实现了高精度、高稳定性和快速响应。
薄膜应变技术、MEMS技术以及陶瓷材料的应用是当前传感器技术的热点。
同时，新型的压力传感器也在不断发展，如光纤压力传感器和红外压力传感器等。
2. 压力控制算法研究在压力控制算法方面，传统的PID控制算法仍然是最常用的方法。
然而，随着人工智能和机器学习的发展，许多新的控制算法也被应用到压力控制中，如模糊逻辑控制、神经网络控制和深度学习等。
这些算法能够处理复杂的非线性过程，提高压力控制的精度和稳定性。
3. 压力控制系统设计在压力控制系统设计方面，现代化的控制系统趋向于集成化、模块化和智能化。
此外，远程控制和监控技术也被广泛应用于压力控制系统中，使得系统的维护和调试更加方便。
4. 压力控制技术的应用压力控制技术在许多领域都有广泛的应用，如工业过程控制、航空航天、医疗设备、汽车工业等。
例如，在汽车工业中，压力控制技术用于控制燃油喷射、气瓶压力以及刹车系统等。
5. 压力控制技术的挑战与展望尽管压力控制技术已经取得了很大的进展，但仍面临一些挑战，如高精度控制、快速响应、稳定性以及适应复杂环境的能力等。
未来的压力控制技术将更加注重智能化、自适应和绿色环保。
6. 压力控制技术的发展趋势未来压力控制技术的发展趋势包括：更高精度的传感器和执行器、更先进的控制算法、物联网和云计算技术的应用、以及与其他先进技术的融合。
例如，将机器学习算法应用于压力控制，可以实现自适应的压力调节；将压力控制系统与工业物联网结合，可以实现远程监控和优化。
7. 压力控制技术的优缺点分析压力控制技术的优点包括：可以实现高精度、快速响应的压力调节；可以有效抑制压力波动，提高产品质量；可以远程监控和故障诊断等。
然而，压力控制技术也存在一些缺点，如对硬件和软件的要求较高、成本较高、以及在复杂环境下的稳定性问题等。
8. 压力控制技术的实际应用案例在实际应用中，压力控制技术已经取得了显著的成果。
压力传感器行业相关行业市场运行综合分析
压力传感器行业相关行业市场运行综合分析一、全球压力传感器行业市场概况目前，全球压力传感器行业市场处于快速增长阶段，呈现出以下几个特点：1.市场规模逐年扩大：随着工业自动化需求的增加，压力传感器的市场规模逐年扩大。
根据市场研究公司的数据，2024年全球压力传感器市场规模约为100亿美元，预计到2025年将达到150亿美元。
2.技术创新促使市场增长：随着科技的不断进步，压力传感器的技术不断创新，包括微型化、高精度化、低功耗化等方向的研发。
这些新技术的应用推动市场需求的增长。
3.应用领域广泛：压力传感器广泛应用于工业自动化、汽车、消费电子、医疗设备、航空航天等众多领域，其中工业自动化是最主要的应用领域。
工业自动化的市场需求受到工厂自动化程度提高的推动。
4.市场竞争激烈：全球压力传感器市场竞争激烈，主要厂商包括霍尼韦尔、贝壳逊、艾默生、西门子等。
这些公司通过技术创新、产品质量和售后服务等方面进行竞争，市场份额分配不平衡。
二、压力传感器行业的相关行业市场运行情况1.工业自动化行业：工业自动化行业是压力传感器的主要应用领域，市场需求旺盛。
随着工厂自动化程度提高，对压力传感器的需求量增加。
特别是在化工、石油、电力、机械制造等行业，压力传感器起到了关键的作用。
2.汽车行业：汽车行业是压力传感器的另一个重要应用领域，主要应用于汽车发动机、制动系统、排放控制等方面。
随着汽车产量的增加和汽车电子技术的发展，对压力传感器的需求也在增长。
3.消费电子行业：消费电子行业对压力传感器的需求主要集中在智能手机、平板电脑等移动设备的压力感应功能中。
随着移动设备的广泛普及，压力传感器的市场需求也在不断增长。
4.医疗设备行业：医疗设备行业是压力传感器的一个重要应用领域，主要用于血压计、呼吸机、输液泵等设备中。
随着人们对医疗保健的重视和医疗设备市场的发展，压力传感器在该行业的市场需求也在增长。
5.航空航天行业：航空航天行业对压力传感器的需求主要集中在飞机发动机、气动系统等方面。
