数控加工光学非球面技术研究

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非球曲面的超精密加工系统的研究

非球曲面的超精密加工系统的研究

摘要非球面光学零件可以获得球面光学零件无可比拟的良好的成像质量,在光学系统中能够很好的矫正多种像差,改善成像质量,提高系统鉴别能力,它能以一个或几个非球面零件代替多个球面零件,从而简化仪器结构,降低成本并有效的减轻仪器重量。

可广泛应用于各种现代光电子产品,几乎在所有的工程应用领域中,无论是现代国防科技技术领域,还是普通的工业领域都有着广泛的应用前景,开展光学玻璃非球面零件的高精密光学技术研究具有重要的理论意义和现实指导意义。

本次设计研究内容为非球曲面的超精密加工系统的研究,非球曲面的超精密加工工艺的研究。

重点内容是非球曲面加工超精密磨削装置的设计,主要为砂轮主轴装置的选取,中心高位调机构的设计,各个运动的传动设计以及砂轮运动轨迹的分析。

在研究过程中详细的分析了影响零件加工精度的各种主要因素并提出相应的控制措施,尤其是对非球曲面的磨削加工设备进行详细设计,并简要分析了非球曲面加工机床的数控及伺服控制系统等。

关键词:非球曲面;超精密加工;微调机构;金刚石砂轮AbstractThe aspheric optical parts can get good image quality, good optical system correction of various aberrations, to improve the image quality, and improve the system ability to identify it to one or several non-spherical spherical optical parts unparalleledparts instead of a number of spherical parts, thus simplifying the instrument structure, reduce costs and reduce instrument weight. It’s widely used in many realms, such as national defense, machine chemical and aviation. It’s very useful to develop the grinding theory and important practical significance to study the high precision grinding methods about the optical glass aspheric surface parts. This article discussed in the ultra-precision grinder, the CNC operation program,and the aspheric surface optics parts’grinding craft. The center height micro-adjusting mechanism and the drive system. In the process of the research, we analysis it detailed that the main factor influence the process precision of the parts, and make something to solve it, especially for the precision grinding equipments, and analysis it simplify for the precision machine tool for aspheric surface optics parts and the servo-control system and the other technology.Key words: the aspheric surface; ultra-precision machining; the micro-adjusting mechanism; diamond wheel目录摘要 (I)目录 (III)第1章绪论 (1)1.1非球面加工的优点和意义 (1)1.2非球曲面研究概述 (1)1.2.1 非球面的定义 (1)1.2.2 非球面应用领域 (2)1.2.3 非球曲面加工技术近年来发展概况 (2)1.2.4 非球曲面加工的发展趋势和研究方向 (4)1.3 非球面光学零件材料及其加工方法 (4)1.3.1 计算机数控单点金刚石技术(SPDT) (5)1.3.2 超精密磨削技术 (5)1.3.3 计算机控制光学表面成型(CCOS)技术 (5)1.3.4 光学玻璃模压成型技术 (6)1.3.5 光学塑料成型技术 (6)1.3.6 其他非球面加工技术 (6)1.4非球面精密磨削加工理论 (6)1.4.1 微量加工理论 (7)1.4.2 脆性材料的延性域磨削 (8)第2章超精密非球面加工方案选择及误差分析 (10)2.1 超精密非球曲面磨床的总体布局 (10)2.1.1 空气主轴系统 (10)2.1.2 伺服进给系统 (11)2.1.3 微位移测量系统 (11)2.1.4 中心高微调系统 (11)2.1.5 数控系统 (11)2.2 非球曲面磨削方案的确定 (12)2.2.1加工零件的技术参数 (13)2.2.2 非球曲面磨削方案确定 (13)2.3 加工误差分析 (14)2.3.1 中心高微调机构对零件加工精度的影响 (15)2.3.2 在X轴上砂轮安装误差对零件加工精度的影响 (17)2.3.3 砂轮半径误差对零件加工精度的影响 (18)2.3.4 X∆综合作用时对零件面形精度的影响 (19)∆及R第3章非球面磨削装置设计 (21)3.1 超精密加工的关键技术 (21)3.1.1 超精密主轴 (21)3.1.2 超精密导轨 (21)3.1.3 传动系统 (22)3.1.4 超精密刀具 (22)3.1.5 超精密加工其他技术 (23)3.2 传动系统设计 (23)3.2.1 磨削参数的计算 (23)3.2.2 导轨的整体设计 (24)3.2.3 传动参数的计算 (25)3.3 磨削系统设计 (25)3.3.1 系统结构设计 (26)3.3.1 中心高微调机构设计 (27)3.3.2 砂轮主轴的选择 (28)结论 (31)致谢 (32)参考文献 (33)CONTENTSAbstract (I)CONTENTS (III)Capter 1 Introduction (1)1.1 The meaning of the processing of aspheric surface (1)1.2 The introuduction of the aspheric surface’s research (1)1.2.1 Definition of aspheric surface (1)1.2.2 Application of aspheric surface (2)1.2.3 The development of aspheric surface in recent years (2)1.2.4 Aspheric pricesssing trends and research directions (4)1.3 The parts’ material and the processing method (4)1.3.1 Computer-controlled single-point diamond technology(SPDT) (5)1.3.2 Ultra-precision grinding technology (5)1.3.3 Computer Controlled Optical Surfacing(CCOS) (5)1.3.4 Optical glass compression molding technology (6)1.3.5Optical plastic molding technology (6)1.3.6 Other processing technology (6)1.4Aspheric surface precision grinding theory (6)1.4.1 Trace processing theory (8)1.4.2 Ductile-regime grinding of brittle materials (8)Capter 2 Ultra-precision aspheric processing alternatives and error analysis.. 102.1 Ultra precision aspherical surface grinding machine layout (10)2.1.1 Air spindle system (10)2.1.2 S ervo feed system (11)2.1.3 Micro-displacement measurement system (11)2.1.4 Center high tuning system (11)2.1.5 Numerical control system (11)2.2 Aspherical surface grinding scheme (12)2.2.1 Processing part of the technical parameters (13)2.2.2 Aspherical surface grinding scheme (13)2.3 Processing error analysis (14)2.3.1 Center high fine-tuning mechanism on the impact of cuttingaccuracy (15)2.3.2 In the X axis on the wheel on the impact of cutting accuracy (17)2.3.3 Wheel radius error on the part of machining precision (18)2.3.4 Both X∆on the part (19)∆and RCapter3 Aspheric tooling design (21)3.1 Ultra-precision machining technology (21)3.1.1 Ultra-precision spindle (21)3.1.2 Ultra-precision guide (21)3.1.3 Drive system (22)3.1.4 Ultra-precision cutter (22)3.1.5 Other technology (23)3.2 Transmission System Designing (23)3.2.1 Grinding parameters (23)3.2.2 The overall design of the Rails (24)3.2.3 Calculation of transmission parameters (25)3.3 Grinding systems design (25)3.3.1 System architecture design (26)3.3.1 Center high micro-adjusting mechanism design (27)3.3.2 Wheel spindle design (28)Conclusion (31)Thanks (32)References (33)第1章绪论1.1非球曲面加工的意义和优点非球面技术应用于光学零件,相对于球面而言,具有许多优点,它可以消除球面镜片在光传递过程中产生的球差、慧差、像散、场曲及畸变等诸多不利因素,减少光能损失,从而获得高质量的图像效果和高品质的光学特征。

