洁净厂房设计规范GB(参考Word)
国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》
1、电子工厂洁净厂房特点
表 25 集成电路芯片（64M）生产过程部分化学品的质量要求
化学品种类
H3PO4 HCl H2SO4 H2O2 NH4OH
HNO3 49%HF 5%HF 1%HF
微粒（PC/CC）
0.1μm
0.2μm
<40
<20
<30
<20
<20
<10
<20
<10
<20
<10
<30
<20
<30
➢对化学污染物的严格要求 ➢大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房 ➢投资大、能量消耗大
1、电子工厂洁净厂房特点
集成电路对化学污染物的控制指标
年份 DRAM 集成度 纯度(μm) 硅片直径(mm) 受控粒子尺寸 (μm) 粒子数 (栅清洗)(个/m2) 重金属( 原 子 /cm2)
位置
上海 上海 成都 上海 苏州 重庆 浙江
北京 上海 昆山 深圳 台湾 上海 北京 日本
状况
生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 建设中 生产运行
生产运行 生产运行
试生产 正在建设 生产运行 正筹建 正筹建 生产运行
规格 （㎜） 300（12"） 300（12"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 150（6"）
5代，1100×1300 5代，1100×1300 5代，1100×1300 5代，1100×1300 6代，1500×1800 6代，1500×1800 6代，1500×1800 8代，2160×2460
洁净生产区 面积（㎡） 12000 9400 7408.8 10321 12000 1500 5160
洁净厂房设计规范
新工厂厂房工程要求1、总则设计做到技术先进、经济适用、确保质量，并符合节约能源、劳动卫生和环境保护的要求。
2、空气洁净度等级生产车间SMT房洁净度参照1000000级要求，其他地方参作洁净电子厂房要求。
3、总体设计3.1洁净厂房位置选择和总平面布置应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；远离交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域，周围无明显振源。
满足消防、14001要求。
3.2工艺平面布置和设计综合协调一、工艺布置合理、紧凑，设备布局符合加工流；二、主要生产设备有：AI、SMT、汽车电子自动化生产线体，PVC皮带线，波峰焊接机；试验设备主要有：高温室、振动台、高低温箱、测试网房、跌落冲击台等。
三、生产车间需求温、湿度较稳定，洁净度较好，采光通风方便。
四、考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。
最大设备为a*b*h\：2*5*1.8M五、设备工艺平面布置参照《主厂房二楼平面不知图》、《主厂房一楼平面布置图》。
3.3人员净化和物料净化厂房在一楼上楼梯处设置人员换鞋处，SMT车间入室处需设置更衣室和饮水区，物料净化用室和设施，并应根据《洁净厂房设计规范》需要设置生活用室和其他用室。
人员净化用室，宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。
厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其他用室，根据生产工艺需要在二期装修设计中设置。
人员净化用室和生活用室的设计，应符合下列要求：一、人员净化用室的入口处，应设净鞋器。
二、存外衣室和洁净工作服室应分别设置。
外衣存衣柜和洁净工作服柜应按设计人数每人设一柜。
三、盥洗室应设洗手和烘干设备。
水龙头应按最大班人数每10人设一个。
四、洁净区不得设厕所。
人员净化用室内的厕所应设前室。
五、可考虑设置空气空气吹淋室锡。
空气吹淋室应设在洁净区人员入口处，并应与洁净工作服室相邻。
(完整版)洁净厂房设计规范
洁净厂房设计规范第一章总则第1．0．1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量、符合节约能源和环境保护的要求。
第1．0．2条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。
本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。
第1．0．3条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。
第1．0．4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件。
第1．0．5条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。
第二章空气洁净度等级第2．0．1条空气洁净度应按表2．0．1规定划分为四个等级。
空气洁净度表2．0．1注: 对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数，应进行多次采样，当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的．第2．0．2条洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。
洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。
第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面布置第3．1．1条洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域，如不能远离严重空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地区。
第3．1．2条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。