压力传感器的现状及发展状况
压力传感器的现状及发展状况一、压力传感器的现状1.市场需求方面压力传感器的市场需求稳定增长。
随着工业自动化水平的提高和对生产过程的精确控制要求加强，压力传感器在工业领域的应用呈现出快速增长的趋势。
另外，汽车行业对于安全性能和燃油经济性的要求也推动了压力传感器市场的发展。
2.技术水平方面压力传感器的技术水平不断提高。
现代压力传感器采用的是微型电子器件，具有高精度、高灵敏度、高稳定性等特点。
同时，随着电子技术的进步，压力传感器不断增加了信号处理和数据传输的功能，从而提高了测量精度和稳定性。
3.应用领域方面压力传感器的应用领域越来越广泛。
目前，压力传感器广泛应用于工业自动化、汽车制造、医疗设备、航空航天等领域。
例如，在汽车领域，压力传感器用于发动机燃油系统的压力监测和控制，以及轮胎压力的监测；在医疗领域，压力传感器用于呼吸机、输液泵等设备的控制和监测。
二、压力传感器的发展状况1.微型化和集成化随着技术的进步，压力传感器正朝着微型化和集成化的方向发展。
微型化使得传感器更加便携和易于安装；而集成化使得传感器更加智能化和功能完善。
例如，一些新型压力传感器已经集成了温度传感器和湿度传感器等功能，可以实现多参数测量。
2.精度和可靠性提高压力传感器的精度和可靠性是产业发展的关键因素。
随着技术的提升，压力传感器的测量精度不断提高，达到了毫巴甚至微巴级别的精度。
另外，采用了一些新的材料和工艺，使得传感器的可靠性大幅度提高，能够适应各种严苛的环境条件。
3.无线传输技术应用近年来，无线传输技术在压力传感器中的应用越来越广泛。
通过采用无线传输技术，传感器可以实现无线远程监测和控制，减少了传感器与接收设备之间的布线和安装成本。
同时，无线传输技术也扩展了传感器的应用范围，使得传感器能够应用于更远距离和复杂环境中。
4.新材料和新技术的应用随着材料科学和制造技术的不断进步，压力传感器的制作材料也发生了变化。
例如，纳米材料的应用使得传感器更加敏感和反应速度更快；新的制造技术使得传感器的制作成本降低。
新型传感器的研究现状及未来发展趋势
新型传感器的研究现状及未来发展趋势传感器是一种现代化技术所必需的元件，它能够将各种物理量转化为电信号。
传感器的应用范围广泛，例如自动化生产、交通运输、医疗诊断、安全监测等领域，因此传感器技术的发展对现代化生产、生活、科学技术的发展有着非常重要的作用。
传感器的种类很多，根据测量的物理量不同，可以分为温度传感器、压力传感器、流量传感器、湿度传感器、加速度传感器、光学传感器等等。
在这些传感器中，新型传感器是一种备受关注的技术。
一、新型传感器的研究现状1. MEMS技术传感器MEMS是微电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical System）的缩写，它是一种微型化的电气机械系统，它能够将机械元件和电子元件进行集成化处理。
因此，MEMS技术传感器的优势在于体积很小、功耗低、响应速度快、可靠性高、价格便宜等等。
如今，MEMS技术传感器的应用已经非常广泛，例如手机中的加速度传感器、陀螺仪、磁力计、压力传感器等等，这些传感器的应用大大提升了手机的功能和用户体验。
2. 光纤传感器光纤传感器是一种基于光学原理的传感器，它使用光的传输来测量物理量。
与传统传感器相比，光纤传感器具有很多优势，例如高灵敏度、抗干扰能力强、安全可靠、经济实用，能够实现长距离传递、分布式检测等等。
目前，光纤传感器主要应用在石油天然气、交通运输、环境监测、生命科学等领域。
例如，在石油天然气开采中，光纤传感器可以测量油井的温度、压力、流量等参数，可以帮助确定油井的产量和工作状态，并且可以提高油井的生产效率。
3. 生物传感器生物传感器主要是应用在医疗诊断领域中的，它能够检测人体内的生物分子、细胞和组织等信息。
例如，可以测量血液中的血糖、白细胞计数、酸碱度等指标，可以帮助医生进行疾病的诊断和治疗。