大型光学非球面超精密磨削关键技术的研究

大型光学非球面超精密磨削关键技术的研究

大型光学非球面超精密磨削关键技术的研究近年来,随着科技的不断进步和人们对光学器件精度要求的不断提高,大型光学非球面超精密磨削技术逐渐成为光学领域的研究热点。

本文将从材料选择、加工工艺、设备要求等方面,探讨大型光学非球面超精密磨削关键技术的研究。

一、材料选择大型光学非球面超精密磨削的材料选择是关键。

材料的硬度、抗磨性、热膨胀系数等性能直接影响到磨削的效果和加工的精度。

常见的材料有玻璃、石英、陶瓷等。

在选择材料时,需要充分考虑材料的性能特点,以及光学器件的具体用途和要求。

二、加工工艺大型光学非球面超精密磨削的加工工艺也是研究的重点之一。

传统的磨削方法往往存在加工效率低、加工精度难以保证等问题。

因此,研究人员提出了一系列新的加工工艺,如离子束磨削、激光磨削等。

这些新的加工工艺在提高加工效率的同时,也能够保证加工精度的要求。

三、设备要求大型光学非球面超精密磨削对设备的要求非常高。

首先,需要具备高精度的磨削设备,以保证加工的精度和表面质量。

其次,还需要具备稳定的控制系统,以实现对加工过程的精确控制。

此外,为了提高加工效率,还需要具备快速换刀系统和自动化控制系统等。

四、精密度的控制大型光学非球面超精密磨削的关键技术之一是精密度的控制。

在整个加工过程中,需要通过精确的控制系统对加工参数进行调整,以实现对加工精度的控制。

同时,还需要进行精确的测量和检测,以及对加工过程中的误差进行补偿,以确保加工的精度和表面质量。

五、表面质量的评估大型光学非球面超精密磨削的表面质量评估也是研究的重点之一。

表面质量的评估可以通过光学测量仪器进行,如干涉仪、扫描电子显微镜等。

通过对加工后的光学器件进行表面质量评估,可以及时发现加工过程中存在的问题,并进行调整和改进。

大型光学非球面超精密磨削关键技术的研究涉及材料选择、加工工艺、设备要求、精密度的控制以及表面质量的评估等方面。

通过对这些关键技术的研究,可以提高大型光学非球面超精密磨削的加工精度和效率,满足人们对光学器件精度要求的不断提高。

数控非球面加工技术

数控非球面加工技术
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1.4非球面光学零件制造过程
❖ 非球面制造通常分为非球面成形和光学面实现两 个工艺方面。
❖ 1)非球面成形:就是通过研磨等方法使零件表 面面形达到非球面要求,但是表面粗糙度还很大, 还不是光学面,不能够透射或反射光。
❖ 2)光学非球面实现:主要有抛光、模压和切削 等方法,是在保持非球面面形的前提下,减小表 面粗糙度,使之成为光学面。
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❖ 经过普雷斯顿假设,光学抛光过程顺利的简化了。 计算机控制小工具抛光技术也是以此为基础,上 式正是计算机控制抛光技术的基础方程。
❖ 只要我们对抛光过程的描述正确,并已知被抛光 位置的压力、相对抛光速度以及抛光时间,就可 以计算出在这个位置的材料去除量。
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1.3非球面光学零件的应用 非球面光学零件已广泛应用于航空机载设备、
卫星、激光制导、红外探测等领域,同时在民用 光电产品上的应用也越来越普及。光学系统中采 用非球面元件,可以提高系统的性能,减少光学 元件的数量,从而减轻仪器的质量,减小体积, 紧凑结构。因此,非球面常常应用于大视场、大 孔径,像差要求高,结构要求小,或有特殊要求 的光学系统中,非球面光学零件因其优良的光学 性能而日益成为一类非常重要的光学零件。
目录
1 非球面光学零件的简介 2 非球面光学零件的加工方法 3 计算机控制光学表面成型技术 4 直径76.2 mm非球面数控加工工艺 5 数控非球面加工的影响因素
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Part1. 非球面光学零件的简介
非球面光学元件,是指面形由多项高次方程决定、 面形上各点的半径均不相同的光学元件。
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数控加工光学非球面技术研究

数控加工光学非球面技术研究

数控加工光学非球面技术的研究The Aspheric optics processing technologystudies CNC摘要自从非球面加工技术出现以来,至今几百年来采用的加工方法已有50多种,传统的加工方法虽然能达到较高的精度,但这种加工方法加工效率低、重复精度差。