第3．1．3条洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。
洁净厂房设计规范2019
洁净厂房设计规范2019工厂洁净室不仅对室内空气洁净度有严格的要求，针对运行环境的噪音也有一定的国家标准参数，因为洁净车间是一个相对密闭的、比较压抑的环境，如果噪音控制不当，很容易造成车间工作人员以及生产环境的恶化。
工厂洁净车间一、洁净室的噪音合格标准根据洁净厂房设计规范的要求，洁净室空态情况下费单向流洁净室的噪音应≤60dB(A).单向流和混合流洁净室的噪音应≤65dB（A）。
二、洁净室的噪音测定方法当房间的面积不大于50㎡时，仅测定房间一个点；当房间面积较大时，每增加50㎡就增加一个测点；测点距离地面1.0m；当有条件时，宜测房间静态工况的噪声和本底噪声。
洁净室三、洁净室噪声控制洁净室噪声标准的制定主要考虑噪声的烦恼效应、语音通讯干扰和对工作效率的影响。
国内对于噪声对于健康影响的研究表明，低于80dB（A）的一般工业噪声对健康的影响不大。
国外洁净室噪声标准的研究工作开始于20世纪60年代。
1996年制定的美国联邦标准209a和1974修订的209b规定：“洁净室的噪声控制在可能进行必要的通话，满足操作或产品的要求，并使人员保持在舒适和安全的范围内”。
在ISO/DISI4644-4标准（草案）中规定：“应根据洁净室内人的舒适和安全要求环境（如其他设备）的背压级来选择适宜的声压级。
洁净室的声压级范围为40-65dB（A）”。
四、洁净厂房设计规范里的噪音控制标准洁净室内的噪声级（空态），非单向流洁净室不应大于60dB（A），单向流、混合流洁净室不应大于65dB（A）。
洁净室内的各种设备应选用低噪声产品。
对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。
洁净厂房的平、剖面设计应考虑要求，洁净室的维护结构应具有良好的隔声性能，并使各部分隔声量相接近。
净化空调系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。
洁净室内的排风系统除事故排风外应进行减噪设计。
净化空调系统，根据室内容许噪声级要求，风管内风速宜按下列规定选用总风管：6-10m/s；有送、回风口的支风管为2-5m/s；无送、回风口的支风管为4-6m/s。
【免费下载】洁净厂房设计规范
洁净厂房设计规范中华人民共和国国家标准GBJ73--84主编部门：中华人民共和国电子工业部批准部门：中华人民共和国国家计划委员会施行日期：一九八五年六月一日关于发布《洁净厂房设计规范》的通知计标［1984］2483号根据原国家建委（78）建发设字第562号文的要求，由电子工业部会同有关部门共同编制的《洁净厂房设计规范》已经有关部门会审。
现批准《洁净厂房设计规范》GBJ73－84为国家标准，自一九八五年六月一日起施行。
本规范由电子工业部管理，其具体解释等工作，由电子工业部第十设计研究院负责。
国家计划委员会一九八四年十二月一日编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部负责主编的。
具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第六设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色治金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。
在编制过程中，规范编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意见。
最后，由我部会同有关部门审查定稿。
本规范共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。
鉴于本规范系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。
电子工业部一九八四年八月二十七日目录第一章总则第二章空气洁净度等级第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面布置第二节工艺布置和设计综合协调第三节噪声控制第四节微振控制第四章建筑第一节一般规定第二节人员净化和物料净化设施第三节防火和疏散第四节室内装修第五节装配式洁净室第五章空气净化第一节一般要求第二节洁净室正压控制第三节气流组织和送风量第四节空气净化处理第五节采暖通风第六节风管和附件第六章给水排水第一节一般规范第二节给水第三节排水第四节消防设施第七章工业气体管道第一节通常规定第二节管道材料、阀门和附件第三节管道连接和清洗第四节安全技术第八章电气第一节配电第二节照明第三节控制、通信和防护附录一名词解释附录二洁净室空气洁净度的测试附录三洁净厂房生产的火灾危险性分类举例附录四净化空气调节系统设计对施工的要求附录五净化空气调节系统设计对维护管理的要求附录六净化空气调节系统风管壁厚附录七本规范用词说明第一章总则第1．0．1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量、符合节约能源和环境保护的要求。
洁净厂房设计规范2019
洁净厂房设计规范2019近日，住房和城乡建设部关于发布国家标准《医药工业洁净厂房设计标准》的公告已批准《医药工业洁净厂房设计标准》为国家标准，编号为GB 50457-2019，自2019年12月1日起实施。
其中，第3.2.1、3.2.2、5.1.6、5.1.7、5.1.8、5.1.11、6.4.1、6.4.2、6.4.3、6.4.4、6.4.5、6.4 .6、7.2.12、8.2.1、9.2.4、9.2.7、9.2.8、9.2.12、9.2.18、9.6.1、9.6.2、11.2.8、11.3.4、11.3.7 ，11.4.4条为强制性条文，必须严格执行。
原《医药工业洁净厂房设计规范》（GB50457-2008）同时废止。
GB 50457-2019医药工业洁净厂房设计标准1总则1.0.1为在医药工业洁净工厂设计中贯彻执行国家有关政策，做到技术先进，安全可靠，确保质量，节能环保，制定本标准1.0.2本标准适用于新建，扩建和改建的医药工业洁净工厂设计。
生物制品，毒性药品，精神药品，麻醉药品以及毒品药品的生产和质量检验设施除应执行本标准外，尚应符合国家有关的监管规定。