目前，生物传感器技术发展非常迅速，尤其是以DNA、RNA 等为基础的生物传感器，它可以快速、准确地检测病原体、基因变异等信息，有望成为未来医疗诊断中的主要手段。
2024年压力测量仪表市场发展现状
2024年压力测量仪表市场发展现状引言压力测量仪表是工业领域中常用的一种测量仪器，用于监测和测量各种介质的压力。
随着工业技术的不断发展和创新，压力测量仪表市场也在不断扩大和发展。
本文将对当前压力测量仪表市场的发展现状进行分析和总结，并探讨未来发展趋势。
市场规模及增长趋势压力测量仪表市场规模在过去几年内持续增长。
预计在未来几年中，该市场还将保持稳定增长。
这主要归因于以下几个因素：1.工业生产的增长：随着全球各国工业化进程的加速，工业生产的规模和需求也在不断扩大。
这导致了对压力测量仪表的需求增加，以监测和控制工业生产中的各种介质的压力。
2.技术创新：随着科技的不断进步，压力测量仪表的技术也在不断创新和发展。
例如，引入了更加精准和可靠的数字式压力传感器，使得压力测量更加准确和方便。
3.质量和安全要求的提高：在各个行业中，对产品质量和安全性的要求越来越高。
压力测量仪表作为关键的监测仪器，在工业过程中的重要性日益凸显。
因此，市场对高质量和可靠性能的压力测量仪表的需求也在增加。
市场竞争格局目前，全球压力测量仪表市场存在着激烈的竞争格局。
主要的竞争者包括国际知名的仪器仪表公司和当地的压力仪表制造商。
这些竞争者通过不同的策略来争夺市场份额，包括：1.技术创新：不断进行研发和技术创新，推出更加先进和高性能的产品，以满足不同行业的需求。
2.产品差异化：通过设计独特的产品特点和功能，与竞争对手区别开来。
3.价格竞争：在市场竞争激烈的情况下，一些压力仪表制造商选择通过降低价格来争夺市场份额。
4.售后服务：提供及时、高效的售后服务，帮助客户解决问题并建立长期的合作关系。
市场发展趋势随着工业技术的不断进步和市场需求的变化，压力测量仪表市场将出现以下几个发展趋势：1.数字化和自动化：随着智能制造和工业自动化的推进，对数字化和自动化压力测量仪表的需求将增加。
这些仪表具有更高的精度和可靠性，并能够与工业控制系统相连。
2.绿色环保：在全球环境保护意识的提高下，对绿色环保型压力测量仪表的需求也在增加。
2024年压力传感器市场前景分析
2024年压力传感器市场前景分析引言压力传感器是一种重要的测量设备，广泛应用于各个行业中的自动化系统中。
随着工业自动化和智能化的不断发展，压力传感器市场面临着巨大的发展机遇。
本文将分析压力传感器市场的前景，并探讨其将来的发展趋势。
市场规模分析根据市场研究数据，压力传感器市场在过去几年中保持了稳定的增长。
据预测，未来几年内，压力传感器市场将继续以较快的速度增长。
这主要受以下因素的影响：1.工业自动化的增长：随着工业自动化的不断推进，压力传感器在工业生产中的需求也越来越大。
自动化系统对于压力监测的需求推动了压力传感器市场的增长。
2.汽车工业的需求：压力传感器在汽车工业中具有广泛的应用，如发动机控制系统、刹车系统和轮胎压力监测系统。
随着汽车工业的快速发展，对压力传感器的需求也在增加。
3.医疗设备的发展：现代医疗技术对于精确的压力监测有着严格的要求。
压力传感器在医疗设备中的应用日益普及，如呼吸机、血压监测设备等。
随着医疗设备市场的发展，压力传感器市场也将迎来新的机遇。
压力传感器市场根据应用行业的不同，可以分为以下几个主要领域：1.工业领域：工业领域是压力传感器的主要应用领域之一。
包括制造业、石油化工、能源、水处理等行业。
这些行业对于精确的压力监测有着很高的需求，因此对于压力传感器的需求也相对较大。
2.汽车领域：随着汽车工业的发展，压力传感器在汽车领域中的应用越来越广泛。
现在的汽车中普遍采用了压力传感器来实现发动机控制、刹车系统和轮胎压力监测等功能。
3.医疗领域：压力传感器在医疗领域中的应用也呈现出较快的增长。
医疗设备对于精确的压力监测有着很高的要求，因此对于高精度、稳定性好的压力传感器的需求也越来越大。