在最近几年出现的数控加工光学非球面技术大大解决了传统加工方法存在的缺陷。

它提高了加工精度和加工质量、缩短了产品研制周期等。

在诸如航空工业、汽车工业等领域有着大量的应用。

由于生产实际的强烈需求,国内外都对数控加工技术进行了广泛的研究,并取得了丰硕成果。

本文将简单的介绍一些非球面和数控机床的理论知识,传统加工非球面技术。

最后重点介绍数控加工光学非球面技术。

关键词: 数控加工非球面抛光技术计算机控制ABSTRACTSince the emergence of non-spherical processing technology ,about 50 methods in the optical processing have been used. Although traditional processing methods can achieve high accuracy, this processing method has processing inefficiency and poor repeatability precision . In recent years the NC aspheric optics technology greatly solve the traditional processing methods flawed. It improves processing accuracy and processing quality, and shorten the product development cycle and so on. A large number of applications has been found in some areas such like the aviation industry, and the auto industry. Because of the strong demand, Home and Abroad are on the NC machining techniques for a wide range of research, and achieved fruitful results.This paper will briefly introduces some technology of the Non-spherical and NC machine tools and the traditional processing.And highlights NC aspheric optical processing technology in the last part.Keywords : CN Aspheric optics Polishing Technology CCOS目录第一章绪论 (1)1.1研究的目的和意义 (1)1.2国内外发展现状 (1)第二章非球面的理论基础 (3)2.1非球面的优缺点 (3)2.2非球面的数学表达式 (3)2.3非球面的加工方法 (4)2.4传统加工非球面技术 (5)2.5光学非球面的检验 (7)第三章数控机床的介绍 (10)3.1数控机床的发展概况 (10)3.2数控机床的结构和特点 (10)第四章非球面的数控加工技术 (14)4.1常见的计算机控制抛光技术 (14)4.2计算机数控研磨和抛光技术 (15)4.3数控抛光技术中工艺参数选择 (19)4.4数控加工技术的检验 (20)4.5阴影法检验非球面 (22)4.6数控加工非球面实例 (23)结论 (25)参考文献 (26)致谢 (27)第一章绪论1.1研究的目的和意义自从1638年法国学者笛卡儿第一个提出凸面是椭圆面,凹面是球面的无球差非球面透镜,各国公司都进行了大量的非球面透镜技术研究和开发,但加工精度不高。

非球面加工工艺实验研究

非球面加工工艺实验研究

非球面加工工艺实验研究朱振涛,于正林(长春理工大学机电工程学院,长春130022)摘要:由于非球面零件本身的特殊性和复杂性,较球面零件加工更加困难。

基于自主研发的切线法数控成形非球面机床,分析加工零件表面精度的影响因素。

采用单因素法分别对砂轮参数、冷却液影响因素进行分析,着重分析砂轮磨损和磨轮转速误差。

严格控制加工过程中所产生的误差,避免由于过多误差影响最终零件的面形精度和表面粗糙度,优化工艺流程。

关键词:非球面;数控机床;表面精度;工艺流程中图分类号:TH706文献标志码:粤文章编号:员园园圆原圆猿猿猿(圆园员9)03原园017原园3 Experimental Research on the Processing Technology of Aspheric SurfaceZHU Zhentao,YU Zhenglin(Changchun University of Science and Technology,Changchun130022,China)Abstract:Due to its particularity and complexity,it is more difficult to process aspherical parts than spherical parts. Based on the self-developed tangent NC forming aspherical machine tool,this paper analyzes the influencing factors of the surface precision of the machined parts.The single factor method is used to analyze the parameters of the grinding wheel and the coolant.The grinding wheel wear and the grinding wheel speed error are analyzed.The errors generated during the machining process are strictly controlled to avoid the surface accuracy and surface roughness of the final part due to excessive errors,and the process flow is optimized.Keywords:aspherical surface;NC machine tool;surface accuracy;process flow0引言近些年来,非球面光学零件凭借自身的光学特性和无与伦比的成像效果,使其在军事、民用和航天等领域成为不可或缺的光学器件。