1.0.3医药工业洁净厂房的设计应为施工安装、系统设施验证、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件1.0.4医药工业洁净厂房的设计除应符合本标准外,尚应符合国家现行有关标准规范的规定。
2术语2.0.1医药洁净室pharmaceutical clean room空气悬浮粒子和微生物浓度,以及温度、湿度、压力等参数受控的医药生产房间或限定的空间。
2.0.2医药工业洁净厂房pharmaceutical industry clean room 包含医药洁净室的用于药品生产及质量控制的建筑物2.0.3人员净化用室room forcleaning personne人员在进人医药洁净室之前按一定程序进行净化的房间2.0.4物料净化用室room forcleaning materia物料在进入医药洁净室之前按一定程序进行净化的房间2.0.5受控环境controlled environment以规定方法对污染源进行控制的特定区域2.0.6悬浮粒子airborne particles用于空气洁净度分级的空气悬浮粒子尺寸范围在0.1um~1000um 的固体和液体粒子。
标准《电子工厂洁净厂房设计规范
0.08
0.06
0.04
0.03
0.02
950
500
250
200
150
2.5×1010
1×1010
5×109
2.5×109 <2.5×109
5×1013
3×1013
1×1013
5×1012
3×1012
可整理ppt
4
1、电子工厂洁净厂房特点
电子工厂洁净厂房的特点：
➢微粒控制十分严格、要求控制0.02μm甚至更小粒径 ISO1级或更严格。
位置
大陆 台湾 台湾 台湾 韩国 韩国 韩国 韩国 爱尔兰 美国 美国 美国 爱尔兰 磁力 台湾 法国 新加坡
状况
生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行
规格 （㎜） 200（8"） 300/200（12"/8"） 300（12"） 300（12"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 300（12"） 300（12"） 300（12"） 200（8"） 200（8"）
可整理ppt
8
1、电子工厂洁净厂房特点
表 25 集成电路芯片（64M）生产过程部分化学品的质量要求
化学品种类
H3PO4 HCl H2SO4 H2O2 NH4OH
HNO3 49%HF 5%HF 1%HF
微粒（PC/CC）
中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范
中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范洁净厂房是指在特定环境下，通过控制空气污染物、粉尘等因素的净化，提供清洁、稳定的工作环境，以满足特定工艺生产或科学实验的需求。
为了规范洁净厂房的设计与建设，中华人民共和国国家标准委员会制定了《中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范》。
本文将从洁净厂房的概念、洁净度要求、空气处理系统、工程材料等几个方面进行阐述，以全面介绍洁净厂房设计规范。
一、洁净厂房概述洁净厂房是为满足特定工艺生产或科学实验的高洁净要求而设计的一种工业建筑。
它通过空气净化、粉尘控制以及温湿度调节等手段，使空间内的洁净度得以保持在可接受的范围内。
洁净厂房广泛应用于电子、医药、食品加工等领域，能够有效提高产品质量和生产效率。
二、洁净度要求洁净度是衡量洁净厂房清洁程度的重要指标。
不同行业、不同工艺对洁净度有不同的要求。
国家标准规定了空气中不同尺寸的颗粒物的容许浓度限值，例如超细颗粒物、微细颗粒物等。
同时，还要求对微生物浓度进行控制，以确保工作环境的卫生与安全。
三、空气处理系统空气处理系统是洁净厂房的核心组成部分，它的设计和运行直接影响洁净度的达标情况。
空气处理系统包括空调系统、通风系统、新风系统、过滤系统等。
在设计过程中，需结合洁净度要求和工艺流程，合理选择和布置设备，确保空气质量得到有效控制。
四、工程材料在洁净厂房的设计和施工中，选用合适的工程材料对于保证洁净度起到至关重要的作用。
在选择材料时，要考虑其耐腐蚀性、耐高温性、耐磨损性等特性，并符合国家标准要求。
同时，还需注意材料的易清洁性，以便于日常的清洁和维护工作。
五、设备布局洁净厂房的设备布局是为了实现高效的生产和操作流程。
在布局设计中，要合理安排设备的位置和通道，确保流程的顺畅和作业人员的安全。
此外，还要充分考虑通风、排风和空气过滤等因素，保持洁净厂房内部的整体洁净度。
六、实施和维护洁净厂房的设计并不止于建设完工，更需要在日常运营中进行有效的维护。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
第一章总则第1．0．1 条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。
第1．0．2 条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。
本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。
第1．0．3 条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。
第1．0．4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件。
第1．0．5条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。
第二章空气洁净度等级第2．0．1条空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。
空气洁净度等级表2.0.1注：对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。
当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。
第2．0．2条洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。
洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。