4.其他领域：压力传感器还广泛应用于环境监测、航空航天、农业等领域。
随着这些行业的发展，对于压力传感器的需求也将继续增长。
市场竞争分析压力传感器市场竞争激烈，主要厂商包括欧姆龙、西门子、Honeywell、施耐德电气等。
传感器技术的研究现状与发展前景
国内外研究与应用现状。生物传感器的研制和开发在全球学术界都 具有巨大的影响力。在国外，现代生物传感器已被详细划分为酶传感器、 细胞传感器、免疫传感器、基因传感器等。
酶传感器，由于酶的纯化困难，加之固化技术影响酶的活性，现代生 物传感技术中采用：（1）多酶体系利用，即对不同化合物采用不同类型的 酶进行最大活性的催化反应，并运用多酶的反馈调节可大大节省原材料 并提高工作效率；（2）固定化底物电极，即使玻璃电极附近的 PH 变化与 酶的活性在一定范围内呈线性关系；（3）酶的电化学固定化，即制作厚度 小、酶含量可控的酶层。
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●新人新作
《经济师》2009 年第 9 期
紫外光电倍增管以及日盲型紫外光电倍增管等多种形式。 紫外告警系统由于性能独特,现在已成为电子战技术开发的新热点,
开创了新型传感技术的又一个颇具影响力与竞争力的领域。目前诸如紫 外告警系统的新型光电传感技术已成为装备量最大的来袭导弹告警系 统之一。
细胞传感器以活细胞作为探测单元，能定性定量地测量和分析未知 物质的信息；并可连续检测和分析细胞在外界刺激下的生理功能。
免疫传感器是利用抗体对抗原的识别并能与抗原结合的功能构成 的生物传感器，根据生物敏感膜产生电位的不同，可分为标记和非标记 免疫传感器。
传感器国内外发展现状
传感器国内外发展现状传感器是现代科技中非常重要的一个组成部分，它们广泛应用于各个领域，包括工业制造、医疗保健、智能家居、物联网等。
然而，由于各种原因，国内外在传感器技术发展方面存在一定的差距。
国外传感器技术的发展相对较早，尤其是发达国家如美国、德国等。
这些国家有着强大的科研实力和创新能力，不断推动着传感器技术向前发展。
目前，国外在传感器技术的研究和应用上具有一定的优势。
首先，在传感器技术方面，国外已经研发出许多先进的传感器产品。
这些产品具有高精度、高灵敏度和高可靠性的特点。
比如，气体传感器可以实现对环境中各种有害气体的检测和监测；压力传感器可以测量和控制各种气体和液体中的压力变化；温度传感器能够精确测量温度值等等。
此外，国外还研发出了许多新型的传感器技术，如光纤传感器、生物传感器、MEMS传感器等，这些传感器在不同领域有着广泛的应用。
其次，在传感器应用领域方面，国外的发展也比较成熟。
工业制造、汽车行业、医疗保健领域是传感器应用的主要领域。
国外的制造业在传感器技术的应用上更加广泛，能够精确地监测和控制生产过程中的各种参数变化。
汽车行业则广泛应用各种传感器来提高安全性和驾驶体验。
医疗保健领域也借助传感器技术来监测患者的健康状况。
但是，国内在传感器技术的发展上也有一定的突破。
近年来，我国政府加大了对科技创新的支持力度，鼓励企业和科研机构加大对传感器技术的研发投入。
国内一些企业也开始在传感器领域进行技术创新，并取得了一些成果。
例如，一些高校和科研机构在MEMS传感器、光纤传感器等领域取得了较好的研究成果。
同时，国内的制造业、医疗保健、智能家居等领域也开始广泛应用传感器技术。
综上所述，国内外在传感器技术发展方面存在一定的差距。
国外在传感器技术的研发和应用上具有较大的优势，但国内也在积极迎头赶上，通过政府的支持和企业的努力，国内传感器技术的发展正在逐步加快。
未来，传感器技术的发展将有望推动各个领域的创新与进步。
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传感器性能急剧下降，进而导致失效［３ －６］。因此，如何 。 ３ × １０ －４ ／ ℃ ［１３］