非球面数控加工技术研究

非球面数控加工技术研究

I 1 . I n s t i t u t e o f Me c h a n i c s a n d E n g i n e e r i n g S c i e n c e . Z h e n g z h o u U n i v e r s i t y . Z h e n g z h o u 4 5 0 0 0 1 . C h i n a ; 2 . S c h o o l o fO p t o e l e c t r o n i c E n g i n e e r i n g , C h a n g c h u n U n i v e r s i t y o fS c i e n c e a n d T e c h n o l o g y , C h a n g c h u n 1 3 0 0 2 2 , C h i n a
Re s e a r c h o n Nu me r i c a l Co n t r o l P r o c e s s i n g Te c h n o l o gy o f As p h e r i c S u r f a c e
LI Zuo — we n , Y U Ha l — y u e
学 元件 为 代 表 的先 进 技 术 日益 成 为 一 个 国家 制 造 实力 的重 要体 现 , 发展 新 的 非球 面加 工 技 术 , 提 高加 工 精 度 和效 率 , 降低 加 1 成
本是不懈追求的 日标。针对 q 0 7 6 . 2 m m非球面透镜 , 对铣磨成型1 一 艺、 抛光 艺 、 抛光设备等相关工艺参数进行了研究 , 采用弹性 模预抛光 与小磨头修正抛光相结合的两步研抛法对零件表面快速抛光 , 给出了一套规范 的非球面数控加
Abs t r ac t :W i t h t h e d e v e l o p me n t o f mi c r o e l e c t r o n i c s , o p t o e l e c t r o n i c s , s o l a r ph o t o v o ha i c t e c h n o l o g y a n d t he i n— t e g r a t i o n o f o p t i c s a n d e l e c t r o n i c s a n d i nc r e a s i n g l y ie f r c e c o mp e t i t i o n i n do me s t i c a n d f o r e i g n ma r k e t ,a d v a nc e d ma n u f a c t u r i n g t e c h n o l o g y o f a s p h e r i c o p t i c a l c o mpo ne n t s i s i nc r e a s i n g l y b e c o mi n g a n i mp o r t a n t ma n i f e s t a t i o n o f a c o un t r y S ma n u f a c t u r i n g c a p a b i l i t y .I t i s t h e c o n s t a n t p u r s u i t g o a l t o d e v e l o p ne w a s p h e r i c p r o c e s s i n g t e c hn o l o g y, i mp r o v e pr o c e s s i n g a c c u r a c y a nd e ic f i e nc y a n d r e d uc e t h e a s p h e r i c p r o c e s s i ng c o s t .Th e t e c hn i q u e s p a r a me t e r s s uc h a s g r i n d i n g pr o c e s s , po l i s h i ng p r o c e s s a n d p o l i s h i n g e q ui pme n t f o r f a b r i c a t i o n t e c h n o l o g y o f@7 6. 2 mi l l a s p he r —

影响方形非球面光学元件加工精度的工艺研究

影响方形非球面光学元件加工精度的工艺研究

影响方形非球面光学元件加工精度的工艺研究本文主要对方形非球面光学元件的再加工检测过程中进行了试验和研究,并且分析了影响到加工精度产生误差的原因。

对于方形非球面光学元件的精密磨削过程来说,是能够检测出工程技术的关键步骤,是直接关系着方形非球面光学元件精度,能够体现工程的好坏。

本文通过对方形非球面光学元件在加工中各个工件旋转轴(A,B,X,Y,C)等不同轴的速度与位置进行了精确的检测,并且对以上轴速与轴距做出了一定的调整,目的是为了更好更加顺利的完成对方形非球面光学元件的加工与检测,对工艺的改造不仅能够实现方形非球面光学元件的精密磨削,还能够满足设计提出的相关要求,更好的提升元器件的精密品质。

标签:方形非球面;磨削精度;影响;工艺研究0 引言虽然近年来我国市场经济一直处于高速发展的阶段,但是我国对于方形非球面光学元件的加工起步较晚,工艺依然只是处于初级阶段,在工艺技术上还无法与国外起步较早的国家相提并论,且自身存在着加工精度低,生产效率低等影响。

对于整个加工方形非球面光学元件的加工精度的主要影响因素就是在生产过程中的检测问题。

对于方形非球面的加工过程一般是有三个步骤即:元件成型、元件精磨、元件抛光。

在这三个步骤中尤其是在精磨阶段的时候,需要对其精度有着严格的把控这样才能够制作成精磨的元件。

因此需要在精磨的过程中需要加入数据测量来对其进行指导补偿加工,需要反复的进行加工——检测——再加工——再检测,才能够达到最终精密的加工要求。

1 对于方形非球面系统的加工原理介绍对于在非球面光学元件的高精度加工磨削过程中,可以使用圆弧砂轮、平面砂轮、球面砂轮等砂轮进行加工。

但是对于各个砂轮有着不同的应用,如平面砂轮只能够加工凸面非球面光学元件,如果在凹面非球面加工过程中使用的是平面砂轮那么会对生产的精度产生一定的影响与干涉,最终造成对生产精度影响,致使工程制作达不到标准。