第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面布置第3.1.1条洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。
如不能远离严重空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。
第3．1．2条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。
第3．1．3条洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。
第3.1.4条洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。
第3．1．5条洁净厂房周围宜设置环形消防车道(可利用交通道路)，如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。
第3．1．6条洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材料。
第3．1．7条洁净厂房周围应进行绿化。
可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区。
但不得妨碍消防操作。
第二节工艺布置和设计综合协调第3．2．1条工艺布置应符合下列要求：一、工艺布置合理、紧凑。
洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。
二、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置，靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。
三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。
五、应设置单独的物料人口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。
第3．2．2条洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔。
一、按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。
二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部措施加以控制者。
三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产车间之间。
第3．2．3条洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进行分区布置。
同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。
第3．2．4条洁净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和竖向标高。
第3．2．5条洁净厂房内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。
第三节噪声控制第3．3．1条洁净室内的噪声级，应符合下列要求：一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。
二、空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A；层流洁净室的噪声级不应大于65分贝A。
注：（1）由于技术经济条件限制，或噪声大于70分贝A对生产无影响时，噪声级可适当放宽，但不宜大于75分贝A；（2）上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）的测量值。
对于变动噪声，则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。
第3．3．2条洁净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声太级；各频带声压级值不宜大于表3.3.2的规定。
第3．3．3条洁净厂房的平、剖面布置，应考虑噪声控制的要求，其围护结构应有良好的隔声性能，并宜使各部分隔声量相接近。
第3．3．4条洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。
对于辐射噪声超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。
第3.3.5条净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔声振等控制措施。
除事故排风外，应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。
第3．3．6条净化空气调节系统，根据室内噪声级的要求，风管内风速宜按下列规定选用：一、总风管为6～10米/秒。
二、无送、回风口的支风管为6～8米/秒。
三、有送、回风口的大风管为3～6米/秒。
第3．3．7条洁净厂房的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求，不得因控制噪声而影响洁净室的净化条件。
第四节振动控制第3.4.1条洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。
第3．4．2条对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。
如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。
并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的隔振措施。
第3．4．3条精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发生量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。