把ＭＥＭＳ 技术的优势和现有的技术相结合，通过改进 工艺、选择新型的耐高温材料，进而克服ＭＥＭＳ 传感
多晶硅压力传感器具有工艺简单、ＩＣ 兼容、芯片 易于批量制作等优点。但由于多晶硅高温压力传感器
器的上述缺点，成为目前国内外研究的重中之重。该 压敏电阻与应力膜片为复合膜结构，会因不同材料的
高温大压力传感器研究现状与发展趋势
·３·
ＳＯＩ 高温压力传感器在０ ～ １ ＭＰａ 条件下，工作温度可 到 的 压力传感器，工作温 ０ １ ＭＰａ ０ ～ ２５０ ＭＰａ［２３］ ＳＯＳ
到达２２０ ℃。中北大学［２１］和中国电子科技集团公司 度范围为－５０ ～３５０ ℃，精度达到０ ２５％ 。
第十三研究所也分别利用ＭＥＭＳ 相关技术，研制出了 国内方面，中国电子科技集团公司第十九研究
特性。如何选择合适的材料及工艺进行优化，是未来 该传感器重要发展方向。 １． ２ ＳＯＩ 压力传感器
ＳＯＩ 压力传感器主要利用了ＳＯＩ 材料制作工艺 高没、有键其合他过过程渡中层附，加避应免力了小附（加衬应底力硅产和生Ｓ）ｉＯ的２ 特直点接，键故合将， 其作为敏感材料。其工作原理如图２ 所示。该传感器 工作原理与硅压阻压力传感也比较类似。由于ＳＯＩ 材
北京大学于２００３ 年研制出了工作温度范围为－ ４０ ～ 一材料应用于双岛－ 梁－ 膜结构的压力传感器，工作
１８０ ℃的多晶硅高温压力传感器，并通过实验证明该 温度可达３００ ℃，实验表明该传感器灵敏度可到达６３
传感器的零点温漂小于传统的压力传感器［１２］。天津 ｍＶ。河北工业大学张玉书［２０］等人于２００６ 年制作的
研究目前也取得了巨大进展，多种类型材料组合形成 热膨胀系数不匹配引起附加应力，影响传感器的高温
的新型敏感元件纷纷问世。 以传感器敏感元件材料为分类目标，针对目前常
用的几类高温大压力传感器（包括多晶硅高温压力传 感器、ＳＯＩ （ＳｉｌｉｃｏｎｏｎＩｎｓｕｌａｔｏｒ，单晶硅）压力传感器、 （ ＳＯＳ Ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ Ｓａｐｐｈｉｒｅ，硅蓝宝石）高温压力传感器、 （ ＳｉＣ Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｃａｒｂｉｄｅ （Ｂｌａｃｋ））高温压力传感器以及光 纤高温压力传感器）的工作原理、国内外研究现状等 进行了阐述。
·２·
《测控技术》２０２０ 年第３９ 卷第４ 期
感器由于其具有体积小、功耗低、成本低等优势，而得 大学于２００１ 年研制出耐温达２２０ ℃ 的高温多晶硅压
到了广泛的应用［１－２］。然而，该类传感器在超过１２０ 力传感器，测试结果表明，该多晶硅压力传感器综合精
℃环境下使用时，会由于内部ＰＮ 结出现漏电而导致 度达０ １％ ＦＳ ～０ ２％ ＦＳ，灵敏度温度系数绝对值小于
摘要：高温环境下大量程压力测量技术在工业、航空航天、石油勘探等领域具有广阔的应用前景。高温
大压力传感器是目前研究的热点。对目前几种常用的高温大压力传感器包括多晶硅高温压力传感器、
单晶硅（ＳＯＩ）压力传感器、硅蓝宝石（ＳＯＳ）高温压力传感器、ＳｉＣ 高温压力传感器、光纤高温压力传感器
的工作原理、国内外研究现状以及应用特点进行了阐述。最后，对高温大压力传感技术未来的发展趋势
１ 高温大压力传感器研究现状
１． １ 多晶硅高温压力传感器 薄膜多来晶代替硅高ＰＮ温结压，力进而传实感现器电主隔要离采，用该Ｓ传ｉＯ感２ 作器为结介构质原 理图如图１ 所示［７－１１］。该传感器工作原理与硅压阻 式压力传感器类似，都是以单晶硅膜片作为敏感元件， 把压力值转换为膜片的应力变化，通过压敏电阻把变 化量转化为电压信号，实现对压力的测量。由于单晶
进行了展望。
关键词：高温大压力传感器；单晶硅；多晶硅；硅－ 蓝宝石；碳化硅；光纤
： ： ： （ ） 中图分类号 文献标识码 文章编号 ＴＰ２１２
Ａ
１０００ － ８８２９ ２０２０ ０４ － ０００１ － ０５