对于凹面非球面光学元件的加工只能使用圆弧砂轮来对其进行打磨。

国内外非球面光学零件超精密加工技术现状

国内外非球面光学零件超精密加工技术现状

国内外非球面光学零件超精密加工技术现状四:非球面零件超精密切削加工技术美国UnionCarbide公司于1972年研制成功了R―θ方式的非球面创成加工机床。

这是一台具有位置反馈的双坐标数控车床,可实时改变刀座导轨的转角θ和半径R,实现非球面的镜面加工。

加工直径达φ380mm,加工工件的外形精度为±0.63μm,表面粗糙度为Ra0.025μm。

摩尔公司于1980年首先开发出了用3个坐标控制的M―18AG非球面加工机床,这种机床可加工直径356mm的各种非球面的金属反射镜。

英国RankPneumo公司于1980年向市场推出了利用激光反馈控制的两轴联动加工机床(MSG―325),该机床可加工直径为350mm的非球面金属反射镜,加工工件外形精度达0.25-0.5μm,表面粗糙度Ra在0.01-0.025μm之间。

随后又推出了ASG2500、ASG2500T、Nanoform300等机床,该公司又在上述机床的基础上,于1990年开发出Nanoform600,该机床能加工直径为600mm的非球面反射镜,加工工件的外形精度优于0.1μm,表面粗糙度优于0.01μm。

代表当今员高水平的超精密金刚石车床是美国劳伦斯.利弗莫尔(LLNL)实验室于1984年研制成功的LODTM,它可加工直径达2100mm,重达4500kg的工件其加工精度可达0.25μm,表面粗糙度Ra0.0076μm,该机床可加工平面、球面及非球面,主要用于加工激光核聚变工程所需的零件、红外线装置用的零件和大型天体反射镜等。

英国Cranfield大学精密工程研究所(CUPE)研制的大型超精密金刚右镜面切削机床,可以加工大型X射线天体看远镜用的非球面反射镜(最大直径可达1400mm,最大长度为600mm的圆锥镜)。

该研究所还研制成功了可以加工用于X射线看远镜内侧回转抛物面和外侧回转双曲面反射镜的金刚石切削机床。

日本开发的超精密加工机床主要是用于加工民用产品所需的透镜和反射镜,目前日本制造的加工机床有:东芝机械研制的ULG―l00A(H)不二越公司的ASP―L15、丰田工机的AHN10、AHN30×25、AHN60―3D非球面加工机床等。

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数控加工光学非球面技术的研究The Aspheric optics processing technologystudies CNC摘要自从非球面加工技术出现以来,至今几百年来采用的加工方法已有50多种,传统的加工方法虽然能达到较高的精度,但这种加工方法加工效率低、重复精度差。