当采用空气弹簧隔振台座时，应地气源进行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。
第四章空气净化第一节一般规定第4．1．1条洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定，应符合下列要求：一、洁净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁净度等级。
二、在满足人生产工艺要求的前提下，洁净室的气流组级别，宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。
第4.1.2条层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。
第4．1．3条洁净室内的计算温、温度、应符合下列规定：一、满足生产工艺要求二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26度，温度70度。
第4．1．4条洁净室内应保证一定的新鲜空气量，其数值频取下列风量中的最大值；一、乱流洁净室总送风量的10%～30%，层流洁净室总送风量的2～4%。
二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。
三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。
第4．1．5条洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。
洁净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。
第4．1．6条在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。
第二节洁净室正压控制第4．2．1条洁净室必须维持一定的正压。
不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于4.9Pa，洁净区与室外的静压差，应不小于9.8Pa。
第4．2．2条洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：Q＝q1·Σ（q·L）（4.2.2）式中 Q––维持洁净室正压值所需的正压风量(米3/时)；a––根据围扩结构气密性确定的安全系数，可取1.1～1.2；q––当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(米3/时·米)；L––围扩结构的缝隙长度(米)。
第5．2．3条围护结构单位长度缝隙的渗漏风量，可按表5.2.3采用。
`第4．2．4条送风、回风和排风系统的启闭联锁。
系统开启时，联轴和序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机，系统关闭时，则闻锁程序应相反。
第4．2．5条非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班风机，并应对新风进行处理。
第三节气流组组织和送风量第4．3．1 气流组织的选择，应符合下列要求：一、洁净工作区的气流速度，应满足空气洁净度和人体健康的要求，并应使洁净工作区气流流向单一。
二、回风口宜均匀布置在洁净室下部。
三、余压阀宜设在洁净室气流的下风侧，不宜设在洁净工作区高度范围内。
第4．3．2条洁净室的气流组织和送风量，宜按表5.3.2选用。
第4．3．3条乱流洁净室的送风量，应取下列规定的最大值；一、为控制室内空气洁净度所需要的送风量。
二、按表5.3.2规定的送风量。
三、根据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需的送风量。
四、按空气平衡所需要的送风量。
第4.3.4条当生产工艺仅要求在洁净室内局部工作区达到更高的空气洁净度时，其气流组织设计应使洁净气流首先流经该工作区，或在洁净室的不同区域形成不同气流流型和空气洁净度等级的洁净工作区，其型式可分别按图5.3.4-1、5.3.4-2。
第4．3．5条层流洁净室内不宜设置洁净工作台；乱流洁净室内可设置洁净工作台，但其位置应远离回风口。
第4．3．6条洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下风侧。
第四节空气净化处理第4．4．1条各等级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。
注1：100，000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。
第4．4．2条确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积、位置等因素。
凡生产工艺连续、洁净室面积较大时，位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。
第4．4．3条净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。
第4．4．4条净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入洁净室内的防倒灌措施。
第4．4．5条空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合下列要求：一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器。
二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段。
三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端。
四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用。
五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内。
六、高效空气过滤器安装方式应简便可靠，易于检漏和更换。