： ｄｏｉ １０． １９７０８ ／ ｊ． ｃｋｊｓ． ２０２０． ０４． ００１
料具有自隔离、抗电磁辐射、稳定性好、耐高温等特 点［１４ － １７］，克服了传统硅压阻压力传感器难以适应高温 环境的缺点。目前，国外一些公司已经研制出ＳＯＩ 高 温压力传感器产品。例如，美国科莱特半导体产品有 限公司采用硅片键合和反面腐蚀技术开发出一种超高 温压力传感器（如图３ 所示），其工作温度为－ ６５ ～ ７５０ ℃；法国硅技术器件研究中心开发出多款ＳＯＩ 高 温压力传感器产品，最高温度达到５００ ℃ 。 ［１８］
综述
测控技术
２０２０ 年第３９ 卷第４ 期
·１·
高温大压力传感器研究现状与发展趋势
黄漫国１，２，邹 兴３，郭占社３，刘德峰１，２，李 欣１，２
（１． 航空工业北京长城航空测控技术研究所，北京 １０１１１１；２． 状态监测特种传感技术航空科技重点实验室，北京 １０１１１１； ３． 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京 １００１９１）
： 收稿日期２０１９ － ０９ － ０９ 作者简介：黄漫国（１９８１—），女，博士，高级工程师，主要从事航空先进传感器技术方面的研究。
引用格式：黄漫国，邹兴，郭占社，等． 高温大压力传感器研究现状与发展趋势［Ｊ］． 测控技术，２０２０，３９（４）：１ －５． ， ， ， ［］ ＨＵＡＮＧ Ｍ Ｇ ＺＯＵ Ｘ ＧＵＯ Ｚ Ｓ ｅｔ ａｌ． Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｓｔａｔｕｓ ａｎｄ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｔｒｅｎｄ ｏｆ Ｈｉｇｈ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｓｅｎｓｏｒ Ｊ ． Ｍｅａｓ ， ， （）： ｕｒｅｍｅｎｔ ＆ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ２０２０ ３９ ４ １ － ５．
１． ３ ＳＯＳ 高温压力传感器 ＳＯＳ 高温压力传感器通常是将在作为弹性体的蓝
宝石上异质外延生长单晶硅薄膜作为敏感膜片，为双
。 ～ ２００ ℃ ＳＯＳ 压力传感器虽然具有良好的机械特性，但由
于应变薄膜制备的成品率很低，很大程度上限制了该
膜片结构。该传感器具有非线性小、耐高温、耐腐蚀、 传感器的批量生产。同时，由于外延单晶硅薄膜与蓝
高温下大压力测量在工业、航空航天、冶金、石油 据支持。 勘探等领域具有广阔的应用前景。例如在航空航天领 一般地，当压力范围在１０ ～１００ ＭＰａ 之间时，称之 域，高温压力传感器可用于火箭发动机、航空发动机、 为大压力，大于１００ ＭＰａ 的压力为超大压力。高温压 重型燃气汽轮等高温高压的恶劣环境，用于实现对其 力传感器是指在高于１２５ ℃环境下能正常工作的压力 运行状态的监控和健康评估。在石油化工领域，可用 传感器［１］。 于地下石油温度、压力的监测，进而为石油开采提供数 近年来，随着ＭＥＭＳ 技术的发展，微机械压力传
特点（可达１０００
）。但 ＭＰａ
ＳＯＩ
传感器对制作工艺要
出≥１００ ｍＶ，精度优于０ １％ ，迟滞与重复性均优于
求较高，导致其加工相对困难，一定程度上限制了该传 ０ ０５％ ； ＦＳ ２０１１ 年，采用双膜片结构，研制出量程为
感器的发展，但这也是该类传感器的主要发展方向。 ０ ６ ＭＰａ 的ＳＯＳ 压力传感器［２］，工作温度范围为－ ５５
硅本身的性质受温度影响较大，因此基于单晶硅的扩
散硅压阻式压力传感器使用温度范围受到了很大的限
制。而多晶硅薄膜作为压阻敏感材料可使传感器使用
温度范围极大拓宽。传感器在制作中采用ＬＰＣＶＤ
（ ，低压气相淀 Ｌｏｗ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