在最近几年出现的数控加工光学非球面技术大大解决了传统加工方法存在的缺陷。

它提高了加工精度和加工质量、缩短了产品研制周期等。

在诸如航空工业、汽车工业等领域有着大量的应用。

由于生产实际的强烈需求,国内外都对数控加工技术进行了广泛的研究,并取得了丰硕成果。

本文将简单的介绍一些非球面和数控机床的理论知识,传统加工非球面技术。

最后重点介绍数控加工光学非球面技术。

关键词: 数控加工非球面抛光技术计算机控制ABSTRACTSince the emergence of non-spherical processing technology ,about 50 methods in the optical processing have been used. Although traditional processing methods can achieve high accuracy, this processing method has processing inefficiency and poor repeatability precision . In recent years the NC aspheric optics technology greatly solve the traditional processing methods flawed. It improves processing accuracy and processing quality, and shorten the product development cycle and so on. A large number of applications has been found in some areas such like the aviation industry, and the auto industry. Because of the strong demand, Home and Abroad are on the NC machining techniques for a wide range of research, and achieved fruitful results.This paper will briefly introduces some technology of the Non-spherical and NC machine tools and the traditional processing.And highlights NC aspheric optical processing technology in the last part.Keywords : CN Aspheric optics Polishing Technology CCOS目录第一章绪论 (1)1.1研究的目的和意义 (1)1.2国内外发展现状 (1)第二章非球面的理论基础 (3)2.1非球面的优缺点 (3)2.2非球面的数学表达式 (3)2.3非球面的加工方法 (4)2.4传统加工非球面技术 (5)2.5光学非球面的检验 (7)第三章数控机床的介绍 (10)3.1数控机床的发展概况 (10)3.2数控机床的结构和特点 (10)第四章非球面的数控加工技术 (14)4.1常见的计算机控制抛光技术 (14)4.2计算机数控研磨和抛光技术 (15)4.3数控抛光技术中工艺参数选择 (19)4.4数控加工技术的检验 (20)4.5阴影法检验非球面 (22)4.6数控加工非球面实例 (23)结论 (25)参考文献 (26)致谢 (27)第一章绪论1.1研究的目的和意义自从1638年法国学者笛卡儿第一个提出凸面是椭圆面,凹面是球面的无球差非球面透镜,各国公司都进行了大量的非球面透镜技术研究和开发,但加工精度不高。

非球面元件可以使复杂的多元件设计变得异常简单,同时它们可以提高高性能光学系统的设计能力。

在一个多元件系统中,一个非球面元件可以替代两个,有时是三个球面元件。

近年来非球面元件已广泛应用于航天,军事,商业等领域中。

以美国的Javelin反坦克导弹发射装置为例,由于使用非球面透镜,使设计者减少了光学元件的使用数量,在提高光学透射率及综合性能的同时降低了系统的重量,尺寸,复杂程度及成本。

红外材料锗的价格相对较贵,所以减少不必要光学元件的数量对于降低成本有很重要的作用。

其他从使用非球面中获益的军用光学系统还包括M1A2潜望镜,反坦克导弹的红外前视系统,M1A2光学系统升级,先进火炮系统中的可见及红外通道,未来作战工具I2 防尘眼镜,以及先进的激光眼晴保护镜等。

一些民用产品,如医用成象设备,防碰撞系统,光纤耦合装置,计算机光学数据存储,高清晰度电视等也从非球面中获益。

正是由于光学非球面元件的广泛使用,使得光学非球面的加工技术得到了快速发展。

但是传统的加工方法远远满足不了近代对非球面数量的需求,和对非球面的精度的要求。

数控加工技术的出现,实现了加工及检测的自动化,数字化,突破了传统的手工或半手工操作,也使各国开展了对各种新型抛光工艺的深入研究,从而提高了加工效率和制造精度。

针对上述形势,我们建成了我国第一台非球面数控加工中心(FSGJ-1)。

开展了对数控成型和抛光工艺的深入探索。

经过大量的工艺实验,总结出一套科学的工艺流程,为我国的非球面加工提供了一种行之有效的手段,填补了这一领域国内的空白,从而使我国进入了光学非球面加工的世界先进行列。

1.2国内外发展现状现代数控加工技术集传统的机械制造技术、计算机技术、成组技术与现代控制技术、传感检测技术、信息处理技术、网络通讯技术、液压气动技术、光机电技术于一体,是现代制造技术的基础,它的发展和运用,开创了非球面制造业的新时代,使世界非球面技术发生了巨大变化。

数控技术广泛使用使非球面的生产方式、产业结构、管理方式带来深刻的变化,它的关联效益和辐射能力更是难以估计。

数控技术是制造业实现自动化、柔性化、集成化生产的基础。

现在非球面加工若离开了数控技术,先进加工技术就成了无本之木。

20世纪60年代美国国防科研机构率先开发出了计算机数控单点金刚石车削技术,80年代得以推广应用的非球面光学零件加工技术。

它是在超精密数控车床上,采用天然单晶金刚石刀具,在对机床和加工环境进行精确控制条件下,直接利用金刚石刀具单点车削加工出符合光学质量要求的非球面光学零件。

80年代中后期,随着计算机及精密计量技术的迅速发展,数控加工技术进一步得到了完善。

Itek公司欲把数控技术发展成CAD/CAM一体化、非专家可操作的先进光学制造系统,到目前为止,由于非球面加工工艺的复杂性,很难建立数学模型来加工非球面。

这期间法国和俄罗斯等国家也各自研究出了自己的数控设备,使非球面加工口径达到2m,精度为λ/15。

瓦为罗夫国家研究所的AD1000数控抛光机的加工精度也达到了λ/18。

80年代末,日本研制出了的超精密数控范成法研磨机,使用该研磨机加工出的光学零件,其面形精度达到了0.08µm,表面粗糙度的均方根值为0.2nm。

90年代以后,数控加工技术在不断完善的同时,进入了实用化阶段。

Itek 公司研发出了真空自励磨头,解决了大口径超薄非球面的加工问题。

另外,也使加工精度提高了很多,加工周期缩短为5个月。

1994年,Tinsly公司与Itek等公司合作,利用数控加工技术完成了对哈勃望远镜主镜的修复工作,这项工作代表了当时数控技术的最高水平。

我国非球面加工能力与发达国家相比也有较大的差距,长期以来一直以手工加工为主,精度和效率均不能满足日益增长的非球面需求量的要求。

近年来,我国在CCOS技术方面也开展了一些研究工作。

20世纪70年代我国已经开始了研究非球面数控加工技术,长春光机所于1992年研制出了我国首台数控机床FSGJ-Ⅰ。

它是集铣磨成型、磨边、精磨抛光和检测于一体,最大加工直径800mm,面形精度<30mm,表面粗糙度<2nm。

近年又研制成功了FSGJ-Ⅱ型计算机数控非球面加工机床,最大口径达到了1200mm,面形精度优于30mm,表面粗糙度<2nm。

在不久的将来,我国非球面加工技术会更上一层楼。

第二章非球面的理论基础2.1非球面的优缺点从非球面的提出到非球面的应用至今四百多年来,由于非球面光学零件具有其他零件无法比拟的优越性,非球面的加工技术一直受到人们的青睐和不断探索,但是非球面也存在着加工方面的困难。

首先介绍一下非球面具有的优点:1.具有优良的光学性能光通过单透镜近轴光线和远轴光线不会会聚在一点,而非球面透镜则可以会聚一点没有球差。

一束光线通过球面和非球面反射镜时成像质量也不同,球面反射镜接受无限远的光束像点有球差,而抛物面反射镜接受无限远的光束像点是无球差的。

2.改善了成像质量正是非球面具有优良的光学性能,它可以改善光学系统的成像质量。

非球面特别适合大视场、大口径、像差要求高和结构要求小的系统中,非球面作为主要的光学元件,常用作像差校正元件,例如在光学系统光阑附近采用非球面可校正各带的高级像差,在像面前或远离光阑的地方采用非球面可以校正像散和畸变。

3.简化了光学系统非球面在光学系统中可以代替多个球面来校正像差,同时减小了系统的空间体积。

4.减轻了光学仪器的质量采用非球面由于简化了光学系统,必然会减小仪器的体积,质量减轻,这对天文、航天和军用仪器来说,显得尤其重要,同时,对民用产品也实现了小型化和轻量化。

虽然非球面具有很多的优点,但其在加工方面存在着困难(1)非球面大多数只有一个对称轴,表面比较复杂,只能单件加工。

(2)非球面各点曲率半径不同,在抛光时表面难以用成型模具修正。

(3)非球面对另一表面的偏差,不能用定心磨边的方法解决两光学表面的同轴性。

(4)非球面的检验不容易实现,一般不能用样板进行检验,对某些非球面的检验是非常困难的。

2.2 非球面的数学表达式非球面光学零件就是有一个或两个与球面有差异的光学表面构成的光学零件,在这些非球面中最常见的是一个对称轴的回转非球面。

回转非球面通常采用数控机床进行加工回转非球面最常用的表达式是2222ni i i x a H ==+∑ (2-1)式中x 为非球面的X 轴(对称轴)方向的坐标,坐标原点为非球面顶点;C=1/0r ,0r 为非球面顶点的曲率半径;K=1-2e ,e 为偏心率;2i a 为非球面系数。

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